JP4737590B2 - 光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法 - Google Patents

光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法に関する。特に、本発明は、光通信における光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法に関する。
近年、高速伝送が可能で、干渉、ノイズの問題のない光通信は、大容量通信の要求によって長距離の用途だけでなくサーバー内のボード間あるいはチップ間での通信手段として注目されている。現在、光通信の波長は材料の損失と光源の波長から、近赤外線の領域である1.55ミクロン、1.3ミクロンあるいは0.85ミクロンが用いられ、1.55と1.3ミクロンは長距離の通信、0.85ミクロンは近距離での通信と距離によって使い分けられている。どちらの波長も人間の可視領域からははずれておりまた材料自体も吸収が極めて小さいため、光が伝播している状況を外部から観察することはできない。
ボードやチップ間での通信では、フォトダイオードやレーザーダイオードを直接つなぐために、電気基板にコアとクラッドを積層した光導波路が考えられており、導波路以外に光の方向を変更する部品や、集光レンズなどの部品が光導波路と組み合わせて使われる。そこで問題になるのが各部品間の光軸合わせである。屈折率の異なるコアとクラッドの界面での全反射を用いて光を伝播させている光ファイバや光導波路は、マルチモードで50ミクロン、シングルモードで8〜10ミクロンと大変小さく、コア位置のわずかなずれでも大きな損失になってしまう。このため、光デバイス間のコア位置(光軸)の調整が大変重要である。
光導波路では、コアとクラッド部の屈折率の差が数%以下と非常に小さいため、コアの位置を直接肉眼で見ることは困難である。このため、従来、反射光や顕微鏡で光導波路のコアの位置を確認し、その位置にコアの目印を付ける方法が用いられている。また、可視の色を持つ、あるいは紫外線の照射によって蛍光を発生する色素を光導波路のコア材料に混合することでコアを可視化する技術が提案されている(特許文献1参照。)。
これらの方法により、コアの位置が分かれば、光を光導波路に入射する光デバイスをコアに対して突き当てて光を入射し、光導波路から出射される光の強度を測定することにより、その光の強度を最大とするデバイスの位置を求めることができる(例えば特許文献3等を参照。)。この方法によれば、光導波路の片側の端面のみに光デバイスを接続する場合には問題がないが、光導波路の両端面にそれぞれ光デバイスを接続する場合に問題がある。
この場合の調整方法の一例としては、入射用と出射光モニタ用の光ファイバをコアの各端面に突き当てて光を入射して、出射側の強度を測定し、その強度が最大になるように入射側のファイバ、出射側のファイバ、及び、光導波路の位置を同時に調整することが考えられる。しかしながら、入射側と出射側を同時に位置調整するため、局所的な最適位置に調整してしまう危険性がある。
これに対して、従来、光導波路のコア材料に蛍光を発生する物質を混合し、光導波路の側面から紫外線を照射することで蛍光を発生させる技術が提案されている(特許文献2参照。)。この技術によると、発生した蛍光が光導波路中を伝播し、光導波路両端面に接続した光ファイバから出てくる蛍光の強度をモニタすることで入射側と出射側のファイバを独立して調整することができる。このため、入射側と出射側とを同時に位置調整する技術と比較して、局所的な最適位置に調整してしまう危険性が低い。
特開平8−075938号公報 特開平8−043689号公報 特開2004−219786号公報
しかしながら、特許文献2によれば、蛍光を励起する光を光導波路の側面から照射するために、通常の通信時には不要な特殊な蛍光装置を設ける必要がある。また、光の入射方法や伝播方向が通常の通信時とは大きく異なるので、光軸調整の精度が良くない場合がある。更に、導波路材料に色素や蛍光物質を混合してしまうと、光通信において実際に伝播させる光の伝播損失を増大させるおそれがある。
なお、特許文献1の技術は、上述のように、コアの可視化を目的としており、光軸調整を行う技術ではない。また、特許文献3の技術は、上述のように、入射側と出射側との双方の光軸を調節する場合には、問題が生じる場合がある。更に、特許文献3の技術は、発光素子と光導波路との位置関係を調節する技術であるので、光導波路と光導波路との光軸調節に応用することは難しい。
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、光導波路と、光導波路に対して光を入射し又は前記光導波路から出射した光を受光する光配線用部品との光接続を調節する調節装置であって、光導波路を蛍光させる光を、光配線用部品から光導波路に対して入射させる励起光入射部と、光導波路を、光導波路内を伝播する光が入射又は出射されるべき端面とは異なる側面から観測し、光導波路から発せられる蛍光を受光する光観測部と、光観測部により受光された蛍光の強度に基づいて、光配線用部品と光導波路との光接続を調節する接続調節部とを備える調節装置、当該調節装置を用いた調節方法、及び当該調節装置を用いた光配線の製造方法を提供する。
また、本発明の第2の形態においては、光導波路と、光導波路に対して光を入射し又は前記光導波路から出射した光を受光する光配線用部品との光接続を調節する調節装置であって、光導波路を蛍光させる光を、光配線用部品により光導波路に対して入射させる励起光入射部と、光導波路から光配線用部品に対して出射される、光導波路の蛍光を受光する光観測部と、光観測部により受光された蛍光の強度に基づいて、光配線用部品と光導波路との光接続を調節する接続調節部とを備える調節装置、当該調節装置を用いた調節方法、及び当該調節装置を用いた光配線の製造方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明によれば、光導波路の光軸を適切に調節することができる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、調整装置10の構成を示す。調整装置10は、励起光入射部100と、通常光入射部110と、光観測部120と、光配線用部品位置姿勢制御部130と、直進性判断部140と、接続調節部150とを備える。調整装置10は、光導波路基板30−1内の光導波路と、その光導波路に対して光を入射する光配線用部品である光ファイバ20−1との光接続を、これまでより高い精度で調節することを目的とする。
励起光入射部100は、光導波路を蛍光させる励起光を、光ファイバ20−1から、光導波路基板30−1内の光導波路に対して入射させる。具体的には、光導波路基板30−1内の光導波路は、光を伝播させるコア32と、コア32を被覆するクラッド34とを有する。そして、励起光入射部100は、光通信に用いる光とは波長が異なる、コア材料を蛍光させる励起光を、光ファイバ20−1から、コア32及びクラッド34の界面を透過させずにコア32に対して直接入射させる。
