JP4967318B2 - ストッカ - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示デバイスや半導体デバイス等の製造プロセスにおいて、工程待ちのFront Opening Unified Pod(FOUP)やカセット等を一時的に保管するストッカに関する。
この種のストッカとしては、特許文献1に開示されるものがある。この構成が本願の図9に示され、ストッカ10は、棚12と、スタッカクレーン27と、ポート14と、外壁15等を主要な構成として備えている。スタッカクレーン27は、移載ロボット20と、一対の支柱25と、一対のテーブル昇降手段26と、一組の車輪29と、一対のレール28とを主要な構成として備えている。また、前記移載ロボット20は、ベース21と、旋回テーブル22と、アーム23と、グリッパ24とから構成されている。棚12はスタッカクレーン27の両側に配置され、液晶表示デバイス用ガラス基板や半導体デバイス用シリコン基板等の収納されたカセット11を載置保管できるようになっている。
この構成において、ストッカ10へのカセット11の搬入は、以下のようにして行われる。即ち、図示しない搬送台車がカセット11を搭載してポート14に到着し、搬送台車が装備する移載手段を使用してポート14にカセット11を載置する。次いで、ポート14上に搭載されたカセット11は、スタッカクレーン27に装備されている移載ロボット20に搭載され、図示しないシステムコントローラにより指示された棚位置まで運搬し、その棚12上に載置される。また、ストッカ10からのカセット11の搬出(棚12からカセット11を取り出して搬送台車に移載する作業)は、上記と逆の手順で行われる。
特開2005−277326号公報
また特許文献2は他の構成のストッカを開示しており、この特許文献2では、ストッカ内部に設置されるスタッカの両側に設けられた一対のポートに、ストッカ内部棚と同一構造に作られたコンテナがベルトコンベアで搬入出され、ストッカ内に設置された一台のスタッカロボットが、該コンテナの棚にカセットを搬入出させ、これらコンテナから搬入出された該カセットをスタッカロボットの両側に配置されたストッカ側に搬入出する構成になっている。
特開2003−163250号公報
しかし、上記特許文献1や2のストッカでは、スタッカロボットは、スタッカクレーンの両側に配置した棚にカセットの搬入出を行う構成であるため、少なくとも180°の回転機能を具備しなければならない(図9の構成においては旋回テーブル22)。例えば被搬送物が液晶表示装置用のガラス基板である場合、被搬送物のカセット重量は数百キロ以上となり、ロボットの旋回に大きな駆動トルクが必要になる。従って、これを実現するための駆動源が大型化、大重量化し、スタッカクレーンのコンパクト化、軽量化の障害となってしまっている。
また、装置の大型化、大重量化に伴って装置の作業速度も鈍化しやすく、これを回避しようとすると更なる駆動力の増強が必要になり、駆動源が大型化、大重量化する矛盾に陥る。従って、従来技術の延長による装置の大型化では装置の稼動効率の低下は不可避になっている。
本願発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供することにある。
課題を解決するための手段及び効果
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の第1の観点によれば、以下のように構成するストッカが提供される。即ち、垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、前記保管棚と平行に敷設されたレールと、前記レール上を走行可能なスタッカクレーンと、ポートフレームと、前記ポートフレームに駆動可能に複数配設されたローラと、を備え、前記レールを挟んで前記保管棚と対向位置に配設され、前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのコンベアポートと、を備え、前記スタッカクレーンは、垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚または該保管棚と同じ側に配設されて前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのインラインポートに対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、前記スタッカクレーンの下部に設置された上方開放形状のコンベアフレームと、前記コンベアフレームに回転自在に支持された複数のローラと、を備え、前記ローラの上面の高さが前記コンベアポートの上面の高さと一致するように固定して設けられており、前記移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記コンベアポートへ受渡しするローラコンベアと、を備えていることを特徴とするストッカ。
