JP4963814B2 - ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振補正装置 - Google Patents

Description

本発明は、特定の平面上を自由に移動できるステージ装置、及びこのステージ装置を利用したカメラの手振補正装置に関する。

本出願人は、撮像素子を支持した電気基板（ステージ部材）を固定支持基板に対して移動自在、即ち、電気基板と平行で互いに直交するＸ方向とＹ方向への移動だけでなく、電気基板を含む平面（基準平面）内における回転を可能とし、撮像素子によってカメラの回転振れを含む手振れを補正できるようにした発明を完成し、既に特許出願している（特願２００４―１６９３７６号、特願２００４―１７２３１４号、特願２００４―２７７７３１号、特願２００４―２７７８７９号）。

この特許出願の発明では、電気基板にＸ方向駆動用の一対のＸ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用のＹ方向駆動用コイルとを設けている。そして、各コイルに流す電流の大きさを調整することにより、各コイルから電気基板にＸ方向の駆動力、Ｙ方向の駆動力、または回転力を付与し、これらの駆動力（回転力）によって撮像素子を手振れ（回転振れ）を補正する方向に移動させている。

上記特許出願の発明では、撮像素子の撮像面を常に光軸に対して直交させる必要がある。しかし、この特許出願の発明では、撮像面の光軸に対する傾斜角度及び光軸方向位置を簡単に調整でき、かつ、所望の傾斜角度及び光軸方向位置となったときに該傾斜角度及び光軸方向位置を簡単に保持できる手段が設けられていない。

本発明の目的は、ステージ部材が特定の平面上を自由に移動できる場合に、ステージ部材の傾斜角度と光軸方向位置の調整及び調整した傾斜角度と光軸方向位置の保持を簡単に行えるステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振補正装置を提供することにある。

本発明のステージ装置は、第１固定支持基板と、該第１固定支持基板と相対移動可能に対向するステージ部材と、上記ステージ部材の上記第１固定支持基板との対向面である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第１支持部材と、上記第１固定支持基板に設けられた、上記第１支持部材の上記第１固定支持基板とステージ部材を結ぶ方向の位置を調整するとともに所望の位置に位置決めした状態で保持する位置調整手段と、上記ステージ部材を上記第１支持部材に接触する方向に移動付勢する付勢手段と、を備えることを特徴としている。

本発明のステージ装置は、別の態様によれば、第１固定支持基板及び第２固定支持基板と、上記第１固定支持基板と第２固定支持基板の間に位置するステージ部材と、上記第１固定支持基板とステージ部材の対向面の一方である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第１支持部材と、上記第２固定支持基板とステージ部材の対向面の一方である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第２支持部材と、上記第１固定支持基板とステージ部材の対向面の他方側に設けられた、上記第１支持部材を上記一方側及び他方側に向けて移動させるとともに所望の位置に位置決めした状態で保持する位置調整手段と、上記第２固定支持基板とステージ部材の他方側に設けられた、上記第２支持部材を上記第２固定支持基板とステージ部材の上記一方側に向けて移動付勢する付勢調整手段と、を備えることを特徴としている。

上記第１支持部材がボールであるのが実際的である。

上記位置調整手段が、上記第１固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第１調整用雌ねじ孔と、上記第１調整用雌ねじ孔に螺合しかつ上記第１支持部材を支持する第１雄ねじ部材と、を備えるのが実際的である。

上記第２支持部材がボールであるのが実際的である。

上記付勢調整手段が、上記第２固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第２調整用雌ねじ孔と、該第２調整用雌ねじ孔に螺合する第２雄ねじ部材と、該第２雄ねじ部材に支持され、上記第２支持部材を上記第２固定支持基板とステージ部材の他方に向けて移動付勢する付勢手段と、を備えるのが実際的である。

上記付勢調整手段が、上記第２固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第２調整用雌ねじ孔と、該第２調整用雌ねじ孔に螺合された上記固定部材である第２雄ねじ部材と、上記第２固定支持基板とステージ部材の他方に支持され、上記第２支持部材を上記第２雄ねじ部材に向けて移動付勢し、第２支持部材を上記第２雄ねじ部材に接触させる付勢手段と、を備えていてもよい。

上記ステージ部材を上記第１固定支持基板に対して、該第１固定支持基板と平行な特定のＸ方向に駆動するＸ方向駆動手段と、上記ステージ部材を上記第１固定支持基板に対して、該第１固定支持基板と平行でＸ方向に対して直交するＹ方向に駆動するＹ方向駆動手段と、を備えるのが好ましい。

上記Ｘ方向駆動手段が、上記第１固定支持基板または第２固定支持基板と上記ステージ部材の一方に固定されたＸ用磁力発生装置と、他方に固定された、Ｘ用磁力発生装置から磁力を受けた状態で電流が流れることにより、Ｘ方向の駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、を備えるのが実際的である。
また、上記Ｙ方向駆動手段が、上記第１固定支持基板または第２固定支持基板と上記ステージ部材の一方に固定されたＹ用磁力発生装置と、他方に固定された、Ｙ用磁力発生装置から磁力を受けた状態で電流が流れることにより、Ｙ方向の駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、を備えるのが実際的である。

上記Ｘ用磁力発生装置とＹ用磁力発生装置の少なくとも一方が、磁石と、該磁石との間に磁気回路を構成するヨークと、を備えるのが好ましい。

上記ステージ装置を内蔵したカメラと、上記ステージ部材の前面に固定された撮像素子または補正レンズと、上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動をそれぞれ検出するＸ方向振動検出センサ及びＹ方向振動検出センサと、該Ｘ方向振動検出センサとＹ方向振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記撮像素子または補正レンズが手振れを補正するように、上記Ｘ方向駆動手段とＹ方向駆動手段を制御する制御手段と、を備えれば手振れ補正装置が得られる。

さらに、上記ステージ部材と平行な平面内における該ステージ部材の回転振れを検出する回転振れ検出センサを備え、上記制御手段が、該回転振れ検出センサが検出した回転振れ情報に基づいて、上記撮像素子または補正レンズが回転振れを補正するように上記Ｘ方向駆動手段とＹ方向駆動手段を制御すれば回転振れを補正できるようになる。

