JP5193506B2 - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents
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- 被検査体に配設された、信号用端子を含む端子群に電気的に接触されるプローブ組立体を備えたプローブユニットであって、
前記プローブ組立体が、
前記端子群に整合する位置に配設された少なくとも2列の接触子群と、
ほとんど伸縮することなく柔軟に撓み得る材料で構成されて当該接触子群を支持するFPCと、
当該FPCが取り付けられるテンションブロックと、
当該テンションブロックと前記FPCとの間に設けられ前記接触子群を弾性的に支持する弾性体とを備え、
前記FPCが、前記弾性体を挟んだ両側を前記テンションブロックに固定されて前記弾性体を跨いでほぼ弓なりに張り渡されて支持され、
前記FPCの張力、及び前記接触子群が前記被検査体の前記端子群に接触したときの反発力によって変形するダミーの弾性体片が、前記弾性体の前記信号用端子側に設けられたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1に記載のプローブユニットにおいて、
前記プローブ組立体を前記被検査体の表面に対して垂直方向にスライド可能に支持するスライド機構を備えたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1又は2に記載のプローブユニットにおいて、
前記弾性体が複数の弾性体片に分割して設けられ、各弾性体片が前記接触子群の各列毎に配設されると共に、前記信号用端子側にダミーの弾性体片を設けたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプローブユニットにおいて、
前記接触子群が、千鳥状に交互にずらして配設されたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプローブユニットにおいて、
前記接触子群が、前記被検査体の信号用端子に対応する一群の接触子と、Vcom端子に対応する一群の接触子を2列に配設して構成されたことを特徴とするプローブユニット。 - 被検査体の検査に用いる検査装置であって、
被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
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