このようにスタッカクレーンの移載手段においてリニアスライドフォークを採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。また、保管棚と反対側にポートが配置されていた場合でも、ローラコンベアとポートとで被搬送物を受け渡すことができる。従って、特許文献1に示すような旋回機能を有する移載手段と実質的に同等の効果を発揮させることができる。
前記のストッカにおいては、前記ローラコンベアの前記コンベアフレームは、側壁部に前記テーブルを受け入れ可能に形成された隙間部と、側壁部の間に前記リニアスライドフォークを収容可能に形成された空間とを有して、前記移載手段の前記テーブル及び前記リニアスライドフォークに対し干渉しない形状に構成されており、前記移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることが好ましい。
この構成により、単純に移載手段を下降させるだけでローラコンベアに被搬送物を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段からローラコンベアへ被搬送物を素早く中継させることができ、被搬送物の入出庫に必要な時間を一層短縮することができる。
本発明の第2の観点によれば、以下のように構成するストッカが提供される。即ち、垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、前記保管棚と平行であって互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するように敷設されたレールと、前記複数の走行経路のそれぞれを互いに独立に走行可能な複数のスタッカクレーンと、ポートフレームと、前記ポートフレームに駆動可能に複数配設されたローラと、を備え、前記レールを挟んで前記保管棚と対向位置に配設され、前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのコンベアポートと、を備え、前記保管棚は、前記複数の走行経路の両側に配置され、前記スタッカクレーンのそれぞれは、垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚または該保管棚と同じ側に配設されて前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのインラインポートに対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、前記スタッカクレーンの下部に設置された上方開放形状のコンベアフレームと、前記コンベアフレームに回転自在に支持された複数のローラと、を備え、前記ローラの上面の高さが前記コンベアポートの上面の高さと一致するように固定して設けられており、前記移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記コンベアポートへ受渡しするローラコンベアと、を備え、一の前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きとが反対であることを特徴とするストッカ。
この構成においても、スタッカクレーンの移載手段においてリニアスライドフォークを採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。また、保管棚と反対側にポートが配置されていた場合でも、ローラコンベアとポートとで被搬送物を簡単に受け渡すことができる。更に、収容能力が高く、入出庫に要する時間が短く、設備コストが安価なストッカを提供することができる。
前記のストッカにおいては、前記ローラコンベアの前記コンベアフレームは、側壁部に前記テーブルを受け入れ可能に形成された隙間部と、側壁部の間に前記リニアスライドフォークを収容可能に形成された空間とを有して、前記移載手段の前記テーブル及び前記リニアスライドフォークに対し干渉しない形状に構成されており、前記移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることが好ましい。
この構成により、単純に移載手段を下降させるだけでローラコンベアに被搬送物を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段からローラコンベアへ被搬送物を素早く中継させることができ、被搬送物の入出庫に必要な時間を一層短縮することができる。
次に、発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施形態に係るストッカの全体的な構成を示す上方斜視図、図2はスタッカクレーンのローラコンベアの動作説明を示す要部側面断面図である。
