JP4656747B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4656747B2 JP4656747B2 JP2001097908A JP2001097908A JP4656747B2 JP 4656747 B2 JP4656747 B2 JP 4656747B2 JP 2001097908 A JP2001097908 A JP 2001097908A JP 2001097908 A JP2001097908 A JP 2001097908A JP 4656747 B2 JP4656747 B2 JP 4656747B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- potential
- circuit
- node
- reference potential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
- G11C5/145—Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dram (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Logic Circuits (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体装置に関し、特に、外部電源電位によって駆動され、テストモードを有する半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、ダイナミックランダムアクセスメモリ(以下、DRAMと称す)では、高集積化とともに低電源電圧化が進められている。このため、DRAMには、外部電源電位を降圧して内部電源電位を生成するための内部電源電位発生回路が設けられている。また、DRAMでは、出荷後の比較的早期に不良が発生する初期不良品をリジェクトするため、出荷前にバーンインテストが行なわれる。バーインテストでは、通常よりも高い内部電源電位が印加され、高温環境下で各メモリセルのデータの書込/読出が行なわれる。これにより、不良の発生が加速され、初期不良品が出荷されるのが防止される。
【0003】
図10は、そのようなDRAMの内部電源電位発生回路80の構成を示すブロック図である。図10において、この内部電源電位発生回路は、VPP発生回路81、VDDS発生回路82およびVDDP発生回路83を含む。
【0004】
VPP発生回路81は、図11に示すように、リングオシレータ84、チャージポンプ回路85およびディテクタ86を含む。ディテクタ86は、電源ノードN85の電位VPPとVDDS発生回路82からの内部電源電位VDDSを受け、VPP<VDDS+2Vthn(ただし、VthnはNチャネルMOSトランジスタのしきい値電圧である)の場合は信号φEを「H」レベルにし、VPP≧VDDS+2Vthnの場合は信号φEを「L」レベルにする。リングオシレータ84は、信号φEが「H」レベルの場合はクロック信号CLKを生成してチャージポンプ回路85に与え、信号φEが「L」レベルの場合は非活性化される。チャージポンプ回路85は、クロック信号CLKの各立上がりエッジに応答して所定量の正電荷を電源ノードN85に与える。
【0005】
VPP<VDDS+2Vthnの場合はチャージポンプ回路85から電源ノードN85に正電荷が供給され、VPP≧VDDS+2Vthnの場合はチャージポンプ回路85から電源ノードN85への電源供給が停止される。したがって、電源ノードN85の電位VPPはVDDS+2Vthnに維持される。内部電源電位VPPは、ワード線の選択レベルとして用いられる。
【0006】
VDDS発生回路82は、図12に示すように、オペアンプ90、定電流源91、可変抵抗素子92およびPチャネルMOSトランジスタ93,94を含む。定電流源91および可変抵抗素子92は、外部電源電位VCCのラインと接地電位VSSのラインとの間に直列接続される。PチャネルMOSトランジスタ93のソースは外部参照電位VRS′を受け、そのドレインは定電流源91と可変抵抗素子92の間のノードN91に接続され、そのゲートはテスト信号/TEを受ける。
【0007】
PチャネルMOSトランジスタ94は、外部電源電位VCCのラインと電源ノードN94との間に接続される。オペアンプ90の反転入力端子はノードN91に接続され、その非反転入力端子は電源ノードN94に接続され、その出力端子はPチャネルMOSトランジスタ94のゲートに接続される。オペアンプ90およびPチャネルMOSトランジスタ94は、電圧フォロアを構成し、電源ノードN94の電位VDDSをノードN91の電位と同じレベルに維持する。内部電源電位VDDSは、センスアンプに与えられる。
【0008】
チューニング時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタ93が非導通になる。内部電源電位VDDSが所定値VRSになるように可変抵抗素子92の抵抗値がチューニングされる。
【0009】
バーンインテスト時は、テスト信号/TEが活性化レベルの「H」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタ93が導通し、内部電源電位VDDSは外部参照電位VRS′(>VRS)となる。また、内部電源電位VPPはVRS′+2Vthnとなる。通常動作時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタ93が非導通になって内部電源電位VDDSがVRSになる。また、内部電源電位VPPはVRS+2Vthnとなる。
【0010】
VDDP発生回路83は、図13に示すように、オペアンプ95、定電流源96、可変抵抗素子97、PチャネルMOSトランジスタ98,99、NチャネルMOSトランジスタ100およびインバータ101を含む。定電流源96および可変抵抗素子97は、外部電源電位VCCのラインと接地電位VSSのラインとの間に直列接続される。PチャネルMOSトランジスタ99は外部電源電位VCCのラインと電源ノードN98との間に接続される。オペアンプ95の反転入力端子は定電流源96と可変抵抗素子97の間のノードN96に接続され、その非反転入力端子は電源ノードN98に接続され、その出力端子はPチャネルMOSトランジスタ99のゲートに接続される。オペアンプ95およびPチャネルMOSトランジスタ99は、電圧フォロアを構成し、電源ノードN98の電位VDDPをノードN96の電位と同じレベルに維持する。内部電源電位VDDPは、周辺回路に与えられる。
【0011】
PチャネルMOSトランジスタ98は、定電流源96に並列接続される。NチャネルMOSトランジスタ100は、PチャネルMOSトランジスタ99のゲートと接地電位VSSのラインとの間に接続される。テスト信号/TEは、PチャネルMOSトランジスタ98のゲートに直接入力されるとともに、インバータ101を介してNチャネルMOSトランジスタ100のゲートに入力される。
【0012】
チューニング時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、MOSトランジスタ98,100が非導通になる。内部電源電位VDDSが所定値VRP(>VRS)になるように可変抵抗素子97の抵抗値がチューニングされる。
【0013】
バーンインテスト時は、テスト信号/TEが活性化レベルの「L」レベルにされ、MOSトランジスタ98,100が導通し、内部電源電位VDDPは外部電源電位VCCに等しくなる。通常動作時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、MOSトランジスタ98,100が非導通になり、内部電源電位VDDPはVRPになる。
【0014】
