JP2003121686A - 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 - Google Patents
位置合わせ装置及び位置合わせ方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、光ファイバのコアと光導波路のコア
の位置を容易に合わせることができる位置合わせ装置を
提供することを目的としている。 【解決手段】位置合わせ装置Ａは、ＸＹＺ方向に移動自
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な第１のステ
−ジ１と、この第１のステ−ジ１に設けられ、光ファイ
バ４を保持する第１の保持部13と、ＸＹＺ方向に移動自
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な第２のステ
−ジ２と、この第２のステ−ジ２に設けられ、光導波路
５を保持する第２の保持部23と、第１のステ−ジ１と第
２のステ−ジ２は並設し、この並設した第１のステ−ジ
１と第２のステ−ジ２に沿って移動自在に設けられた偏
光顕微鏡３と、この偏光顕微鏡３を介して撮像する撮像
手段６と、この撮像手段６によって撮像された画像を処
理する画像処理手段７と、この画像処理手段７によって
得られた画像情報に基づいて、光ファイバ４のコアと光
導波路５のコアの位置を合わせるように第１のステ−ジ
１と第２のステ−ジ２を相対的に移動させる移動制御手
段８とを有するものである。
の位置を容易に合わせることができる位置合わせ装置を
提供することを目的としている。 【解決手段】位置合わせ装置Ａは、ＸＹＺ方向に移動自
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な第１のステ
−ジ１と、この第１のステ−ジ１に設けられ、光ファイ
バ４を保持する第１の保持部13と、ＸＹＺ方向に移動自
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な第２のステ
−ジ２と、この第２のステ−ジ２に設けられ、光導波路
５を保持する第２の保持部23と、第１のステ−ジ１と第
２のステ−ジ２は並設し、この並設した第１のステ−ジ
１と第２のステ−ジ２に沿って移動自在に設けられた偏
光顕微鏡３と、この偏光顕微鏡３を介して撮像する撮像
手段６と、この撮像手段６によって撮像された画像を処
理する画像処理手段７と、この画像処理手段７によって
得られた画像情報に基づいて、光ファイバ４のコアと光
導波路５のコアの位置を合わせるように第１のステ−ジ
１と第２のステ−ジ２を相対的に移動させる移動制御手
段８とを有するものである。
Description
【０００１】本発明は、位置合わせ装置及び位置合わせ
方法に係り、特に、光ファイバのコアの位置と光導波路
のコアの位置を容易に合わせることができる位置合わせ
装置及び位置合わせ方法に関する。
方法に係り、特に、光ファイバのコアの位置と光導波路
のコアの位置を容易に合わせることができる位置合わせ
装置及び位置合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバと光導波路とを接続する際、
光ファイバのコアの位置と光導波路のコアの位置が一致
していないと、光伝達の損出要因となるため、光ファイ
バのコアの位置と光導波路のコアの位置は、一致させな
ければならない。従来の「光ファイバのコアの位置と光
導波路のコアの位置の位置合わせ方法」は、光ファイバ
（又は光導波路）のコアとクラッドとの境界部が目視で
きないため、例えば、光ファイバのコアの位置と光導波
路のコアの位置を適宜に合わせ、光源からの可視光を順
次、光ファイバ、光導波路と導き、該光導波路から出た
光の量を見ることにより、光ファイバのコアの位置と光
導波路のコアの位置を調節しており、位置合わせが容易
でないという問題点があった。
光ファイバのコアの位置と光導波路のコアの位置が一致
していないと、光伝達の損出要因となるため、光ファイ
バのコアの位置と光導波路のコアの位置は、一致させな
ければならない。従来の「光ファイバのコアの位置と光
導波路のコアの位置の位置合わせ方法」は、光ファイバ
（又は光導波路）のコアとクラッドとの境界部が目視で
きないため、例えば、光ファイバのコアの位置と光導波
路のコアの位置を適宜に合わせ、光源からの可視光を順
次、光ファイバ、光導波路と導き、該光導波路から出た
光の量を見ることにより、光ファイバのコアの位置と光
導波路のコアの位置を調節しており、位置合わせが容易
でないという問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した問
題点を除去するようにした位置合わせ装置及び位置合わ
せ方法を提供するものである。
