JP5234328B2 - 物品収納設備 - Google Patents

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Description

本発明は、上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備に関する。
上記のような物品収納設備は、例えば、複数のステーションを経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が設けられた物品搬送設備において、天井搬送装置にてステーションに搬送する物品を一時的に保管するために用いられている。ここで、物品は、例えば、複数の半導体基板を収納した容器であり、ステーションは、半導体基板に対して所定の処理を行う複数の物品処理部の夫々に対応して床部側に配設され、天井搬送装置は、物品を吊り下げ状態で把持自在な把持部を昇降させることにより、ステーションとの間で物品を移載するように構成されている。
そして、物品収納設備では、物品収納棚において最上部に位置する収納部が、天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成されており、物品搬送装置が、搬出入用の収納部とそれ以外の収納部との間で物品を搬送するようにしている。
従来の物品収納設備では、物品収納棚において複数の収納部が棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、物品搬送装置は、物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、移動体に立設された昇降案内マストに昇降自在に案内支持された昇降体と、昇降体に装備された物品支持体とから構成されている。そして、物品支持体は、物品収納棚の棚前後方向において、収納部に対する物品移載用の突出位置と収納部から引退する引退位置とに出退自在に昇降体に支持されている(例えば、特許文献1参照。)。
この従来の物品収納設備では、物品搬送装置が複数の収納部のうち移載対象の収納部との間で物品を移載するときには、移動体を棚横幅方向に移動させ且つ昇降体を昇降案内マストに沿って昇降させることにより、物品支持体を移載対象となる収納部に対向する位置に移動させたのち、物品支持体が引退位置から突出位置に棚前後方向に突出移動することにより移載対象の物品を移載するようにしている。
特開平9−315521号公報
上記従来の物品収納設備において、物品支持体は、棚前後方向において、引退位置と突出位置とに移動自在に昇降体に支持されているので、物品支持体を棚前後方向に移動自在に昇降体にて支持するための構成が必要となる。例えば、物品支持体は、昇降体に備えられた棚前後方向に沿う案内レールにて移動自在に支持されており、上下方向及び左右方向での移動を規制しながら、物品支持体を棚前後方向に出退させるようにしている。これにより、物品支持体が突出位置に位置するときに、棚前後方向において物品支持体の全体が昇降体から突出するのではなく、棚前後方向で物品支持体の一部を昇降体と重複させ、その重複する物品支持体の一部を昇降体に備えられた案内レールにて支持するようにしている。よって、物品支持体には、物品を支持するための支持構成と、その支持構成とは別に案内レール等により支持される部分を備えなければならず、棚前後方向に長さの長いものとなる。
上記のような物品支持体として、上記特許文献1に記載の物品収納設備では、物品を把持するチャック手段を備えたものが例示されているが、物品支持体を棚前後方向に移動自在に昇降体にて支持するための構成が開示されていない。そこで、例えば、物品支持体として、出退自在に昇降体に支持されたフォーク式の物品支持体が用いられることがあるので、このフォーク式の物品支持体を用いて、棚前後方向に長さが長くなる点について説明する。
図9に示すように、昇降体100は、昇降案内マスト101に昇降自在に案内支持されており、物品支持体102が、昇降体100に備えた案内レール等により昇降体100に対して棚前後方向(図中左右方向)に引退位置(図9(a)参照)と突出位置(図9(b)参照)とに出退自在に設けられている。物品支持体102は、その突出方向の先端側に物品103を載置支持する載置支持部102aを備えているが、図9(b)に示すように、物品支持体102が突出位置に位置するときに、棚前後方向(図中左右方向)で物品支持体102の基端部分を昇降体100と重複させ、その重複する物品支持体102の基端部分を昇降体100の案内レール等が支持することになる。よって、物品支持体102には、棚前後方向において、載置支持部102aとは別に、昇降体100の案内レール等が支持する被支持部分102bを備えなければならず、棚前後方向の長さが長くなる。
よって、物品支持体は、棚前後方向での長さが長くなってしまうので、昇降体も棚前後方向での長さが長くなり、その結果、物品収納設備が全体として棚前後方向に大型になってしまう。とくに、上述のような天井搬送装置を備えた物品搬送設備では、複数の物品処理部や複数のステーションを配設しなければならず、物品収納設備の設置スペースとしては、より小さなスペースとすることが求められており、この要求に応えることが難しくなる。
また、物品支持体が棚前後方向に長くなると、物品支持体に対して下方側へ作用するモーメントが大きくなるので、物品支持体が下方側に移動するために、例えば、昇降案内マストにて昇降体を案内支持する部分の強度を強固にする等の構成が必要となり、構成の複雑化を招くことになる。例えば、昇降体において昇降案内マストにて案内支持される部分を上下方向に長くすることにより、その部分の強度を強固にすることができるが、このような構成を備えなければならず、構成の複雑化を招くことになるとともに、あらたな問題が生じることになる。つまり、昇降体において昇降案内マストにて案内支持される部分を上下方向に長くすると、昇降体が上下方向に大きくなってしまい、物品収納棚として上下方向で大型化を招いたり、昇降体にて昇降できる範囲が制限されてしまう等の問題を生じることになる。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースを小さくすることができる物品収納設備を提供する点にある。
