JP6619014B2 - 検査接触装置 - Google Patents
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- 複数の第1プローブホールが形成される第1ガイドプレートと、
前記第1ガイドプレートと平行に位置し、複数の第2プローブホールが形成される第2ガイドプレートと、
前記第1ガイドプレートと前記第2ガイドプレートとの間に位置し、長孔形状の複数の中間ホールが形成された中間プレートと、
前記第1プローブホール、前記第2プローブホールおよび前記中間ホールに挿入される複数のプローブであって、前記複数のプローブの最も太い部分の直径が前記第1プローブホールと前記第2プローブホールの内径よりも小さい、前記プローブと、を含んでなり、
前記中間プレートは、前記第1ガイドプレートおよび前記第2ガイドプレートに対して相対的に移動可能であり、
前記中間プレートの移動によって前記プローブの少なくとも一部分が曲げられ、前記曲げられた部分が前記中間ホールの内壁面に接し、
前記中間ホールの長軸方向は前記プローブの曲げ方向であり、
前記プローブが検査体の電極に接触して押し付けられるときに、前記プローブがさらに曲げられ、前記中間ホールの前記内壁面の反対側を前記曲げ方向に押し付けることで、前記中間プレートはさらに移動され、
複数の前記プローブの長さが均一ではないため、複数の前記プローブが前記曲げ方向にさらに曲げられた曲げ程度が不均一であっても、前記中間ホールが前記プローブの曲げ程度の不均一を長軸方向に吸収することを特徴とする、検査接触装置。 - 前記中間プレートは、前記プローブの前記曲げ方向と反対の方向には移動が制限されることを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記第1ガイドプレートに第1ポストホールが形成されるか、或いは前記第2ガイドプレートに第2ポストホールが形成され、
前記中間プレートの移動制限は、前記第1ポストホールまたは前記第2ポストホールに挿入されたポストピンによって行われることを特徴とする、請求項2に記載の検査接触装置。 - 前記中間プレートには前記ポストピンを挿入するための中間ポストホールが形成され、
前記中間ポストホールの内径は、前記中間プレートが移動できるように前記ポストピンの直径よりも大きく形成されることを特徴とする、請求項3に記載の検査接触装置。 - 前記中間プレートを前記第1ガイドプレートおよび前記第2ガイドプレートに対して相対的に移動させるための位置調整ピンをさらに含む請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記位置調整ピンは、
前記第1ガイドプレートに形成された第1位置調整ホールまたは前記第2ガイドプレートに形成された第2位置調整ホールに回転可能に挿入され、前記第1位置調整ホールまたは前記第2位置調整ホール内で回転させたとき、前記中間プレートを押して移動させることができるように偏心回転する部分が備えられることを特徴とする、請求項5に記載の検査接触装置。 - 前記第1位置調整ホールまたは前記第2位置調整ホールの内径が前記位置調整ピンの直径よりも大きく形成され、前記中間プレートを移動させた後に前記位置調整ピンを除去することが可能であることを特徴とする、請求項6に記載の検査接触装置。
- 前記位置調整ピンは、前記検査接触装置の側面に形成された位置調整ホールに挿入され、前記中間プレートを移動させることができるように構成されることを特徴とする、請求項5に記載の検査接触装置。
- 前記第1プローブホールのピッチと前記第2プローブホールのピッチとが互いに異なることを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記第1プローブホールの配列と前記第2プローブホールの配列とが互いに異なることを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記長孔形状の中間ホールの長軸方向が、隣接するプローブの中心同士を結んだ線に対して所定の角度傾いた方向であることを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記プローブのうち少なくとも一つのプローブに絶縁性被覆が形成されたことを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
- 前記プローブが自重によって重力方向に動かずに固定されていることを特徴とする、請求項1に記載の検査接触装置。
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