まとめると、通常動作時は、VPP=VRS+2Vthn,VDDS=VRS,VDDP=VRPとなり、バーンインテスト時は、VPP=VRS′+2Vthn,VDDS=VRS′,VDDP=VCCとなり、VRS,VRPはチューニングされる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の内部電源電位発生回路80では、VPP=VDDS+2Vthnとなっていたので、VPPとVDDSを別個独立に設定することができず、VPPが印加される回路部分とVDDSが印加される回路部分とで初期不良の発生を別個に加速させることができず、テスト効率が悪かった。
【0016】
また、2つの可変抵抗素子92,97の抵抗値をチューニングする必要があり、チューニングのための手間が大きかった。
【0017】
それゆえに、この発明の主たる目的は、テスト効率が高い半導体装置を提供することである。
【0018】
また、この発明の他の目的は、内部基準電位を容易に調整することが可能な半導体装置を提供することである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置は、外部電源電位によって駆動される半導体装置であって、外部電源電位よりも低い第1の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第1の基準電位発生回路と、通常動作時は第1の電源ノードを第1の内部基準電位に維持し、半導体装置の不良の発生を加速させるバーンインテストモード時は第1の電源ノードを第1の内部基準電位よりも高い外部基準電位に維持する第1の電源回路と、通常動作時は第2の電源ノードを第1の内部基準電位よりも予め定められた第1の電圧だけ高く、外部電源電位よりも低い昇圧電位に維持し、バーンインテストモード時は第2の電源ノードに外部電源電位を与える第2の電源回路と、第1の電源ノードの電位を外部電源電位側に予め定められた第2の電圧だけレベルシフトさせた電位を出力するレベルシフト回路と、第3の電源ノードをレベルシフト回路の出力電位に維持する第3の電源回路と、第1〜第3の電源ノードを介して第1〜第3の電源回路から駆動電力を受け、所定の動作を行なう内部回路とを備えたものである。
【0020】
好ましくは、第1の基準電位発生回路は、外部電源電位のラインと第1の出力ノードとの間に接続され、第1の出力ノードに予め定められた第1の電流を与える第1の定電流源と、第1の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第1の可変抵抗素子とを含む。
【0021】
また好ましくは、第2の電源回路は、通常動作時において第2の電源ノードの電位が昇圧電位よりも低い場合に活性化され、第2の電源ノードに電流を与えるチャージポンプ回路と、外部電源電位のラインと第2の電源ノードとの間に接続され、バーンインテストモード時に導通するスイッチング素子とを含む。
【0022】
また好ましくは、レベルシフト回路は、外部電源電位のラインと第2の出力ノードとの間に接続され、第2の出力ノードに予め定められた第2の電流を与える第2の定電流源と、第2の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、そのゲートが第1の電源ノードの電位を受けるトランジスタとを含む。
【0023】
また好ましくは、さらに、外部電源電位と第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路が設けられ、第3の電源回路は、通常動作時は第3の電源ノードを第2の内部基準電位に維持し、バーンインテストモード時は第3の電源ノードをレベルシフト回路の出力電位に維持する。
【0024】
また好ましくは、さらに、外部電源電位と第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路と、レベルシフト回路の出力電位と第2の内部基準電位のうちのいずれか一方の電位を選択する選択回路とが設けられ、第3の電源回路は、第3の電源ノードを選択回路によって選択された電位に維持する。
【0025】
また好ましくは、第2の基準電位発生回路は、外部電源電位のラインと第3の出力ノードとの間に接続され、第3の出力ノードに予め定められた第3の電流を与える第3の定電流源と、第3の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第2の可変抵抗素子とを含む。
【0026】
また好ましくは、半導体装置は半導体記憶装置であり、内部回路は、複数行複数列に配置された複数のメモリセルと、それぞれ複数行に対応して設けられた複数のワード線と、それぞれ複数列に対応して設けられた複数のビット線対とを含むメモリアレイと、各ビット線対に対応して設けられ、対応のビット線対間に生じた電位差を増幅するセンスアンプと、行アドレス信号に従って複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択し、そのワード線に対応する各メモリセルを活性化させる行選択回路と、列アドレス信号に従って複数のビット線対のうちのいずれかのビット線対を選択する列選択回路と、列選択回路によって選択されたビット線対を介して行選択回路によって活性化されたメモリセルのデータの書込/読出を行なう書込/読出回路を含む。センスアンプは、第1の電源ノードを介して第1の電源回路から駆動電力を受ける。行選択回路によって選択されたワード線は、第2の電源ノードを介して第2の電源回路から駆動電力を受ける。行選択回路、列選択回路および書込/読出回路は、第3の電源ノードを介して第3の電源回路から駆動電力を受ける。
【0031】
【発明の実施の形態】
[実施の形態1]
図1は、この発明の実施の形態1によるDRAMの全体構成を示すブロック図である。図1において、このDRAMは、内部電源電位発生回路1、クロック発生回路2、行および列アドレスバッファ3、行デコーダ4、列デコーダ5、メモリマット6、入力バッファ9および出力バッファ10を備え、メモリマット6はメモリアレイ7およびセンスアンプ+入出力制御回路8を含む。
【0032】
内部電源電位発生回路1は、外部から与えられる電源電位VCC、接地電位VSSおよび参照電位VRS′に基づいて内部電源電位VPP,VDDS,VDDPを生成し、DRAM全体に供給する。クロック発生回路2は、外部制御信号/RAS,/CASに従って所定の動作モードを選択し、DRAM全体を制御する。
【0033】
行および列アドレスバッファ3は、外部アドレス信号A0〜Ai(ただし、iは0以上の整数である)に従って行アドレス信号RA0〜RAiおよび列アドレス信号CA0〜CAiを生成し、生成した信号RA0〜RAiおよびCA0〜CAiをそれぞれ行デコーダ4および列デコーダ5に与える。
【0034】
メモリアレイ7は、それぞれが1ビットのデータを記憶する複数のメモリセルを含む。各メモリセルは、行アドレスおよび列アドレスによって決定される所定のアドレスに配置される。
【0035】
行デコーダ4は、行および列アドレスバッファ3から与えられた行アドレス信号RA0〜RAiに従って、メモリアレイ7の行アドレスを指定する。列デコーダ5は、行および列アドレスバッファ3から与えられた列アドレス信号CA0〜CAiに従って、メモリアレイ7の列アドレスを指定する。
【0036】
センスアンプ+入出力制御回路8は、行デコーダ4および列デコーダ5によって指定されたアドレスのメモリセルをデータ入出力線対IOPの一方端に接続する。データ入出力線対IOPの他方端は、入力バッファ9および出力バッファ10に接続される。入力バッファ9は、書込モード時に、外部制御信号/Wに応答して、外部から入力されたデータDj(ただし、jは0以上の整数である)をデータ入出力線対IOPを介して選択されたメモリセルに与える。出力バッファ10は、読出モード時に、外部制御信号/OEに応答して、選択されたメモリセルからの読出データQjを外部に出力する。
【0037】