本発明によると、ステージ部材が光軸に特定の平面上を自由に移動できる場合に、ステージ部材の傾斜角度の調整及び第１固定支持基板とステージ部材を結ぶ方向の位置調整を簡単に行うことができ、さらに調整した傾斜角度及び位置の保持を簡単に行えるようになる。

以下、図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態について説明する。以下の説明では図２の矢線で示すように、図２のデジタルカメラ２０の左右方向をＸ方向、デジタルカメラ２０の上下方向をＹ方向と定義する。
図１に示すように、デジタルカメラ２０内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方には手振補正装置３０が配設されている。

次に手振補正装置３０の構造について、主に図２から図９を参照しながら詳しく説明する。
図２から図６に示すように手振補正装置３０は、正面視横長方形で金属等の軟磁性体からなる前側固定支持基板（第２固定支持基板）３１と、正面形状が前側固定支持基板３１と同一で金属等の軟磁性体からなる後側固定支持基板（第１固定支持基板）（Ｘ用磁力発生装置）（Ｙ用磁力発生装置）３２を備えている。前側固定支持基板３１の中央部には方形の取付孔３３が穿設されており、この取付孔３３には取付孔３３と同形状の透光性材料からなる赤外線カットフィルタ３４が嵌合固定されている。
図２に示すように、前側固定支持基板３１の３カ所には貫通孔が穿設されており、各貫通孔には取付ねじ３５が挿入されている。後述するようにこれら各取付ねじ３５は、デジタルカメラ２０のカメラボディ内面に形成された３つの雌ねじ孔（図示略）に螺合される。
前側固定支持基板３１と後側固定支持基板３２の対向面の四隅近傍同士は、前後方向を向く４本の円柱形状の支柱３６によって連結されており、前側固定支持基板３１と後側固定支持基板３２は互いに平行をなしている。

前側固定支持基板３１の後面４カ所には円柱形状をなす支持用突部３８が後ろ向きに突設されている。図７に示すように、支持用突部３８及び前側固定支持基板３１には両者を前後方向に貫通する貫通孔（付勢調整手段）３９が穿設されている。貫通孔３９の前端部は雌ねじ孔（付勢調整手段）（第２調整用雌ねじ孔）４０となっており、雌ねじ孔４０には調整部材（付勢調整手段）４１の雄ねじ溝４２が螺合している。調整部材４１の前端面にはドライバー（図示略）の先端部を挿入可能なドライバー挿入溝４３が形成されている。貫通孔３９内には圧縮コイルばね（付勢調整手段）（付勢手段）Ｓ１が配設されており、圧縮コイルばねＳ１の前端は調整部材４１の後端面に当接している。さらに圧縮コイルばねＳ１の後端は、貫通孔３９に回転可能かつ摺動可能に収納された金属製のボール（第２支持部材）４４に接触しており、ボール４４は圧縮コイルばねＳ１によって後方に付勢されている。
後側固定支持基板３２の各支持用突部３８と対向する位置には４つの雌ねじ孔（第１調整用雌ねじ孔）４７が穿設されている。各雌ねじ孔４７には調整部材（位置調整手段）（第１雄ねじ部材）４８の雄ねじ溝４９が螺合されている。調整部材４８の前後長は後側固定支持基板３２の板厚（前後長）より長い。調整部材４８の前面には凹部５１が凹設されており、この凹部５１には金属製のボール（第１支持部材）５２の後部が回転可能に収納されている。調整部材４８の後端面にはドライバー（図示略）の先端部を挿入可能なドライバー挿入溝５３が形成されている。

図２のＸ方向直線ＬＸは正面視において前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２の中心を通るＸ方向の直線であり、Ｙ方向直線ＬＹは正面視において前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２の中心を通るＹ方向の直線である。そして正面視において、Ｘ方向直線ＬＸから上側の２つのボール４４（及びボール５２）までのＹ方向距離と、Ｘ方向直線ＬＸから下側の２つのボール４４（及びボール５２）までのＹ方向距離が等しくなるように、各支持用突部３８及び各雌ねじ孔４７の位置が設定されている。さらに、正面視においてＹ方向直線ＬＹから左側の２つのボール４４（及びボール５２）までのＸ方向距離と、Ｙ方向直線ＬＹから右側の２つのボール４４（及びボール５２）までのＸ方向距離が等しくなるように、各支持用突部３８及び各雌ねじ孔４７の位置が設定されている。

前側固定支持基板３１の後面の左右両端部には、Ｓ極とＮ極がＸ方向に並ぶＸ用磁石（Ｘ用磁力発生装置）ＭＸがそれぞれ固定されている。これら左右のＸ用磁石ＭＸは互いにＸ方向に並んでおり、両者のＹ方向位置は一致している（左右のＸ用磁石ＭＸの中心がＸ方向直線ＬＸ上に位置している）。そして、左右のＸ用磁石ＭＸと後側固定支持基板３２の対向部の間にＸ用磁気回路が形成されている。即ち、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２はヨークとして機能している。
一方、前側固定支持基板３１の後面の下端部には、Ｓ極とＮ極がＹ方向に並ぶ一対のＹ用磁石（Ｙ用磁力発生装置）ＭＹが固定されている。これら左右のＹ用磁石ＭＹは互いにＸ方向に並んでおり、両者のＹ方向位置は一致している（左右のＹ用磁石ＭＹの中心がＸ方向直線ＬＸと平行な直線（図示略）上に位置している）。そして、図４から図６に示すように、左右のＹ用磁石ＭＹと後側固定支持基板３２の対向部の間にＹ用磁気回路が形成されている。即ち、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２はヨークとして機能している。