この目的を達成するために、本発明にかかる物品収納設備の第1特徴構成は、上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備において、
前記物品搬送装置は、前記物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、その移動体に対して前記物品収納棚の棚前後方向に移動自在な昇降案内マストと、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記収納部に対する物品移載用の突出位置と前記収納部から引退する引退位置とに移動自在で且つ前記昇降案内マストにて昇降自在に案内支持された物品支持体とから構成され
前記移動体は、床部側に設けられた前記棚横幅方向に沿う棚横幅移動レールに沿って移動自在に構成され、かつ、前記棚前後方向に沿いかつ先端部が棚前後方向で前記物品収納棚の存在範囲内に位置する棚前後移動レールに沿って移動自在に当該棚前後移動レールに支持された基台を備え、前記昇降案内マストは、前記基台の棚前後方向後端部に立設され、前記物品搬送装置は、前記物品支持体を前記突出位置に位置させる場合には、前記基台の棚前後方向前端部が前記物品収納棚の最下段の収納部の下方に存在する空間に進入する状態となるように構成されている点にある。
すなわち、物品搬送装置は、棚横幅方向での移動体の移動、物品支持体の昇降、棚前後方向での昇降案内マストの移動により、収納部との間で物品を移載することになる。これ
により、物品支持体は、物品の移載のために、棚前後方向での昇降案内マストの移動によって棚前後方向に移動することになるので、物品支持体には、物品を支持するための支持構成だけを備えればよく、棚前後方向でコンパクト化を図ることができる。そして、物品支持体を棚前後方向でコンパクトにすることによって、物品支持体に対して下方側へ作用するモーメントを小さくできる。よって、物品支持体が下方側に移動するために、例えば、昇降案内マストにて昇降体を案内支持する部分の強度を強固にする等の構成が必要ではなく、構成の複雑化を招くことを防止できる。
以上のことから、構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースを小さくすることができる物品収納設備を実現できる。
また、第1特徴構成によれば、移動体を棚横幅方向に移動させるために、単に、床部側に棚横幅移動レールを配設すればよく、構成の簡素化を図ることができる。しかも、昇降案内マストは、その移動体に備えられた棚前後移動レールに沿って移動自在に設けるだけでよく、昇降案内マストを棚前後方向に移動自在に設けるための構成も簡素なものとすることができる。
本発明にかかる物品収納設備の第2特徴構成は、前記複数の収納部は、前記棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、前記物品搬送装置は、前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記棚前後方向で各収納部に対向する対向位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、その対向位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により各収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている点にある。
すなわち、物品収納棚としては、単に、棚前後方向の同一位置で収納部を上下方向及び左右方向に並ぶように配設するだけでよく、構成の簡素化を図ることができる。物品搬送装置は、棚横幅方向での移動体の移動により各収納部における対向位置に物品支持体を移動させることができ、且つ、その対向位置に物品支持体を位置させた状態で、棚前後方向で昇降案内マストを移動させるだけで、物品支持体を各収納部における突出位置に移動させて物品を移載することができる。これにより、物品搬送装置としての動きを単純にしながら、各収納部との間で物品を移載することができる。
本発明にかかる物品収納設備の第3特徴構成は、前記複数の収納部のうち、前記棚横幅方向の端部側に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された端部側収納部は、前記棚前後方向において、前記棚横幅方向の中央部に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された中央収納部よりも前記昇降案内マストに接近する側に位置するように配設され、前記物品搬送装置は、前記棚前後方向で前記中央収納部に対向するように前記物品支持体を位置させた状態で、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記中央収納部における前記突出位置及び前記棚前後方向で前記端部側収納部と同一位置となる端部側同一位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、前記端部側同一位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記端部側収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている点にある。
