JP4696926B2 - 有機el素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 基板(11)上にカラーフィルタ層(13)、ガスバリア層(20)、および有機EL構造体(30)が順次積層されてなる有機EL素子において、
前記ガスバリア層(20)はAlxTiyOzからなるアモルファス薄膜であり、且つこのAlxTiyOzの組成比におけるAlに対するTiの原子数比率が10atom%以上のものであり、
前記ガスバリア層(20)の膜厚が30nm以上であり、前記AlxTiyOzの組成比におけるAlに対するTiの原子数比率が28atom%以下であることを特徴とする有機EL素子。 - 前記ガスバリア層(20)は、原子層成長法にて形成されてなるものであることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。
- 請求項1または2に記載の有機EL素子を製造する有機EL素子の製造方法であって、
前記ガスバリア層(20)を原子層成長法にて成膜するとともに、このガスバリア層(20)の成膜時の前記基板(11)の温度を100℃以上400℃以下とすることを特徴とする有機EL素子の製造方法。
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