平板状の電気基板（ステージ部材）６０の後面には、正面形状が電気基板６０と同一の補強板（ステージ部材）６１が固着され、電気基板６０と補強板６１が一体化している。図３から図７に示すように、電気基板６０の前面の４カ所には４つのボール４４が回転自在に接触しており、かつ、補強板６１の後面の４カ所には４つのボール５２が回転自在に接触している。即ち、電気基板６０及び補強板６１は４つのボール４４と４つのボール５２によって前後方向から挟持されている。
従って電気基板６０及び補強板６１は、図２に示す初期位置から、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対してＸ方向とＹ方向に直線的に相対移動できるだけでなく、Ｘ方向及びＹ方向と平行な（光軸Ｏに直交する）ＸＹ平面上を回転可能である。さらに、電気基板６０と前側固定支持基板３１の間には、図示を省略した移動範囲規制手段が設けられている。この移動範囲規制手段の働きによって、電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１に対する相対移動可能な範囲は一定の範囲に制限されている。

電気基板６０の前面中央部には、ＣＣＤ（撮像素子）６５が固着されている。図２に示すようにＣＣＤ６５は正面視で長方形をなし、かつ、図２において（電気基板６０が初期位置にあるとき）Ｘ方向と平行な上下一対のＸ方向側辺６５Ｘと、図２において（電気基板６０が初期位置にあるとき）Ｙ方向と平行な左右一対のＹ方向側辺６５Ｙとを具備している。電気基板６０の前面には、ＣＣＤ６５を囲むＣＣＤホルダ６７が密閉状態（ゴミの進入を防ぐ程度の状態）で固着されている。ＣＣＤホルダ６７の前壁には窓孔６８が穿設されている。そして、ＣＣＤホルダ６７の前壁とＣＣＤ６５の間には光学ローパスフィルタ６９が嵌合固定されており、光学ローパスフィルタ６９とＣＣＤホルダ６７の前壁の間は気密状態が保たれている。そして、ＣＣＤ６５の撮像面６６は、光学ローパスフィルタ６９、窓孔６８、及び赤外線カットフィルタ３４と常に前後方向に対向する。ＣＣＤ６５の撮像面６６はレンズＬ１〜Ｌ３、赤外線カットフィルタ３４及び光学ローパスフィルタ６９を透過した像が結像する結像面である。さらに、電気基板６０が初期位置にあるとき（図２の状態のとき）、ＣＣＤ６５の撮像面６６の中心が光軸Ｏ上に位置する。

ＣＣＤ６５の撮像面６６は光軸Ｏに対して常に直交しなければならない。このため、デジタルカメラ２０の完成前に手振補正装置３０をカメラボディに固定する前に、ドライバーを使用して電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１または後側固定支持基板３２に対する傾斜角度及び光軸方向位置を調整する。即ち、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する電気基板６０及び補強板６１の傾斜角度及び光軸方向位置を調整する。
具体的には、先ず、調整部材４８のドライバー挿入溝５３にドライバーを挿入して調整部材４８を回転させ、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する電気基板６０及び補強板６１の傾斜角度及び光軸方向位置を調整する。次に調整部材４１のドライバー挿入溝４３にドライバーを挿入して調整部材４１を回転させ、電気基板６０の前面の４カ所と各ボール４４との接触圧力が等しくなるように付勢力を調整する。これにより電気基板６０及び補強板６１が円滑に移動可能となる。このドライバーによる傾斜角度及び光軸方向位置の調整作業は、ディスプレイ（図示略）に表示された、撮像面６６によって撮像された画像を見ながら行い、ディスプレイに表示された画像が所望の状態となるように行う。
調整作業が終わった手振補正装置３０は、前側固定支持基板３１をカメラボディ内面に形成された基準取付面（図示略）に当接させ、この状態で各取付ねじ３５をカメラボディ内面の上述の３つの雌ねじ孔に螺合することによりカメラボディ内面に固定される。このようにすると、ＣＣＤ６５の撮像面６６が光軸Ｏに対して直交する。

電気基板６０の左右２カ所及び下端部には３つの舌片７１、舌片７２、舌片７３が突設されている。
図２に示すように、舌片７１と舌片７２は左右の上記Ｘ用磁気回路とそれぞれ対応して位置している（左右のＸ用磁石ＭＸとそれぞれ前後方向に対向している）。舌片７１と舌片７２の前面には同一仕様のＸ方向駆動用コイルＣＸがプリントにより形成されている。Ｘ方向駆動用コイルＣＸはＸＹ平面と平行な平面コイルであり、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士はＸ方向側辺６５Ｘと平行な方向に並んでいる（図２においてＸ方向に並んでいる）。別言すると、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士のＹ方向側辺６５Ｙと平行な方向の位置（図２においてはＹ方向の位置）は一致している。図２及び図８に示すように、Ｘ方向駆動用コイルＣＸは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＸ１と、左辺ＣＸ２と、上辺ＣＸ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。右辺ＣＸ１及び左辺ＣＸ２はＹ方向側辺６５Ｙと平行であり、上辺ＣＸ３及び下辺ＣＸ４はＸ方向側辺６５Ｘと平行である。図２及び図８では便宜上、Ｘ方向駆動用コイルＣＸを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。そして、このＸ方向駆動用コイルＣＸと、上記Ｘ用磁気回路（前側固定支持基板３１、後側固定支持基板３２、Ｘ用磁石ＭＸ）によってＸ方向駆動手段が構成されている。

上記移動範囲規制手段の働きによって、Ｘ方向駆動用コイルＣＸの右辺ＣＸ１とＸ用磁石ＭＸのＮ極は常にＺ方向（図１の矢印Ｚの方向。即ち、光軸Ｏ方向）に重合し、かつ、左辺ＣＸ２とＸ用磁石ＭＸのＳ極は常にＺ方向に重合する。
舌片７１の前面には、右側のＸ方向駆動用コイルＣＸの近傍に位置し、このＸ方向駆動用コイルＣＸのＸ方向の位置変化を検出するホール素子ＳＸが固定されている（左側のＸ方向駆動用コイルＣＸのＸ方向の位置変化は右側のものと同じなのでホール素子ＳＸによって同時に検出される）。ホール素子ＳＸは、Ｘ用磁気回路に生じた磁束を利用して、Ｘ方向駆動用コイルＣＸのＸ方向の位置変化を検出する。

