JPH0563066A - ウエーハ収納容器の係止構造 - Google Patents

ウエーハ収納容器の係止構造

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JPH0563066A
JPH0563066A JP24525491A JP24525491A JPH0563066A JP H0563066 A JPH0563066 A JP H0563066A JP 24525491 A JP24525491 A JP 24525491A JP 24525491 A JP24525491 A JP 24525491A JP H0563066 A JPH0563066 A JP H0563066A
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hook
upper lid
locking
box body
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Nobuyoshi Ogino
信義 荻野
Toshitsugu Yajima
敏嗣 矢島
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 ［目的］ 上蓋の外箱本体との係合を無理なく容易に解
除して該上蓋を作業性良く開けることができるウエーハ
収納容器の係止構造を提供すること。 ［構成］ 上蓋１Ｂのフック１６を外箱本体１Ａの係止
具２２に係合させることによって上蓋１Ｂを外箱本体１
Ａに係止するウエーハ収納容器の係止構造において、前
記フック１６を内側に押し込むことによって該フック１
６の前記係止具２２との係合を解除するよう構成する。
このようにフック１６を内方へ押し込む作業は、従来の
ようにフック１６を外側に向かって押し広げる作業に比
べて力をかけ易いため、上蓋１Ｂを作業性良く開けるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のウエーハを収納
するウエーハ収納容器の係止構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエーハはシリコン等の
単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライスして得ら
れるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うた
め、その搬送には十分な配慮が必要である。
【０００３】そこで、従来、斯かるウエーハはウエーハ
収納容器に整然と収納されて搬送されており、ウエーハ
収納容器としては例えば図１０乃至図１２に示すような
ものが知られている（実開昭６３−１６６９４８号公報
参照）。
【０００４】即ち、図１０はウエーハ収納容器の正面
図、図１１は同ウエーハ収納容器の側面図、図１２は図
１１のＤ−Ｄ線拡大断面図であり、該ウエーハ収納容器
は外箱１０１と内箱１０２とで構成されている。そし
て、複数枚のウエーハＷ…は、内箱１０２の相対向する
側壁１０２ａ，１０２ａの内側に突設された複数のリブ
１０２ｂ…の間に形成される複数の仕切り溝に嵌め込ま
れて図１０の紙面垂直方向に適当な間隔をあけて内箱１
０２内に整然と収容される。
【０００５】一方、前記外箱１０１は、外箱本体１０１
Ａと上蓋１０１Ｂとで構成され、ウエーハＷ…が収容さ
れた内箱１０２が外箱本体１０１Ａに収納された後、上
蓋１０１Ｂが外箱本体１０１Ａの上部に被せられて閉じ
られる。
【０００６】ここで、上蓋１０１Ｂが閉じられたときの
該上蓋１０１Ｂの外箱本体１０１Ａに対する係止構造を
説明する。即ち、図１１に示すように、上蓋１０１Ｂの
開口周縁部には下方に延出する一対のフック１１６，１
１６が相対向して設けられており、各フック１１６の両
端部には係止孔１１６ａ，１１６ａが穿設されている。
【０００７】一方、外箱本体１０１Ａの開口周縁部の前
記フック１１６の係合孔１１６ａ，１１６ａに対応する
部位には係止具１２２，１２２が突設されており、上蓋
１０１Ｂを外箱本体１０１Ａに上方から被せることによ
って、図１２に示すように、該上蓋１０１Ｂの各フック
１１６に形成された係止孔１１６ａ，１１６ａに外箱本
体１０１Ａの係止具１２２，１２２が係合し、これによ
って上蓋１０１Ｂが外箱本体１０１Ａに係止される。
【０００８】ところで、上記係止構造においては、上蓋
１０１Ｂを開ける場合には、図１２に鎖線にて示すよう
に該上蓋１０１Ｂのフック１１６を外側（図１２の矢印
方向）に押し広げてこれの係合孔１１６ａ，１１６ａの
係止具１２２，１２２との係合を解除する必要がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにフック１１６，１１６を外方に向かって押し広げ
るとき、該フック１１６，１１６に力をかけづらく、作
業性が悪いという問題があり、特に自動化によって上蓋
１０１Ｂを自動的に開閉する場合には、開閉機構が複雑
化する。
【００１０】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とする処は、上蓋の外箱本体との係合を無
理なく容易に解除して該上蓋を作業性良く開けることが