すなわち、中央収納部と端部側収納部とは、棚前後方向において異なる位置に配設させ、且つ、端部側収納部は、中央収納部と隣接する状態で昇降案内マストに接近する側に配設することができる。これにより、棚横幅方向において中央収納部の両側を空きのスペースとすることができる。よって、その空きのスペースを他の用途に活用することができる。
例えば、天井搬送装置を設けた物品搬送設備では、天井搬送装置を移動させる移動経路が湾曲するように配設された箇所において、その空きのスペースを利用して、水平方向において移動経路と重複させないようにしながら、物品収納設備を移動経路に極力近づけた状態で配設することができる。よって、移動経路が湾曲するように配設された箇所において、物品収納設備を設置するために必要なスペースを小さくすることができる。その結果、物品収納設備の省スペース化によって生じるスペースを他の装置の設置スペースとして活用することができる。
物品搬送装置は、棚前後方向で中央収納部に対向するように物品支持体を位置させた状態で、棚前後方向での昇降案内マストの移動により中央収納部における突出位置に物品支持体を移動させて、中央収納部との間で物品を移載することができる。そして、物品搬送装置は、例えば、棚前後方向で中央収納部に対向するように物品支持体を位置させた状態で中央収納部における引退位置に物品支持体を位置させることにより、端部側同一位置に物品支持体を位置させる。よって、物品搬送装置は、端部側同一位置に物品支持体を位置させた状態において、棚横幅方向で移動体を移動させることにより、端部側収納部における突出位置に物品支持体を移動させて、端部側収納部との間で物品を移載することができる。その結果、物品搬送装置は、中央収納部及び端部側収納部の両方に対して物品を適正に移載することができる。
本発明にかかる物品収納設備の第特徴構成は、前記複数の収納部のうち、最上部に配置された収納部の一部は、天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成され、前記物品搬送装置は、前記天井搬送装置から前記搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送自在で、且つ、前記搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を前記搬出入用の収納部に搬送自在に構成されている点にある。
すなわち、天井搬送装置を備えた物品搬送設備において、天井搬送装置にて搬送される物品を一時保管するために物品収納設備を用いるに当たり、最上部の収納部の一部を天井搬送装置との間で物品を移載するための搬出入用の収納部とすることができ、物品収納棚とは別に搬出入部を設けなくてよく、構成の簡素化を図ることができる。
そして、物品搬送装置は、搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送したり、或いは、搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を搬出入用の収納部に搬送することができ、搬出入用の収納部と天井搬送装置との間での物品の移載を的確に行うことができながら、天井搬送装置にて搬送される物品を保管することができる。
本発明に係る物品収納設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
〔第1実施形態〕
この物品収納設備は、図1〜図3に示すように、その周囲が囲まれた箱状に構成されており、上下方向及び左右方向に収納部1を複数備えた物品収納棚2と、その物品収納棚2における各収納部1に物品3を搬送自在な物品搬送装置4とが設けられている。ここで、物品3は、例えば、複数の半導体基板を収納した容器にて構成されている。
以下、図1〜図7に基づいて説明する。
物品収納棚2は、棚前後方向(図3中左右方向)に間隔を隔てて設けられた前後一対の側部フレーム5と、前後一対の側部フレーム5のうち後部側の側部フレーム5a同士を連結する連結フレーム6と、連結フレーム6から棚前後方向の前方側に延びるように設けられた載置支持部7とを備えている。連結フレーム6は、上下方向に一定間隔を隔てて複数(例えば7つ)設けられており、載置支持部7は、水平方向に並ぶように複数(例えば3つ)設けられている。載置支持部7は、平面視でコ字状に形成されており、棚横幅方向(図3中上下方向)の中央部が中空空間となるように構成されている。
収納部1は、載置支持部7にて物品3を載置支持する状態で物品3を収納するように構成されている。複数の収納部1は、棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設されている。載置支持部7には、3つの位置決めピン8が設けられており、位置決めピン8を物品3の底部に備えられた孔部に嵌合させることにより、収納部1が物品3を位置決めした状態で収納するように構成されている。
複数の収納部1のうち、最上部に配置された収納部1の一部は、天井側の移動レール9(移動経路に相当する)に沿って移動自在な天井搬送装置10が物品3を移載自在な搬出入用の収納部1aとして構成されている。つまり、物品収納棚2の最上部の収納部1aは、その上部を遮蔽する部材等が設けられておらず、その上部が開放されている。天井搬送装置10は、物品3を吊り下げ状態で把持自在な把持部11を備えている。そして、天井搬送装置10は、移動レール9において搬出入用の収納部1aに対応する停止箇所(搬出入用の収納部1aの上部に相当する箇所)に停止した状態において、把持部11を昇降させることにより搬出入用の収納部1aとの間で物品3を移載するように構成されている。これにより、この物品収納設備は、天井搬送装置10にて搬送される物品3を物品収納棚2にて一時保管するように構成されている。
