JP4950530B2 - 基板固定装置 - Google Patents
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Description
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、基板を、破損の恐れ少なく矯正し、固定することができる基板固定装置の提供を課題とする。
ただし、これらいずれの場合でも、接触部をゴムまたはその類似物により形成し、接触部自体にクッション機能を持たせることが可能であり、それによって、接触部と基板との接触時の衝撃を緩和し、あるいは接触部の硬度を適宜選定したり、接触部の横断面積を徐々に変化させたりして、クッション機能を所望のものに調整することができる。
このように本発明に係る基板固定装置によれば、基板を破損させる恐れ少なく、平面状に矯正することができる。また、基板の反り矯正時には、基板支持部材は低速で上昇させられるため、基板が基板押さえ部材に当接する際の衝撃が小さくて済むとともに、基板押さえ部材により基板がゆっくり押され、基板が破損する恐れ少なく平面状に矯正される。
その基板支持部材を昇降させることによりその基板支持部材に支持されている基板を昇降させる基板昇降装置と、
接触部を備えて前記基板支持部材の上方に設けられ、前記基板昇降装置により上昇させられる基板に前記接触部により上方から接触して、その基板の、前記基板支持面に接触していない前記中間部の1個所以上を上から押さえ、その1個所以上を前記基板支持面に密着させて、基板を平面状に矯正する基板押さえ部材と、
前記基板押さえ部材の接触部の上昇に対して弾性的な抗力を付与しつつその接触部の上昇を許容するクッション作用付与部と
を含む基板固定装置。
(2)前記基板昇降装置が、前記基板支持部材に支持された基板を前記基板押さえ部材に押し付けて基板を矯正する基板矯正用昇降装置と、前記基板支持部材に支持された基板を、その基板に対して作業が施される作業高さである作業位置と、その作業位置より低い退避位置とに昇降させる作業用基板昇降装置とを兼ねており、当該基板昇降装置が、前記基板矯正用昇降装置として作動する場合の前記基板支持部材の上昇速度を、前記作業用基板昇降装置として作動する場合の上昇速度より小さくする上昇速度低減部を含む(1)項に記載の基板固定装置。
基板の反り矯正時には、基板支持部材は低速で上昇させられるため、基板が基板押さえ部材に当接する際の衝撃が小さくて済むとともに、基板押さえ部材により基板がゆっくり押され、基板が破損する恐れ少なく平面状に矯正される。
基板昇降装置が基板矯正用昇降装置と作業用基板昇降装置とを兼ねているため、例えば、基板矯正を選択的に行うことができる。本基板固定装置により固定される全部の種類の基板について矯正が行われてもよいが、例えば、基板が厚く、あるいは剛性が高くて反りがなく、矯正が不要な基板もある。そのため、例えば、基板の材料,厚さ等に応じて反りがあると推定される種類の基板についてのみ矯正が行われるようにすることができ、不要な矯正動作が行われず、作業能率を向上させることができる。矯正実行の選択ないし設定は、作業者により行われてもよく、制御装置により自動的に行われてもよい。
(3)前記基板支持装置が、前記基板支持面に開口した1つ以上の吸引孔と、その吸引孔に接続されてその吸引孔から空気を吸引する吸引装置とを備え、前記基板を負圧により前記基板支持面に吸着して支持するものである(1)項または(2)項に記載の基板固定装置。
基板支持装置は、基板を負圧により基板支持面に吸着して支持するものであることは不可欠ではない。しかし、本項に記載の基板固定装置においては、例えば、一旦平板状に矯正された基板を支持面に吸着させることにより、再び反りのある状態に戻ってしまうことを確実に防止できる。また、基板押さえ部材に基板を基板支持面に密着するまで押さえさせなくても、基板と基板支持面との間の距離が、負圧により基板が吸着されることが可能な大きさ以下になるまで押さえさせれば、基板が基板支持面に吸い付けられて平板状に矯正される効果を利用することができる場合もある。この場合には、基板押さえ部材が基板を基板支持面に押し付けることが不可欠ではなくなり、基板が基板押さえ部材と基板支持面との間に過大な力で挟まれ、破損することを確実に回避しつつ、基板を基板支持面に吸着させることがができるのである。
(4)前記クッション作用付与部が、
