JP6281412B2 - 金属構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
次に、本実施形態の金属構造体の製造方法について述べる。この金属構造体は、上述したように、耐酸性膜20におけるAlxTiyOz膜21、および、TiO2膜22を、それぞれALDにより成膜することで製造される。このALDによる製造方法の一例について、図2を参照して述べる。
[耐酸性試験による検討等]
ところで、本実施形態の交互積層膜としての耐酸性膜20において、yの比率を33atom%以上99atom%以下とした構成を採用したことは、次に述べるような本発明者が行った実験検討を根拠とするものである。その検討結果について、以下に述べることとする。
以上のように、本実施形態によれば、耐酸性膜20を、AlxTiyOz膜21とTiO2膜22との交互積層膜とし、且つ、AlxTiyOz膜21におけるyの比率を33atom%以上99atom%以下とすることで、大幅な耐酸性の向上を実現することができる。
なお、金属部材10としては、表面11に耐酸性膜20を成膜できるものであればよく、上記した鉄系金属以外の金属よりなるものであってもよい。また、金属構造体の適用については、上記した自動車用部品に限定されるものではなく、その他の金属部品等に適用してもよいことはもちろんである。
11 金属部材の表面
20 耐酸性膜
21 AlxTiyOz膜
22 TiO2膜
Claims (4)
- 金属部材(10)と、
前記金属部材の表面(11)に当該表面を被覆するように設けられた耐酸性膜(20)と、を備え、
前記耐酸性膜は、前記金属部材の表面側から順に、アモルファス状態の薄膜でありx、y、zを相対原子数とするAlxTiyOz膜(21)、結晶状態の薄膜であるTiO2膜(22)を交互に複数回繰り返して積層してなるものであり、
前記AlxTiyOz膜において相対原子数xとyの総和(x+y)を100atom%としたとき、当該(x+y)に対する相対原子数yの比率が33atom%以上99atom%以下であることを特徴とする金属構造体。 - 1層の前記TiO2膜の膜厚は、4nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の金属構造体。
- 1層の前記AlxTiyOz膜の膜厚は、7nm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の金属構造体。
- 請求項1に記載の金属構造体の製造方法であって、
前記耐酸性膜における前記AlxTiyOz膜、および、前記TiO2膜を、それぞれALD(原子気相成長法)により成膜することを特徴とする金属構造体の製造方法。
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