図1において、本実施形態のストッカ6は、保管棚の棚本体7と、スタッカクレーン5と、コンベアポート(ポート)17と、レール28と、を主要な構成として備えている。棚本体7はレール28の一側に配置され、コンベアポート17は、棚本体7とレール28を挟んで対向位置に配置されている。
棚本体7は、切欠き38が設けられた棚12と、ストッカ外壁15と、を備えており、カセット(被搬送物)35を垂直方向及び水平方向に複数並べて保管可能になっている。
レール28は棚本体7と平行に2本一対で敷設され、1台の前記スタッカクレーン5がこのレール28上を走行可能に構成されている。このスタッカクレーン5は、移載手段36と、コンベアテーブル(ローラコンベア)34と、支柱37と、車輪29と、を主要な構成として備えている。
また、コンベアポート17は、前記カセット35をストッカ6に対し入出庫するためのものであって、ポートフレーム13とローラ16とを備えている。ローラ16は適宜の間隔で複数配設され、図示しないモータによって駆動可能に構成されている。
前記移載手段36は、昇降フレーム(テーブル)32と、リニアスライドフォーク33と、テーブル昇降手段26と、を備えている。昇降フレーム32は、テーブル昇降手段26によって垂直方向に昇降自在に構成されている。リニアスライドフォーク33は、前記昇降フレーム32上に設置されるとともに、保管棚(棚本体7)に対して突出するように伸張し、かつ縮退可能に構成している。なお、このリニアスライドフォーク33は旋回不能に前記昇降フレーム32に対して設置されているので、棚本体7から離れる方向に進出させることはできないようになっている。リニアスライドフォーク33の先端部の上面には、前記カセット35を載置可能な載置面が構成されている。
また、コンベアテーブル34は、前記移載手段36からカセット35を受け継いでコンベアポート17へ受け渡すためのものであって、スタッカクレーン5の下部に設置された上方開放形状のコンベアフレーム31と、このコンベアフレーム31に回転自在に支持された複数のローラ30と、を備えている。このローラ30は、その上面の高さが前記コンベアポート17のローラ16の上面の高さと一致するように設けられている。ローラ30は図示しないモータによって駆動可能とされており、ローラ30上に載置されたカセット35を、前記リニアスライドフォーク33の伸縮に沿う方向(もっと言えば、リニアスライドフォーク33の退避方向)に移送できるようになっている。
コンベアテーブル34は、前記昇降フレーム32及びリニアスライドフォーク33に対し干渉しない形状に構成されている。即ち、コンベアテーブル34のコンベアフレーム31の側壁部には、枠体状に構成された昇降フレーム32を受け入れ可能な隙間部を形成するとともに、側壁部の間には前記リニアスライドフォーク33を収容可能な空間が形成されている。
次に、スタッカクレーン5におけるコンベアテーブル34の機能について、図3〜図6を用いて説明する。なお、図3〜図6の各図においてA)は正面図、B)は側面断面図を示している。
図3は、棚12からカセット35を取り出し、これからリニアスライドフォーク33を縮退させようとする状況を示している。リニアスライドフォーク33が退避を完了させると、図4に示すように、カセット35、リニアスライドフォーク33が昇降フレーム32の直上方に位置する。次いで、スタッカクレーン5はテーブル昇降手段26を作動させて昇降フレーム32を下降させる。昇降フレーム32及びリニアスライドフォーク33は上述のとおりコンベアテーブル34に対し干渉しないように構成されているので、昇降フレーム32はコンベアテーブル34を上から下へくぐり抜け、コンベアテーブル34の下部(厳密に言えば、前記コンベアフレーム31の内部)まで侵入・下降できる。
リニアスライドフォーク33がカセット35を搭載した状態でコンベアテーブル34の下部まで侵入・下降すると、図5に示すようにカセット35はコンベアテーブル34のローラ30にすくい取られ、ローラ30上に残留する。次いで、コンベアテーブル34はコンベアフレーム31に支持されたローラ30を回転駆動させ、コンベアテーブル34に隣接しつつ対向するコンベアポート17にカセット35を輸送する(図6及び図2)。カセット35がコンベアテーブル34の昇降動作領域外に移送された時点で、コンベアテーブル34は昇降自在になる。
また、図7に平面図を示すストッカ6は、図1と基本的に同一の構成であるが、共通のレール28上にスタッカクレーン5が複数(3台)設置され、コンベアポート17以外に3つのインラインポート18を棚本体7に隣接して備える点で、図1の構成と相違する。インラインポート18は、液晶製造装置8がカセット35をストッカ6に対し直接入出庫する場合に使用されるポートである。
このインラインポート18は棚本体7と同じ側に設けられており、スタッカクレーン5との間のカセット35の受渡しは移載手段36のリニアスライドフォーク33により行われる。例えば、インラインポート18に前記棚12と同じように切欠き38を設けることとすれば、リニアスライドフォーク33とインラインポート18との間でカセット35の受渡しを行うことができる。なお、液晶製造装置8のインラインポート18は、ストッカ6と液晶製造装置8とを接続するポートであって、ローラコンベアで直結したり、搬送ロボットを介して接続させることが考えられる。