例えば、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに図８に矢線で示す方向の電流が流れると、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２には図２及び図８に矢印ＦＸ１で示すＦＸ１方向の力が生じる。このＦＸ１方向及び図８に矢印ＦＸ２で示すＦＸ２方向は共に右辺ＣＸ１及び左辺ＣＸ２に対して直交する方向（Ｘ方向側辺６５Ｘと平行な方向）であり、共にＸ方向駆動用コイルＣＸを基準とする方向である。電気基板６０及び補強板６１が図２に示す初期位置にあるとき、ＦＸ１方向及びＦＸ２方向はＸ方向と一致するが、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対して回転すると、ＦＸ１方向及びＦＸ２方向はＸ方向と一致しなくなる。そしてＸ方向駆動用コイルＣＸにＦＸ１方向の力が生じると、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＸ１方向に直線的に移動する。この際、上辺ＣＸ３と下辺ＣＸ４にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので電気基板６０及び補強板６１には力を及ぼさない。
一方、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに図８の矢線と逆向きの電流を流すと、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２には矢印ＦＸ２方向の直線的な力が生じ、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＸ２方向に直線的に移動する。
このようにＸ方向駆動用コイルＣＸへ流す電流の向きを調整することにより、右辺ＣＸ１がＮ極とＺ方向に重合し左辺ＣＸ２がＳ極とＺ方向に重合する範囲内で、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＸ１方向またはＦＸ２方向に直線移動する。
さらに、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへの給電を停止すると、その瞬間にＦＸ１方向またはＦＸ２方向の動力が失われ、電気基板６０及び補強板６１は移動を停止する。また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへ給電する電流を大きくすれば、ＦＸ１方向とＦＸ２方向の力は大きくなり、電流を小さくすればＦＸ１方向とＦＸ２方向の力は小さくなる。

図４から図６に示すように、舌片７３は左右のＹ用磁気回路と前後方向に対向する位置に位置している。舌片７３の前面には互いに同一仕様のＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢがプリントにより形成されている。Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは共にＸＹ平面と平行な平面コイルであり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは下側のＸ方向側辺６５Ｘに沿って並んでいる（図２においてはＸ方向に並んでいる）。別言すると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢのＹ方向側辺６５Ｙと平行な方向の位置（図２におけるＹ方向位置）は一致している。図２及び図９に示すように、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＹ１と、左辺ＣＹ２と、上辺ＣＹ３と、下辺ＣＹ４とからなっている。右辺ＣＹ１及び左辺ＣＹ２はＹ方向側辺６５Ｙと平行であり、上辺ＣＹ３及び下辺ＣＹ４はＸ方向側辺６５Ｘと平行である。図２及び図９では便宜上、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。そして、このＹ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢと、上記Ｙ用磁気回路（前側固定支持基板３１、後側固定支持基板３２、Ｙ用磁石ＭＹ）によってＹ方向駆動手段が構成されている。
さらに、上記移動範囲規制手段の働きによって、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢの上辺ＣＹ３とＹ用磁石ＭＹのＮ極は常にＺ方向に重合し、かつ、下辺ＣＹ４とＹ用磁石ＭＹのＳ極は常にＺ方向に重合する。

舌片７３の前面には、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡの左側近傍に位置するホール素子（Ｙ方向位置変化検出センサ）ＳＹＡと、Ｙ方向駆動用コイル（Ｙ方向位置変化検出センサ）ＣＹＢの右側近傍に位置するホール素子ＳＹＢが固定されている。ホール素子ＳＹＡは、左側のＹ用磁石ＭＹと後側固定支持基板３２の間に生じた磁束を利用して、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡのＹ方向の位置変化を検出する。一方、ホール素子ＳＹＢは、右側のＹ用磁石ＭＹと後側固定支持基板３２の間に生じた磁束を利用して、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＢのＹ方向の位置変化を検出する。

例えば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢに図９に矢線で示す方向の同じ大きさの電流が流れると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢの上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４には図２及び図９に矢印ＦＹ１で示すＦＹ１方向の直線的な力が生じる。このＦＹ１方向及び図９に矢印ＦＹ２で示すＦＹ２方向は、共に上辺ＣＹ３及び下辺ＣＹ４に対して直交する方向であり、共にＹ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢを基準とする方向である。電気基板６０及び補強板６１が図２に示す初期位置にあるとき、ＦＹ１方向及びＦＹ２方向はＹ方向と一致するが、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対して相対回転すると、ＦＹ１方向及びＦＹ２方向はＹ方向と一致しなくなる。Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流れる電流の大きさを等しくすれば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢに生じるＦＹ１方向の力は同じ大きさとなるので、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＹ１方向に直線的に相対移動する。この際、右辺ＣＹ１と左辺ＣＹ２にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、電気基板６０及び補強板６１には力を及ぼさない。
一方、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに図９の矢線と逆向きの同じ大きさの電流を流すと、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢの上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４には矢印ＦＹ２方向の同じ大きさの直線的な力が生じ、この力により、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＹ２方向に直線的に移動する。
このようにＹ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢへ流す電流の向きを調整することにより、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対してＦＹ１方向またはＦＹ２方向に直線移動する。

さらに、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢへの給電を停止すると、その瞬間にＦＹ１方向とＦＹ２方向の動力が失われ、電気基板６０及び補強板６１は移動を停止する。また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢへ給電する電流を大きくすれば、ＦＹ１方向とＦＹ２方向の力は大きくなり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢへ給電する電流を小さくすれば、ＦＹ１方向とＦＹ２方向の力は小さくなる。

さらに、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流す電流の向きを互いに逆にすると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢの一方にはＦＹ１方向の力が生じ、他方にはＦＹ２方向の力が生じる。従って、電気基板６０及び補強板６１が前側固定支持基板３１に対して相対回転する（なお、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流す電流の大きさを調整することにより、直線移動と回転移動を同時に制御することも可能である）。