図2は図1に示したDRAMのメモリアレイ7およびセンスアンプ+入出力制御回路8の構成を示す回路ブロック図、図3は図2に示したメモリアレイ7およびセンスアンプ+入出力制御回路8のうちの1つの列の構成を詳細に示す回路図である。
【0038】
図2および図3を参照して、メモリアレイ7は、行列状に配列された複数のメモリセルMCと、各行に対応して設けられたワード線WLと、各列に対応して設けられたビット線対BL,/BLとを含む。各メモリセルMCは、アクセス用のNチャネルMOSトランジスタ32と情報記憶用のキャパシタ33とを含む。各メモリセルMCのNチャネルMOSトランジスタ32のゲートは対応する行のワード線WLに接続される。NチャネルMOSトランジスタ32は、対応する列のビット線BLまたは/BLとそのメモリセルMCのキャパシタ33の一方電極(ストレージノードSN)との間に接続される。各メモリセルMCのキャパシタ33の他方電極はセルプレート電位VCPを受ける。各ワード線WLの一方端は、行デコーダ4に接続される。
【0039】
センスアンプ+入出力制御回路8は、各列に対応して設けられた列選択線CSL、列選択ゲート11、センスアンプ12およびイコライザ13と、ドライバ14およびデータ入出力線対IO,/IO(IOP)とを含む。列選択ゲート11は、それぞれビット線BL,/BLとデータ入出力線IO,/IOとの間に接続されたNチャネルMOSトランジスタ21,22を含む。NチャネルMOSトランジスタ21,22のゲートは、列選択線CSLを介して列デコーダ5に接続される。列デコーダ5によって列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられるとNチャネルMOSトランジスタ21,22が導通し、ビット線対BL,/BLとデータ入出力線対IO,/IOとが結合される。
【0040】
センスアンプ12は、それぞれビット線BL,/BLとノードN12との間に接続されたNチャネルMOSトランジスタ23,24と、それぞれビット線BL,/BLとノードN12′との間に接続されたPチャネルMOSトランジスタ25,26とを含む。MOSトランジスタ23,25のゲートはともにビット線/BLに接続され、MOSトランジスタ24,26のゲートはともにビット線BLに接続される。ドライバ14は、ノードN12と接地電位VSSのラインとの間に接続されたNチャネルMOSトランジスタ27と、ノードN12′と内部電源電位VDDSのラインとの間に接続されたPチャネルMOSトランジスタ28とを含む。MOSトランジスタ27,28のゲートは、それぞれセンスアンプ活性化信号SE,/SEを受ける。センスアンプ活性化信号SE,/SEがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになると、MOSトランジスタ27,28が導通し、ノードN12,N12′がそれぞれ接地電位VSSおよび内部電源電位VDDSになり、センスアンプ12は、ビット線対BL,/BL間の微小電位差を内部電源電圧VDDSに増幅する。
【0041】
イコライザ13は、ビット線BLと/BLの間に接続されたNチャネルMOSトランジスタ29と、それぞれビット線BL,/BLとノードN13′との間に接続されたNチャネルMOSトランジスタ30,31とを含む。NチャネルMOSトランジスタ29〜31のゲートはともにノードN13に接続される。ノードN13はビット線イコライズ信号BLEQを受け、ノードN13′はビット線電位VBL(=VDDS/2)を受ける。イコライザ13は、ビット線イコライズ信号BLEQが活性化レベルの「H」レベルになったことに応じて、ビット線BLと/BLの電位をビット線電位VBLにイコライズする。
【0042】
次に、図1〜図3で示したDRAMの動作について説明する。書込モード時においては、列デコーダ5によって列アドレス信号CA0〜CAiに応じた列の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その列の列選択ゲート11が導通する。
【0043】
入力バッファ9は、信号/Wに応答して、外部から与えられた書込データDjをデータ入出力線対IOPを介して選択された列のビット線対BL,/BLに与える。書込データDjは、ビット線BL,/BL間の電位差として与えられる。
次いで、行デコーダ4によって、行アドレス信号RA0〜RAiに応じた行のワード線WLが選択レベルの「H」レベル(内部電源電位VPP)に立上げられ、その行のメモリセルMCのMOSトランジスタ32が導通する。選択されたメモリセルMCのキャパシタ33には、ビット線BLまたは/BLの電位に応じた電荷が蓄えられる。
【0044】
読出モード時においては、まずビット線イコライズ信号BLEQが「L」レベルに立下げられ、イコライザ13のNチャネルMOSトランジスタ29〜31が非導通になり、ビット線BL,/BLのイコライズが停止される。次いで、行デコーダ4によって行アドレス信号RA0〜RAiに対応する行のワード線WLが選択レベルの「H」レベルに立上げられる。これに応じて、ビット線BL,/BLの電位は、活性化されたメモリセルMCのキャパシタ33の電荷量に応じて微小量だけ変化する。
【0045】
次いで、センスアンプ活性化信号SE,/SEがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルとなり、センスアンプ12が活性化される。ビット線BLの電位がビット線/BLの電位よりも微小量だけ高い場合は、MOSトランジスタ24,25の抵抗値がMOSトランジスタ23,26の抵抗値よりも小さくなって、ビット線BLの電位が「H」レベル(内部電源電位VDDS)まで引き上げられるとともにビット線/BLの電位が「L」レベル(接地電位VSS)まで引き下げられる。逆に、ビット線/BLの電位がビット線BLの電位よりも微小量だけ高い場合は、MOSトランジスタ23,26の抵抗値がMOSトランジスタ24,25の抵抗値よりも小さくなって、ビット線/BLの電位が「H」レベルまで引き上げられるとともにビット線BLの電位が「L」レベルまで引き下げられる。
【0046】
次いで、列デコーダ5によって列アドレス信号CA0〜CAiに対応する列の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その列の列選択ゲート11が導通する。選択された列のビット線対BL,/BLのデータが列選択ゲート11およびデータ入出力線対IO,/IOを介して出力バッファ10に与えられる。出力バッファ10は、信号/OEに応答して、読出データQjを外部に出力する。
【0047】
以下、この発明の特徴となる内部電源電位発生回路1について詳細に説明する。内部電源電位発生回路1は、図4に示すように、VPP発生回路41、VDDS発生回路42およびVDDP発生回路43を含む。
【0048】
VPP発生回路41は、図5に示すように、リングオシレータ44、チャージポンプ回路45、ディテクタ46、NチャネルMOSトランジスタ47、インバータ48およびANDゲート49を含む。リングオシレータ44は、ANDゲート49の出力信号φ49が「H」レベルになったことに応じて活性化され、クロック信号CLKを生成してチャージポンプ回路45に与える。チャージポンプ回路45は、クロック信号CLKによって駆動され、クロック信号CLKの各立上がりエッジに応答して所定量の正電荷を電源ノードN47に供給する。
【0049】
NチャネルMOSトランジスタ47は、外部電源電位VCCのラインと電源ノードN47との間に接続される。テスト信号/TEは、インバータ48を介してNチャネルMOSトランジスタ47のゲートに入力される。ディテクタ46は、電源ノードN47の電位VPPとVDDS発生回路42で生成された内部電源電位VDDSとを受け、VPP<VDDS+2Vthnの場合は信号φEを「H」レベルにし、VPP≧VDDS+2Vthnの場合は信号φEを「L」レベルにする。ANDゲート49は、テスト信号/TEとディテクタ46の出力信号φEとを受け、信号φ49をリングオシレータ44に与える。