次に、図1や図7に示すストッカ6に於ける棚12へのカセット35の入庫動作と出庫動作について説明する。
入庫動作を説明すると、先ず、図1等に示すコンベアポート17上に、図示しない無人搬送台車、あるいはリフタなどの他の搬送手段により搬送されてきたカセット35が載置される。すると、スタッカクレーン5がコンベアポート17の対向位置まで走行して停止するとともに、昇降フレーム32を昇降範囲の下限まで下降させる。このとき、図2に示すように、コンベアポート17のローラ16の上面の高さとコンベアテーブル34のローラ30の上面の高さがほぼ一致している。
続いて、コンベアポート17のローラ16とスタッカクレーン5のコンベアテーブル34のローラ30が駆動され、コンベアポート17上に載置されたカセット35がスタッカクレーン5のコンベアテーブル34上に移送される。移送の完了はコンベアテーブル34に取り付けられた図略のセンサで検知され、このセンサによって、カセット35はコンベアテーブル34上で正確に位置決めされる。
次いでスタッカクレーン5は昇降フレーム32を下限位置から上昇させ、このとき、コンベアテーブル34上に載置されたカセット35は、昇降フレーム32と一体的に上昇するリニアスライドフォーク33によってすくい取られる。その後、スタッカクレーン5はレール28上を棚12に沿って水平移動するとともに、昇降フレーム32を上昇させ、目的とする棚位置に移載手段36を対向させた状態で停止する。
スタッカクレーン5の停止後、移載手段36はリニアスライドフォーク33にカセット35を載せたまま、棚12の載置位置までフォークを伸張させるとともに、フォーク先端部(即ち、カセット35)を位置合わせする。次に、昇降フレーム32を少量下降させると、フォークの先端部が前記切欠き38を下方へ通過し、棚面よりフォークの先端部上面が低くなると同時にカセット35が棚12にすくい取られて、棚12上に残留する。以上によりストッカ6へのカセット35の収納が完了し、その後はスタッカクレーン5はリニアスライドフォーク33のフォークを縮退させ、次の動作に移る。
次に出庫動作を説明するが、この出庫動作は上記の入庫動作と全く逆の手順で進められる。まずスタッカクレーン5は、目的とするカセット35の収納された棚位置に移載手段36を移動させ、リニアスライドフォーク33を進出させた後、リニアスライドフォーク33の先端部が前記切欠き38を下から上に通過するように昇降フレーム32を若干上昇させ、カセット35を載置面上にすくい上げる(図3)。そして、リニアスライドフォーク33を図4のように縮退させてカセット35をスタッカクレーン5内部に引き込み、コンベアポート17位置まで走行する。
コンベアポート17への走行中にスタッカクレーン5は昇降フレーム32を下降させるが、コンベアポート17に到着後は昇降フレーム32を更にコンベアテーブル34の下まで下降させて、カセット35をコンベアポート17へ受け継ぐ(図5)。次いで、コンベアテーブル34とコンベアポート17のローラ30・16が駆動されて、カセット35はコンベアテーブル34からコンベアポートへ受け渡す(図6)。コンベアポート17に載置されたカセット35は、搬送台車等に移載され、外部に搬出される。
なお、これら一連の移載搬送動作は、生産管理を司るMCSや、搬送システムを統括管理するMES等の制御装置からの指令信号に基づき行われる。また、オフライン時にはストッカ6のコントローラが同様の指令信号を発することも可能である。
以上に示すように、本実施形態のストッカ6は、垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット35を保管可能な棚本体7を備えるとともに、この棚本体7と平行に敷設されたレール28と、該レール28上を走行可能なスタッカクレーン5と、前記カセット35をストッカ6に対し入出庫するためのコンベアポート17と、を備える。そして、前記スタッカクレーン5は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム32と、該昇降フレーム32上に設置され前記棚本体7に対向して進退自在なリニアスライドフォーク33とを備える移載手段36と、この移載手段36から前記カセット35を受け継いで前記コンベアポート17へ受渡し可能なコンベアテーブル34と、を備えている。
以上のようにスタッカクレーン5の移載手段36においてリニアスライドフォーク33を採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。この効果は、特にカセット35が大重量の場合に顕著に発揮される。また、図1や図7に示すように棚本体7と反対側にコンベアポート17が配置されていた場合でも、コンベアテーブル34とコンベアポート17とでカセット35を受け渡すことができる。従って、特許文献1等に示すような旋回機能を有する移載手段と実質的に同等の効果を発揮させることができる。