前記基板押さえ部材を昇降可能に保持するブラケットと、
そのブラケットに対する前記基板押さえ部材の相対的な下降限度を規定する下降限度規定装置と、
前記ブラケットと前記基板押さえ部材との間に設けられ、基板押さえ部材に上向きの力が加えられた場合に、基板押さえ部材がブラケットに対して相対的に上昇することを許容するクッション装置と
を含む(1)項ないし(3)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板押さえ部材の下降限度が下降限度規定装置によって規定されることにより、基板押さえ部材の基板に接触する前の位置が正確に一定となり、基板の矯正を安定して行うことができる。
前述のように、接触部をゴムまたはその類似物により形成する等、接触部を構成する部材の材料,形状の設定により接触部自体にクッション機能を持たせる場合、接触部は、それ自体の機能により自身の上昇が許容され、クッション作用付与部は本項に記載のクッション装置が省略されたものとすることができる。
(5)前記クッション装置がエアシリンダを含む(1)項ないし(4)項のいずれかに記載の基板固定装置。
クッション装置は、スプリング等の弾性体を主体としても構成することができる。しかし、エアは圧縮性を備えるとともに、エア圧の変更により接触部に付与する弾性的な抗力を容易に調節することができ、エアシリンダはクッション装置として特に好適であり、また、クッション装置を容易にかつ安価に構成することができる。
(6)さらに、前記エアシリンダに接続され、そのエアシリンダ内のエア圧を変更可能なエア圧制御装置を含む(5)項に記載の基板固定装置。
エア圧の変更により、例えば、クッション作用付与部が基板押さえ部材に付与する弾性的な抗力の初期値を変更することができる。それにより、例えば、基板がセラミックス等、脆い材料製の場合、基板押さえ部材の押さえ力を、基板の矯正が可能な範囲で、できる限り小さい大きさにすることができ、基板の破損を回避しつつ平面状に矯正することができる。また、制御プログラムの実行等により、基板支持部材の上昇に応じてエア圧を制御することも可能であって、基板の反りの矯正の進行に伴って押さえ部材の弾性的な抗力を適宜変化させることもでき、それによって、例えば、基板押さえ部材が基板に接触した後、後退しつつ基板の反りを矯正するようにすることもできる。そのさらに具体的な一例は、基板押さえ部材が基板に接触を開始する際には、弾性的な抗力を特に小さくしておくことにより、基板押さえ部材と基板との当接時の衝撃を小さく抑え、後に弾性的な抗力を大きくして、基板押さえ部材の後退量を小さく抑える態様である。
(7)前記基板押さえ部材の少なくとも前記基板に接触する部分が、ゴムまたはその類似物から成る(1)項ないし(6)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板押さえ部材の基板に接触する部分の弾性変形により、基板が基板押さえ部材に接触する際の衝撃が吸収され、基板の破損が回避される。ゴムまたはその類似物の硬度や横断面積を適宜選定し、あるいは横断面積を下端から上に向かうに従って漸増させることにより所望の衝撃吸収機能を実現することができる。
(8)前記基板押さえ部材が前記基板の上面の複数個所を押さえる(1)項ないし(7)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板押さえ部材が複数の接触部を一体的に備え、それら複数の接触部が前記基板の複数個所に同時に接触するようにしても、(10)項におけるように基板押さえ部材移動装置により移動させられることによって、同じ基板押さえ部材が基板の互いに異なる複数の個所を押さえるようにしてもよい。
基板押さえ部材により基板の複数個所が同時に押さえられる場合、1個所のみが押さえられる場合に比較して押さえ力が分散して基板に加えられ、1個所における押さえ力が小さく、基板の破損の恐れが少なくなる。
(9)前記基板押さえ部材が、前記基板支持面に平行な平面内の複数の位置に設けられた複数の接触部を備え、かつ、それら複数の接触部が位置する前記平面のあらゆる方向への傾きが許容される状態で、基板押さえ部材保持部材に保持されている (8)項に記載の基板固定装置。