【0050】
バーンインテスト時は、テスト信号/TEが「L」レベルにされ、ANDゲート49の出力信号φ49が「L」レベルに固定され、リングオシレータ44が非活性化されてチャージポンプ回路45の駆動が停止される。また、NチャネルMOSトランジスタ47が導通し、電源ノードN47の電位VPPは外部電源電位VCCに等しくなる。
【0051】
通常動作時は、テスト信号/TEが「H」レベルにされ、ディテクタ46の出力信号φEがANDゲート49を通過して信号φ49となり、NチャネルMOSトランジスタ47が非導通になる。電源ノードN47の電位VPPがVDDS+2Vthnよりも低い場合は、信号φE,φ49が「H」レベルになってリングオシレータ44が活性化され、チャージポンプ回路45から電源ノードN47に正電荷が供給される。電源ノードN47の電位VPPがVDDS+2Vthn以上になると、信号φE,φ49が「L」レベルになってリングオシレータ44が非活性化され、チャージポンプ回路45から電源ノードN47への正電荷の供給が停止される。したがって、電源ノードN47の電位VPPは、VDDS+2Vthnに維持される。電源ノードN47の電位VPPは、選択されたワード線WLに与えられる。VPP=VDDS+2Vthnとしたのは、メモリセルMCのNチャネルMOSトランジスタ32の電圧降下を小さく抑えて、ストレージノードSNに十分に高い電位を与えるためである。
【0052】
図4に戻って、VDDS発生回路42は、図12で示した従来のVDDS発生回路82と同じ構成である。バーンインテスト時は内部電源電位VDDSが外部参照電位VRS′と同じレベルに維持され、通常動作時は内部電源電位VDDSは内部参照電位VRSと同じレベルに維持される。内部電源電位VDDSは、ドライバ14を介してセンスアンプ12に与えられるとともに、VDDP発生回路43に与えられる。
【0053】
VDDP発生回路43は、図6に示すように、オペアンプ50、定電流源51およびPチャネルMOSトランジスタ52,53を含む。定電流源51およびPチャネルMOSトランジスタ52は外部電源電位VCCのラインと接地電位VSSのラインとの間に直列接続され、PチャネルMOSトランジスタ52のゲートはVDDS発生回路42からの内部電源電位VDDSを受ける。PチャネルMOSトランジスタ52のソース(ノードN51)の電位は、VDDS+Vthp(ただし、VthpはPチャネルMOSトランジスタのしきい値電圧である)となる。PチャネルMOSトランジスタ53は、外部電源電位VCCのラインと電源ノードN53との間に接続される。オペアンプ50の反転入力端子はノードN51に接続され、その非反転入力端子はノードN53に接続され、その出力端子はPチャネルMOSトランジスタ53のゲートに接続される。オペアンプ50およびPチャネルMOSトランジスタ53は、電圧フォロアを構成し、電源ノードN53の電位VDDPをノードN51の電位VDDS+Vthpと同じレベルに維持する。
【0054】
したがって、内部電源電位VDDPは、バーンインテスト時はVRS′+Vthpとなり、通常動作時はVRS+Vthpとなる。内部電源電位VDDPは、周辺回路すなわちクロック発生回路2、行および列アドレスバッファ3などに与えられる。VDDP>VDDSとするのは、周辺回路のトランジスタの耐圧はセンスアンプ12などのトランジスタの耐圧よりも高く設定されているので高い電圧を印加しても問題なく、また、周辺回路の動作速度の高速化を図るためである。
【0055】
まとめると、通常動作時は、VPP=VRS+2Vthn,VDDS=VRS,VDDP=VRS+Vthpとなり、バーンインテスト時は、VPP=VCC,VDDS=VRS′,VDDP=VRS′+Vthpとなり、VRSがチューニングされる。
【0056】
この実施の形態1では、バーンインテスト時はVPP=VCC,VDDS=VRS′となるので、VPPとVDDPを別個独立に設定することができ、VPPが印加される回路部分とVDDSが印加される回路部分とで初期不良の発生を別個に加速させることができ、テスト効率が高くなる。
【0057】
また、可変抵抗素子92の抵抗値のみをチューニングすればよいので、2つの可変抵抗素子92,97の抵抗値をチューニングする必要があった従来に比べ、チューニングのための手間が小さくなる。
【0058】
[実施の形態2]
実施の形態1では、VDDP=VDDS+Vthpとすることにより、チューニングの手間を軽減化した。しかし、内部電源電位VDDPによってDRAMのアクセス速度が決定されるので、高精度のアクセス速度が要求される場合は、内部電源電位VDDPのチューニングを行なうことが望ましい。この実施の形態2では、この問題が解決される。
【0059】
図7は、この発明の実施の形態2によるDRAMのVDDP発生回路60の構成を示す回路図である。図7を参照して、このVDDP発生回路60が図6のVDDP発生回路43と異なる点は、定電流源61、可変抵抗素子62、PチャネルMOSトランジスタ63、NチャネルMOSトランジスタ64およびインバータ65が追加されている点である。
【0060】
定電流源61および可変抵抗素子62は、外部電源電位VCCのラインと接地電位VSSのラインとの間に直接接続される。PチャネルMOSトランジスタ63は、定電流源61と可変抵抗素子62の間のノードN61とオペアンプ50の反転入力端子との間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ64は、ノードN51とオペアンプ50の反転入力端子との間に接続される。テスト信号/TEは、インバータ65を介してMOSトランジスタ63,64のゲートに入力される。
【0061】
チューニング時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタ63が導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ64が非導通になり、オペアンプ50の反転入力端子にはノードN61の電位が与えられる。内部電源電位VDDPが所定値VRPになるように、可変抵抗素子62の抵抗値がチューニングされる。
【0062】
バーンインテスト時は、テスト信号/TEが活性化レベルの「L」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタ63が非導通になるとともにNチャネルMOSトランジスタ64が導通し、オペアンプ50の反転入力端子にはノードN51の電位VDDS+Vthp=VRS′+Vthpが与えられる。したがって、内部電源電位VDDPはVRS′+Vthpとなる。
【0063】
通常動作時は、テスト信号/TEが非活性化レベルの「H」レベルにされ、PチャネルMOSトランジスタが導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ64が非導通になり、オペアンプ50の反転入力端子にはノードN61の電位が与えられる。したがって、内部電源電位VDDPはVRPとなる。他の構成および動作は、実施の形態1と同じであるので、その説明は繰返さない。
【0064】
この実施の形態2では、通常動作時は、チューニングされた電位VDDP=VRPを周辺回路に与えるので、アクセス速度を精度よく設定することができる。
【0065】
[実施の形態3]
図8は、この発明の実施の形態3によるDRAMのVDDP発生回路70の構成を示す回路図である。図8を参照して、このVDDP発生回路70が図7のVDDP発生回路60と異なる点は、インバータ65が削除され、切換スイッチ71、PチャネルMOSトランジスタ72、NチャネルMOSトランジスタ73、ORゲート74およびインバータ75が追加されている点である。
【0066】
