JP4955458B2 - プローブユニットおよび回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
E1<E2<I1≦I2<E3・・・式(1)
E1:プローブ本体20の外径
E2:中央部23の外径
E3:基端部22における大径部24の外径
I1:第1挿通孔31aの内径
I2:第2挿通孔32aの内径
E4<I3a≦I4<E3<I3b・・・式(2)
E3:基端部22における大径部24の外径
E4:接続端子13aの外径
I3a:端子挿通孔41aにおける第2支持部32側の内径
I3b:端子挿通孔41aにおける押さえ板42側の内径
I4:端子挿通孔42aの内径
2 プローブユニット
3 移動機構
4 基板支持部
5 検査部
6 制御部
11 プローブピン
12 本体部
13 電極板
13a 接続端子
13b ケーブル
14,33 連結部
20 プローブ本体
21 先端部
22 基端部
23 中央部
24 大径部
31 第1支持部
31a 第1挿通孔
32 第2支持部
32a 第2挿通孔
41 支持部
41a,42a 端子挿通孔
42 押さえ板
43 支持部材
100 回路基板
Claims (4)
- 第1挿通孔が形成された板状の第1支持部および当該第1支持部に対して対向配置されると共に第2挿通孔が形成された板状の第2支持部を有する本体部と、先端部および基端部が前記第1挿通孔および前記第2挿通孔にそれぞれ挿通された状態で前記本体部によって支持されるプローブピンとを備えたプローブユニットであって、
端子挿通孔が形成された板状の端子支持部を備え、
前記プローブピンは、前記第2挿通孔よりも大径の大径部を前記基端部の一部として有し、当該大径部は、弾性材料で形成されて前記第2支持部における前記第1支持部とは反対側の面から突出し、
前記端子支持部は、弾性材料で形成されて前記端子挿通孔内に配設されると共に当該端子挿通孔内に挿通されている接続端子に密着して当該接続端子をその移動を許容しつつ支持する支持部材を備え、前記第2支持部に対して対向配置されて前記プローブピンの前記基端部に前記接続端子の端面を接触させた状態において前記本体部に固定され、
前記端子挿通孔は、前記接続端子の挿通方向における少なくとも中央部において、前記本体部側から離間するほど徐々に大径となるように形成され、
前記支持部材は、その外径が前記端子挿通孔の内径と同径となるように形成されて前記本体部側から離間するほど徐々に大径となっているプローブユニット。 - 前記大径部は、前記基端部の一部にコーティング材料をコーティングすることによって形成されている請求項1記載のプローブユニット。
- 前記端子支持部は、前記端子挿通孔からの前記支持部材の離脱を規制する離脱規制部を備え、
前記支持部材は、前記端子挿通孔内における前記接続端子の移動に伴って前記内壁面から剥離可能に構成されている請求項1または2記載のプローブユニット。 - 請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットを移動させる移動機構と、前記プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて検査対象体に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
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