物品搬送装置4は、物品収納棚2の棚横幅方向に移動自在な移動体12と、その移動体12に対して物品収納棚2の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト13と、棚前後方向での昇降案内マスト13の移動により収納部1に対する物品移載用の突出位置(図2参照)と収納部1から引退する引退位置(図1参照)とに移動自在で且つ昇降案内マスト13にて昇降自在に案内支持された物品支持体14とから構成されている。
移動体12は、平面視において棚横幅方向に短く且つ棚前後方向に長い矩形状に形成されており(図3、図5及び図6参照)、床部側に設けられた棚横幅方向に沿う棚横幅移動レール15に沿って移動自在に構成されている。棚横幅移動レール15は、棚前後方向において移動体12の物品収納棚2に接近する部分を棚横幅方向に移動自在に支持するように構成されている。また、棚前後方向において移動体12の物品収納棚2から離れる側の端部には、水平軸心周りで回転自在な移動用ガイドローラ16が設けられ、この移動用ガイドローラ16を案内する移動案内部17が棚横幅方向に沿って設けられている。
図4及び図7に示すように、移動用ガイドローラ16は、移動案内部17の上面部に当接する第1移動用ガイドローラ16aと、移動案内部17の側面部に当接する第2移動用ガイドローラ16bと、移動案内部17の下面部に当接する第3移動用ガイドローラ16bの3種類が設けられている。これにより、移動案内部17を移動用ガイドローラ16にて上下方向で挟み込み、且つ、移動案内部17の側面部と移動用ガイドローラ16との当接及び棚横幅移動レール15による案内によって、上下方向及び棚前後方向での移動を規制しながら、移動体12を棚横幅方向に移動させることができる。
移動体12を棚横幅方向に移動させるための移動体駆動手段18が物品収納棚2の下部空間に設けられている。図4及び図5に示すように、移動体駆動手段18は、棚横幅方向の一端部に配設された移動体駆動回転体19と棚横幅方向の他端部に配設された移動体従動回転体20とに亘って巻回された無端状の移動体駆動用ベルト21と、移動体駆動回転体19を回転駆動させる移動体駆動モータ22とから構成されている。移動体12は、棚前後方向の物品収納棚2に接近する側の端部が移動体連結部23にて移動体駆動用ベルト21に連結されている。移動体駆動手段18は、移動体駆動モータ22にて移動体駆動回転体19を回転駆動させて移動体駆動用ベルト21を移動操作させることにより、移動体12を棚横幅方向に移動させるように構成されている。
昇降案内マスト13は、棚横幅方向において移動体12の全長に亘る矩形状に形成された基台24上に立設されており、基台24は、移動体12に備えられた棚前後方向に沿う棚前後移動レール25にて棚前後方向に移動自在に支持されている。棚前後移動レール25は、棚横幅方向に間隔を隔てて一対設けられ、棚横幅方向の基台24の一端部及び他端部の夫々を移動自在に支持するように構成されている。
昇降案内マスト13を棚前後方向に移動させるために昇降案内マスト駆動手段26が設けられている。図4及び図6に示すように、昇降案内マスト駆動手段26は、棚前後方向に沿って移動体12に配設されたラック部27、そのラック部27に係合する状態で回転自在なピニオン28、ピニオン28を回転駆動させる昇降案内マスト駆動モータ29とから構成されている。昇降案内マスト駆動手段26は、昇降案内マスト駆動モータ29にてピニオン28を回転駆動させることにより、昇降案内マスト13を棚前後方向に移動させるように構成されている。
物品支持体14は、昇降案内マスト13にて昇降自在に案内される案内部30と、その案内部30から水平方向に延びるように設けられて物品3を載置支持する板状の支持部31とから構成されている。物品支持体14は、棚前後方向での昇降案内マスト13の移動によって棚前後方向に移動するので、支持部31としては、棚前後方向において物品3を載置支持できるだけの長さを有していればよく、支持部31の長さを極力短くすることができる。よって、棚前後方向での物品支持体14の長さを短くでき、棚前後方向において物品収納設備のコンパクト化を図ることができる。
案内部30は、昇降案内マスト13のガイド部32に当接して案内される水平軸心周りで回転自在な昇降ガイドローラ33が設けられている。図3及び図5に示すように、ガイド部32は、棚横幅方向に間隔を隔てて一対設けられ、一対のガイド部32の夫々に対して昇降ガイドローラ33が当接するように設けられている。昇降ガイドローラ33は、棚前後方向においてガイド部32を両側から挟み込む状態で設けられて棚前後方向での物品支持体14の移動を規制する第1昇降ガイドローラ33aと、棚横幅方向においてガイド部32に当接して棚横幅方向での物品支持体14の移動を規制する第2昇降ガイドローラ33bとの2種類から構成されている。支持部31は、突出位置において、収納部1における載置支持部7の中空空間を上下方向に通過可能となるように棚横幅方向に幅狭に構成されている。また、支持部31には、2つの位置決めピン34が設けられ、この位置決めピン34を物品3の底部に備えられた孔部に嵌合させることにより、支持部31は、物品3を位置決めした状態で載置支持するように構成されている。
物品支持体14を昇降させるために昇降駆動手段35が昇降案内マスト13に設けられている。図1、図2及び図4に示すように、昇降駆動手段35は、昇降案内マスト13の下端部に配設された昇降駆動回転体36と昇降案内マスト13の上端部に配設された昇降従動回転体37とに亘って巻回された無端状の昇降駆動用ベルト38と、昇降駆動回転体36を回転駆動させる昇降駆動モータ39とから構成されている。昇降駆動用ベルト38の途中部分に、物品支持体14における案内部30が連結されており、昇降駆動手段35は、昇降駆動モータ39にて昇降駆動回転体36を回転駆動させて昇降駆動用ベルト38を移動操作させることにより、物品支持体14を昇降させるように構成されている。