MOSトランジスタ63,64のゲートは、切換スイッチ71の共通端子71cに接続される。切換スイッチ71の一方切換端子71aおよび他方切換端子71bは、それぞれ外部電源電位VCCおよび接地電位VSSを受ける。切換スイッチ71の切換は、たとえばボンディングワイヤの接続、コンタクトマスクの交換などにより行なわれる。図8では、端子71a,71c間が導通している状態が示されている。
【0067】
PチャネルMOSトランジスタ72は、定電流源61に並列接続される。NチャネルMOSトランジスタ73は、PチャネルMOSトランジスタ53のゲートと接地電位VSSのラインとの間に接続される。ORゲート74は、テスト信号/TEと切換スイッチ71の共通端子71cに現われる信号φCとを受け、その出力信号はPチャネルMOSトランジスタ72のゲートに直接入力されるとともにインバータ75を介してNチャネルMOSトランジスタ73のゲートに入力される。
【0068】
DRAMが高精度のアクセス速度が要求される品種として出荷されない場合は、切換スイッチ71の端子71a,71c間が導通状態にされる。これにより、信号φCが「H」レベルになり、NチャネルMOSトランジスタ64が導通するとともにPチャネルMOSトランジスタ63が非導通になり、VDDP発生回路70は図6のVDDP発生回路43と同じ構成になる。したがって、この場合は、実施の形態1と同じ効果が得られる。
【0069】
また、DRAMが高精度のアクセス速度が要求される品種である場合は、切換スイッチ71の端子71b,71c間が導通状態にされる。これにより、信号φCが「L」レベルになり、PチャネルMOSトランジスタ63が導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ64が非導通になり、VDDP発生回路70は図13の従来のVDDP発生回路83と同じ構成になる。したがって、この場合は、アクセス速度を精度よく設定することができる。他の構成は、実施の形態2と同じであるので、その説明は繰返さない。
【0070】
なお、実施の形態3において、VPP発生回路41を図9のVPP発生回路76で置換してもよい。このVPP発生回路76が図5のVPP発生回路41と異なる点は、インバータ48がインバータ77およびNORゲート78で置換されている点である。テスト信号/TEはNORゲート78の一方入力ノードに入力され、信号φCはインバータ77を介してNORゲート78の他方入力ノードに入力され、NORゲート78の出力信号がNチャネルMOSトランジスタ47のゲートに入力される。
【0071】
信号φCが「H」レベルの場合は、このVPP発生回路76は図5のVPP発生回路41と同じ構成になる。信号φCが「L」レベルの場合は、NチャネルMOSトランジスタ47は非導通状態に固定され、このVPP発生回路76は図11の従来のVPP発生回路80と同じ構成になる。
【0072】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0073】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る半導体装置では、外部電源電位よりも低い第1の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第1の基準電位発生回路と、通常動作時は第1の電源ノードを第1の内部基準電位に維持し、半導体装置の不良の発生を加速させるバーンインテストモード時は第1の電源ノードを第1の内部基準電位よりも高い外部基準電位に維持する第1の電源回路と、通常動作時は第2の電源ノードを第1の内部基準電位よりも予め定められた第1の電圧だけ高く、外部電源電位よりも低い昇圧電位に維持し、バーンインテストモード時は第2の電源ノードに外部電源電位を与える第2の電源回路と、第1の電源ノードの電位を外部電源電位側に予め定められた第2の電圧だけレベルシフトさせた電位を出力するレベルシフト回路と、第3の電源ノードをレベルシフト回路の出力電位に維持する第3の電源回路と、第1〜第3の電源ノードを介して第1〜第3の電源回路から駆動電力を受け、所定の動作を行なう内部回路とが設けられる。したがって、バーンインテストモード時は第1の電源ノードを第1の外部基準電位に維持するとともに第2の電源ノードを外部電源電位にするので、第1の電源ノードの電位を受ける回路部分と第2の電源ノードの電位を受ける回路部分とで不良の発生を別個に加速させることができ、テスト効率が高くなる。また、第1の内部基準電位の調整のみを行なえばよいので、2つの内部基準電位の調整を行なう必要があった従来に比べ、内部基準電位を容易に調整できる。
【0074】
好ましくは、第1の基準電位発生回路は、外部電源電位のラインと第1の出力ノードとの間に接続され、第1の出力ノードに予め定められた第1の電流を与える第1の定電流源と、第1の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第1の可変抵抗素子とを含む。この場合は、第1の可変抵抗素子の抵抗値を調整することにより、第1の内部基準電位を調整することができる。
【0075】
また好ましくは、第2の電源回路は、通常動作時において第2の電源ノードの電位が昇圧電位よりも低い場合に活性化され、第1の電源ノードに電流を与えるチャージポンプ回路と、外部電源電位のラインと第2の電源ノードとの間に接続され、バーンインテストモード時に導通するスイッチング素子とを含む。この場合は、第2の電源回路を容易に構成できる。
【0076】
また好ましくは、レベルシフト回路は、外部電源電位のラインと第2の出力ノードとの間に接続され、第2の出力ノードに予め定められた第2の電流を与える第2の定電流源と、第2の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、そのゲートが第1の電源ノードの電位を受けるトランジスタとを含む。この場合は、予め定められた第2の電圧は、トランジスタのしきい値電圧となる。
【0077】
また好ましくは、さらに、外部電源電位と第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路が設けられ、第3の電源回路は、通常動作時は第3の電源ノードを第2の内部基準電位に維持し、バーンインテストモード時は第3の電源ノードをレベルシフト回路の出力電位に維持する。この場合は、通常動作時における第3の電源ノードの電位を微調整することができ、内部回路に高精度の動作を行なわせることができる。
【0078】
また好ましくは、さらに、外部電源電位と第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路と、レベルシフト回路の出力電位と第2の内部基準電位のうちのいずれか一方の電位を選択する選択回路とが設けられ、第3の電源回路は、第3の電源ノードを選択回路によって選択された電位に維持する。この場合は、レベルシフト回路の出力電位を選択すると、内部基準電位を容易に調整できるが、内部回路の動作の精度が悪くなる。一方、第2の内部基準電位を選択すると、内部基準電位の調整の手間が大きくなるが、内部回路に高精度の動作を行なわせることができる。
【0079】
また好ましくは、第2の基準電位発生回路は、外部電源電位のラインと第3の出力ノードとの間に接続され、第3の出力ノードに予め定められた第3の電流を与える第3の定電流源と、第3の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第2の可変抵抗素子とを含む。この場合は、第2の可変抵抗素子の抵抗値を調整することにより、第2の内部基準電位を調整することができる。
【0080】
また好ましくは、半導体装置は半導体記憶装置であり、センスアンプは、第1の電源ノードを介して第1の電源回路から駆動電力を受け、行選択回路によって選択されたワード線は第2の電源ノードを介して第2の電源回路から駆動電力を受け、行選択回路、列選択回路および書込/読出回路は第3の電源ノードを介して第3の電源回路から駆動電力を受ける。この発明は、この場合に特に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるDRAMの全体構成を示すブロック図である。