題点を除去するようにした位置合わせ装置及び位置合わ
せ方法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の位置合わせ方法は、偏光顕微鏡又は
暗視野顕微鏡により光ファイバのコアの位置と光導波路
のコアの位置をそれぞれ検出し、この検出結果に基づい
て、前記光ファイバのコアと前記光導波路のコアの位置
を合わせるように、前記光ファイバと前記光導波路を相
対的に移動させて、前記光ファイバのコアと前記光導波
路のコアの位置を合わせることができる。
に、請求項１記載の位置合わせ方法は、偏光顕微鏡又は
暗視野顕微鏡により光ファイバのコアの位置と光導波路
のコアの位置をそれぞれ検出し、この検出結果に基づい
て、前記光ファイバのコアと前記光導波路のコアの位置
を合わせるように、前記光ファイバと前記光導波路を相
対的に移動させて、前記光ファイバのコアと前記光導波
路のコアの位置を合わせることができる。
【０００５】また、請求項２記載の位置合わせ装置は、
ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第１のステ−ジと、この第１のステ−ジに設け
られ、光ファイバを保持する第１の保持部と、ＸＹＺ方
向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な
第２のステ−ジと、この第２のステ−ジに設けられ、光
導波路を保持する第２の保持部と、前記第１のステ−ジ
と前記第２のステ−ジは並設し、この並設した前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジに沿って移動自在に設
けられた偏光顕微鏡と、この偏光顕微鏡を介して撮像す
る撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画像を
処理する画像処理手段と、この画像処理手段によって得
られた画像情報に基づいて、前記光ファイバのコアと前
記光導波路のコアの位置を合わせるように前記第１のス
テ−ジと前記第２のステ−ジを相対的に移動させる移動
制御手段とを有するものである。
ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第１のステ−ジと、この第１のステ−ジに設け
られ、光ファイバを保持する第１の保持部と、ＸＹＺ方
向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な
第２のステ−ジと、この第２のステ−ジに設けられ、光
導波路を保持する第２の保持部と、前記第１のステ−ジ
と前記第２のステ−ジは並設し、この並設した前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジに沿って移動自在に設
けられた偏光顕微鏡と、この偏光顕微鏡を介して撮像す
る撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画像を
処理する画像処理手段と、この画像処理手段によって得
られた画像情報に基づいて、前記光ファイバのコアと前
記光導波路のコアの位置を合わせるように前記第１のス
テ−ジと前記第２のステ−ジを相対的に移動させる移動
制御手段とを有するものである。
【０００６】また、請求項３記載の位置合わせ装置は、
ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第１のステ−ジと、この第１のステ−ジに設け
られ、光ファイバを保持する第１の保持部と、ＸＹＺ方
向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な
第２のステ−ジと、この第２のステ−ジに設けられ、光
導波路を保持する第２の保持部と、前記第１のステ−ジ
と前記第２のステ−ジは並設し、この並設した前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジに沿って移動自在に設
けられた暗視野顕微鏡と、この暗視野顕微鏡を介して撮
像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画
像を処理する画像処理手段と、この画像処理手段によっ
て得られた画像情報に基づいて、前記光ファイバのコア
と前記光導波路のコアの位置を合わせるように前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジを相対的に移動させる
移動制御手段とを有するものである。
ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第１のステ−ジと、この第１のステ−ジに設け
られ、光ファイバを保持する第１の保持部と、ＸＹＺ方