物品搬送装置4は、棚横幅方向での移動体12の移動により棚前後方向で各収納部1に対向する対向位置に物品支持体14を移動自在で、且つ、その対向位置に物品支持体14を位置させた状態で棚前後方向での昇降案内マスト13の移動により各収納部1における突出位置に物品支持体14を移動自在に構成されている。
図1及び図3に示すように、物品搬送装置4は、棚前後方向で移動体12の収納部1から離れる側の端部に昇降案内マスト13を位置させることにより、物品支持体14を引退位置に位置させるように構成されている。図3において棚横幅方向(図中上下方向)での矢印にて示すように、物品搬送装置4は、物品支持体14を引退位置に位置させた状態で移動体12を棚横幅方向に移動させることにより、物品支持体14と収納部1とが干渉することなく、物品支持体14を棚横幅方向に移動させることができる。これにより、物品搬送装置4は、物品支持体14を引退位置に位置させた状態で移動体12を棚横幅方向に移動させることにより、各収納部1に対向する対向位置に物品支持体14を移動自在に構成されている。図2及び図3に示すように、物品搬送装置4は、図3において棚前後方向(図中左右方向)での矢印にて示すように、ある収納部1に対する対向位置に物品支持体14を位置させた状態において棚前後方向で移動体12の収納部1に接近する側の端部に昇降案内マスト13を移動させることにより、その収納部1における突出位置に物品支持体14を移動自在に構成されている。
図示は省略するが、物品搬送装置4の作動を制御する制御装置が設けられており、この制御装置は、取り出し対象の収納部1に収納された物品3を取り出してその取り出した物品3を収納対象の収納部1に収納すべく、物品搬送装置4の作動を制御するように構成されている。
制御装置は、物品支持体14を引退位置に位置させた状態で取り出し対象の収納部1に対向する対向位置に物品支持体14を移動させるべく、移動体12を棚横幅方向に移動させ且つ昇降案内マスト13にて案内させて物品支持体14を昇降させるように移動体駆動手段18の作動及び昇降駆動手段35の作動を制御する。ここで、各収納部1に対応する対向位置については、制御装置が予め記憶している。また、図示は省略するが、棚横幅方向において物品支持体14がどこに位置するかを検出する棚横幅方向位置検出手段、及び、上下方向において物品支持体14がどこに位置するかを検出する上下位置検出手段を設けており、制御装置は、棚横幅方向位置検出手段の検出情報に基づいて、対向位置に対して棚横幅方向で同一位置に物品支持体14を移動させるように移動体駆動手段18の作動を制御し、且つ、上下位置検出手段の検出情報に基づいて、対向位置に対して上下方向で同一位置に物品支持体14を移動させるように昇降駆動手段35の作動を制御するように構成されている。ちなみに、棚横幅方向位置検出手段については、測距用レーザ光を目標物に向けて投光してその反射した光を受光することにより目標物までの距離を検出する測距センサ等を適応することができる。
制御装置は、取り出し対象の収納部1に対向する対向位置に物品支持体14を位置させた状態において、棚前後方向で移動体12の収納部1に接近する側の端部に昇降案内マスト13を移動させるように昇降案内マスト駆動手段26の作動を制御する。これにより、収納部1における載置支持部7の中空空間に物品支持体14の支持部31を挿入させて物品支持体14を突出位置に位置させる。そして、制御装置は、昇降案内マスト13にて案内して物品支持体14を設定距離だけ上昇させるように昇降駆動手段35の作動を制御する。よって、物品支持体14の支持部31にて物品3を載置支持する状態で収納部1から物品3を掬い取るようにしている。その後、制御装置は、棚前後方向で移動体12の収納部1から離れる側の端部に昇降案内マスト13を移動させるように昇降案内マスト駆動手段26の作動を制御する。
制御装置は、物品3を載置支持した物品支持体14を引退位置に位置させた状態で収納対象の収納部1に対向する対向位置に物品支持体14を移動させるべく、移動体12を棚横幅方向に移動させ且つ昇降案内マスト13にて案内させて物品支持体14を昇降させるように移動体駆動手段18の作動及び昇降駆動手段35の作動を制御する。そして、収納部1から物品3を掬い取るときと同様に、制御装置は、棚前後方向で移動体12の収納部1に接近する側の端部に昇降案内マスト13を移動させるように昇降案内マスト駆動手段26の作動させたのち、収納部1から物品3を掬い取るときとは逆に、昇降案内マスト13にて案内して物品支持体14を設定距離だけ下降させるように昇降駆動手段35の作動を制御する。このようにして、物品支持体14から物品3を収納部1に卸すようにしている。
物品搬送装置4は、天井搬送装置10から搬出入用の収納部1aに移載された物品3を他の収納部1に搬送自在で、且つ、搬出入用の収納部1a以外の収納部1に収納されている物品3を搬出入用の収納部1aに搬送自在に構成されている。つまり、天井搬送装置10から搬出入用の収納部1aに物品3が搬入されると、制御装置は、その搬入用の収納部1aを物品3が収納されていない他の収納部1に収納すべく、物品搬送装置4の作動を制御するように構成されている。また、天井搬送装置3にて収納部1に収納されている物品3を搬送するときには、制御装置は、収納部1に収納されている物品3を搬出入用の収納部1aに収納させるべく、物品搬送装置4の作動を制御するように構成されている。
〔第2実施形態〕
この第2実施形態では、上記第1実施形態において、物品収納棚2における収納部1の配置構成が異なる別実施形態である。