次に、このような構成の手振補正装置３０の動作について、図１０及び図１１の制御回路ブロック図を用いながら説明する。なお、上述したＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢは、カメラに内蔵された制御手段（図９及び図１０に示した積分回路８０、積分回路８１、積分回路８２、誤差増幅器８３、誤差増幅器８４、誤差増幅器８５、ＰＩＤ演算手段、ＰＷＭドライバを含む制御手段）に電気的に接続されている。
撮影者がデジタルカメラ２０を手に持った状態で手振れを起こすと、光軸Ｏの角度振れ及び回転振れ（ＸＹ平面内での回転振れ）が生じ、画像に揺れが生じる。手振れ補正（回転補正）は、この画像の揺れを打ち消すように行われる。
光軸Ｏの角度振れは、デジタルカメラ２０に内蔵されたＸ方向角速度センサ（光軸Ｏを中心とするＸ方向の角速度を検出するセンサ）ＧＳＸとＹ方向角速度センサ（光軸Ｏを中心とするＹ方向の角速度を検出するセンサ）ＧＳＹとで２方向（Ｘ方向とＹ方向）に分けて検出される。さらに、光軸Ｏ回りの回転振れは、デジタルカメラ２０に内蔵された回転方向角速度センサ（光軸Ｏ回りの角速度を検出するセンサ）ＲＧＳによって検出される。

最初にＸ方向及びＹ方向の手振れ補正動作について説明する。
デジタルカメラ２０によって撮影を行うと、各レンズＬ１〜Ｌ３を透過した光が、赤外線カットフィルタ３４と光学ローパスフィルタ６９を通ってＣＣＤ６５の撮像面６６に結像する。この際、デジタルカメラ２０の手振れ補正スイッチＳＷ（図１参照）をＯＮにして撮影を行ない、デジタルカメラ２０にＸ方向とＹ方向の手振れが生じると、Ｘ方向角速度センサＧＳＸの出力値とＹ方向角速度センサＧＳＹの出力値が積分回路（制御手段）８０と積分回路（制御手段）８１でそれぞれ積分され、Ｘ方向とＹ方向の角度振れ量に変換される。そして、積分回路８０の出力値（デジタルカメラ２０のＸ方向の振動量）とホール素子ＳＸの出力値（ＣＣＤ６５（Ｘ方向駆動用コイルＣＸ）のデジタルカメラ２０に対するＸ方向の相対移動量）が誤差増幅器（制御手段）８３で比較される。さらに誤差増幅器８３の出力値についてＰＩＤ演算が行われ、ＰＷＭドライバによって、積分回路８０とホール素子ＳＸの出力差に応じた電圧がＸ方向駆動用コイルＣＸに印加される。すると、この出力差が小さくなるようにＣＣＤ６５（電気基板６０及び補強板６１）がＦＸ１方向またはＦＸ２方向に駆動する。

同様に積分回路８１の出力値（デジタルカメラ２０のＹ方向の振動量）とホール素子ＳＹＡとホール素子ＳＹＢの出力値（Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢのデジタルカメラ２０に対するＹ方向の相対移動量）が誤差増幅器（制御手段）８４と誤差増幅器（制御手段）８５で比較される。そして、誤差増幅器８４、誤差増幅器８５の出力値についてそれぞれＰＩＤ演算が行われる。さらに、ＰＷＭドライバによって、積分回路８１とホール素子ＳＹＡの出力差に応じた電圧がＹ方向駆動用コイルＣＹＡに印加される。また、ＰＷＭドライバによって、積分回路８１とホール素子ＳＹＢの出力差に応じた電圧がＹ方向駆動用コイルＣＹＢに印加される。このときＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに印加される電圧の大きさと向きは一致している。従って、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに生じたＦＹ１方向またはＦＹ２方向の駆動力によって、ＣＣＤ６５（電気基板６０及び補強板６１）がデジタルカメラ２０に対して、上記出力差が小さくなるようにＦＹ１方向またはＦＹ２方向に相対駆動する。
このように、手振れによる光軸Ｏの角度振れ量に追従して、ＣＣＤ６５（電気基板６０及び補強板６１）がＦＸ１方向（またはＦＸ２方向）とＦＹ１方向（またはＦＹ２方向）に直線駆動すると、手振れによるＣＣＤ６５上の像振れが補正される。なお、ＣＣＤ６５のＦＸ１方向（またはＦＸ２方向）及びＦＹ１方向（またはＦＹ２方向）への直線移動中、ＣＣＤ６５の撮像面６６は常に光軸Ｏと直交する。

次に、回転振れ補正動作について主に図１１を参照しながら説明する。
補正スイッチＳＷをＯＮにした状態で撮影を行ない、デジタルカメラ２０に光軸Ｏ回りの回転振れ（像振れ）が生じると、回転方向角速度センサＲＧＳの出力を積分回路（制御手段）８２が積分しＸＹ平面上の回転振れ量に変換する。そして、積分回路８２の出力値（ＣＣＤ６５の回転振れ量）に応じて、誤差増幅器８４にはプラス信号が送られ、誤差増幅器８５にはマイナス信号が送られる。さらに、積分回路８２から誤差増幅器８４への出力値とホール素子ＳＹＡの出力値とが誤差増幅器８４によって比較され、かつ、積分回路８２から誤差増幅器８５への出力値とホール素子ＳＹＢの出力値とが誤差増幅器８５によって比較される。さらに、誤差増幅器８４の出力値についてＰＩＤ演算が行われ、ＰＷＭドライバが積分回路８２から誤差増幅器８４への出力とホール素子ＳＹＡの出力との出力差が小さくなるようにＹ方向駆動用コイルＣＹＡに電圧を印加する。一方、誤差増幅器８５の出力値についてもＰＩＤ演算が行われ、ＰＷＭドライバが積分回路８２から誤差増幅器８５への出力とホール素子ＳＹＢの出力との出力差が小さくなるようにＹ方向駆動用コイルＣＹＢに電圧を印加する。この際、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢの一方にはＦＹ１方向の駆動力が発生し、他方にはＦＹ２方向の駆動力が発生するので、ＣＣＤ６５（電気基板６０及び補強板６１）がデジタルカメラ２０に対して相対回転し、デジタルカメラ２０の回転振れが補正される。

以上説明した本実施形態によれば、ＣＣＤ６５を支持する電気基板６０及び補強板６１が、Ｘ方向及びＹ方向へ直線移動及び回転可能な手振補正装置３０において、電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する傾きを簡単に調整でき、かつ、簡単に所望の傾き状態に保持できる。従って、ユニットである手振補正装置３０内で電気基板６０及び補強板６１の傾斜角度及び光軸方向位置を調整した後に、手振補正装置３０をカメラボディの基準取付面に取り付けるだけで、ＣＣＤ６５の撮像面６６を光軸Ｏに対して簡単に直交させることが可能である。