できるウエーハ収納容器の係止構造を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明は、ウエーハ、若しくはウエーハを収容した内箱を
収納する外箱本体と、該外箱の上部に被せられて接合さ
れる上蓋との係止構造であって、前記上蓋の開口周縁部
から下方に延出する一対のフックを相対向して設け、該
フックを前記外箱本体の開口周縁部に突設された係止具
に係合させることによって上蓋を外箱本体に係止するウ
エーハ収納容器の係止構造において、前記フックを内側
に向かって押し込むことによって該フックの前記係止具
との係合を解除するよう構成したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明によれば、上蓋のフックを内方に向かっ
て押し込むことによって該上蓋の外箱本体との係合が解
除される。このようにフックを内方へ押し込む作業は、
従来のようにフックを内側から外側に向かって押し広げ
る作業に比べて力をかけ易いため、上蓋を作業性良く開
けることができる。
【００１３】又、上蓋の開閉の自動化を考える場合、上
蓋のフックを外方から単に押し込むだけの機構を設けれ
ば済むため、装置の単純化が図られる。
【００１４】
【実施例】以下に本発明の第１実施例を添付図面に基づ
いて説明する。
【００１５】図１は本発明に係る係止構造を備えるウエ
ーハ収納容器の破断正面図、図２は同ウエーハ収納容器
の側面図、図３は図１のＡ部拡大詳細図、図４は上蓋の
正面図、図５は図４のＢ−Ｂ線断面図、図６は本発明に
係る係止構造を示すフック部の正面図、図７は図６のＣ
−Ｃ線断面図、図８は上蓋を閉じる際のフックの作用を
示す図７と同様の図である。
【００１６】本実施例に係るウエーハ収納容器は、図１
及び図２に示すように、外箱１と、該外箱１内に収納さ
れる内箱２を含んで構成されている。
【００１７】上記外箱１は、外箱本体１Ａと上蓋１Ｂと
で構成され、上蓋１Ｂは外箱本体１Ａの上端開口部に被
せられて外箱本体１Ａに係止されるが、両者の間にはパ
ッキン３が介在するため、図示のように上蓋１Ｂを閉じ
た状態では外箱１内は密閉状態に保たれる。
【００１８】又、前記内箱２は、図２に示すように、複
数枚のウエーハＷ…を整然と収容するものであって、こ
れの上部は開口し、その相対向する一対の側壁２ａ，２
ａの内側には縦方向に長い複数のリブ２ｂ…がウエーハ
Ｗ…の配列方向（図１の紙面垂直方向）に適当なピッチ
で突設されており、これらのリブ２ｂ…の間には複数の
仕切り溝が形成されている。そして、各ウエーハＷは、
側壁２ａ，２ａにそれぞれ形成された相対向する一対の
仕切り溝に嵌め込まれて収容される。
【００１９】ところで、前記上蓋１Ｂの開口周縁部に
は、図３に詳細に示すように、内外二重壁を構成する内
側壁１１と、外側壁１２とが形成されている。又、前記
外箱本体１Ａの開口周縁部には、同じく図３に詳細に示
すように、内外二重壁を構成する内側壁１３と外側壁１
４とが形成されている。
【００２０】而して、図示のように上蓋１Ｂが外箱本体
１Ａの上端開口部に被せられて係止されている状態にお
いては、上蓋１Ｂと外箱本体１Ａの各外側壁１２，１４
は互いに嵌合しており、嵌合状態にある両外側壁１２，
１４と上蓋１Ｂ、外箱本体１Ａの各内側壁１１，１３と
で囲まれる空間１５には前記パッキン３が介在し、この
パッキン３のシール作用によって上蓋１Ｂと外箱本体１
Ａとの接合部から外箱１内への外気の侵入が防がれてい
る。
【００２１】ここで、本発明に係る上蓋１Ｂの係止構造
を図４乃至図８に基づいて説明する。
【００２２】図４に示すように、上蓋１Ｂの左右側方に
は、開口周縁部から一体的に垂下する一対のフック１
６，１６（一方のみ図示）が相対向して形成されてお
り、各フック１６の両端部には係止片１７，１７が形成
され、中央部には矩形の操作口１８が穿設されている。
又、各フック１６には、断面半円状の横溝１９，２０が
形成されており、該フック１６は横溝１９，２０を中心
に屈曲するよう構成されている。尚、大型のウエーハ収
納容器にあっては、左右一対のフック１６，１６を上蓋
１Ｂに２組以上形成しても良い。
【００２３】一方、図６乃至図８に示すように、外箱本
体１Ａの前記フック１６に対応する部位には、フック１
６が嵌まり込むべき矩形凹部２１が形成されており、外
箱本体１Ａの開口周縁部には前記フック１６の係止片１
７，１７の頂部が係合すべき係止具２２，２２が突設さ
れている。尚、各係止具２２には、下方に向かって広が
る傾斜面２２ａが形成されている。
【００２４】又、外箱本体１Ａの上記係止具２２，２２
の下方位置には、図７に示すように、上蓋１Ｂが係止状
態にあるときにフック１６の係止片１７，１７の裏面の
中間部に当接する突起２３，２３（一方のみ図示）が突
設されている。
【００２５】而して、上蓋１Ｂを閉じるには、図８に示
すように、上蓋１Ｂを外箱本体１Ａの上端開口部に被
せ、該上蓋１Ｂを下方へ押圧すれば良い。すると、図８
に実線にて示すように、上蓋１Ｂの各フック１６はその
下端縁が外箱本体１Ａの係止具２２の斜面２２ａに当接
し、該斜面２２ａに沿って滑ることによってフック１６
は外方へ押し広げられる。そして、フック１６の下端縁
が係止具２２から外れた後は、図８に鎖線にて示すよう
に、該フック１６はその裏面が係止具２２に当接するこ
とによって更に押し広げられ、各係止片１７の上端縁が
係止具２２を通過すると同時にフック１６は弾性力で元
の位置まで戻り、このとき各係止片１７の上端が係止具