図8に示すように、物品収納棚2において、複数の収納部40のうち、棚横幅方向(図中上下方向)の端部側に配設された端部側収納部41は、棚前後方向において、棚横幅方向の中央部に配設された中央収納部42よりも昇降案内マスト13に接近する側に位置するように配設されている。つまり、棚前後方向(図中左右方向)において、中央収納部42と端部側収納部41とは異なる位置に配設されており、且つ、端部側収納部41は、中央収納部42と隣接する状態で昇降案内マスト13に接近する側に配設されている。そして、中央収納部42に対しては、物品3の出し入れ方向を棚前後方向としており、端部側収納部41に対しては、物品3の出し入れ方向を棚横幅方向としている。
これにより、棚横幅方向において中央収納部4の両側を空きのスペースとすることができる。よって、天井搬送装置10を移動させる移動レール9が湾曲するように配設された箇所において、その空きのスペースを利用して、物品収納設備を移動レール9に極力近づけた状態で配設することができる。つまり、天井搬送装置3の移動を邪魔しないように、水平方向において移動レール9と重複しない箇所に物品収納設備を配設する場合に、湾曲する移動レール9に合わせて極力近づけて物品収納設備を配設することができる。よって、移動レール9が湾曲するように配設された箇所において、物品収納設備を設置するために必要なスペースを小さくすることができる。その結果、物品収納設備の省スペース化によって生じるスペースを物品処理部の設置スペースとして活用することができ、スペースの有効活用を図ることができる。
物品搬送装置4は、棚前後方向で中央収納部42に対向するように物品支持体14を位置させた状態で、棚前後方向での昇降案内マスト13の移動により中央収納部42における突出位置及び棚前後方向で端部側収納部41と同一位置となる端部側同一位置に物品支持体14を移動自在で、且つ、端部側同一位置に物品支持体14を位置させた状態で棚横幅方向での移動体12の移動により端部側収納部41における突出位置に物品支持体14を移動自在に構成されている。
物品支持体14の支持部31について、上記第1実施形態とは異なる構成としている。例えば、支持部31上に、棚横幅方向及び棚前後方向の両方において幅狭の載置台43を設け、その載置台43にて物品3を載置支持するように構成されている。そして、載置台43は、端部側収納部41及び中央収納部42に対する突出位置に物品支持体14を位置させて昇降させるときの設定距離に対応する高さを有している。
これにより、載置台43は、中央収納部42における載置支持部7の中空空間に対して棚前後方向に挿脱自在で、且つ、端部側収納部41における載置支持部7の中空空間に対して棚横幅方向に挿脱自在に構成されている。さらに、載置台43は、中央収納部42における載置支持部7の中空空間を上下方向に通過可能で、且つ、端部側収納部41における載置支持部7の中空空間を上下方向に通過可能に構成されている。
中央収納部42との間で物品3を移載するときには、制御装置が、図中左右方向での矢印にて示すように、物品支持体14を引退位置に位置させ且つ中央収納部42に対向する対向位置に物品支持体14を位置させた状態において、棚前後方向で移動体12の中央収納部42に接近する側の端部に昇降案内マスト13を移動させるように昇降案内マスト駆動手段26の作動を制御する。これにより、中央収納部42における載置支持部7の中空空間に物品支持体14の支持部31上に設けた載置台43を挿入させて、物品支持体14を中央収納部42における突出位置に位置させるようにしている。その後、制御装置が、昇降案内マスト13にて案内して物品支持体14を設定距離だけ上昇又は下降させるように昇降駆動手段35の作動を制御することにより、載置台43を中央収納部42における載置支持部7の中空空間を上下方向に通過させて、中央収納部42から物品3を掬い取る又は中央収納部42に物品3を卸すようにしている。
端部側収納部41との間で物品3を移載するときには、制御装置が、物品支持体14を引退位置に位置させ且つ中央収納部42に対向する対向位置に物品支持体14を位置させるように物品搬送装置4の作動を制御すると、棚前後方向で端部側収納部41と同一位置となる端部側同一位置に物品支持体14を位置させることになる。そして、制御装置が、図中上下方向での矢印にて示すように、端部側同一位置に物品支持体14を位置させた状態において、移動体12を棚横幅方向に移動させるように移動体駆動手段18の作動を制御する。これにより、端部側収納部41における載置支持部7の中空空間に物品支持体14の支持部31上に設けた載置台を挿入させて、物品支持体14を端部側収納部41における突出位置に位置させるようにしている。そして、制御装置が、昇降案内マスト13にて案内して物品支持体14を設定距離だけ上昇又は下降させるように昇降駆動手段35の作動を制御することにより、載置台43を端部側収納部41における載置支持部7の中空空間を上下方向に通過させて、端部側収納部41から物品3を掬い取る又は端部側収納部41に物品3を卸すようにしている。
〔別実施形態〕
)上記実施形態では、天井搬送装置10を設けた物品搬送設備に、本発明に係る物品収納設備を適応して、天井搬送装置10にて搬送する物品3を一時保管するようにしているが、天井搬送装置10を設けた物品搬送設備に限らず、その他各種の物品搬送設備に適応することができる。
)上記実施形態では、物品3を、半導体基板を収納した容器としているが、その他の物品とすることもできる。
物品収納設備の側面図 物品収納設備の側面図 物品収納設備の平面図 物品収納設備の棚横幅方向視での要部拡大図 物品収納設備の要部拡大平面図 物品収納設備の要部拡大平面図 物品収納設備の棚前後幅方向視での要部拡大図 第2実施形態における物品収納設備の平面図 従来の物品収納設備における昇降体及び物品支持体を示す図