更に具体的には、励起光入射部100は、無機材料で形成された光導波路を可視帯域で蛍光させる光を、光導波路基板30−1内の光導波路に対して入射させてもよい。また、無機材料のみに限らず、励起光入射部100は、ポリシラン、アクリル、又はエポキシ等の有機材料で形成された光導波路を可視帯域で蛍光させる光を、光導波路基板30−1内の光導波路に対して入射させてもよい。一例として、励起光入射部100は、He−Neレーザーの波長543nmの緑色光を、対物レンズで集光して光ファイバ20−1に対して入射してもよい。
ここで、光ファイバ20−1は、本発明に係る第1の光配線用部品の一例である。これに代えて、光配線用部品は、光を伝播させる光導波路を備えた基板、光の伝播方向を90度変更する光路変換ピン、一方から入射した光を複数の方向に分配して出射する分配器、複数の方向から入射した光を一方の方向の光に合成して出射する合成器、又は出射された光を集光するマイクロレンズであってもよい。また、光配線用部品は、光を発光する発光素子又は光を受光する受光素子等の素子であってもよい。
通常光入射部110は、光通信用の光を、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1内の光導波路に対して入射させる。例えば、通常光入射部110は、光接続の調節精度を更に高めるために、励起光入射部100と排他的に使用される。光観測部120は、光導波路基板30−1内の光導波路を、その光導波路内を伝播する光が入射又は出射されるべき端面とは異なる側面から観測し、光導波路から発せられる蛍光を受光する。即ち光観測部120は、コア32の内部から発せられる蛍光を、クラッド34を透過して受光する。
具体的には、カメラ115の位置及び焦点は、光導波路基板30−1のコア32が存在する範囲の画像を撮影できるように予め設定されている。そして、光観測部120は、カメラ115を用いて、光導波路基板30−1の光導波路の側面から発せられる蛍光の像を撮影してもよい。これに加えて、光観測部120は、光接続の調節精度を更に高めるために、光導波路基板30−1の光導波路を透過した透過光の強度をカメラ118により測定してもよい。
光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させることにより、光ファイバ20−1の光導波路基板30−1に対する位置又は角度を変化させる。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して予め定められた第1単位距離ずつ移動させる光配線用部品粗動部132と、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して第1単位距離より短い予め定められた第2単位距離ずつ移動させる光配線用部品微動部134とを有する。
直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像に基づいて、光導波路基板30−1の光導波路により伝播される光の直進性を判断する。そして、接続調節部150は、直進性判断部140により判断された光の直進性に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する。例えば、接続調節部150は、光配線用部品位置姿勢制御部130により光ファイバ20−1が移動される毎に光の像の直進性を判断し、直進性が最も高い場合における光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置として決定してもよい。更に、接続調節部150は、第2の光配線用部品の一例である光ファイバ20−2と光導波路基板30−1との光接続を調節してもよい。
図2は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像の具体例を示す。(a)は、コア32の端面の中心に励起光が入射された場合に撮影された蛍光の像を示す。この入射を、コア中心部入射と呼ぶ。入射光は、コア32の中心を直進している。この場合、像のコントラストは高く、入射光は幅の狭い像として観測される。(b)は、クラッド34に励起光が入射された場合に撮影された蛍光の像を示す。この入射を、クラッド入射と呼ぶ。入射光は、クラッド34内を拡散し伝播される距離も短い。
(c)は、コア32の端面に対して斜めに励起光が入射された場合に撮影された蛍光の像を示す。この入射を、コア斜め入射と呼ぶ。入射光は、コア32及びクラッド34の界面により繰り返し反射される。この場合、反射により減衰が進み、光の強度が低下する。(d)及び(e)の各々は、コア32の端面の中心から外れた点に励起光が入射された場合に撮影された蛍光の像を示す。これらの入射を、それぞれ、コアオフセット入射1及びコアオフセット入射2と呼ぶ。入射光は、拡散及び反射により蛇行しながら徐々に中心に近づく。この場合、光の強度が低下し、光の像のコントラストも低い。
このように、光の像が直線として観測されない場合には、光が直進しておらず、光の減衰も早い。そこで、直進性判断部140は、光導波路により光が伝播されるべき伝播方向に対する、光観測部120により撮影された蛍光の像の傾きの、その伝播方向に対する変化量がより小さい場合に、その変化量がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する。例えば、直進性判断部140は、蛍光の像の傾きの絶対値を伝播方向に対して積分し、積分したその値がより小さい場合に、その値がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断してもよい。
図3は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像のうち、光の伝播方向と垂直な直線上の像における蛍光の強度を示す。上図では、平行する5つの光導波路に対して、それぞれ、コア中心部入射、クラッド入射、コア斜め入射、コアオフセット入射1、及びコアオフセット入射2により、励起光を入射している。これらの入射は、図2の(a)〜(e)と対応している。
(a)によれば、コア中心部入射の場合には、最も明るい部分の蛍光の強度が23000である。そして、強度が最も高い位置からその強度と比較して強度が半分になる位置までの距離である半値幅は、20である。(b)によれば、クラッド入射の場合には、最も明るい部分の蛍光の強度が13000である。そして、半値幅は、80である。
(c)によれば、コア斜め入射の場合には、最も明るい部分の蛍光の強度が20000である。そして、半値幅は、20である。(d)によれば、コアオフセット入射1の場合には、最も明るい部分の蛍光の強度が18000である。そして、半値幅は70である。(e)によれば、コアオフセット入射2の場合には、最も明るい部分の蛍光の強度が19000である。そして、半値幅は50である。
