JP5076526B2 - 光学反射素子 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1における光学反射素子について、図面を参照しながら説明する。
13 溝
14 支軸
15 枠体
16 溝
17 支軸
18 光学反射部
19 接続点
20 圧電振動板
21 接続点
22 圧電振動板
Claims (3)
- 第1の枠体と、
この第1の枠体内に第1の溝で分離されるとともに、
この第1の溝内に設けられた第1の支軸により、
前記第1の枠体に支持された第2の枠体と、
この第2の枠体内に第2の溝で分離されるとともに、
この第2の溝内に設けられた第2の支軸により、
前記第2の枠体に支持された光学反射部と、
前記第1の枠体にその一端を接続されるとともに、
その他端を前記第1の支軸に接続された第1の圧電振動板と、
前記第2の枠体にその一端を接続されるとともに、
その他端を前記第2の支軸に接続された第2の圧電振動板とを備え、
前記第1の圧電振動板の上には電極端子が形成され、
前記第2の支軸は前記第1の支軸にその軸方向が直交するよう設けるとともに、
前記第1の圧電振動板の他端と前記第1の支軸との接続点は、
前記第1の圧電振動板の他端における略中央に配置し、
前記第1の圧電振動板は、
前記第1の支軸に接続される他端の剛性を前記第1の圧電振動板における電極端子形成部の剛性よりも低い構成とした
光学反射素子。 - 第2の圧電振動板の他端と第2の支軸との接続点は
前記第2の圧電振動板の他端における略中央部に配置する構成とした
請求項1に記載の光学反射素子。 - 第2の圧電振動板は、
上部に電極端子が形成され、
前記第2の支軸に接続される他端の剛性を前記第2の圧電振動板における電極端子形成部の剛性よりも低い構成とした
請求項1または請求項2に記載の光学反射素子。
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