向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在な
第２のステ−ジと、この第２のステ−ジに設けられ、光
導波路を保持する第２の保持部と、前記第１のステ−ジ
と前記第２のステ−ジは並設し、この並設した前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジに沿って移動自在に設
けられた暗視野顕微鏡と、この暗視野顕微鏡を介して撮
像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画
像を処理する画像処理手段と、この画像処理手段によっ
て得られた画像情報に基づいて、前記光ファイバのコア
と前記光導波路のコアの位置を合わせるように前記第１
のステ−ジと前記第２のステ−ジを相対的に移動させる
移動制御手段とを有するものである。
【０００７】
【実施例】本発明の一実施例の位置合わせ装置及び位置
合わせ方法を図面を参照して説明する。 （実施例１）Ａは位置合わせ装置で、位置合わせ装置Ａ
は、並設した第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２と、
この並設した第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２に沿
って移動自在に設けられた偏光顕微鏡３とを有している
（図１乃至図６参照）。
合わせ方法を図面を参照して説明する。 （実施例１）Ａは位置合わせ装置で、位置合わせ装置Ａ
は、並設した第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２と、
この並設した第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２に沿
って移動自在に設けられた偏光顕微鏡３とを有している
（図１乃至図６参照）。
【０００８】第１のステ−ジ１は、ＸＹＺ方向に移動自
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在に支持されて
いる。ここでＸ方向とは、例えば、水平方向であり、Ｙ
方向とは、例えば、水平方向で、Ｘ方向に直交する方向
であり、Ｚ方向とは、例えば、Ｘ方向及びＹ方向に直交
する垂直方向である。そして、第１のステ−ジ１は、Ｘ
Ｙの面に回動自在な回転ステ−ジ11と、この回転ステ−
ジ11に載置され、ＸＹＺ方向に移動自在なＸＹＺステ−
ジ12と、このＸＹＺステ−ジ12（第１のステ−ジ１）の
上面には、光ファイバ４を保持する第１の保持部13が設
けられている。
在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在に支持されて
いる。ここでＸ方向とは、例えば、水平方向であり、Ｙ
方向とは、例えば、水平方向で、Ｘ方向に直交する方向
であり、Ｚ方向とは、例えば、Ｘ方向及びＹ方向に直交
する垂直方向である。そして、第１のステ−ジ１は、Ｘ
Ｙの面に回動自在な回転ステ−ジ11と、この回転ステ−
ジ11に載置され、ＸＹＺ方向に移動自在なＸＹＺステ−
ジ12と、このＸＹＺステ−ジ12（第１のステ−ジ１）の
上面には、光ファイバ４を保持する第１の保持部13が設
けられている。
【０００９】また、第２のステ−ジ２は、ＸＹＺ方向に
移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在に支持
されている。ここでＸ方向とは、例えば、水平方向であ
り、Ｙ方向とは、例えば、水平方向で、Ｘ方向に直交す
る方向であり、Ｚ方向とは、例えば、Ｘ方向及びＹ方向
に直交する垂直方向である。そして、第２のステ−ジ２
は、ＸＹの面に回動自在な回転ステ−ジ21と、この回転
ステ−ジ21に載置され、ＸＹＺ方向に移動自在なＸＹＺ
ステ−ジ22と、このＸＹＺステ−ジ22（第２のステ−ジ
２）の上面には、光導波路５を保持する第２の保持部23
が設けられている。
移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回動自在に支持
されている。ここでＸ方向とは、例えば、水平方向であ
り、Ｙ方向とは、例えば、水平方向で、Ｘ方向に直交す
る方向であり、Ｚ方向とは、例えば、Ｘ方向及びＹ方向
に直交する垂直方向である。そして、第２のステ−ジ２
は、ＸＹの面に回動自在な回転ステ−ジ21と、この回転
ステ−ジ21に載置され、ＸＹＺ方向に移動自在なＸＹＺ
ステ−ジ22と、このＸＹＺステ−ジ22（第２のステ−ジ
２）の上面には、光導波路５を保持する第２の保持部23
が設けられている。
【００１０】また、偏光顕微鏡３は、偏光顕微鏡３側よ
り発した光源（例えば、白色光）を光ファイバ４（光導
波路５）の接続面に光を当てると共に、例えば、偏光顕
微鏡３のポ−ラ−を調整して反射する反射光の電磁波の