このように、光の像のコントラストが低い場合には、光が直進しておらず、光の強度も低い。そこで、例えば、まず、直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像のうち光の伝播方向に垂直な直線上の像について、その直線上における蛍光の最も明るい位置から、その位置の蛍光に対して予め定められた割合の蛍光の強度となるその直線上の位置までの幅を算出する。一例として、直進性判断部140は、最も明るい位置から、最も明るい位置の強度の50%となる位置までの幅である、半値幅を算出する。
そして、直進性判断部140は、その半値幅がより狭い場合に、その半値幅がより広い場合と比較して、光の像のコントラストがより高いので、光の直進性がより高いと判断する。より詳細には、直進性判断部140は、半値幅を光の伝播方向に積分した積分値がより小さい場合に、その積分値がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断してもよい。
これに代えて、又は、これに加えて、直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像のうち光の伝播方向と垂直な直線上の像について、その直線上における蛍光の最も明るい位置を中心としたその像の対称性がより高い場合に、その対称性がより低い場合と比較して、光の直進性がより高いと判断してもよい。より詳細には、直進性判断部140は、一方の半値幅と他方の半値幅の差分を、光の伝播方向に積分した積分値を算出し、その積分値がより小さい場合に、その積分値がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断してもよい。
図4及び図5は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像のうち、光の伝播方向に対する蛍光の強度の変化を示す。これらの蛍光の強度は、図2の(a)〜(e)に示した各々の入射に対応している。(a)によると、コア中心部入射の場合には、強度の変化は小さく、強度の減衰も緩やかである。(b)によると、クラッド入射の場合には、強度の変化は小さいものの、強度の減衰が急激である。(c)によると、コア斜め入射の場合には、強度の変化が大きい。(d)及び(e)によると、コアオフセット入射1及びコアオフセット入射2の場合には、強度の変化が大きく、また、強度の減衰も急激である。
このように、蛍光の強度の変化がより大きい場合には、光の直進性が低く、光の減衰も早い。そこで、直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像の明るさの、光導波路により光が伝播される伝播方向に対する変化量がより小さい場合に、その変化量がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する。
以上、図2から図5を用いて、直進性判断部140が光の直進性を判断する方法について説明したが、直進性判断の手法は以上の手法に限定されるものではない。例えば、直進性判断部140は、蛍光の像のコントラスト、対称性、又は強度変化等を、既存の画像解析アルゴリズムにより評価し、その評価値に基づいて直進性を判断してもよい。
ここで、図2から図5は、コア径50ミクロン、クラッド径125ミクロンの光ファイバ20−1から、コア径50ミクロン、クラッド層50ミクロンの光導波路基板30−1に対して励起光が入射された場合の蛍光の像についての実験データを示す。この場合、光ファイバ20−1及び光導波路基板30−1のコア径が同一であるので、光ファイバ20−1から入射された励起光は、光導波路基板30−1のコア又はクラッドの何れかに入射されている場合が多い。このため、励起光が、コア及びクラッドの双方に入射されることは稀である。
これに対して、光ファイバ20−1のコア径が、光導波路基板30−1のコア径よりも大きい場合には、光ファイバ20−1から入射された励起光が、光導波路基板30−1のコア及びクラッドの各々に入射される場合がある。このような場合には、励起光は、コア及びクラッドの各々により伝播される。しかしながら、クラッドに入射された励起光は、コアに入射された励起光と比較して減衰が極めて早い。このため、光の像を解析し、光の強度が最も高い部分を基準に判断すれば、コアに入射された励起光の直進性のみを判断することができる。このように、本実施例における調整装置10は、光ファイバ20−1のコア径が、光導波路基板30−1のコア径よりも大きい場合であっても、蛍光の強度が最も強い位置を基準に画像を解析することにより、入射光の直進性を適切に判断することができる。
続いて、調整装置10により光接続を調節する4つの適用例について説明する。
図6は、調整装置10により光接続を調節する第1の適用例の動作フローを示す。光配線用部品粗動部132は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる移動範囲として、予め定められた第1移動範囲を設定する(S600)。また、光配線用部品粗動部132は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して予め定められた第1単位距離ずつ移動させるべく、移動させる距離の単位を設定する。
これらの設定の下、接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S610)。具体的には、光観測部120は、光ファイバ20−1が光配線用部品粗動部132により移動される毎に、光導波路基板30−1の光導波路の側面から発せられる蛍光を受光する。そして、接続調節部150は、光観測部120により最も強い蛍光が受光された場合の光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置とする。より詳細な処理については後述する。
これに加えて、調整装置10は、S600及びS610と略同一の処理により、光ファイバ20−2を光導波路基板30−1に対して接続する光接続を調節してもよい。このように、光導波路の入射側及び出射側の各々を独立して調節できるので、局所的な最適位置に設定してしまうことを防ぐことができる。また、各々の光接続を独立して調節できることから、多数の光配線用部品を直列に順次接続する場合における調節の工程を簡略化できるとともに、調節の精度を高めることができる。
次に、光配線用部品微動部134は、光観測部120により最も強い蛍光が受光された場合の光ファイバ20−1の位置を含む、第1移動範囲より狭い予め定められた大きさの第2移動範囲を、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる移動範囲として設定する(S620)。また、光配線用部品微動部134は、光ファイバ20−1を、第1単位距離より短い予め定められた第2単位距離ずつ移動させるべく、移動させる距離の単位を設定する。