電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する傾斜角度を調整するのではなく、手振補正装置３０全体（前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２）のカメラボディに対する傾きの調整作業を行って、ＣＣＤ６５の撮像面６６を光軸Ｏに対して直交させることも可能であるが、この場合は前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２の周縁部が前後方向へ移動するので、カメラボディ内には当該周縁部の最大移動量分の前後方向のスペースが必要となる。しかし、本実施形態のような電気基板６０及び補強板６１を前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対して傾ける調整方法によれば、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２より小寸の電気基板６０及び補強板６１が傾斜するので、電気基板６０及び補強板６１の周縁部の前後方向への最大移動量は前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２の前後方向への最大移動量に比べて小さくなる。従って、前側固定支持基板３１と後側固定支持基板３２の前後間隔を大きくとる必要がなく、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２を傾ける場合に比べて、カメラボディの前後寸法を短くすることが可能になる。

また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢが、Ｘ方向及びＹ方向と平行な平面状なので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢの巻き数を多くして大きな動力を得ようとすると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢはＦＸ１（ＦＸ２）方向とＦＹ１（ＦＹ２）方向に延びる。しかし、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くしても、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが光軸Ｏ方向には大きくならず、電気基板６０及び補強板６１が光軸Ｏ方向に大型化しないので、デジタルカメラ２０が光軸Ｏ方向に大型化することはない。

さらに、電気基板６０及び補強板６１の傾き調整手段は、上記構成のものに限られず、様々な変更が可能である。
図１２では、前側固定支持基板３１の後面の４カ所に支持用突部３８の代わりに、支持用突部３８より大径の支持用突部８７を突設している。支持用突部８７及び前側固定支持基板３１を前後方向に貫通する雌ねじ孔（付勢調整手段）（第２調整用雌ねじ孔）８８には、調整部材（付勢調整手段）（第２雄ねじ部材）８９の雄ねじ溝９０が螺合しており、支持用突部８７に対する調整部材８９の前後方向位置を調整可能である。調整部材８９にはばね収納部９１とドライバー挿入溝９２が設けてあり、圧縮コイルばね（付勢調整手段）Ｓ１の前端がばね収納部９１の底部に固定されている。その一部がばね収納部９１に回転可能かつ摺動可能に収納されたボール４４は圧縮コイルばねＳ１の後端によって常に電気基板６０側に付勢されている。図１２の調整部材４８の前端には、凹部５１の代わりに、球体の一部を切り取った形状の摺接突部（第１支持部材）９４が一体的に設けられ、その前端が補強板６１の後面に摺動可能に接触している。
このような構成の変形例では、ドライバーを使用して調整部材４８の雌ねじ孔４７への螺合量と、調整部材８９の雌ねじ孔８８への螺合量を調整することにより、電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する傾斜角度及び光軸方向位置を調整できる。

図１３では、前側固定支持基板３１の後面の４カ所に支持用突部３８の代わりに雌ねじ孔（第２調整用雌ねじ孔）９６を穿設し、各雌ねじ孔９６に調整部材（第２雄ねじ部材）９７（この調整部材９７は、特許請求の範囲では第１固定支持基板に含まれる）の雄ねじ溝９８を螺合している。調整部材９７の後端部には雌ねじ孔９６より大径の大径部９９が設けられており、大径部９９の後面は前側固定支持基板３１と平行な当接面１００となっている。調整部材９７の前端面にはドライバー挿入溝１０１が凹設されている。電気基板６０の前面の４カ所には、各調整部材９７に対応する４つの支持用突部１０３が前向きに突設されている。支持用突部１０３の前面にはばね収納部（付勢調整手段）１０４が凹設されている。ばね収納部１０４には圧縮コイルばねＳ１が収納され、圧縮コイルばねＳ１の後端がばね収納部１０４の底部に固着されている。さらに、その一部がばね収納部１０４内に回転可能かつ摺動可能に収納されているボール４４が、圧縮コイルばねＳ１の前端によって常に当接面１００側に付勢され、常に当接面１００に回転可能かつ摺動可能に接触している。この変形例の調整部材４８の前面は後側固定支持基板３２と平行な当接面１０５となっている。さらに、補強板６１の後面の４カ所には、各当接面１０５に摺動可能に接触する、球体の一部を切り取った形状の摺接突部１０７が突設され、その後端が当接面１０５に摺動可能に接触している。
このような構成の傾き調整手段では、ドライバーを使用して調整部材４８の雌ねじ孔４７への螺合量と、調整部材９７の雌ねじ孔９６への螺合量を調整することにより、電気基板６０及び補強板６１の前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対する傾きおよび光軸方向位置を調整できる。

以上、上記各実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれら各実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、球状の接触部材（ボール４４、ボール５２、摺接突部９４、摺接突部１０７）を当接平面（電気基板６０、補強板６１、当接面１００、当接面１０５）に接触させているが、球状以外の形状の接触部材をこれら当接平面に摺動可能に接触させてもよい。また、付勢手段として圧縮コイルばねＳ１以外のばね手段や、ゴム等を用いても良い。
また、上記実施形態は後側固定支持基板３２を第１固定支持基板とし、かつ前側固定支持基板３１を第２固定支持基板とした実施形態であるが、後側固定支持基板３２を第２固定支持基板とし、かつ前側固定支持基板３１を第１固定支持基板として実施してもよい。
さらに、ボール５２や摺接突部９４等の第１支持部材の数、及び第２支持部材（ボール４４）の数は４つに限定されず、３つ以上であれば良い。
また、雌ねじ孔４７、調整部材４８を電気基板６０及び補強板６１に設けて、ボール５２や摺接突部９４等の第１支持部材を後側固定支持基板３２の前面に接触させてもよい。さらに、雌ねじ孔４０、調整部材４１、雌ねじ孔８８、調整部材８９、及び圧縮コイルばねＳ１を電気基板６０及び補強板６１側に設けて、圧縮コイルばねＳ１に支持されたボール４４を前側固定支持基板３１の後面に接触させてもよい。さらに、電気基板６０及び補強板６１側に雌ねじ孔９６を穿設し、この雌ねじ孔９６に調整部材９７の雄ねじ溝９８を螺合し、圧縮コイルばねＳ１を前側固定支持基板３１で支持して、この圧縮コイルばねＳ１の付勢力によってボール４４を電気基板６０の前面に接触させてもよい。