【図2】 図1に示したメモリマットの構成を示す回路ブロック図である。
【図3】 図2に示したセンスアンプ+入出力制御回路の構成を示す回路図である。
【図4】 図1に示した内部電源電位発生回路の構成を示すブロック図である。
【図5】 図4に示したVPP発生回路の構成を示す回路ブロック図である。
【図6】 図4に示したVDDP発生回路の構成を示す回路図である。
【図7】 この発明の実施の形態2によるDRAMのVDDP発生回路の構成を示す回路図である。
【図8】 この発明の実施の形態3によるVDDP発生回路の構成を示す回路図である。
【図9】 実施の形態3の変更例を示す回路ブロック図である。
【図10】 従来のDRAMの内部電源電位発生回路の構成を示すブロック図である。
【図11】 図10に示したVPP発生回路の構成を示すブロック図である。
【図12】 図10に示したVDDS発生回路の構成を示す回路図である。
【図13】 図10に示したVDDP発生回路の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
1,80 内部電源電位発生回路、2 クロック発生回路、3 行および列アドレスバッファ、4 行デコーダ、5 列デコーダ、6 メモリマット、7 メモリアレイ、8 センスアンプ+入出力制御回路、9 入力バッファ、10 出力バッファ、11 列選択ゲート、12 センスアンプ、13 イコライザ、14 ドライバ、MC メモリセル、WL ワード線、BL,/BL ビット線対、21〜24,27,29〜32,47,52,64,73,100 NチャネルMOSトランジスタ、25,26,28,52,53,63,72,93,94,98,99 PチャネルMOSトランジスタ、33 キャパシタ、41,76,81 VPP発生回路、42,82 VDDS発生回路、43,60,70,83 VDDP発生回路、44,84 リングオシレータ、45,85 チャージポンプ回路、46,86 ディテクタ、48,65,75,77,101 インバータ、49 ANDゲート、50,90,95 オペアンプ、51,61,91,96 定電流源、62,92,97 可変抵抗素子、71 切換スイッチ、74 ORゲート、78 NORゲート。
Claims (8)
- 外部電源電位によって駆動される半導体装置であって、
前記外部電源電位よりも低い第1の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第1の基準電位発生回路、
通常動作時は第1の電源ノードを前記第1の内部基準電位に維持し、前記半導体装置の不良の発生を加速させるバーンインテストモード時は前記第1の電源ノードを前記第1の内部基準電位よりも高い外部基準電位に維持する第1の電源回路、
前記通常動作時は第2の電源ノードを前記第1の内部基準電位よりも予め定められた第1の電圧だけ高く、前記外部電源電位よりも低い昇圧電位に維持し、前記バーンインテストモード時は前記第2の電源ノードに前記外部電源電位を与える第2の電源回路、
前記第1の電源ノードの電位を前記外部電源電位側に予め定められた第2の電圧だけレベルシフトさせた電位を出力するレベルシフト回路、
第3の電源ノードを前記レベルシフト回路の出力電位に維持する第3の電源回路、および
前記第1〜第3の電源ノードを介して前記第1〜第3の電源回路から駆動電力を受け、所定の動作を行なう内部回路を備える、半導体装置。 - 前記第1の基準電位発生回路は、
前記外部電源電位のラインと第1の出力ノードとの間に接続され、前記第1の出力ノードに予め定められた第1の電流を与える第1の定電流源、および
前記第1の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第1の可変抵抗素子を含む、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の電源回路は、
前記通常動作時において前記第2の電源ノードの電位が前記昇圧電位よりも低い場合に活性化され、前記第2の電源ノードに電流を与えるチャージポンプ回路、および
前記外部電源電位のラインと前記第2の電源ノードとの間に接続され、前記バーンインテストモード時に導通するスイッチング素子を含む、請求項1または請求項2に記載の半導体装置。 - 前記レベルシフト回路は、
前記外部電源電位のラインと第2の出力ノードとの間に接続され、前記第2の出力ノードに予め定められた第2の電流を与える第2の定電流源、および
前記第2の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、そのゲートが前記第1の電源ノードの電位を受けるトランジスタを含む、請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体装置。 - さらに、前記外部電源電位と前記第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路を備え、
前記第3の電源回路は、前記通常動作時は前記第3の電源ノードを前記第2の内部基準電位に維持し、前記バーンインテストモード時は前記第3の電源ノードを前記レベルシフト回路の出力電位に維持する、請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置。 - さらに、前記外部電源電位と前記第1の内部基準電位との間の第2の内部基準電位を出力する出力電位の調整が可能な第2の基準電位発生回路、および
前記レベルシフト回路の出力電位と前記第2の内部基準電位のうちのいずれか一方の電位を選択する選択回路を備え、
前記第3の電源回路は、前記第3の電源ノードを前記選択回路によって選択された電位に維持する、請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記第2の基準電位発生回路は、
前記外部電源電位のラインと第3の出力ノードとの間に接続され、前記第3の出力ノードに予め定められた第3の電流を与える第3の定電流源、および
前記第3の出力ノードと接地電位のラインとの間に接続され、その抵抗値の調整が可能な第2の可変抵抗素子を含む、請求項5または請求項6に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は半導体記憶装置であり、
前記内部回路は、
複数行複数列に配置された複数のメモリセルと、それぞれ前記複数行に対応して設けられた複数のワード線と、それぞれ前記複数列に対応して設けられた複数のビット線対とを含むメモリアレイ、
各ビット線対に対応して設けられ、対応のビット線対間に生じた電位差を増幅するセンスアンプ、
行アドレス信号に従って前記複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択し、そのワード線に対応する各メモリセルを活性化させる行選択回路、
列アドレス信号に従って前記複数のビット線対のうちのいずれかのビット線対を選択する列選択回路、および
前記列選択回路によって選択されたビット線対を介して前記行選択回路によって活性化されたメモリセルのデータの書込/読出を行なう書込/読出回路を含み、
前記センスアンプは、前記第1の電源ノードを介して前記第1の電源回路から駆動電力を受け、
前記行選択回路によって選択されたワード線は、前記第2の電源ノードを介して前記第2の電源回路から駆動電力を受け、
前記行選択回路、前記列選択回路および前記書込/読出回路は、前記第3の電源ノードを介して前記第3の電源回路から駆動電力を受ける、請求項1から請求項7のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001097908A JP4656747B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 半導体装置 |