これらの設定の下、接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S630)。具体的には、光観測部120は、光ファイバ20−1が光配線用部品微動部134により移動される毎に、光導波路基板30−1の光導波路の側面から発せられる蛍光を受光する。そして、接続調節部150は、光観測部120により最も強い蛍光が受光された場合の光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置とする。これに加えて、調整装置10は、S620及びS630と略同一の処理により、光ファイバ20−2を光導波路基板30−1に対して接続する光接続を調節してもよい。
このように、調整装置10は、おおまかな調節を一旦行った後に、その調節よりも移動範囲を狭めてより精度の高い調節を行う。これにより、調節に要する時間を削減すると共に、調節の精度を高めることができる。
図7は、調整装置10により光接続を調節する第2の適用例の動作フローを示す。S700からS720までの処理は、図6で説明した、S600からS620までの処理と略同一であるので説明を省略する。S720における設定の下、接続調節部150は、通常光入射部110により入射された光通信用の光が光導波路基板30−1の光導波路を透過する透過光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S730)。
具体的には、光観測部120は、光ファイバ20−1が光配線用部品微動部134により移動される毎に、光導波路基板30−1の光導波路を透過する透過光を受光する。そして、接続調節部150は、光観測部120により最も強い透過光が受光された場合の光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置として決定する。
このように、本図の適用例によれば、まず、接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を予め定められた精度で調節する。その後、接続調節部150は、通常光入射部110により入射された光が光導波路を透過する透過光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続をその予め定められた精度より高い精度で調節する。これにより、透過光が観測可能な状況においては、調節の精度を更に高めることができる。
図8は、調整装置10により光接続を調節する第3の適用例の動作フローを示す。本例により、光導波路基板30−1の入射側及び出射側の各々に光ファイバ20−1及び光ファイバ20−2の各々を接続する場合の処理を説明する。まず、光配線用部品位置姿勢制御部130は、調節の対象として光ファイバ20−1を選択する(S800)。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、予め定められた移動範囲内で、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して予め定められた単位距離ずつ移動させるべく、移動範囲及び単位距離を設定する。
次に、接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S810)。具体的には、励起光入射部100は、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1の一端に励起光を入射する。そして、光観測部120は、光ファイバ20−1が光配線用部品位置姿勢制御部130により移動される毎に、光導波路基板30−1の光導波路の側面から発せられる蛍光を受光する。そして、接続調節部150は、光観測部120により最も強い蛍光が受光された場合の光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置とする。
次に、光配線用部品位置姿勢制御部130は、調節の対象として光ファイバ20−2を選択する(S820)。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、予め定められた移動範囲内で、光ファイバ20−2を光導波路基板30−1に対して予め定められた単位距離ずつ移動させるべく、移動範囲及び単位距離を設定する。次に、接続調節部150は、通常光入射部110により入射された通信用の光が、光導波路基板30−1及び光ファイバ20−2を透過して出射される透過光の強度に基づいて、光導波路基板30−1と光ファイバ20−2との光接続を調節する(S830)。
具体的には、通常光入射部110は、光ファイバ20−1により光導波路基板30−1を経由して光ファイバ20−2に対して光通信用の光を入射させる。そして、光観測部120は、通常光入射部110により入射された光が光導波路基板30−1及び光ファイバ20−2を透過して出射される透過光を受光する。接続調節部150は、その透過光の強度が最も強い場合の光ファイバ20−2の位置を、光ファイバ20−2を設置すべき位置として決定する。
このように、入射側及び出射側の一方を、側面から発せられる蛍光の強度により調節すれば、入射側及び出射側の他方については、従来の透過光による方法により問題なく調節することができる。即ち、本実施例の調整装置10によれば、従来の方法と組み合わせることにより、従来の方法の欠点を補完することもできる。
これに代えて、光観測部120は、励起光入射部100により入射された励起光が光導波路基板30−1及び光ファイバ20−2を透過して出射される透過光を受光してもよい。この場合、接続調節部150は、当該励起光の透過光の強度に基づいて、光ファイバ20−2と光導波路基板30−1との光接続を調節する。このように、光導波路が充分に短く励起光の減衰が少ない場合においては、通常光入射部110等が不要となるので、調整装置10の構成を簡略化できる。
図9は、蛍光の強度に基づいて光接続を調節する処理の動作フローを示す。励起光入射部100は、光導波路基板30−1の光導波路を蛍光させる励起光を、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1に対して入射させる(S900)。そして、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−1の端面に対する、光ファイバ20−1の相対的な角度と、光導波路基板30−1の設置位置に対する光ファイバ20−1の相対的な設置位置を調節する(S910からS940)。
具体的には、まず、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−1の面を基準とした光ファイバ20−1の極角を、予め定められた規定範囲内で予め定められた規定角度ずつ変更した、各極角について、以下の判断を行う(S910)。また、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−1の面を基準とした光ファイバ20−1の方位角を、予め定められた規定範囲内で予め定められた規定角度ずつ変更した、各方位角について、以下の判断を行う(S920)。