また、上記のストッカ6において、スタッカクレーン5の移載手段36は、リニアスライドフォーク33の先端上面(カセット載置面)を前記コンベアテーブル34のローラ30上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成されている。
これにより、単純に昇降フレーム32を下降させるだけでコンベアテーブル34にカセット35を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段36からコンベアテーブル34へカセット35を素早く中継させることができ、カセット35の出庫に必要な時間を一層短縮することができる。また入庫時においても、下限位置から昇降フレーム32を上昇させるだけでコンベアテーブル34から移載手段36へカセット35を受継できるので、入庫の必要時間も短縮されることは勿論である。
なお、図8には変形例が示されており、このストッカ6は図7のストッカを互いに対向させて2つ配置したような構成となっている。図8のストッカ6において、レール28は2対敷設されて、スタッカクレーン5が互いに独立して走行可能な、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成している。そして、保管棚の棚本体7は、前記2対のレール28を挟むように、両側に配置されている。コンベアポート17は、例えば、一側の棚本体7から他側の棚本体7へカセット35を受け渡すのに使用される。
そして、図8で上側のレール28を走行するスタッカクレーン5においては、その移載手段36のリニアスライドフォーク33は、図中上側の棚本体7に対して進出可能に設置され、下側のレール28を走行するスタッカクレーン5のリニアスライドフォーク33は、図中下側の棚本体7に対して進出可能に設置されている。端的に言えば、スタッカクレーン5のリニアスライドフォーク33の配設向きが、図中上側と下側で逆になっている。これにより、レール28の両側に配設された棚本体7に対して容易にカセット35を受渡しすることができる。
以上に示すように、図8の構成のストッカ6において、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するようにレール28が敷設されるとともに、それぞれの走行経路を複数のスタッカクレーン5が互いに独立に走行可能とされている。そして、棚本体7は前記複数の走行経路の両側に配置されるとともに、一の前記走行経路を走行するスタッカクレーン5のリニアスライドフォーク33の配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーン5のリニアスライドフォーク33の配設向きとが反対になっている。
このように構成することで、図1や図7の構成と実質的に同様の効果を奏するとともに、収容能力の向上を容易に図ることができる。なお、この図8の構成は機能的には図9の従来の構成と類似するが、発明者の知見によれば、従来の構成に比較して図8の構成は、装置サイズ、入出庫に要する時間、設備コストの何れにおいても優れていることが確認されている。
以上に本発明の好適な実施形態及び変形例を示したが、以上の構成は一例であって、例えば以下のように変更することができる。
コンベアポート17は、棚本体7と反対側でなく、棚本体7と同じ側にも配設することができる。また、コンベアポート17は、入出庫を兼ねる場合に限らず、入庫専用のポートと出庫専用のポートとで分けて配置することができる。更に、被搬送物としては、カセット35の代わりに上記のFOUP等を採用することができる。
昇降フレーム32やコンベアテーブル34は、図1等で示した形状に限らず、適宜の形状に変更することができる。ただし、移載手段36とコンベアテーブル34とを互いに干渉しない形状に構成して、コンベアテーブル34のローラ30上面より下に移載手段36が下降できるようにすると、前述したとおり有利である。
本発明の一実施形態に係るストッカの全体的な構成を示す上方斜視図。 スタッカクレーンのローラコンベア部の動作説明を示す要部側面断面図。 出庫のためにリニアスライドフォークでカセットをすくい上げて引き込む様子を示す説明図であって、A)は正面図、B)は側面断面図。 スタッカクレーンに引き込んだカセットを下降させる様子を示す説明図であって、A)は正面図、B)は側面断面図。 カセットを移載手段からローラコンベアに受け継いだ様子を示す説明図であって、A)は正面図、B)は側面断面図。 カセットをローラコンベアからコンベアポートへ受け渡す様子を示す説明図であって、A)は正面図、B)は側面断面図。 他の構成のストッカを示す平面図。 図7のストッカの更なる変形例を示す平面図。 ストッカの従来の構成を示す上方斜視図。
符号の説明
5 スタッカクレーン
6 ストッカ
7 棚本体(保管棚)