さらに、複数のＸ方向駆動用コイルＣＸによって回転補正を行うことも可能である。この場合は、図１４に示すように、ＸＹ平面と平行な一対のＸ方向駆動用コイルＣＸＡ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＢ（構造はＸ方向駆動用コイルＣＸと同一）が共にＣＣＤ６５の右側または左側に位置するように（図１４では右側に配置している）、電気基板６０（舌片７１）の前面にプリントにより形成する。Ｘ方向駆動用コイルＣＸＡとＸ方向駆動用コイルＣＸＢは、ＣＣＤ６５（図１４では図示略）のＹ方向側辺６５Ｙと平行な方向に並んでいる。さらに電気基板６０（舌片７１）には、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＡの直ぐ上側（近傍）に位置する態様で、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＡのＸ方向の位置変化を検出するホール素子ＳＸＡを固定し、かつ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＢの直ぐ下側（近傍）に位置する態様で、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＢのＸ方向の位置変化を検出するホール素子ＳＸＢを固定している。

また、電気基板５０にＣＣＤ３を固定して、ＣＣＤ３をＸ方向及びＹ方向に移動させることにより手振れ補正を行っているが、例えば図１５に示すように、ＣＣＤ６５をレンズＬ３の後方に配設し、電気基板６０及び補強板６１に円形の取付孔６０ａを穿設して、この取付孔６０ａに光軸Ｏに対して直交する補正レンズＣＬを嵌合固定し、補正レンズＣＬを、レンズＬ１とレンズＬ２の間、またはレンズＬ２とレンズＬ３の間に配置させてもよい。このような構造として補正レンズＣＬをＸＹ平面と平行な方向に移動させても手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ３を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。

さらに、本実施形態では回転補正のためのＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＢ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＡ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸＢをそれぞれ２つとしたが、これらを３つ以上としてもよい。

また、図１１の制御回路ブロック図では、誤差増幅器８４にプラス信号を送り、誤差増幅器８５にマイナス信号を送っているが、誤差増幅器８４と誤差増幅器８５に同符号の信号を送り、かつ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに発生する駆動力の大きさに差を設けてもよい。このような態様で実施しても、電気基板６０及び補強板６１はＸＹ平面上を回転するので、回転振れを補正できる。
さらに、各実施形態ではＸ方向及びＹ方向の位置変化検出センサとしてホール素子を利用したが、ホール素子以外のセンサを利用することも可能である。

本発明の一実施形態である手振補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。 手振補正装置を、その後板を省略して示す背面図である。 図２のIII矢線方向に見た平面図である。 図２のIV−IV矢線に沿う断面図である。 図２のＶ−Ｖ矢線に沿う断面図である。 図２のVI−VI矢線に沿う断面図である。 電気基板及び補強板と支持手段の拡大縦断側面図である。 Ｘ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。 Ｙ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。 Ｘ方向の手振れ補正を行うための制御回路ブロック図である。 Ｙ方向の手振れ補正及び回転振れ補正を行うための制御回路ブロック図である。 調整手段の変形例を示すための図７と同様の縦断側面図である。 調整手段の別の変形例を示すための図７と同様の縦断側面図である。 Ｘ方向駆動用コイルの配置を変えた変形例の背面図である。 補正レンズを用いた変形例を一部を断面視して示す模式的な側面図である。

符号の説明

２０ デジタルカメラ（カメラ）
３０ 手振補正装置
３１ 前側固定支持基板（第１固定支持基板）（第２固定支持基板）
３２ 後側固定支持基板（第１固定支持基板）（第２固定支持基板）（Ｘ方向駆動手段）（Ｙ方向駆動手段）
３３ 取付孔
３４ 赤外線カットフィルタ
３５ 取付ねじ
３６ 支柱
３８ 支持用突部
３９ 貫通孔（付勢調整手段）
４０ 雌ねじ孔（第２調整用雌ねじ孔）
４１ 調整部材
４２ 雄ねじ溝
４３ ドライバー挿入溝
４４ ボール（第２支持部材）
４７ 雌ねじ孔（第１調整用雌ねじ孔）
４８ 調整部材（位置調整手段）（第１雄ねじ部材）
４９ 雄ねじ溝
５１ 凹部
５２ ボール（第１支持部材）
５３ ドライバー挿入溝
６０ 電気基板（ステージ部材）
６１ 補強板（ステージ部材）
６５ ＣＣＤ
６６ 撮像面
６５Ｘ Ｘ方向側辺
６５Ｙ Ｙ方向側辺
６７ ＣＣＤホルダ
６８ 窓孔
６９ 光学ローパスフィルタ
７１ ７２ ７３ 舌片
８０ ８１ ８２ 積分回路（制御手段）
８３ ８４ ８５ 誤差増幅器（制御手段）
８７ 支持用突部
８８ 雌ねじ孔（付勢調整手段）（第２調整用雌ねじ孔）
８９ 調整部材（第２雄ねじ部材）
９０ 雄ねじ溝
９１ ばね収納部
９２ ドライバー挿入溝
９４ 摺接突部（第２支持部材）
９６ 雌ねじ孔（第２調整用雌ねじ孔）
９７ 調整部材（第２雄ねじ部材）
９８ 雄ねじ溝
９９ 大径部
１００ 当接面
１０１ ドライバー挿入溝
１０３ 支持用突部
１０４ ばね収納部（付勢調整手段）
１０５ 当接面
１０７ 摺接突部
ＣＬ 補正レンズ
ＣＸ Ｘ方向駆動用コイル（Ｘ方向駆動手段）
ＣＸ１ 右辺
ＣＸ２ 左辺
ＣＸ３ 上辺
ＣＸ４ 下辺
ＣＹＡ ＣＹＢ Ｙ方向駆動用コイル（Ｙ方向駆動手段）
ＣＹ１ 右辺
ＣＹ２ 左辺
ＣＹ３ 上辺
ＣＹ４ 下辺
ＧＳＸ Ｘ方向角速度センサ（Ｘ方向振動検出センサ）
ＧＳＹ Ｙ方向角速度センサ（Ｙ方向振動検出センサ）
ＬＸ Ｘ方向直線
ＬＹ Ｙ方向直線
ＭＸ Ｘ用磁石（Ｘ方向駆動手段）
ＭＹ Ｙ用磁石（Ｙ方向駆動手段）
Ｏ 光軸
ＲＧＳ 回転方向角速度センサ（回転振れ検出センサ）
Ｓ１ 圧縮コイルばね（付勢手段）（付勢調整手段）
ＳＸ ホール素子
ＳＹＡ ＳＹＢ ホール素子（Ｙ方向位置変化検出センサ）