符号の説明
1 収納部
1a 搬出入用の収納部
2 物品収納棚
3 物品
4 物品搬送装置
9 移動経路(移動レール)
10 天井搬送装置
12 移動体
13 昇降案内マスト
14 物品支持体
15 棚横幅移動レール
25 棚前後移動レール
41 端部側収納部
42 中央収納部

Claims (4)

  1. 上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、
    その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備であって、
    前記物品搬送装置は、前記物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、その移動体に対して前記物品収納棚の棚前後方向に移動自在な昇降案内マストと、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記収納部に対する物品移載用の突出位置と前記収納部から引退する引退位置とに移動自在で且つ前記昇降案内マストにて昇降自在に案内支持された物品支持体とから構成され
    前記移動体は、床部側に設けられた前記棚横幅方向に沿う棚横幅移動レールに沿って移動自在に構成され、かつ、前記棚前後方向に沿いかつ先端部が棚前後方向で前記物品収納棚の存在範囲内に位置する棚前後移動レールに沿って移動自在に当該棚前後移動レールに支持された基台を備え、
    前記昇降案内マストは、前記基台の棚前後方向後端部に立設され、
    前記物品搬送装置は、前記物品支持体を前記突出位置に位置させる場合には、前記基台の棚前後方向前端部が前記物品収納棚の最下段の収納部の下方に存在する空間に進入する状態となるように構成されている物品収納設備。
  2. 前記複数の収納部は、前記棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、
    前記物品搬送装置は、前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記棚前後方向で各収納部に対向する対向位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、その対向位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により各収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている請求項1に記載の物品収納設備。
  3. 前記複数の収納部のうち、前記棚横幅方向の端部側に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された端部側収納部は、前記棚前後方向において、前記棚横幅方向の中央部に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された中央収納部よりも前記昇降案内マストに接近する側に位置するように配設され、
    前記物品搬送装置は、前記棚前後方向で前記中央収納部に対向するように前記物品支持体を位置させた状態で、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記中央収納部における前記突出位置及び前記棚前後方向で前記端部側収納部と同一位置となる端部側同一位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、前記端部側同一位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記端部側収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている請求項1に記載の物品収納設備。
  4. 前記複数の収納部のうち、最上部に配置された収納部の一部は、天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成され、
    前記物品搬送装置は、前記天井搬送装置から前記搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送自在で、且つ、前記搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を前記搬出入用の収納部に搬送自在に構成されている請求項1〜3の何れか1項に記載の物品収納設備。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
CN104960820B (zh) * 2009-11-27 2017-05-31 株式会社大福 顶棚输送车
JP5800193B2 (ja) * 2011-11-07 2015-10-28 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP5545498B2 (ja) * 2011-12-21 2014-07-09 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品保管設備におけるメンテナンス方法
JP5733580B2 (ja) * 2012-11-13 2015-06-10 株式会社ダイフク 物品搬送装置及びそれを備えた物品収納設備
CN103318812B (zh) * 2013-07-09 2015-04-01 京东方科技集团股份有限公司 一种堆垛机用货叉组件及堆垛机、搬送卡匣的方法
CN105705440B (zh) * 2013-11-12 2019-09-10 株式会社大福 物品收纳设备