２２に係合するため（図７参照）、上蓋１Ｂは外箱本体
１Ａに被せられて係止される。
【００２６】次に、上蓋１Ｂを開ける場合には、図７に
示すように、上蓋１Ｂの各フック１６の下端部を外方か
ら内方へ向かって力Ｆで押し込めば良い。すると、フッ
ク１６の各係止片１７は、図７に鎖線にて示すように、
外箱本体１Ａ側の突起２３を支点として回動するため、
該係止片１７の係止具２２との係合が解除される。その
後、上蓋１Ｂを上方へ持ち上げれば、該上蓋１Ｂを外箱
本体１Ａから取り外すことができる。
【００２７】而して、上述のようなフック１６を内方へ
押し込む作業は、従来のように逆に内側から外側に向か
って押し広げる作業に比べて力Ｆをかけ易いため、上蓋
１Ｂを作業性良く開けることができる。
【００２８】又、上蓋１Ｂの開閉の自動化を考える場
合、該上蓋１Ｂのフック１６を外方から内方へ単に押し
込むだけの機構を設ければ済むため、装置の単純化が図
られる。
【００２９】次に、本発明の第２実施例を図９に基づい
て説明する。
【００３０】即ち、図９は第２実施例を示す係止部の縦
断面図（図７と同様の図）であり、本実施例においては
上蓋１Ｂのフック１６の下端部に係合爪１６ａが外方に
向けって突設されている。そして、上蓋１Ｂが閉じられ
ている状態では、フック１６の係合爪１６ａは外箱本体
１Ａの係止具２２の溝２２ｂに内側から係合されてお
り、この係合によって上蓋１Ｂが外箱本体１Ａに対して
係止されている。
【００３１】而して、上蓋１Ｂを開けるには、該上蓋１
Ｂのフック１６を力Ｆで内方へ押し込めば良い。する
と、図９に鎖線にて示すように、フック１６が内方へ折
れ曲がってその係合孔１６ａの係止具２２との係合が解
除されるため、上蓋１Ｂをそのまま持ち上げてこれを外
箱本体１Ａから取り外すことができる。従って、本実施
例においても、前記第１実施例にて得られたと同様の効
果が得られる。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明で明らかな如く、本発明によ
れば、ウエーハ、若しくはウエーハを収容した内箱を収
納する外箱本体と、該外箱の上部に被せられて接合され
る上蓋との係止構造であって、前記上蓋の開口周縁部か
ら下方に延出する一対のフックを相対向して設け、該フ
ックを前記外箱本体の開口周縁部に突設された係止具に
係合させることによって上蓋を外箱本体に係止するウエ
ーハ収納容器の係止構造において、前記フックを内側に
向かって押し込むことによって該フックの前記係止具と
の係合を解除するよう構成したため、上蓋の外箱本体と
の係合を無理なく容易に解除して該上蓋を作業性良く開
けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る係止構造を備えるウ
エーハ収納容器の破断正面図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る係止構造を備えるウ
エーハ収納容器の側面図である。
【図３】図１のＡ部拡大詳細図である。
【図４】上蓋の正面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】本発明の第１実施例に係る係止構造を示すフッ
ク部の正面図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】上蓋を閉じる際のフックの作用を示す図７と同
様の図である。
【図９】本発明の第２実施例に係る係止構造を示す断面
図である。
【図１０】従来の係止構造を有するウエーハ収納容器の
正面図である。
【図１１】従来の係止構造を有するウエーハ収納容器の
側面図である。
【図１２】図１１のＤ−Ｄ線拡大断面図である。
【符号の説明】
１ 外箱 １Ａ 外箱本体 １Ｂ 上蓋 ２ 内箱 １６ フック １７ 係止片 ２２ 係止具 ２３ 突起

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエーハ、若しくはウエーハを収容した
    内箱を収納する外箱本体と、該外箱の上部に被せられて
    接合される上蓋との係止構造であって、前記上蓋の開口
    周縁部から下方に延出する一対のフックを相対向して設
    け、該フックを前記外箱本体の開口周縁部に突設された
    係止具に係合させることによって上蓋を外箱本体に係止
    するウエーハ収納容器の係止構造において、前記フック
    を内側に向かって押し込むことによって該フックの前記
    係止具との係合を解除するよう構成したことを特徴とす
    るウエーハ収納容器の係止構造。
  2. 【請求項２】 前記フックに、上端部が前記係止具に係
    合する係止片を設け、該係止片の下部を内側に向かって
    押し込むことによって該係止片を前記外箱本体に突設さ
    れた突起を支点として回動せしめ、同係止片の上端部の
    前記係止具との係合を解除するよう構成したことを特徴
    とする請求項１記載のウエーハ収納容器の係止構造。
  3. 【請求項３】 前記フックの下端部に係合爪を外側に向
    かって突設し、該係合爪を前記係止具の内側から係合さ
    せたことを特徴とする請求項１記載のウエーハ収納容器
    の係止構造。
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