ある成分を選択的に吸収し、平面偏光して屈折率の異な
るコアとクラッドとの境界部を視覚化することができ
る。６は、偏光顕微鏡３を介して撮像する撮像手段で、
撮像手段６は、例えば、撮像素子（ＣＣＤカメラ）であ
る。そして、撮像素子（ＣＣＤカメラ）は光電変換し、
その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理手段７
は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理して第１
のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）における光ファ
イバ４のコア（又は記光導波路５のコアの位置）を検出
するようになっている。
り発した光源（例えば、白色光）を光ファイバ４（光導
波路５）の接続面に光を当てると共に、例えば、偏光顕
微鏡３のポ−ラ−を調整して反射する反射光の電磁波の
ある成分を選択的に吸収し、平面偏光して屈折率の異な
るコアとクラッドとの境界部を視覚化することができ
る。６は、偏光顕微鏡３を介して撮像する撮像手段で、
撮像手段６は、例えば、撮像素子（ＣＣＤカメラ）であ
る。そして、撮像素子（ＣＣＤカメラ）は光電変換し、
その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理手段７
は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理して第１
のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）における光ファ
イバ４のコア（又は記光導波路５のコアの位置）を検出
するようになっている。
【００１１】また、８は、例えば、パソコン９に内蔵さ
れ、画像処理手段７によって得られた画像情報に基づい
て、光ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合
わせるように第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２を相
対的に移動させる移動制御手段である。この移動制御手
段８は、画像処理手段７によって得られた第１のステ−
ジ１のにおける光ファイバ４のコアの位置と、第２のス
テ−ジ２における光導波路５のコアの位置が一致するよ
うに、第１のステ−ジ１又は第２のステ−ジ２をＸＹＺ
方向に移動させることができるように制御される。
れ、画像処理手段７によって得られた画像情報に基づい
て、光ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合
わせるように第１のステ−ジ１と第２のステ−ジ２を相
対的に移動させる移動制御手段である。この移動制御手
段８は、画像処理手段７によって得られた第１のステ−
ジ１のにおける光ファイバ４のコアの位置と、第２のス
テ−ジ２における光導波路５のコアの位置が一致するよ
うに、第１のステ−ジ１又は第２のステ−ジ２をＸＹＺ
方向に移動させることができるように制御される。
【００１２】従って、図１及び図２に示すように、偏光
顕微鏡３を水平方向に移動させて、第１のステ−ジ１に
近接させると共に、第１のステ−ジ１の第１の保持部13
に保持された光ファイバ４の接続面が偏光顕微鏡３の対
物レンズ31に対向するように第１のステ−ジ１を回動さ
せる。そして、偏光顕微鏡３側より発した光源（照明方
向を図６に矢印で示す。）を光ファイバ４の接続面に光
を当てると共に、偏光顕微鏡３のポ−ラ−を調整して反
射する反射光の電磁波のある成分を選択的に吸収し、平
面偏光して屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を
撮像手段６［例えば、ＣＣＤカメラ（撮像素子）］によ
り視覚化する。ＣＣＤカメラ（撮像素子）６は光電変換
し、その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理手
段７は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理して
第１のステ−ジ１における光ファイバ４のコアの位置を
検出する。
顕微鏡３を水平方向に移動させて、第１のステ−ジ１に
近接させると共に、第１のステ−ジ１の第１の保持部13
に保持された光ファイバ４の接続面が偏光顕微鏡３の対
物レンズ31に対向するように第１のステ−ジ１を回動さ
せる。そして、偏光顕微鏡３側より発した光源（照明方
向を図６に矢印で示す。）を光ファイバ４の接続面に光
を当てると共に、偏光顕微鏡３のポ−ラ−を調整して反
射する反射光の電磁波のある成分を選択的に吸収し、平
面偏光して屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を
