JP2009065165A - エンドエフェクタ及びこれを有する基板移送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記エンドエフェクタは、リストプレートと、垂直方向に移動自在に前記リストプレートに連結され、第1基板を支持するための第1ブレードと、前記第1ブレードと隣接するように前記リストプレートに連結され、第2基板を支持するための第2ブレードと、を含む。昇降ユニットは、前記第1基板が前記第1ブレードによって支持されるように前記第1ブレードを上方に移動させ、前記第2基板が前記第2ブレードによって支持されるよう前記第1ブレードを下方に移動させる。
【選択図】図2
Description
図1は、従来の基板移送ロボットを説明するための斜視図である。
図1を参照すると、従来の基板移送ロボットは、ハウジング10上に装着されたベースアーム20、ベースアーム20の先端部に締結された第1及び第2先端アーム(30、40)、及び第1及び第第2先端アーム(30、40)の先端部に回転自在にそれぞれ締結された第1及び第2ブレード(51、53)を含む。基板移送ロボットは、第1及び第2ブレード(51、53)を用いてバッファチャンバと工程チャンバとの間に半導体基板(W1、W2)を移送する。
本発明の他の目的は、複数の基板を同時にピックアップしうるエンドエフェクタを含む基板移送ロボットを提供することにある。
本発明の実施例によると、前記第1基板は、処理される基板および処理された基板のいずれかであり、前記第2基板は、前記処理される基板および処理された基板の残りの一枚であってもよい。
本発明の実施例によると、前記エンドエフェクタは、前記第1及び第2ブレードの端部上に配置され、前記第1及び第2基板が前記第1及び第2ブレードから落ちることを防止するためのストッパーを更に含むことができる。
図2は、本発明の一実施例によるエンドエフェクタを説明するための平面図であり、図3は、図2のI−I’線に沿って見た断面図である。
前記第2ブレード130は、前記リストプレート110の先端部に連結される。前記第2ブレード130は、第1ブレード120の外側に配置してもよい。特に、前記第2ブレード130は、第2基板を支持するための複数の第2フィンガ131を含むことができ、前記複数の第2フィンガ131は前記第1フィンガ121の外側面と隣接するようにそれぞれ配置することができる。
図6を参照すると、第1エンドエフェクタ401は、第1リストプレート410、第1ブレード420、及び第2ブレード430を含む。
図7及び図8は、図4に示した基板移送ロボットを用いて基板を移送する方法を説明するための平面図である。
120 第1ブレード
121 第1フィンガ
125 第1ストッパー
126 第1セラミック層
128 第2セラミック層
130 第2ブレード
131 第2フィンガ
135 第2ストッパー
140 昇降ユニット
200 基板移送ロボット
201 下部アーム
205 ハウジング
206 駆動ボックス
262 第1モータープーリー
263 第1ベルト
264 ハウジングプーリー
265 回転軸
301 上部アーム
310 回転軸
352 第3モータープーリー
353 第3ベルト
354 上部アームプーリー
355 上部アーム回転軸
357 第4ベルト
401 エンドエフェクタ
410 第1リストプレート
420 第1ブレード
421 第1フィンガ
425 第1ストッパー
430 第2ブレード
435 第2ストッパー
440 昇降ユニット
450 第4駆動ユニット
451 第4モーター
452 第4モータープーリー
455 第1スピンドル
456 第1スピンドル従動プーリー
457 第6ベルト
459 第2スピンドル
460 第2スピンドル従動プーリー
462 ブレードプーリー
463 第3スピンドル
501 第2エンドエフェクタ
510 第2リストプレート
520 第3ブレード
521 第3フィンガ
530 第4ブレード
531 第4フィンガ
Claims (11)
- リストプレートと、
垂直方向に移動自在に前記リストプレートに連結され、第1基板を支持するための第1ブレードと、
前記第1ブレードと隣接するように前記リストプレートに連結され、第2基板を支持するための第2ブレードと、を含むことを特徴とするエンドエフェクタ。 - 前記第1ブレードが前記第1基板を支持するように前記第1ブレードを上方に移動させ、前記第2ブレードが前記第2基板を支持するように前記第1ブレードを下方に移動させる昇降ユニットを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のエンドエフェクタ。
- 前記昇降ユニットは、前記第1ブレードを移動させるための駆動部及び前記駆動部を制御するための制御部を含むことを特徴とする請求項2に記載のエンドエフェクタ。
- 前記第1基板は、処理される基板および処理された基板のいずれかであり、前記第2基板は、前記処理される基板および処理された基板の残りの一枚であることを特徴とする請求項1に記載のエンドエフェクタ。
- 前記第1及び第2ブレードの端部上に配置され、前記第1及び第2基板が前記第1及び第2ブレードから落ちることを防止するためのストッパーを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のエンドエフェクタ。
- 回転自在のハウジングと、
前記ハウジングに回転自在に連結された下部アームと、
前記下部アームの端部に回転自在に連結された上部アームと、
前記上部アームの端部に回転自在に連結されたリストプレート、垂直方向に移動自在に前記リストプレートに連結されて第1基板を支持するための第1ブレード、及び前記第1ブレードと隣接するように前記リストプレートに連結されて第2基板を支持するための第2ブレード、を含むエンドエフェクタと、を含むことを特徴とする基板移送ロボット。 - 前記エンドエフェクタは、前記第1ブレードが前記第1基板を支持するように前記第1ブレードを上方に移動させ、前記第2ブレードが前記第2基板を支持するように前記第1ブレードを下方に移動させる昇降ユニットを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の基板移送ロボット。
- 前記昇降ユニットは、前記第1ブレードを移動させるための駆動部および前記駆動部を制御するための制御部を含むことを特徴とする請求項7に記載の基板移送ロボット。
- 前記エンドエフェクタは、前記第1及び第2ブレードの端部上に配置され、前記第1及び第2基板が前記第1及び第2ブレードから落ちることを防止するためのストッパーを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の基板移送ロボット。
- 前記上部アームの端部に回転自在に連結された第2リストプレート、垂直方向に移動自在に前記第2リストプレートに連結されて第3基板を支持するための第3ブレード、及び前記第3ブレードと隣接するように前記第2リストプレートに連結されて第4基板を支持するための第4ブレードを含む第2エンドエフェクタを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の基板移送ロボット。
- 前記第2エンドエフェクタは、前記第3ブレードが前記第3基板を支持するように前記第3ブレードを上方に移動させ、前記第4ブレードが前記第4基板を支持するように前記第3ブレードを下方に移動させる第2昇降ユニットを更に含むことを特徴とする請求項10に記載の基板移送ロボット。
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