また、光配線用部品位置姿勢制御部130は、設定された移動範囲内を、設定された単位距離ずつ、光導波路基板30−1の面に対して水平に移動させた各位置について、以下の判断を行う(S930)。また、光配線用部品位置姿勢制御部130は、設定された移動範囲内を、設定された単位距離ずつ、光導波路基板30−1の面に対して垂直な方向に移動させた各位置について、以下の判断を行う(S940)。
接続調節部150は、光配線用部品位置姿勢制御部130により変更され定められた極角、方位角、水平方向の位置、及び垂直方向の位置が、光ファイバ20−1を設置すべき位置として適しているか否かを判断する(S950)。
以上の判断を、垂直方向の位置が変更される毎に、水平方向の位置が変更される毎に、方位角が変更される毎に、極角が変更される毎にそれぞれ行う(S960、S970、S980、S990)。次に、接続調節部150は、S950において光ファイバ20−1を設置すべき位置と判断された位置に、光ファイバ20−1を設置する(S995)。
図10は、図9のS950における処理の詳細を示す。光観測部120は、光導波路基板30−1の光導波路の側面から発せられる蛍光の像を撮影する(S1000)。光導波路基板30−1に発光部分がある場合に(S1110:YES)、光観測部120は、複数の光導波路の側面から蛍光が発せられたか否かを判断する(S1120)。
複数の光導波路の側面から蛍光が発せられた場合に(S1120:YES)、光観測部120は、それら複数の光導波路のうち調節の対象として利用者により指定された一の光導波路を選択し(S1130)、選択したその一の光導波路の側面から発せられる蛍光を受光する。そしてこの場合、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる移動範囲を、指定された一の光導波路を中心とする範囲に再設定してもよい(S1140)。
次に、直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像に基づいて、光導波路により伝播される光の直進性を判断する(S1150)。これに代えて、接続調節部150が、光観測部120により撮影された蛍光の像に基づいて、その蛍光の強度を判断してもよい。そして、これまでで直進性又は強度が最も高い場合に(S1160:YES)、接続調節部150は、光ファイバ20−1の現在の位置及び角度を、光ファイバ20−1の設置位置として登録する(S1170)。
以上、図9及び図10に示すように、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1の位置及び角度を順次変更し、光観測部120は、位置及び角度が変更される毎に、蛍光を受光する。そして、接続調節部150は、蛍光の強度又は励起光の直進性が最高となる場合の光ファイバ20−1の位置又は角度を、光ファイバ20−1の位置又は角度として決定する。これにより、光導波路を透過して出射される透過光の強度を測定することなく光導波路の側面から発せられる蛍光の強度に基づいて光接続を調節することができる。
図11は、第1の変形例における調整装置10の構成を示す。本変形例においては、図1と異なり、光ファイバ20−1とカメラ115とが接続されている。ここで、カメラ115は、例えばフォトダイオード等の、平面上の一点から発せられる蛍光の強度を測定するデバイスである。そして、好ましくは、カメラ115は、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1の光導波路に入射させる光の延長線上の位置の、光導波路基板30−1の面を基準とした法線上に配置される。更に好ましくは、カメラ115は、光ファイバ20−1が光導波路基板30−1の平面と垂直な方向に移動した場合であっても移動せず、光導波路基板30−1との距離を、蛍光の強度を測定するための適切な大きさに保持する。
即ち例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1の平面と水平な方向に移動させるのに伴い、カメラ115を光導波路基板30−1に対して移動させ、この結果、光観測部120は、光配線用部品位置姿勢制御部130により光ファイバ20−1が移動されるのに伴って、観測の対象とする位置を変更することができる。本変形例における調整装置10についてのその他の構成は、図1に示す構成と略同一であるので説明を省略する。
このように、本変形例によれば、光観測部120は、光ファイバ20−1が移動された場合であっても常に、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1の光導波路に入射させる光の延長線上の位置から発せられる蛍光を受光できる。これにより、図1の例と異なり、蛍光の像全体を撮影する必要がなく、かつ、カメラ115の設置位置を調整に先立って予め定めておく必要がないので、カメラ115の設備及び調整の手間を簡略化できる。
図12は、第2の変形例における調整装置10の構成を示す。調整装置10は、反射膜40と、励起光入射部100と、光観測部120と、受光素子125と、光配線用部品位置姿勢制御部130と、接続調節部150とを備える。本例においては、光ファイバ20−1の途中を切断し、切断前後の二本のファイバの間にレンズとプリズムを置く。そして、プリズムの反射面に反射膜40を形成しておく。反射膜40は、例えば、ブラッグ反射を利用した多層反射膜である。この場合、反射膜40の反射波長は導波路材料からの蛍光の波長にしておく。
励起光入射部100は、光導波路基板30−1の光導波路を蛍光させる励起光を、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1に対して入射させる。この際、励起光入射部100から出射された励起光は、反射膜40を透過して光ファイバ20−1に入射される。この励起光により、導波路のコア材料が蛍光し、その蛍光は、コア・クラッド界面で全反射を繰り返して導波路の端面から出射される。このため、励起光を入射した端面からも蛍光が出射される。
光ファイバ20−1から出射された蛍光は、反射膜40により反射されて進行方向が変更され、受光素子125に到達する。即ち、光観測部120は、光導波路基板30−1から光ファイバ20−1に対して出射される、光導波路基板30−1の蛍光を、受光素子125により受光する。ここで、受光素子125により受光された蛍光がより強い時には、励起されたコア材料がより多くなる。そして、励起されたコア材料がより多い時とは、光導波路により伝播される励起光の直進性及び強度がより高い時である。