US09/930,174 US6498760B2 (en) | 2001-03-30 | 2001-08-16 | Semiconductor device having test mode |
US10/302,859 US6661729B2 (en) | 2001-03-30 | 2002-11-25 | Semiconductor device having test mode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001097908A JP4656747B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002298599A JP2002298599A (ja) | 2002-10-11 |
JP4656747B2 true JP4656747B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=18951616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001097908A Expired - Fee Related JP4656747B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6498760B2 (ja) |
JP (1) | JP4656747B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4656747B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2011-03-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
KR100460459B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2004-12-08 | 삼성전자주식회사 | 향상된 테스트 모드를 갖는 반도체 메모리 장치 |
JP2004071095A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
JP2005135458A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
KR100591759B1 (ko) * | 2003-12-03 | 2006-06-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리의 전원 공급장치 |
US7038954B2 (en) * | 2004-08-30 | 2006-05-02 | Micron Technology, Inc. | Apparatus with equalizing voltage generation circuit and methods of use |
KR100604905B1 (ko) * | 2004-10-04 | 2006-07-28 | 삼성전자주식회사 | Vpp 레벨을 독립적으로 제어하는 반도체 메모리 장치 |
JP2006322786A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Denso Corp | ベアチップ実装回路装置及びその高電源電圧印加試験方法 |
JP2007213706A (ja) | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2008123586A (ja) | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2008170849A (ja) | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Toshiba Corp | 画像形成装置及びトナー製造方法。 |
KR20090106407A (ko) * | 2007-02-01 | 2009-10-08 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 모니터 번인 시험 장치 및 모니터 번인 시험 방법 |
JP5104118B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2012-12-19 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 内部電源回路 |
JP5337115B2 (ja) * | 2010-08-11 | 2013-11-06 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
TWI621866B (zh) * | 2017-05-05 | 2018-04-21 | 致茂電子股份有限公司 | 電池芯半成品測試方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09320296A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH1050097A (ja) * | 1996-05-28 | 1998-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH11213664A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2000011649A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001014892A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2945508B2 (ja) * | 1991-06-20 | 1999-09-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2838344B2 (ja) * | 1992-10-28 | 1998-12-16 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP3286869B2 (ja) * | 1993-02-15 | 2002-05-27 | 三菱電機株式会社 | 内部電源電位発生回路 |
JP3392497B2 (ja) * | 1994-02-25 | 2003-03-31 | 株式会社東芝 | テスト電位転送回路およびこれを用いた半導体記憶装置 |
JP3738070B2 (ja) * | 1995-11-29 | 2006-01-25 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
US5917766A (en) * | 1996-05-28 | 1999-06-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device that can carry out read disturb testing and burn-in testing reliably |
JPH10135424A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JP3087838B2 (ja) * | 1997-08-05 | 2000-09-11 | 日本電気株式会社 | 定電圧発生回路 |
KR100271840B1 (ko) * | 1997-08-27 | 2000-11-15 | 다니구찌 이찌로오 | 회로 면적의 증대를 억제하면서 복수의 전위를 출력할 수 있는내부 전위 발생 회로 |