撮像手段６［例えば、ＣＣＤカメラ（撮像素子）］によ
り視覚化する。ＣＣＤカメラ（撮像素子）６は光電変換
し、その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理手
段７は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理して
第１のステ−ジ１における光ファイバ４のコアの位置を
検出する。
【００１３】一方、図３に示すように、偏光顕微鏡３を
水平方向に移動させて、第２のステ−ジ２に近接させる
と共に、第２のステ−ジ２の第２の保持部23に保持され
た光導波路５の接続面が偏光顕微鏡３の対物レンズ31に
対向するようになっている。そして、偏光顕微鏡３側よ
り発した光源を光導波路５の接続面に光を当てると共
に、偏光顕微鏡３のポ−ラ−を調整して反射する反射光
（端面反射光）の電磁波のある成分を選択的に吸収し、
平面偏光して屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部
を撮像手段６［例えば、ＣＣＤカメラ（撮像素子）］に
より視覚化する。ＣＣＤカメラ（撮像素子）６は光電変
換し、その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理
手段７は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理し
て第２のステ−ジ２における光導波路５のコアの位置を
検出する。
水平方向に移動させて、第２のステ−ジ２に近接させる
と共に、第２のステ−ジ２の第２の保持部23に保持され
た光導波路５の接続面が偏光顕微鏡３の対物レンズ31に
対向するようになっている。そして、偏光顕微鏡３側よ
り発した光源を光導波路５の接続面に光を当てると共
に、偏光顕微鏡３のポ−ラ−を調整して反射する反射光
（端面反射光）の電磁波のある成分を選択的に吸収し、
平面偏光して屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部
を撮像手段６［例えば、ＣＣＤカメラ（撮像素子）］に
より視覚化する。ＣＣＤカメラ（撮像素子）６は光電変
換し、その画像信号を画像処理手段７に送る。画像処理
手段７は、画像信号に基づいて撮像された画像を処理し
て第２のステ−ジ２における光導波路５のコアの位置を
検出する。
【００１４】また、第１のステ−ジ１の第１の保持部13
に保持された光ファイバ４の接続面と第２のステ−ジ２
の第２の保持部23に保持された光導波路５の接続面とが
対向するように、第１のステ−ジ１及び第２のステ−ジ
２を回動させる（図４及び図５参照）。そして、画像処
理手段７によって得られた光ファイバ４のコアの位置と
光導波路５のコアの位置に基づいて、移動制御手段８に
より、第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を光
ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合わせる
ように第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を移
動させることができる。
に保持された光ファイバ４の接続面と第２のステ−ジ２
の第２の保持部23に保持された光導波路５の接続面とが
対向するように、第１のステ−ジ１及び第２のステ−ジ
２を回動させる（図４及び図５参照）。そして、画像処
理手段７によって得られた光ファイバ４のコアの位置と
光導波路５のコアの位置に基づいて、移動制御手段８に
より、第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を光
ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合わせる
ように第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を移
動させることができる。
【００１５】なお、上述の実施例においては、偏光顕微
鏡３側より発した光源を光ファイバ４（又は光導波路
５）の接続面に光を当てて反射する反射光（端面反射
光）を撮像手段６により撮像するようにしたが、本願発
明にあっては、これに限らず、例えば、図７に示すよう
に、偏光顕微鏡３の対物レンズ31に対向するように反射
体９（例えば、ミラ−）を設けて、偏光顕微鏡３側より
発した光源による反射光［（端面反射光）反射光を図７
に下から上に向かう矢印で示す。］に加えて、偏光顕微
鏡３側より発した光源（照明方向を図７に上から下に向
かう矢印で示す。）を反射体９により反射させて光ファ
イバ４（又は光導波路５）を透過する透過光をも撮像手
段６により撮像し、上述の実施例と同様に、撮像手段６
によりの画像信号を画像処理手段７で処理し、画像処理