そこで、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動し、光観測部120は、光ファイバ20−1が光配線用部品位置姿勢制御部130により移動される毎に蛍光を受光する。そして、接続調節部150は、その蛍光の強度に基づいて、その蛍光の強度が最も強い場合における光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置として決定する。本変形例における調整装置10のその他の構成については、図1で説明した調整装置10と略同一であるので説明を省略する。
以上、本変形例に拠れば、光導波路の側面が観測できない場合であっても、光導波路の端面から出射される蛍光の強度に基づいて、光接続を適切に調節できる。
図13は、第3の変形例における調整装置10の構成を示す。調整装置10は、励起光入射部100と、通常光入射部110と、光観測部120と、光配線用部品位置姿勢制御部130と、直進性判断部140と、接続調節部150とを備える。本変形例における調整装置10は、図1に示した調整装置10とは異なり、光ファイバ20−1に、第1の光導波路である光導波路基板30−1と、光導波路基板30−1より長い第2の光導波路である光導波路基板30−2とを直列に接続する場合について、これらの光導波路の調芯を行うことを目的とする。
励起光入射部100は、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1の一端に励起光を入射する。通常光入射部110は、光通信用の光を、光ファイバ20−1から光導波路基板30−1内の光導波路に対して入射させる。例えば、通常光入射部110は、光接続の調節精度を更に高めるために、励起光入射部100と排他的に使用される。光観測部120は、光導波路基板30−1に入射された励起光による光導波路基板30−1の蛍光を、カメラ115により受光する。
光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して予め定められた第1単位距離ずつ移動させる光配線用部品粗動部132と、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して第1単位距離より短い予め定められた第2単位距離ずつ移動させる光配線用部品微動部134とを有する。
直進性判断部140は、光観測部120により撮影された蛍光の像に基づいて、光導波路基板30−1の光導波路により伝播される光の直進性を判断する。そして、接続調節部150は、直進性判断部140により判断された光の直進性に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する。例えば、接続調節部150は、光配線用部品位置姿勢制御部130により光ファイバ20−1が移動される毎に光の像の直進性を判断し、直進性が最も高い場合における光ファイバ20−1の位置を、光ファイバ20−1の設置位置として決定してもよい。
そして、光観測部120は、更に、光導波路基板30−1の他端から出射され光導波路基板30−2の一端から入射された励起光による、光導波路基板30−2の蛍光を、カメラ117により受光する。そして、直進性判断部140は、同様に、光観測部120により撮影された蛍光の像に基づいて、光導波路基板30−2の光導波路により伝播される光の直進性を判断する。接続調節部150は、直進性判断部140により判断された光の直進性に基づいて、光導波路基板30−1と光導波路基板30−2との光接続を調節する。
図14は、第3の変形例において調整装置10により光接続を調節する処理の動作フローを示す。 光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−1を調節の対象として選択する(S1400)。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる移動範囲や、光ファイバ20−1を光導波路基板30−1に対して移動させる移動の単位を設定してもよい。
接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光ファイバ20−1と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S1410)。S1410における処理の詳細は、図9で説明した処理と略同一であるので説明を省略する。続いて、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−2を調節の対象として選択する(S1420)。例えば、光配線用部品位置姿勢制御部130は、光導波路基板30−2を光導波路基板30−1に対して移動させる移動範囲や、光導波路基板30−2を光導波路基板30−1に対して移動させる移動の単位を設定してもよい。接続調節部150は、光観測部120により受光された蛍光の強度に基づいて、光導波路基板30−2と光導波路基板30−1との光接続を調節する(S1430)。S1410における処理の詳細は、図9で説明した処理と略同一であるので説明を省略する。
このように、本例に拠れば、複数の光導波路が直列に接続されている場合には、一つの光導波路に対して入射した励起光により、複数の接続箇所の調芯をまとめて行うことができる。これにより、入射箇所を変更する必要がないので、光接続の調節に伴う全体の工程数を減らすことができる。また、2つの光導波路を直列に接続する場合には、長さが短い方の光導波路に対して励起光を入射することにより、各々の光導波路から適切に蛍光を生じさせることができる。
以上、本実施例及びその変形例に示したように、調整装置10は、入射光が光導波路のコアを透過しているか否かを、光導波路の側面から観測される蛍光の像によって的確に判断することができる。このため、調整に先立って予めコアの位置を見つける必要が無く、調整の工程数を削減できる。また、入射側及び出射側を独立して調節することができるので、局所的な最適位置に調整してしまうことを防ぐことができる。さらに、既存の光配線に対して新たに光配線用部品を加える場合には、光配線全体に光を透過する試験が不要であり、新たな光接続のみを調節できるので、作業効率が高い。また、光導波路が充分に短いため、透過光の強度のみによってはクラッド入射及びコア入射を区別できない場合であっても、光接続を適切に調節することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
図1は、調整装置10の構成を示す。 図2は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像の具体例を示す。 図3は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像のうち、光の伝播方向と垂直な直線上の像における蛍光の強度を示す。 図4は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像のうち、光の伝播方向に対する蛍光の強度の変化を示す。 図5は、撮影範囲35において撮影された蛍光の像のうち、光の伝播方向に対する蛍光の強度の変化を示す。 図6は、調整装置10により光接続を調節する第1の適用例の動作フローを示す。 図7は、調整装置10により光接続を調節する第2の適用例の動作フローを示す。 図8は、調整装置10により光接続を調節する第3の適用例の動作フローを示す。 図9は、蛍光の強度に基づいて光接続を調節する処理の動作フローを示す。 図10は、図9のS950における処理の詳細を示す。 図11は、第1の変形例における調整装置10の構成を示す。 図12は、第2の変形例における調整装置10の構成を示す。 図13は、第3の変形例における調整装置10の構成を示す。 図14は、第3の変形例において調整装置10により光接続を調節する処理の動作フローを示す。
符号の説明
10 調整装置
20 光ファイバ
30 光導波路基板
32 コア
34 クラッド
35 撮影範囲
40 反射膜
100 励起光入射部
110 通常光入射部
115 カメラ
117 カメラ
118 カメラ
120 光観測部
125 受光素子
130 光配線用部品位置姿勢制御部
132 光配線用部品粗動部
134 光配線用部品微動部
140 直進性判断部
150 接続調節部

Claims (18)

  1. 光を伝播させるコアと、前記コアを被覆するクラッドとを有し、可視帯域で蛍光する光導波路と、前記光導波路に対して光を入射し又は前記光導波路から出射した光を受光する光配線用部品との光接続を調節する調節装置であって、
    コア材料を蛍光させる光を、前記光配線用部品から前記コア及び前記クラッドの界面を透過させずに前記コアに対して入射させる励起光入射部と、
    前記光導波路を、前記光導波路内を伝播する光が入射又は出射されるべき端面とは異なる側面から観測し、前記コアの内部から発せられる蛍光を、前記クラッドを透過して受光する光観測部と、
    前記光観測部により最も強い蛍光が受光された場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する接続調節部と
    を備え
    前記光観測部は、前記光導波路の前記側面から発せられる蛍光の像を撮影し、
    前記光観測部により撮影された前記蛍光の像に基づいて、前記光導波路により伝播される光の直進性を判断する直進性判断部を更に備え、
    前記接続調節部は、前記直進性判断部により判断された光の直進性に基づいて、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する調節装置。
  2. 前記光導波路は、他の光導波路と前記クラッドを共有し、
    前記光観測部は、複数の前記光導波路の側面から蛍光が発せられた場合に、前記複数の光導波路のうち調節の対象として指定された一の光導波路を選択し、選択した当該一の光導波路の側面から発せられる蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、最も強い蛍光が受光された場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する
    請求項記載の調節装置。
  3. 前記励起光入射部は、前記光導波路を蛍光させる光として、光通信に用いる光とは波長が異なる光を前記光導波路に対して入射させる
    請求項1または2に記載の調節装置。
  4. 前記励起光入射部は、有機材料で形成された前記光導波路を可視帯域で蛍光させる光を、前記光導波路に対して入射させる
    請求項1から3のいずれか1項に記載の調節装置。
  5. 前記励起光入射部は、ポリシラン、アクリル、又はエポキシで形成された前記光導波路を可視帯域で蛍光させる光を、前記光導波路に対して入射させる
    請求項1から4のいずれか1項に記載の調節装置。
  6. 前記直進性判断部は、前記光導波路により光が伝播されるべき伝播方向に対する前記光観測部により撮影された前記蛍光の像の傾きの、前記伝播方向に対する変化量がより小さい場合に、当該変化量がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  7. 前記直進性判断部は、前記光観測部により撮影された前記蛍光の像の明るさの、前記光導波路により光が伝播される伝播方向に対する変化量がより小さい場合に、当該変化量がより大きい場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  8. 前記直進性判断部は、前記光観測部により撮影された前記蛍光の像のうち光の伝播方向に垂直な直線上の像について、当該直線上における蛍光の最も明るい位置から、当該位置の蛍光に対して予め定められた割合の蛍光の強度となる当該直線上の位置までの幅を算出し、算出した当該幅がより狭い場合に、当該幅がより広い場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  9. 前記直進性判断部は、前記光観測部により撮影された前記蛍光の像のうち光の伝播方向と垂直な直線上の像について、当該直線上における蛍光の最も明るい位置を中心とした当該像の対称性がより高い場合に、当該対称性がより低い場合と比較して、光の直進性がより高いと判断する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  10. 前記光配線用部品を前記光導波路に対して予め定められた第1単位距離ずつ移動させる光配線用部品粗動部を更に備え、
    前記光観測部は、前記光配線用部品が前記光配線用部品粗動部により移動される毎に、前記光導波路の側面から発せられる蛍光を受光し、
    前記光観測部により最も強い蛍光が受光された位置を含む、前記光配線用部品粗動部による移動範囲より狭いあらかじめ定められた範囲内を、前記第1単位距離より短い予め定められた第2単位距離ずつ移動させる光配線用部品微動部を更に備え、
    前記光観測部は、前記光配線用部品が前記光配線用部品微動部により移動される毎に、前記光導波路の側面から発せられる蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、前記光観測部により受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置として決定する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  11. 前記光配線用部品により前記光導波路に対して光通信用の光を入射させる通常光入射部を更に備え、
    前記接続調節部は、前記光観測部により受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を予め定められた精度で調節し、前記通常光入射部により入射された光が前記光導波路を透過する透過光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を前記予め定められた精度より高い精度で調節する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  12. 前記光導波路の入射側及び出射側の各々に第1の前記光配線用部品及び第2の前記光配線用部品の各々を接続する場合において、