複数の接触部を備えた基板押さえ部材は基板の複数個所に同時に接触するため、基板の特定部分に強く当接することがないよう、複数の接触部が位置する平面のあらゆる方向への傾きが許容されることが望ましく、例えば、基板押さえ部材を基板押さえ部材保持部材にボールジョイントや撓み部材を介して保持させればよい。ただし、基板押さえ部材は、基板に接触していない状態において、複数の接触部が位置する平面ができる限り基板支持部材の基板支持面と平行な姿勢を保つようにすることが望ましい。
(10)さらに、前記基板押さえ部材を前記基板支持面に平行な方向に移動させる基板押さえ部材移動装置を含む(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板押さえ部材を移動させることにより、基板の大きさ等によらず、基板の中央部,反りの発生個所等、基板を平面状に矯正するのに必要な個所や矯正に好適な個所を1個所押さえさせたり、複数箇所を押さえさせたりすることができる。
(11)前記基板昇降装置を制御することにより、前記中間部の1個所を押さえている基板押さえ部材を一旦基板から離間させた後、前記1個所とは別の個所に接近させてその別の個所を押さえさせるとともに、それら離間と接近との間に前記基板押さえ部材移動装置に、前記基板押さえ部材を前記中間部の1個所に対応する位置から前記別の個所に対応する位置へ移動させる押さえ部位変更制御部を含む(10)項に記載の基板固定装置。
例えば、基板にうねりがあり、上面側へ凸の撓みが複数箇所にある場合、それら撓み部の各々を順次押すことにより、基板全体について良好に姿勢を矯正することができる。
また、基板が電子回路部品が装着される部品装着基板であって、1枚の基板から複数のプリント回路板が製造される所謂多数枚取り(多面取り)の基板である場合、基板の、複数のプリント回路板の各々の中央部となる部分を基板押さえ部材に押さえさせることにより、複数のプリント回路板のいずれも平面状に矯正された状態で精度良く製造することができる。
(12)前記基板押さえ部材が、円筒形,太鼓形,球形等、少なくとも1軸線に直角な切断面で切断した場合の断面形状が円形である断面円形部材であり、その断面円形部材がリテーナに前記少なくとも1軸線のまわりに回転可能に保持されていて、そのリテーナが前記基板押さえ部材移動装置により移動させられるのに伴って、前記断面円形部材が前記基板の上面上を転動する(10)項または(11)項に記載の基板固定装置。
断面円形部材は、例えば、基板の上昇に伴って基板に接触する個所については、非回転の基板押さえ部材と同様に基板を押さえ、基板が平面状に矯正された状態においてクッション作用付与部により弾性的な抗力を受けつつ上昇し、基板支持装置の上昇後、基板押さえ部材移動装置により移動させられ、基板の上面上を転動して押さえるようにすることができる。それにより、基板が帯状の領域において押さえられ、基板にうねりがあっても良好に平面状に矯正される。断面円形部材の転動によれば、基板支持装置をいちいち昇降させなくても、基板押さえ部材による基板の押さえ個所を変えることができ、基板の姿勢を迅速に矯正することができる。
また、断面円形部材は、基板支持面に最も接近した位置においても、基板支持面との間に基板を強く挟まないようにすることもできる。前述のように、基板支持面が吸引孔を備え、基板を負圧により吸着する場合には、基板の下面と基板支持面との隙間が一定値以下になれば、基板が基板支持面に吸着されるため、隙間が上記一定値以下かつ0より大きい状態となる位置まで断面円形部材を基板支持面に接近させ、その状態で断面円形部材を押さえ部材移動装置により移動させれば、基板の下面全体と基板支持面との隙間を除去することができるのである。
(13)前記基板押さえ部材が、流体を内包する袋体により構成された(1)項ないし(12)項のいずれかに記載の基板固定装置。
袋体を伸縮可能なゴム製袋体とし、その袋体の内部に気体を充満させれば、袋および気体の圧縮性を利用して袋体に基板を基板支持面に押し付ける機能を果たさせることができ、また、袋体を可撓性を有する材料性のシートにより構成し、その袋体の内容積の一部に液体を内包させれば、液体の重量により基板を基板支持面に押し付けることができる。
流体を閉じ込めた袋体は基板の比較的広い個所に分散させて押付力を加えることが容易であり、基板を損傷させる恐れが少ない。
袋体および気体の圧縮性を利用して袋体に基板を基板支持面に押し付けさせる場合、気体の圧縮により袋体をクッション作用付与部として機能させることができ、基板固定装置を簡易に構成することができる。