手段７によって得られた光ファイバ４のコアの位置と光
導波路５のコアの位置に基づいて、移動制御手段８によ
り、第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を光フ
ァイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合わせるよ
うに第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を移動
させても良いし、更に、図８に示すように、偏光顕微鏡
３の外よりの光源（照明方向を図８に矢印で示す。）を
使用すると共に、光ファイバ４（又は光導波路５）を透
過する透過光を撮像手段６により撮像し、上述の実施例
と同様に、撮像手段６によりの画像信号を画像処理手段
７で処理し、画像処理手段７によって得られた光ファイ
バ４のコアの位置と光導波路５のコアの位置に基づい
て、移動制御手段８により、第１のステ−ジ１（又は第
２のステ−ジ２）を光ファイバ４のコアと光導波路５の
コアの位置を合わせるように第１のステ−ジ１（又は第
２のステ−ジ２）を移動させても良い。
鏡３側より発した光源を光ファイバ４（又は光導波路
５）の接続面に光を当てて反射する反射光（端面反射
光）を撮像手段６により撮像するようにしたが、本願発
明にあっては、これに限らず、例えば、図７に示すよう
に、偏光顕微鏡３の対物レンズ31に対向するように反射
体９（例えば、ミラ−）を設けて、偏光顕微鏡３側より
発した光源による反射光［（端面反射光）反射光を図７
に下から上に向かう矢印で示す。］に加えて、偏光顕微
鏡３側より発した光源（照明方向を図７に上から下に向
かう矢印で示す。）を反射体９により反射させて光ファ
イバ４（又は光導波路５）を透過する透過光をも撮像手
段６により撮像し、上述の実施例と同様に、撮像手段６
によりの画像信号を画像処理手段７で処理し、画像処理
手段７によって得られた光ファイバ４のコアの位置と光
導波路５のコアの位置に基づいて、移動制御手段８によ
り、第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を光フ
ァイバ４のコアと光導波路５のコアの位置を合わせるよ
うに第１のステ−ジ１（又は第２のステ−ジ２）を移動
させても良いし、更に、図８に示すように、偏光顕微鏡
３の外よりの光源（照明方向を図８に矢印で示す。）を
使用すると共に、光ファイバ４（又は光導波路５）を透
過する透過光を撮像手段６により撮像し、上述の実施例
と同様に、撮像手段６によりの画像信号を画像処理手段
７で処理し、画像処理手段７によって得られた光ファイ
バ４のコアの位置と光導波路５のコアの位置に基づい
て、移動制御手段８により、第１のステ−ジ１（又は第
２のステ−ジ２）を光ファイバ４のコアと光導波路５の
コアの位置を合わせるように第１のステ−ジ１（又は第
２のステ−ジ２）を移動させても良い。
【００１６】また、上述の実施例においては、光ファイ
バ４（又は光導波路５）の接続面に光を当てて反射する
反射光または光ファイバ４（又は光導波路５）を透過す
る透過光を偏光顕微鏡３を介して撮像手段６により撮像
するようにしたが、本願発明にあっては、これに限ら
ず、例えば、図９に示すように、光ファイバ４（又は光
導波路５）の接続面に光（図９に矢印で示す。）を当て
て散乱する散乱光を暗視野顕微鏡３’を介して上述と同
様な撮像手段６により、撮像し、上述の実施例と同様
に、撮像手段６によりの画像信号を画像処理手段７で処
理し、画像処理手段７によって得られた光ファイバ４の
コアの位置と光導波路５のコアの位置に基づいて、移動
制御手段８により、第１のステ−ジ１（又は第２のステ
−ジ２）を光ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位
置を合わせるように第１のステ−ジ１（又は第２のステ
−ジ２）を移動させても良い。
バ４（又は光導波路５）の接続面に光を当てて反射する
反射光または光ファイバ４（又は光導波路５）を透過す
る透過光を偏光顕微鏡３を介して撮像手段６により撮像
するようにしたが、本願発明にあっては、これに限ら
ず、例えば、図９に示すように、光ファイバ４（又は光
導波路５）の接続面に光（図９に矢印で示す。）を当て
て散乱する散乱光を暗視野顕微鏡３’を介して上述と同
様な撮像手段６により、撮像し、上述の実施例と同様
に、撮像手段６によりの画像信号を画像処理手段７で処
理し、画像処理手段７によって得られた光ファイバ４の
コアの位置と光導波路５のコアの位置に基づいて、移動
制御手段８により、第１のステ−ジ１（又は第２のステ
−ジ２）を光ファイバ４のコアと光導波路５のコアの位
置を合わせるように第１のステ−ジ１（又は第２のステ
−ジ２）を移動させても良い。
【発明の効果】請求項１記載の位置合わせ方法によれ