    前記励起光入射部は、前記第1の光配線用部品から前記光導波路の一端に光を入射し、
    前記光観測部は、前記光導波路に入射された光による前記光導波路の蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、前記光観測部により受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記第1の光配線用部品の位置を、前記第1の光配線用部品の設置位置とするように、前記第1の光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節し、
    前記第1の光配線用部品により前記光導波路を経由して前記第2の光配線用部品に対して光通信用の光を入射させる通常光入射部を更に備え、
    前記光観測部は、更に、前記通常光入射部により入射された光が前記光導波路及び前記第2の光配線用部品を透過して出射される透過光を受光し、
    前記接続調節部は、更に、前記通常光入射部により入射された光が前記光導波路及び前記第2の光配線用部品を透過して出射される当該透過光の強度が最も強い場合の前記第2の光配線用部品の位置を、前記第2の光配線用部品の設置位置とするように、前記光導波路と前記第2の光配線用部品との光接続を調節する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  13. 前記光配線用部品に、第1の前記光導波路と、前記第1の光導波路より長い第2の前記光導波路とを直列に接続する場合において、
    前記励起光入射部は、前記光配線用部品から前記第1の光導波路の一端に光を入射し、
    前記光観測部は、前記第1の光導波路に入射された光による前記第1の光導波路の蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、前記光観測部により受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記第1の光導波路との光接続を調節し、
    前記光観測部は、更に、前記第1の光導波路の他端から出射され前記第2の光導波路の一端から入射される光による、前記第2の光導波路の蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、前記第2の光導波路の蛍光の強度が最も強くなるように、前記第1の光導波路と前記第2の光導波路との光接続を調節する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  14. 前記光配線用部品を前記光導波路に対して移動させる光配線用部品位置姿勢制御部を更に備え、
    前記光観測部は、前記光配線用部品位置姿勢制御部により前記光配線用部品が移動されるのに伴って、観測の対象とする位置を変更することにより、前記光配線用部品から前記光導波路に入射される光の延長線上の位置から発せられる蛍光を受光し、
    前記接続調節部は、前記光観測部により受光された蛍光の強度を最も強くする位置に、前記光配線用部品を設置する
    請求項1から5のいずれか1項に記載の調節装置。
  15. 光を伝播させるコアと、前記コアを被覆するクラッドとを有し、可視帯域で蛍光する光導波路と、前記光導波路に対して光を入射し又は前記光導波路から出射した光を受光する光配線用部品との光接続を調節する調節方法であって、
    コア材料を蛍光させる光を、前記光配線用部品から前記コア及び前記クラッドの界面を透過させずに前記コアに対して入射させる光入射段階と、
    前記光導波路を、前記光導波路内を伝播する光が入射又は出射されるべき端面とは異なる側面から観測し、前記コアの内部から発せられる蛍光を、前記クラッドを透過して受光する光観測段階と、
    前記光観測段階において最も強い蛍光が受光された場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する接続調節段階と
    を備え
    前記光観測段階は、前記光導波路の前記側面から発せられる蛍光の像を撮影し、
    前記光観測段階で撮影された前記蛍光の像に基づいて、前記光導波路により伝播される光の直進性を判断する直進性判断段階を更に備え、
    前記接続調節段階は、前記直進性判断段階で判断された光の直進性に基づいて、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する調節方法。
  16. 前記光観測段階は、前記光導波路から前記光配線用部品に対して出射される、前記コアの内部から発せられる蛍光を受光し
    前記接続調節段階は、前記光観測段階において受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する請求項15に記載の調節方法。
  17. 光を伝播させるコアと、前記コアを被覆するクラッドとを有し、可視帯域で蛍光する光導波路と、前記光導波路に対して光を入射し又は前記光導波路から出射した光を受光する光配線用部品とを接続することにより光配線を製造する製造方法であって、
    コア材料を蛍光させる光を、前記光配線用部品から前記コア及び前記クラッドの界面を透過させずに前記コアに対して入射させる光入射段階と、
    前記光導波路を、前記光導波路内を伝播する光が入射又は出射されるべき端面とは異なる側面から観測し、前記コアの内部から発せられる蛍光を、前記クラッドを透過して受光する光観測段階と、
    前記光観測段階において最も強い蛍光が受光された場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する接続調節段階と
    を備え、
    前記光観測段階は、前記光導波路の前記側面から発せられる蛍光の像を撮影し、
    前記光観測段階で撮影された前記蛍光の像に基づいて、前記光導波路により伝播される光の直進性を判断する直進性判断段階を更に備え、
    前記接続調節段階は、前記直進性判断段階で判断された光の直進性に基づいて、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する製造方法。
  18. 前記光観測段階は、前記光導波路から前記光配線用部品に対して出射される、前記コアの内部から発せられる蛍光を受光し
    前記接続調節段階は、前記光観測段階において受光された蛍光の強度が最も強い場合の前記光配線用部品の位置を、前記光配線用部品の設置位置とするように、前記光配線用部品と前記光導波路との光接続を調節する請求項17に記載の製造方法。
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