(14)前記袋体内の流体の量を増減させる流体量制御装置を含む(13)項に記載の基板固定装置。
袋体内の流体の量を増減させることにより、基板を押さえる力を増減させ、あるいは袋体の基板への接触,非接触を制御することができる。
(15)前記基板からの反力による前記基板押さえ部材の後退位置を検出する後退位置検出装置を含む(1)項ないし(14)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板押さえ部材自体の位置を検出しても、基板押さえ部材と共に昇降する部材の位置を検出することにより間接的に基板押さえ部材の位置を検出してもよい。
基板押さえ部材の位置と押さえ力との関係を予め求めておけば、基板押さえ部材の位置に基づいて基板押さえ部材が基板に付与する押さえ力を推定することができ、基板の破損を良好に防止することができる。また、後退位置検出装置を、基板押さえ部材の後退限度位置より設定距離前の位置を検出するものとし、その検出に応じて基板昇降装置が停止させられるようにすれば、基板固定装置のいずれかの部分の故障あるいは誤動作により、基板押さえ部材の押さえ力が過大となることを防止することができる。
(16)当該基板固定装置に固定された基板に設けられた基準マークを撮像する基準マークカメラと、
その基準マークカメラを保持するカメラ保持部材と、
そのカメラ保持部材を移動させることにより、そのカメラ保持部材に保持された基準マークカメラを前記基板支持面に平行な平面内の任意の位置へ移動させるカメラ移動装置と
を含み、前記カメラ保持部材に前記基板押さえ部材が保持され、前記カメラ移動装置が前記基板押さえ部材移動装置を兼ねている(10)項ないし(15)項のいずれかに記載の基板固定装置。
基板固定装置の構成を簡易化することができる。
(17)前記基板支持部材を、その基板支持部材に支持された基板が前記基板押さえ部材に接触または近接するまで接近させる接近制御部と、前記基板押さえ部材が前記基板に接触した後、その基板押さえ部材に、前記基板を、前記基板支持部材に向かって、前記接近制御部の制御による前記基板押さえ部材の基板への接近速度より小さい速度で、基板が基板支持部材の基板支持面に接触またはほぼ接触するまで、押さえさせる押さえ制御部を含む(1)項ないし(16)項のいずれかに記載の基板固定装置。
本項が(2)項に従属する態様においては、基板押さえ部材の基板への接近速度を、作業時における上昇速度より小さくすることができる。
前述のように、クッション作用付与部が接触部に付与する弾性的な抗力の初期値(クッション作用の初期値)が、基板の下面が基板支持面に接触する前における基板の反力より小さい場合には、基板と接触部との接触後における基板支持部材の上昇に伴ってクッション作用付与部が接触部の後退を許容する分だけ、接近制御部の制御による基板押さえ部材の基板への接近速度より、基板の基板支持面への接近速度が小さくなる。この態様が本項の押さえ制御部の一例である。
また、前記(12)項におけるように、基板押さえ部材が、回転可能な断面円形部材とされ、その断面円形部材が、前記(10)項に記載の基板押さえ部材移動装置により基板支持面に平行な方向に移動させられるにつれて、基板の中間部のうち基板支持面に接触していない部分が徐々に基板支持面に接触させられる場合も、接近制御部の制御による基板押さえ部材の基板への接近速度より、基板の基板支持面への接近速度が小さくなる。したがって、この態様も本項の押さえ制御部の一例である。
いずれにしても、基板下面の基板支持面への当接速度を小さくし、衝撃による基板の損傷を良好に防止できる。
(18)基板の下面の少なくとも周縁部の2個所と中間部の1個所とを含む3個所以上に接触してその基板を下側から支持する上向きの基板支持面を有する1つ以上の基板支持部材を含む基板支持装置と、
前記基板支持部材上に載置された基板の、前記基板支持面に接触していない前記中間部の1個所以上を上から押さえて、その少なくとも1個所を前記基板支持面に密着させる基板押さえ部材と、
それら基板支持部材と基板押さえ部材とを上下方向に相対的に昇降させる相対昇降装置と、
その相対昇降装置を制御することにより、前記基板押さえ部材と前記基板支持部材とを、その基板支持部材に支持された基板と前記基板押さえ部材とが互いに接触または近接するまで接近させる接近制御部と、
