JP4961191B2 - 保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法 - Google Patents
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- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 title claims description 142
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 title claims description 142
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 77
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 57
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 56
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 50
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 27
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 4
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 38
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 18
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 15
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 15
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 7
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 7
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 3
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 3
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 3
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000009415 formwork Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000004807 desolvation Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000004636 vulcanized rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
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- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
図1に示すように、保持パッド1は、100%モジュラス(2倍長に引っ張る時の張力)が20MPa以下のポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシート2を有している。ポリウレタンシート2は被研磨物を保持するための保持面Pを有しており、保持面Pは、平坦な表面を有しポリウレタンシート2より硬いフィルム状基材を加圧して密着させた密着体を熱処理することにより平坦化されている。保持面Pの背面側はポリウレタンシート2の厚さ(図1の縦方向の長さ)がほぼ一様となるようにバフ処理されている。
保持パッド1は、図2に示す各工程を経て製造される。まず、準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと略記する。)及び添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、100%モジュラスが20MPa以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂濃度が30重量%となるようにDMFに溶解させる。添加剤としては、発泡3の大きさや量(個数)を制御するため、カーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤及びポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液を得る。
図2に示すように、密着工程、巻取工程および加熱工程は、保持パッド1に用いられるポリウレタンシート2の研磨面Pを平坦化する表面平坦化工程を構成する。密着工程および巻取工程では、基材43から乾燥後のポリウレタンシートを剥離し、スキン層4の表面(保持面P)にフィルム状基材を加圧しながら連続的に密着させる。フィルム状基材には、表面粗さRa(粗さ曲線を測定し粗さ曲線の平均線を求め、平均線から粗さ曲線までの偏差の絶対値の平均値)が0.1〜0.5μmのフィルムを用いることが好ましい。表面粗さRaが小さいほどポリウレタンシートの平坦化には効果があるものの、表面粗さRaを0.1μmより小さくしても平坦化効果がそれほど良化せず、かえってフィルム状基材の入手が難しくなり、反対に、表面粗さRaが0.5μmを超えるとポリウレタンシートの平坦化が難しくなる。また、ポリウレタンシートとフィルム状基材とを密着させた密着体を巻き取り、かつポリウレタンシートの表面にフィルム状基材の平坦面を転写するためには、フィルム状基材のショアA硬度(日本工業規格JIS K 6253−1997、加硫ゴム及び熱可塑性ゴムの硬さ試験方法による硬度)を40〜95°(度)の範囲とし、圧縮率(日本工業規格JIS L 1021−1974、圧縮率及び圧縮弾性率、A法による圧縮率)を3〜10%の範囲とすることが好ましい。また、フィルム状基材の厚みは、ハンドリングのし易さから、0.1〜0.5mmの範囲とすることが好ましい。本例では、フィルム状基材としてPETフィルムが用いられる。密着工程における剥離処理、加圧・密着処理および巻取工程における巻き取り処理は、図4に示す密着処理機で連続して実行される。
次に、本実施形態の保持パッド1の製造方法の作用等について、ポリウレタンシートの平坦化を中心に説明する。
下表1に示すように、実施例1では、ポリウレタン樹脂として、100%モジュラスが10MPaのポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂のDMF溶液100部に対して、粘度調整用のDMFの45部、顔料のカーボンブラックを30%含むDMF分散液の40部、界面活性剤(大日本インキ株式会社製、商品名:クリスボンSD−11)の2部を混合してポリウレタン樹脂溶液45を調製し、湿式成膜法で厚さ1mmのポリウレタンシートを得た。このポリウレタンシートのスキン層4側の表面と、表面粗さRaが0.39μmのフィルム状基材63の表面とを加圧力0.5MPaで密着させ、巻取ドラフト1.06で巻き取って巻取体を得た。得られた巻取体を40℃で24時間加熱した。
表1に示すように、実施例2〜実施例5では、加圧力、加熱温度、加熱時間、巻取ドラフトを変える以外は実施例1と同様にしてそれぞれ保持パッド1を製造した。実施例2では、加圧力0.1MPa、巻取ドラフト1.01、加熱温度30℃、加熱時間48時間とし、実施例3では、加圧力0.3MPa、巻取ドラフト1.08、加熱温度50℃、加熱時間30時間とし、実施例4では、加圧力0.8MPa、巻取ドラフト1.02、加熱温度40℃、加熱時間24時間とし、実施例5では、加圧力1.0MPa、巻取ドラフト1.10、加熱温度50℃、加熱時間12時間とした。
表1に示すように、比較例1〜比較例3、参考例1〜参考例4では、加圧力、加熱温度、加熱時間、巻取ドラフト、フィルム状基材63の表面粗さRaを変える以外は実施例1と同様にして保持パッドを製造した。比較例1では、表面粗さRaを0.39、加圧力0.5MPa、巻取ドラフト1.06、加熱温度20℃、加熱時間48時間とし、参考例1では、表面粗さRaを0.39、加圧力0.5MPa、巻取ドラフト1.01、加熱温度30℃、加熱時間50時間とし、参考例2では、表面粗さRaを0.39、加圧力0.3MPa、巻取ドラフト1.08、加熱温度60℃、加熱時間48時間とし、比較例2では、表面粗さRaを0.39、加圧力0.05MPa、巻取ドラフト1.00、加熱温度40℃、加熱時間24時間とし、参考例3では、表面粗さRaを0.39、加圧力1.2MPa、巻取ドラフト1.12、加熱温度50℃、加熱時間12時間とし、参考例4では、表面粗さRaを0.08、加圧力0.5MPa、巻取ドラフト1.05、加熱温度40℃、加熱時間24時間とし、比較例3では、表面粗さRaを0.63、加圧力0.5MPa、巻取ドラフト1.05、加熱温度40℃、加熱時間24時間とした。