ば、偏光顕微鏡又は暗視野顕微鏡により屈折率の異なる
コアとクラッドとの境界部を明瞭に視覚化できるため、
光ファイバのコアと光導波路のコアの位置を容易に合わ
せることができる。
ば、偏光顕微鏡又は暗視野顕微鏡により屈折率の異なる
コアとクラッドとの境界部を明瞭に視覚化できるため、
光ファイバのコアと光導波路のコアの位置を容易に合わ
せることができる。
【００１７】また、請求項２記載の位置合わせ装置によ
れば、屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を偏光
顕微鏡を介して明瞭に視覚化した像を撮像手段により撮
像し、画像処理手段によって得られた画像情報に基づい
て、移動制御手段により光ファイバのコアと光導波路の
コアの位置を容易に合わせることができる。
れば、屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を偏光
顕微鏡を介して明瞭に視覚化した像を撮像手段により撮
像し、画像処理手段によって得られた画像情報に基づい
て、移動制御手段により光ファイバのコアと光導波路の
コアの位置を容易に合わせることができる。
【００１８】また、請求項３記載の位置合わせ装置によ
れば、屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を暗視
野顕微鏡を介して明瞭に視覚化した像を撮像手段により
撮像し、画像処理手段によって得られた画像情報に基づ
いて、移動制御手段により光ファイバのコアと光導波路
のコアの位置を容易に合わせることができる。
れば、屈折率の異なるコアとクラッドとの境界部を暗視
野顕微鏡を介して明瞭に視覚化した像を撮像手段により
撮像し、画像処理手段によって得られた画像情報に基づ
いて、移動制御手段により光ファイバのコアと光導波路
のコアの位置を容易に合わせることができる。
【図１】図１は、本発明の一実施例の位置合わせ装置の
概略的構成図である。
概略的構成図である。
【図２】図２は、図１の位置決め装置の概略的平面図で
ある。
ある。
【図３】図３は、図２の位置決め装置の偏光顕微鏡が移
動した状態の概略的平面図である。
動した状態の概略的平面図である。
【図４】図４は、図３の位置決め装置の第１のステ−ジ
及び第２のステ−ジが回動して、光ファイバと光導波路
との接合面が対向した状態の概略的平面図である。
及び第２のステ−ジが回動して、光ファイバと光導波路
との接合面が対向した状態の概略的平面図である。
【図５】図５は、図４の概略的側面図である。
【図６】図６は、図２の一部を拡大して示す概略的一部
拡大平面図である。
拡大平面図である。
【図７】図７は、図６と異なる他の実施例の投光状態を
示す概略的一部拡大平面図である。
示す概略的一部拡大平面図である。
【図８】図８は、図７と異なる他の実施例の投光状態を
示す概略的一部拡大平面図である。
示す概略的一部拡大平面図である。
【図９】図９は、図８と異なる他の実施例を示す概略的
一部拡大平面図である。
一部拡大平面図である。
Ａ 位置合わせ装置
１ 第１のステ−ジ
２ 第２のステ−ジ
３ 偏光顕微鏡
４ 光ファイバ
５ 光導波路
６ 撮像手段
７ 画像処理手段
８ 移動制御手段
13 第１の保持部
23 第２の保持部
Claims (3)
- 【請求項１】偏光顕微鏡又は暗視野顕微鏡により光ファ
イバのコアの位置と光導波路のコアの位置をそれぞれ検
出し、この検出結果に基づいて、前記光ファイバのコア
と前記光導波路のコアの位置を合わせるように、前記光
ファイバと前記光導波路を相対的に移動させて、前記光
ファイバのコアと前記光導波路のコアの位置を合わせる
ことを特徴とする位置合わせ方法。 - 【請求項２】ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記
ＸＹの面に回動自在な第１のステ−ジと、 この第１のステ−ジに設けられ、光ファイバを保持する
第１の保持部と、 ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第２のステ−ジと、 この第２のステ−ジに設けられ、光導波路を保持する第
２の保持部と、 前記第１のステ−ジと前記第２のステ−ジは並設し、 この並設した前記第１のステ−ジと前記第２のステ−ジ
に沿って移動自在に設けられた偏光顕微鏡と、 この偏光顕微鏡を介して撮像する撮像手段と、 この撮像手段によって撮像された画像を処理する画像処
理手段と、 この画像処理手段によって得られた画像情報に基づい
て、前記光ファイバのコアと前記光導波路のコアの位置
を合わせるように前記第１のステ−ジと前記第２のステ
−ジを相対的に移動させる移動制御手段とを有すること
を特徴とする位置合わせ装置。 - 【請求項３】ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記
ＸＹの面に回動自在な第１のステ−ジと、 この第１のステ−ジに設けられ、光ファイバを保持する
第１の保持部と、 ＸＹＺ方向に移動自在であると共に、前記ＸＹの面に回
動自在な第２のステ−ジと、 この第２のステ−ジに設けられ、光導波路を保持する第
２の保持部と、 前記第１のステ−ジと前記第２のステ−ジは並設し、 この並設した前記第１のステ−ジと前記第２のステ−ジ
に沿って移動自在に設けられた暗視野顕微鏡と、 この暗視野顕微鏡を介して撮像する撮像手段と、 この撮像手段によって撮像された画像を処理する画像処
理手段と、 この画像処理手段によって得られた画像情報に基づい
て、前記光ファイバのコアと前記光導波路のコアの位置
を合わせるように前記第１のステ−ジと前記第２のステ
−ジを相対的に移動させる移動制御手段とを有すること
を特徴とする位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001313348A JP2003121686A (ja) | 2001-10-11 | 2001-10-11 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001313348A JP2003121686A (ja) | 2001-10-11 | 2001-10-11 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003121686A true JP2003121686A (ja) | 2003-04-23 |
Family
ID=19131832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001313348A Pending JP2003121686A (ja) | 2001-10-11 | 2001-10-11 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003121686A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006091759A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法 |
| US7221830B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-05-22 | Tdk Corporation | Method and apparatus for connecting optical transmission module and core position detection method for optical waveguide |
| JP2014006459A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 光学部品の製造方法及び光学部品の製造装置 |
| JP2020020990A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 接合装置および接合方法 |
-
2001
- 2001-10-11 JP JP2001313348A patent/JP2003121686A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7221830B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-05-22 | Tdk Corporation | Method and apparatus for connecting optical transmission module and core position detection method for optical waveguide |
| JP2006091759A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光接続の調節装置及び調節方法、並びに光配線の製造方法 |
| JP2014006459A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 光学部品の製造方法及び光学部品の製造装置 |
| JP2020020990A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 接合装置および接合方法 |
| JP7065725B2 (ja) | 2018-08-02 | 2022-05-12 | 三菱電機株式会社 | 接合装置および接合方法 |
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