前記基板押さえ部材が前記基板に接触した後、その基板押さえ部材に、前記基板を、前記基板支持部材に向かって、前記接近制御部の制御による前記基板押さえ部材の基板への接近速度より小さい速度で、基板が基板支持部材の基板支持面に接触またはほぼ接触するまで、押さえさせる押さえ制御部と
を含む基板固定装置。
押さえ制御部に関して前記(17)項の説明が当てはまる。
なお、基板支持面を吸引孔を有するものとし、基板が基板押さえ部材と基板支持面とにより強く挟まれないようにする場合には、基板押さえ部材(回転可能な断面円形部材を含む)が基板を基板支持面に押し付けるまで基板支持面と基板押さえ部材とを接近させることが不可欠ではなくなり、クッション作用付与部を省略することも可能である。ただし、この場合でも、誤動作等に備えた安全装置として、クッション作用付与部が設けられることを排除するものではない。
(19)前記基板押さえ部材が、接触部を備えて前記基板支持部材の上方に設けられ、前記相対昇降装置により前記基板支持部材と前記基板押さえ部材とが互いに接近させられる際に前記基板に前記接触部により上方から接触して、基板を平面状に矯正するものであり、かつ、前記基板押さえ部材の接触部の上昇に対して弾性的な抗力を付与しつつその接触部の上昇を許容するクッション作用付与部とを含み、それら基板押さえ部材およびクッション作用付与部が前記相対昇降装置と共同して、前記接近制御部および押さえ制御部を構成している(18)項に記載の基板固定装置。
本項の基板固定装置については、(17)項に記載の基板固定装置についての説明が当てはまる。
(20)前記クッション作用付与部が、前記接触部が前記基板に接触した後、その基板が前記基板支持面に接触する前から前記接触部の上昇を許容するものである(19)項に記載の基板固定装置。
(21)前記基板押さえ部材を前記基板支持面に平行な方向に移動させる基板押さえ部材移動装置を含み、前記基板押さえ部材が、円筒形,太鼓形,球形等、少なくとも1軸線に直角な切断面で切断した場合の断面形状が円形である断面円形部材であり、その断面円形部材がリテーナに少なくとも前記1軸線のまわりに回転可能に保持されていて、(a)前記相対昇降装置が、前記断面円形部材を前記基板支持部材に支持されている基板の1個所に接触または近接させた状態で、(b)前記リテーナが前記基板押さえ部材移動装置により移動させられるのに伴って、前記断面円形部材が前記基板の上面上を転動することにより、前記基板の前記中間部の前記基板支持面に接触していない前記1個所以上を押さえる構成とされ、前記相対昇降装置の前記(a)を実現する部分が前記接近制御部を構成し、前記基板押さえ部材移動装置の前記(b)を実現する部分が前記押さえ制御部を構成している(18)項または(19)項に記載の基板固定装置。
本項が(18)項に従属する態様においては、相対昇降装置により基板支持部材と断面円形部材とが最も接近した状態において断面円形部材は基板の1個所に接触または近接させられ、その状態で基板押さえ部材移動によって移動させられることにより基板を押さえ、平面状に延ばす。その押さえ時に基板押さえ部材が基板を押さえる速度は、基板の反りの状態と基板押さえ部材移動装置による基板押さえ部材の移動速度とによって決まるが、殆どの場合、基板押さえ部材の基板への接近速度より小さく、基板を破損の恐れ少なく矯正し得る。
クッション作用付与部が設けられている場合には、接近制御部により断面円形部材が基板支持部材に接近させられる際、基板がそれの下面が基板支持面に密着するまで断面円形部材が基板支持部材に接近させられるようにしても、基板が過大な挟み力により損傷させられることを回避することができる。それに対して、クッション作用付与部が設けられない場合には、基板支持面が吸引孔を備えたものとし、断面円形部材が基板をそれの下面が基板支持面に、設定値以下の正の隙間(吸引孔からの空気の吸引により基板の下面が基板支持面に吸着され得る隙間)が残る状態まで押さえるように、基板押さえ部材と基板支持部材とが相対昇降装置により接近させられるようにすることが望ましい。なお、クッション作用付与部が設けられない場合でも、断面円形部材の少なくとも外周部をゴムまたはその類似物により形成してクッション機能を持たせることにより、断面円形部材が基板をそれの損傷を回避しつつ基板支持面に押し付けるようにすることが可能である。
(22)(1)項ないし(21)項のいずれかに記載の基板固定装置と、
その基板固定装置により固定された基板に、スクリーンを通して高粘性材料を印刷する印刷装置と
