JP4680657B2 - 基板搬送システム - Google Patents
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Description
2 トレイ
3 ステージ
4 基板搬送ロボット
4A ハンド部
4B 多関節アーム
6 処理室
21 櫛歯
23 収容部
30 ステージ上面(静電チャック)
31 載置部
32 リフターピン
41 櫛歯
43 滑り止め部材
W ウェーハ(被処理基板)
Claims (7)
- 複数枚の被処理基板を支持するトレイと、
複数枚の被処理基板が載置されるステージと、
伸縮自在な多関節アームの先端に複数枚の被処理基板を支持するハンド部が設けられ、前記トレイと前記ステージとの間で前記複数枚の被処理基板を一括的に移載する基板搬送ロボットとを備え、
前記トレイの上面には、前記複数枚の被処理基板の収容位置を規定する複数の収容部が設けられ、
前記ハンド部及び前記トレイはそれぞれ、互いに係合する櫛型形状を有しており、
前記ステージには、前記ハンド部との間で前記複数枚の被処理基板を受け渡すための機構部が設けられていることを特徴とする基板搬送システム。 - 前記ハンド部には、前記複数枚の被処理基板がエリア状に並置される請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記ハンド部の上面には、基板の裏面に密着する滑り止め部材が設けられている請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記トレイは、所定の間隙をあけて高さ方向に複数配置されている請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記機構部は、前記ステージの上面から上方へ突出して前記ハンド部の櫛歯間に進入可能なリフターピンである請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記ステージは、真空処理室に設置されている請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記ステージは、静電チャックである請求項1に記載の基板搬送システム。
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