JP4074697B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2008-04-09 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP3293577B2 (ja) * | 1998-12-15 | 2002-06-17 | 日本電気株式会社 | チャージポンプ回路、昇圧回路及び半導体記憶装置 |
JP2002042471A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2002111038A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Canon Inc | 太陽電池モジュールおよびその製造方法、並びに、発電装置 |
JP3532153B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2004-05-31 | 沖電気工業株式会社 | レベルシフタ制御回路 |
JP3548535B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2004-07-28 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体回路 |
JP4656747B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2011-03-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
-
2001
- 2001-03-30 JP JP2001097908A patent/JP4656747B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-16 US US09/930,174 patent/US6498760B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-25 US US10/302,859 patent/US6661729B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09320296A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH1050097A (ja) * | 1996-05-28 | 1998-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH11213664A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2000011649A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001014892A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030076728A1 (en) | 2003-04-24 |
US20020141261A1 (en) | 2002-10-03 |
JP2002298599A (ja) | 2002-10-11 |
US6661729B2 (en) | 2003-12-09 |
US6498760B2 (en) | 2002-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5377152A (en) | Semiconductor memory and screening test method thereof | |
US7099224B2 (en) | Memory device and method for burn-in test | |
JP5032004B2 (ja) | 半導体装置、半導体メモリ及びその読み出し方法 | |
JP4656747B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2829135B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2004095156A (ja) | テストモードのために選択的にイネーブルされる出力回路を有するメモリ装置及びそのテスト方法 | |
US20010015926A1 (en) | Semiconductor memory device and method for setting stress voltage | |
US20020105847A1 (en) | Semiconductor memory device capable of switching reference voltage for generating intermediate voltage | |
JP3863968B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2010244615A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の書き込み制御方法 | |
JP2829134B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US6535438B2 (en) | Semiconductor memory device adopting redundancy system | |
US6560141B2 (en) | Semiconductor integrated circuit with memory redundancy circuit | |
KR100438237B1 (ko) | 테스트 회로를 갖는 반도체 집적 회로 | |
US6434070B1 (en) | Semiconductor integrated circuit with variable bit line precharging voltage | |
JPH0628893A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2004071119A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US6519193B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device having spare word lines | |
US6477096B1 (en) | Semiconductor memory device capable of detecting memory cell having little margin | |
JP2004110863A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JPH05144294A (ja) | 半導体集積回路 | |
JP2002008396A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH1092200A (ja) | 半導体装置およびそのバーンイン方法 | |
JP2001014898A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JPH11317097A (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071121 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101221 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |