JP4354818B2 - ウェハ・コンテナ用のウェハ・エンクロージャ密封装置 - Google Patents
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Description
る場合がある。ドアを頻繁に開閉すると、密封部が正しい位置からずれて、密封部が突出したり垂れ下がったりして、偶然に処理装置に引っ掛かって、ウェハに壊滅的な損傷を与えたり、コンテナを密封できなくする恐れがある。
本発明の好ましい実施形態の目的および利点は、ウェハ・エンクロージャ密封装置が、エラストマ密封部材がドアの周辺を越えて側方に移動するのを防止することである。
レームの間の偶発的な固着を防止することである。
密封部材26を含む、エンクロージャ密封装置50の他の実施形態を示す。この例示としての実施形態の場合には、第1の部分26.1は、ドア・フレーム24内に形成されている溝54内に係合している。更なる構造的支持のために、部分26.1は、内面51の方向に突出している部分、並びに付加的な構造上の強度を提供するばかりでなく、カンチレバー状部分26.6の柔軟性を強化する2つの部分からなる上面27.1,27.2を含む。上面27.1は上面27.2と平行ではあるが、同一平面上には位置していない。この実施形態の場合には、カンチレバー状部分26.6は、また、ハウジングがドア24と係合した場合に、第1の溝52内に延びるか、またはこの溝と係合するヘッド部分26.8を含む。図6Bについて説明すると、図に示すように、この実施形態の部材53.1は、密封部材26の表面27.1と同一平面上に位置する高さを有する。この例示としての支持部材53.1は、密封部材26を側方に支持する。
Claims (17)
- ウェハ・エンクロージャを密封した場合に、ドアの内面の一部がハウジングに接触するように適合されている前部開放ウェハ・エンクロージャのドア上で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封装置であって、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第1の溝と、
前記第1の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第2の溝と、前記第1および第2の溝が前記2つの溝の間に配置される支持部材により分離されるように適合されていることと、
前記第2の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、前記ドアの周囲に延びる第1の部分と、前記支持部材および前記第1の溝の上に配置されるように適合された第2の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャのハウジングを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第2の部分が、前記第1の溝内に撓まされるように適合され、前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数の突出部材を備えるウェハ・エンクロージャ密封装置。 - 前記密封部材の前記第2の部分は、前記第1の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項1に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記密封部材はL字形を有し、前記密封部材の前記第2の部分が、前記第1及び第2の溝の並び方向に関して前記密封部材の前記第1の部分よりも長くなるように構成される、請求項2に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記突出部材が、前記ドアの前記内面から突出するポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記密封部材の前記第2の部分は、前記密封部材の前記第1の部分から側方に離間されたヘッド部分を備え、前記ドアおよび前記ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが係合した場合に、気密状態の密封を形成するように適合されている、請求項2に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記密封部材は、前記ドアの外周面から引っ込むように構成されている、請求項1に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記密封部材が、前記ドアの前記内面と同一平面に位置する上面を含む、請求項6に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
- 前記支持部材が、前記第1及び第2の溝の並び方向に関して前記密封部材の前記第2の部分の長さの半分を越えて側方に延びる、請求項1に記載のウェハ密封装置。
- 前記ドアの前記内面の周辺の周りに配置される第1の溝を備えるウェハ・エンクロージャ・ドア内で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封部材であって、
前記第1の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から離間されて配置される第2の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合された第1の部分と、
前記第1の溝の上、並びに前記第1および第2の溝を分離する支持部材の上に配置されるように適合された第2の部分とを備え、ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが前記ドアによって密封された場合に、前記密封部材の第2の部分が、前記第1の溝内に撓まされるように適合されており、
前記密封部材の前記ドアからの側方の動きが規制されるように、前記支持部材から突出している複数の対応する突出部材と係合するように適合された複数の開口をさらに備える、ウェハ・エンクロージャ密封部材。 - 前記突出部材が、ポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも一方を含む、請求項9に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
- 前記密封部材の第2の部分は、前記第1の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項9に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
- 前記密封部材の第2の部分が、前記第1の部分から側方に離間されて位置するヘッド部分を備える、請求項11に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
- 前記開口が細長い形状を有し、前記第2の溝と同一線上に位置する、請求項9に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
- 前記密封部材の前記第1の部分の頂面が、前記密封部材の前記第2の部分の頂面と同一線上にない、請求項9に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
- ウェハ・エンクロージャであって、
複数のウェハを搬送するように適合されたハウジングと、
前記ハウジングと密封状態に係合するように適合されており、ウェハ・エンクロージャ密封装置を有するドアとを備え、
前記ウェハ・エンクロージャ密封装置が、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第1の溝と、
前記第1の溝に隣接して、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第2の溝と、前記第1および第2の溝が前記2つの溝の間に配置される支持部材により分離されることと、
前記第2の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、かつ前記ドアの周囲に延びる第1の部分と、前記支持部材の上および前記第1の溝の上に配置されるように適合された第2の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第2の部分が、前記第1の溝内に撓まされるように適合され、前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数のポストを備える、ウェハ・エンクロージャ。 - 前記密封部材がL字形を有し、前記密封部材の前記第2の部分が、前記第1及び第2の溝の並び方向に関して前記密封部材の前記第1の部分よりも長いカンチレバー状に構成される、請求項15に記載のウェハ・エンクロージャ。
- 前記密封部材が、さらに、前記第2の部分上に配置され、前記第1の部分から側方に離間されて配置されるヘッド部分を備える、請求項15に記載のウェハ・エンクロージャ。
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