を含むスクリーン印刷機。
スクリーンは一平面状を成し、基板が平面状に矯正されることにより基板の被印刷面とスクリーンとが平行となり、高粘性材料のスクリーン印刷を精度良く行うことができる。
(1)項ないし(21)項のいずれかに記載の基板固定装置は、スクリーン印刷機に限らず、回路部品実装機等、スクリーン印刷機以外の対回路基板作業機において、基板の固定に用いることができる。
(23)基板の下面の少なくとも周縁部の2個所と中間部の1個所とを含む3個所以上に接触してその基板を下側から支持する上向きの基板支持面を有する1つ以上の基板支持部材を含む基板支持装置と、
前記基板支持面に平行に設けられ、複数の貫通穴が形成されたスクリーンと、
そのスクリーン上を移動しつつ、前記貫通穴に高粘性流体を押し込むスキージ装置と、
前記基板支持装置と前記スクリーンとを互いに接近,離間させる相対昇降装置と、
前記基板支持部材上に載置された前記基板の互いに平行な2側端面にそれぞれ当接して基板を側方からクランプする1対のクランプ部材と、
それらクランプ部材の少なくとも一方をクランプ位置と、そのクランプ位置から後退したアンクランプ位置とに移動させるクランプ部材駆動装置と、
前記クランプ部材駆動装置に、前記1対のクランプ部材を前記クランプ位置に位置させ、基板支持部材に対する基板の位置決めを行わせる位置決め制御部と、
その位置決め制御部による位置決めの後、前記1対のクランプ部材によるクランプを解除し、そのクランプ解除状態で前記相対昇降装置に前記基板支持部材と前記スクリーンとを接近させ、基板支持部材に支持されている基板を前記スクリーンに押し付けて、そのスクリーンにより基板の下面の前記基板支持部材の基板支持面から浮き上がっている部分を押さえさせるスクリーン利用押さえ部と
を含むスクリーン印刷機。
スクリーンの利用により、基板矯正機能を備えた基板固定装置を簡易にかつ安価に構成することができる。
本基板クランプ装置82は、サイドクランプ装置130および合わせ装置132を含む。合わせ装置132は、図3に示すように、基板位置調節装置16の移動台76にY軸方向に移動可能に設けられた1対の合わせ部材140と、それら合わせ部材140をそれぞれ移動させる基板合わせ部材移動装置142とを含む。基板合わせ部材移動装置142は、例えば、エアシリンダを駆動源とする。また、一対の合わせ部材140はそれぞれ、メインコンベヤ32側へ突出し、基板搬送方向に平行な方向に長い板状の基板縁押さえ部ないし合わせ部144を有する。
本スクリーン印刷機において基板搬入,搬出時には基板保持装置48は退避位置に下降させられており、基板40はスクリーン220の下方に搬入される。そして、コンベヤ40,42,44が同期して一斉に作動させられ、基板40が搬入,搬出されるのと同時に並行して、停止位置規定装置320が基板搬送方向と同じ方向に移動させられる。停止位置規定部材322は、下降位置へ下降させられるとともに、搬入コンベヤ30により搬入される基板40とメインコンベヤ32により搬出される基板40との間に位置させられ、基板40の停止位置を規定する。X軸移動部材276は、予め設定された位置において停止させられ、停止位置規定装置320が停止位置規定位置において停止させられる。停止位置規定位置は、基板40が基板支持装置80の上方に位置し、スクリーン220の下方に位置する位置である。
さらに、断面円形部材は球としてもよい。断面円形部材を球にすれば、あらゆる方向に回転可能であり、移動装置により移動させられて転動しつつ基板を押さえるとき、その押さえ経路を任意に設定することができ、基板の基板支持ピンにより支持されている部分を押さえるようにすることができる。
ゴム製袋体600は、その開口部を袋体保持部材618により保持され、袋体昇降装置620を介してX軸移動部材612に設けられている。本袋体昇降装置620は、昇降部材622,サーボモータにより構成された駆動源たる袋体昇降モータ624,ボールねじおよびナットを含む送りねじ機構626,袋体昇降モータ624の回転をボールねじに伝達する回転伝達装置628を備え、昇降部材622が昇降させられることにより、昇降部材622に搭載された袋体600が上下方向の任意の位置へ移動させられる。
基板押さえ部材が基板を基板支持面に接触させる前に上昇するようにエアシリンダのエア圧が設定され、この態様での基板の矯正が行われる装置が請求項5に記載の基板固定装置の一実施例である。