表1に示すように、比較例4では、密着処理および加熱処理を行わない以外は実施例1と同様にして保持パッドを製造した。
各実施例、比較例及び参考例で作製したポリウレタンシートについて、表面粗さRa及び被研磨物の吸着力を以下のようにして測定した。表面粗さRa及び吸着力の測定結果を下表2に示した。
(1)表面粗さRaの測定:表面粗さ測定機(Mitutoyo製、SURFTEST SV−402)を用い、日本工業規格JIS B 0601−1994に基づき測定した。
(2)吸着力の測定:図7に示すように、直径4インチに打ち抜いたポリウレタンシートを定盤91に、スキン層の反対面で貼付した。ポリウレタンシート上に直径4インチのウェハ92を重ねて置き、ウェハ92に150g/cm2の荷重がかかるようにおもり93を載せ1分間放置した。1分後におもり93を取り除き、ウェハ92を垂直方向(矢印A方向)に引っ張り、ウェハ92がポリウレタンシートから外れたときの引張力のピーク値(最大値)を測定した。測定は5回行い、平均値を算出した。測定には、引っ張り試験機(ORIENTEC製、TENSILON RTC−1210A)を用いた。
1 保持パッド
2 ポリウレタンシート
4 スキン層
63 フィルム状基材
Claims (6)
- 被研磨物を保持するための保持面を有し前記保持面側に微多孔が形成された保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法であって、
湿式成膜法で形成されたポリウレタンシートの前記保持面に、表面粗さRaが0.1〜0.5μmの範囲の平坦な表面を有し前記ポリウレタンシートより硬いフィルム状基材を0.1〜1.0MPaの加圧力で加圧して密着させ、密着体を形成する密着体形成ステップと、
前記密着体形成ステップで形成された密着体を正のドラフトで巻き取って巻取体を形成する巻取体形成ステップと、
前記巻取体形成ステップで形成された巻取体を30〜50℃の温度で12〜48時間加熱する加熱ステップと、
を含む表面平坦化方法。 - 前記密着体形成ステップと前記巻取体形成ステップとが連続して行われることを特徴とする請求項1に記載の表面平坦化方法。
- 前記巻取体形成ステップで、前記ドラフトを1.01〜1.10として巻き取ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面平坦化方法。
- 前記巻取体形成ステップ後または前記加熱ステップ後に、前記ポリウレタンシートの保持面の背面側を前記ポリウレタンシートの厚さが一様となるようにバフ処理するバフ処理ステップを更に含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の表面平坦化方法。
- 前記基材のショアA硬度が、40〜95°であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の表面平坦化方法。
- 前記基材が、ポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の表面平坦化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006303488A JP4961191B2 (ja) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | 保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006303488A JP4961191B2 (ja) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | 保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008119861A JP2008119861A (ja) | 2008-05-29 |
JP4961191B2 true JP4961191B2 (ja) | 2012-06-27 |
Family
ID=39505160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006303488A Active JP4961191B2 (ja) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | 保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4961191B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5567280B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2014-08-06 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
JP5436959B2 (ja) * | 2009-07-14 | 2014-03-05 | ニッタ・ハース株式会社 | 被加工物保持材の製造方法 |
JP5684489B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2015-03-11 | 帝人コードレ株式会社 | 吸着パッド用素材の製造方法 |
JP4996767B1 (ja) * | 2010-11-12 | 2012-08-08 | 株式会社Filwel | 片面研磨用保持材の製造方法 |
JP5869264B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2016-02-24 | 帝人コードレ株式会社 | 研磨用吸着パッド素材の製造方法 |
JP5976623B2 (ja) * | 2013-11-18 | 2016-08-23 | ニッタ・ハース株式会社 | 被加工物保持材 |
JP6248606B2 (ja) * | 2013-12-18 | 2017-12-20 | Dic株式会社 | ウレタン樹脂組成物及びそれを用いた多孔シート |
JP6987584B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2022-01-05 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 保持パッドの製造に用いるための積層体及びその製造方法 |
JP7175617B2 (ja) * | 2018-03-16 | 2022-11-21 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨加工用パッド及びその製造方法 |
JP7089170B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2022-06-22 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨加工用シートの製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6458535A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Teijin Ltd | Heat-treatment of polyester film |
JPH01108030A (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 熱可塑性樹脂フイルムの鏡面化方法 |
JPH11151666A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Central Glass Co Ltd | バックパッド及びその表面凹凸矯正方法 |
JP4659273B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2011-03-30 | ニッタ・ハース株式会社 | 被研磨物保持用のバッキング材の製造方法 |
JP2004090124A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Central Glass Co Ltd | ガラス基板の片面研磨装置に用いるバックパッドおよびその表面凹凸の矯正方法 |
JP4455230B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2010-04-21 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 保持パッド及び保持パッドの製造方法 |
-
2006
- 2006-11-09 JP JP2006303488A patent/JP4961191B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008119861A (ja) | 2008-05-29 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110818 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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