Claims (13)

1. 第１固定支持基板と、
   該第１固定支持基板と相対移動可能に対向するステージ部材と、
   上記ステージ部材の上記第１固定支持基板との対向面である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第１支持部材と、
   上記第１固定支持基板に設けられた、上記第１支持部材の上記第１固定支持基板とステージ部材を結ぶ方向の位置を調整するとともに所望の位置に位置決めした状態で保持する位置調整手段と、
   上記ステージ部材を上記第１支持部材に接触する方向に移動付勢する付勢手段と、を備えることを特徴とするステージ装置。
2. 第１固定支持基板及び第２固定支持基板と、
   上記第１固定支持基板と第２固定支持基板の間に位置するステージ部材と、
   上記第１固定支持基板とステージ部材の対向面の一方である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第１支持部材と、
   上記第２固定支持基板とステージ部材の対向面の一方である当接平面に摺動可能に接触する少なくとも３つの第２支持部材と、
   上記第１固定支持基板とステージ部材の対向面の他方側に設けられた、上記第１支持部材を上記一方側及び他方側に向けて移動させるとともに所望の位置に位置決めした状態で保持する位置調整手段と、
   上記第２固定支持基板とステージ部材の他方側に設けられた、上記第２支持部材を上記第２固定支持基板とステージ部材の上記一方側に向けて移動付勢する付勢調整手段と、を備えることを特徴とするステージ装置。
3. 請求項１または２記載のステージ装置において、
   上記第１支持部材がボールであるステージ装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項記載のステージ装置において、上記位置調整手段が、
   上記第１固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第１調整用雌ねじ孔と、
   上記第１調整用雌ねじ孔に螺合しかつ上記第１支持部材を支持する第１雄ねじ部材と、
   を備えるステージ装置。
5. 請求項２から４のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記第２支持部材がボールであるステージ装置。
6. 請求項２から５のいずれか１項記載のステージ装置において、上記付勢調整手段が、
   上記第２固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第２調整用雌ねじ孔と、
   該第２調整用雌ねじ孔に螺合する第２雄ねじ部材と、
   該第２雄ねじ部材に支持され、上記第２支持部材を上記第２固定支持基板とステージ部材の他方に向けて移動付勢する付勢手段と、を備えるステージ装置。
7. 請求項１から５のいずれか１項記載のステージ装置において、上記付勢調整手段が、
   上記第２固定支持基板とステージ部材の一方に形成された第２調整用雌ねじ孔と、
   該第２調整用雌ねじ孔に螺合された第２雄ねじ部材と、
   上記第２固定支持基板とステージ部材の他方に支持され、上記第２支持部材を上記第２雄ねじ部材に向けて移動付勢し、第２支持部材を上記第２雄ねじ部材に接触させる付勢手段と、を備えるステージ装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記ステージ部材を上記第１固定支持基板に対して、該第１固定支持基板と平行な特定のＸ方向に駆動するＸ方向駆動手段と、
   上記ステージ部材を上記第１固定支持基板に対して、該第１固定支持基板と平行でＸ方向に対して直交するＹ方向に駆動するＹ方向駆動手段と、を備えるステージ装置。
9. 請求項８記載のステージ装置において、
   上記Ｘ方向駆動手段が、上記第１固定支持基板または第２固定支持基板と上記ステージ部材の一方に固定されたＸ用磁力発生装置と、
   他方に固定された、Ｘ用磁力発生装置から磁力を受けた状態で電流が流れることにより、Ｘ方向の駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、を備えるステージ装置。
10. 請求項８または９記載のステージ装置において、
    上記Ｙ方向駆動手段が、上記第１固定支持基板または第２固定支持基板と上記ステージ部材の一方に固定されたＹ用磁力発生装置と、
    他方に固定された、Ｙ用磁力発生装置から磁力を受けた状態で電流が流れることにより、Ｙ方向の駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、を備えるステージ装置。
11. 請求項９または１０記載のステージ装置において、
    上記Ｘ用磁力発生装置とＹ用磁力発生装置の少なくとも一方が、磁石と、該磁石との間に磁気回路を構成するヨークと、を備えるステージ装置。
12. 請求項８から１１のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振補正装置であって、
    上記ステージ装置を内蔵したカメラと、
    上記ステージ部材の前面に固定された撮像素子または補正レンズと、
    上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動をそれぞれ検出するＸ方向振動検出センサ及びＹ方向振動検出センサと、
    該Ｘ方向振動検出センサとＹ方向振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記撮像素子または補正レンズが手振れを補正するように、上記Ｘ方向駆動手段とＹ方向駆動手段を制御する制御手段と、を備えるカメラの手振補正装置。
13. 請求項１２記載のステージ装置を利用したカメラの手振補正装置であって、
    上記ステージ部材と平行な平面内における該ステージ部材の回転振れを検出する回転振れ検出センサを備え、
    上記制御手段が、該回転振れ検出センサが検出した回転振れ情報に基づいて、上記撮像素子または補正レンズが回転振れを補正するように上記Ｘ方向駆動手段とＹ方向駆動手段を制御するカメラの手振補正装置。

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