また、エアシリンダの下側のエア室のエア圧も圧力センサにより検出するとともに、エア圧制御装置により制御し、基板矯正時にピストンに上向きの圧力を作用させ、ピストン,ピストンロッドおよび基板押さえ部材の重量が基板に加えられないようにしてもよい。
基板押さえ部材をゴム製袋体とする場合にも、エア圧の設定により、基板支持面が基板に接触する前に基板の上昇を許容し、基板を上昇させつつ矯正するようにすることが可能である。
基板支持部材は負圧により基板を吸着せず、基板支持面によって下方から支持するのみのものでもよい。
Claims (4)
- 基板の下面の少なくとも周縁部の2個所と中間部の1個所とを含む3個所以上に接触してその基板を下側から支持する上向きの基板支持面を有する1つ以上の基板支持部材を含む基板支持装置と、
その基板支持部材を昇降させることによりその基板支持部材に支持されている基板を昇降させる基板昇降装置と、
接触部を備えて前記基板支持部材の上方に設けられ、前記基板昇降装置により上昇させられる基板に前記接触部により上方から接触して、その基板の、前記基板支持面に接触していない前記中間部の1個所以上を上から押さえ、その1個所以上を前記基板支持面に密着させて、基板を平面状に矯正する基板押さえ部材と、
前記基板押さえ部材の接触部の上昇に対して弾性的な抗力を付与しつつその接触部の上昇を許容するクッション作用付与部と
を含み、かつ、前記基板昇降装置が、前記基板支持部材に支持された基板を前記基板押さえ部材に押し付けて基板を矯正する基板矯正用昇降装置と、前記基板支持部材に支持された基板を、その基板に対して作業が施される作業高さである作業位置と、その作業位置より低い退避位置とに昇降させる作業用基板昇降装置とを兼ねており、当該基板昇降装置が、前記基板矯正用昇降装置として作動する場合の前記基板支持部材の上昇速度を、前記作業用基板昇降装置として作動する場合の上昇速度より小さくする上昇速度低減部を含むことを特徴とする基板固定装置。 - 前記クッション作用付与部が、
前記基板押さえ部材を昇降可能に保持するブラケットと、
そのブラケットに対する前記基板押さえ部材の相対的な下降限度を規定する下降限度規定装置と、
前記ブラケットと前記基板押さえ部材との間に設けられ、基板押さえ部材に上向きの力が加えられた場合に、基板押さえ部材がブラケットに対して相対的に上昇することを許容するクッション装置と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板固定装置。 - さらに、
前記基板押さえ部材を前記基板支持面に平行な方向に移動させる基板押さえ部材移動装置と、
前記基板昇降装置を制御することにより、前記中間部の1個所を押さえている基板押さえ部材を一旦基板から離間させた後、前記1個所とは別の個所に接近させてその別の個所を押さえさせるとともに、それら離間と接近との間に前記基板押さえ部材移動装置に、前記基板押さえ部材を前記中間部の1個所に対応する位置から前記別の個所に対応する位置へ移動させる押さえ部位変更制御部と
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の基板固定装置。 - 基板の下面の少なくとも周縁部の2個所と中間部の1個所とを含む3個所以上に接触してその基板を下側から支持する上向きの基板支持面を有する1つ以上の基板支持部材を含む基板支持装置と、
前記基板支持部材上に載置された基板の、前記基板支持面に接触していない前記中間部の1個所以上を上から押さえて、その少なくとも1個所を前記基板支持面に密着させる基板押さえ部材と、
それら基板支持部材と基板押さえ部材とを上下方向に相対的に昇降させる相対昇降装置と、
その相対昇降装置を制御することにより、前記基板押さえ部材と前記基板支持部材とを、その基板支持部材に支持された基板と前記基板押さえ部材とが互いに接触または近接するまで接近させる接近制御部と、
前記基板押さえ部材が前記基板に接触した後、その基板押さえ部材に、前記基板を、前記基板支持部材に向かって、前記接近制御部の制御による前記基板押さえ部材の基板への接近速度より小さい速度で、基板が基板支持部材の基板支持面に接触またはほぼ接触するまで、押さえさせる押さえ制御部と
を含むことを特徴とする基板固定装置。
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