JP6275824B2 (ja) * 2014-03-20 2018-02-07 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
KR102206058B1 (ko) 2016-06-27 2021-01-20 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
US11684155B2 (en) 2017-01-27 2023-06-27 143046 Canada Inc. Pivotable overhead storage unit
EP3573497A4 (en) 2017-01-27 2020-09-09 143046 Canada Inc. HEIGHT STORAGE UNIT
FR3072371A1 (fr) * 2017-10-12 2019-04-19 Exotec Solutions Systeme de stockage et de transport d'objets entreposes dans des rayonnages d'un entrepot
CN107934329B (zh) * 2017-11-14 2020-08-11 深圳市招科智控科技有限公司 港口集装箱立体存放***及方法
CN108001923A (zh) * 2017-12-27 2018-05-08 广州大学 一种物品自动存放装置
CN110615221B (zh) * 2019-09-19 2024-06-07 基点生物科技(成都)有限公司 一种样本架存储输送方法及循环***
CA3156689A1 (en) 2019-10-04 2021-04-08 143046 Canada Inc. HIGH STORAGE UNIT WITH SWIVEL STORAGE CONTAINERS

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5516884Y2 (ja) * 1975-10-09 1980-04-19
JPS5250487A (en) 1975-10-20 1977-04-22 Nakayama Seikosho:Kk Automatic control system using phenomenal configuration produced objec t of control as control deviation signal
JPH0224594Y2 (ja) * 1985-01-18 1990-07-05
JPS6260703A (ja) * 1985-09-09 1987-03-17 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 移載装置の出入装置
JP3067528B2 (ja) 1994-06-20 2000-07-17 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP3669057B2 (ja) 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP3469789B2 (ja) * 1998-09-28 2003-11-25 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP3408162B2 (ja) * 1998-09-28 2003-05-19 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP2001171807A (ja) * 1999-12-22 2001-06-26 Tcm Corp サイドフォークリフトを用いた棚設備
JP2000159304A (ja) * 2000-01-01 2000-06-13 Advanced Display Inc カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
JP2003054705A (ja) * 2001-08-07 2003-02-26 Nippon Yusoki Co Ltd 自動倉庫システム
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2005272053A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JP4387283B2 (ja) * 2004-10-25 2009-12-16 富士通株式会社 収納棚用搬送機構およびその制御方法並びにその制御プログラム
US7670555B2 (en) * 2006-09-08 2010-03-02 Rex A. Hoover Parallel gripper for handling multiwell plate
JP4807579B2 (ja) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク 基板収納設備及び基板処理設備
JP4363432B2 (ja) * 2006-09-21 2009-11-11 村田機械株式会社 移載装置
CN101139032B (zh) * 2007-10-17 2011-05-11 郑卫星 转向架立体存储库

Also Published As

Publication number Publication date
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EP2277808A1 (en) 2011-01-26
US20110158776A1 (en) 2011-06-30
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