17 コンベアポート(ポート)
18 インラインポート(ポート)
28 レール
32 昇降フレーム(テーブル)
33 リニアスライドフォーク
34 コンベアテーブル(ローラコンベア)
36 移載手段

Claims (4)

  1. 垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、
    前記保管棚と平行に敷設されたレールと、
    前記レール上を走行可能なスタッカクレーンと、
    ポートフレームと、前記ポートフレームに駆動可能に複数配設されたローラと、を備え、前記レールを挟んで前記保管棚と対向位置に配設され、前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのコンベアポートと、
    を備え、
    前記スタッカクレーンは、
    垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚または該保管棚と同じ側に配設されて前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのインラインポートに対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、
    前記スタッカクレーンの下部に設置された上方開放形状のコンベアフレームと、前記コンベアフレームに回転自在に支持された複数のローラと、を備え、前記ローラの上面の高さが前記コンベアポートの上面の高さと一致するように固定して設けられており、前記移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記コンベアポートへ受渡しするローラコンベアと、
    を備えていることを特徴とするストッカ。
  2. 請求項1に記載のストッカであって、
    前記ローラコンベアの前記コンベアフレームは、側壁部に前記テーブルを受け入れ可能に形成された隙間部と、側壁部の間に前記リニアスライドフォークを収容可能に形成された空間とを有して、前記移載手段の前記テーブル及び前記リニアスライドフォークに対し干渉しない形状に構成されており、
    前記移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることを特徴とするストッカ。
  3. 垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、
    前記保管棚と平行であって互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するように敷設されたレールと、
    前記複数の走行経路のそれぞれを互いに独立に走行可能な複数のスタッカクレーンと、
    ポートフレームと、前記ポートフレームに駆動可能に複数配設されたローラと、を備え、前記レールを挟んで前記保管棚と対向位置に配設され、前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのコンベアポートと、
    を備え、
    前記保管棚は、前記複数の走行経路の両側に配置され、
    前記スタッカクレーンのそれぞれは、
    垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚または該保管棚と同じ側に配設されて前記被搬送物をストッカに対し入出庫するためのインラインポートに対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、
    前記スタッカクレーンの下部に設置された上方開放形状のコンベアフレームと、前記コンベアフレームに回転自在に支持された複数のローラと、を備え、前記ローラの上面の高さが前記コンベアポートの上面の高さと一致するように固定して設けられており、前記移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記コンベアポートへ受渡しするローラコンベアと、
    を備え、
    一の前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きとが反対であることを特徴とするストッカ。
  4. 請求項3に記載のストッカであって、
    前記ローラコンベアの前記コンベアフレームは、側壁部に前記テーブルを受け入れ可能に形成された隙間部と、側壁部の間に前記リニアスライドフォークを収容可能に形成された空間とを有して、前記移載手段の前記テーブル及び前記リニアスライドフォークに対し干渉しない形状に構成されており、
    前記移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることを特徴とするストッカ。
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