JP4333425B2 - センサ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
渡部善幸ら、微小組立技術により作製したホール効果型3軸磁気センサ、 電気学会論文誌E、平成14年、122巻、4号、p212−216
図1は、本実施形態における磁気センサの概略構成を示す図であり、(a)は斜視図、(b)は(a)のA−A断面における断面図である。尚、図1(b)においては、便宜上、配線部等を省略し、基板と接続端子のみを図示している。
次に、本発明の第2の実施形態を図2及び図3に基づいて説明する。図2及び図3は、本実施形態における磁気センサ100の製造方法の概略を示す図であり、図2は挿入前、図3は挿入後を示す図である。尚、図2及び図3において、(a)は挿入基板20の表面側から見た平面図であり、(b)は挿入基板20の側面側から見た断面図である。また、図2及び図3においては、便宜上、挿入基板20の接続端子33のみを図示しており、母基板10における除去領域の形成部位を破線で示している。
11・・・除去領域
11a・・・除去領域(貫通孔)
20・・・挿入基板
30a,30b,30c・・・ホール素子
31・・・配線部
33・・・接続端子
40・・・液体
100・・・磁気センサ
Claims (29)
- 少なくとも、センサ素子を有する複数の基板を組み合わせてなるセンサ装置であって、
基板表面に対して所定深さをもつ除去領域を少なくとも1箇所有する母基板と、
少なくとも一部が前記除去領域に挿入される挿入基板とを備え、
前記挿入基板が前記除去領域に挿入され、前記母基板に固定された状態で、前記センサ素子の形成面同士が、互いに所定の角度をなしていることを特徴とするセンサ装置。 - 前記母基板が前記除去領域を2箇所有し、
前記除去領域に挿入されるそれぞれの前記挿入基板が前記センサ素子を有しており、
前記挿入基板が前記除去領域に挿入された状態で、前記挿入基板における前記センサ素子の形成面が、互いに略90度の角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。 - 前記母基板及び前記挿入基板がそれぞれ前記センサ素子を有し、
前記除去領域が前記母基板の表面に対して略垂直な側面を有しており、
前記挿入基板が前記除去領域に挿入され、前記母基板に固定された状態で、前記センサ素子の形成面同士が、互いに略90度の角度をなしていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のセンサ装置。 - 前記挿入基板は、基板表面から突出する突出部を有し、
前記挿入基板が前記除去領域に挿入された状態で、前記突出部が前記母基板における前記除去領域の周囲部位に固定されていることを特徴とする請求項3に記載のセンサ装置。 - 前記挿入基板が、前記突出部として、前記センサ素子に電気的に接続された複数の接続端子を有し、
前記母基板が、前記除去領域を除く基板表面に、前記挿入基板に設けられたセンサ素子の配線部を有しており、
前記接続端子が前記母基板における前記除去領域の周囲部位に固定された状態で、前記接続端子と前記配線部とが電気的に接続していることを特徴とする請求項4に記載のセンサ装置。 - 前記接続端子が溶融され、前記配線部と接合していることを特徴とする請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記除去領域は、前記母基板の対向する両表面を貫通する貫通孔であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のセンサ装置。
- 前記挿入基板は略正方形の表面を有しており、当該表面を構成する4辺に対して、前記接続端子がそれぞれ平行に設けられていることを特徴とする請求項7に記載のセンサ装置。
- 前記挿入基板の表面は矩形状を有しており、前記接続端子は、矩形状の角部を構成する2辺における角部頂点からの距離が等しい点を結んだ直線上に設けられていることを特徴とする請求項7に記載のセンサ装置。
- 前記挿入基板は、その挿入先端に、当該基板よりも比重の大きな材料からなる重り部を有していることを特徴とする請求項7に記載のセンサ装置。
- 前記挿入基板の対向する両表面に、同一の大きさ及び形状を有する前記センサ素子が、それぞれ設けられていることを特徴とする請求項7〜10いずれか1項に記載のセンサ装置。
- 前記母基板の前記除去領域を挟んで対向する両周辺部位に、前記配線部がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項7〜10いずれか1項に記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子は、ホール素子であることを特徴とする請求項1〜12いずれか1項に記載のセンサ装置。
- 少なくとも、センサ素子を有する複数の基板を組み合わせてなるセンサ装置の製造方法であって、
複数の前記基板の少なくとも一部に前記センサ素子を形成する工程と、
複数の前記基板の1つを母基板とし、当該母基板に所定深さの除去領域を少なくとも1箇所形成する工程と、
残りの前記基板を挿入基板とし、当該挿入基板の少なくとも一部を前記除去領域に挿入し、前記挿入基板を前記母基板に固定する工程とを備え、
前記挿入基板を前記母基板に固定した状態で、前記センサ素子の形成面同士が、互いに所定の角度をなすことを特徴とするセンサ装置の製造方法。 - 前記母基板をエッチングすることにより、前記除去領域を形成することを特徴とする請求項14に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記母基板は複数層からなり、予め所定形状に加工された各層を積層することにより、前記除去領域を形成することを特徴とする請求項14に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記母基板に2つの前記除去領域を形成し、
前記除去領域に挿入されるそれぞれの前記挿入基板に前記センサ素子を形成することにより、
前記挿入基板を前記母基板に固定した状態で、それぞれの前記挿入基板における前記センサ素子の形成面が、互いに略90度の角度をなすことを特徴とする請求項14〜16いずれか1項に記載のセンサ装置の製造方法。 - 前記母基板及び前記挿入基板にそれぞれ前記センサ素子を形成し、
前記母基板の表面に対して、略垂直な側面を有するように前記除去領域を形成することにより、
前記挿入基板を前記母基板に固定した状態で、前記センサ素子の形成面同士が、互いに略90度の角度をなすことを特徴とする請求項14〜17いずれか1項に記載のセンサ装置の製造方法。 - 前記挿入基板に、基板表面から突出する突出部を形成する工程をさらに備え、
前記挿入基板を前記除去領域に挿入した状態で、前記突出部が前記母基板における前記除去領域の周囲部位に固定されることを特徴とする請求項18に記載のセンサ装置の製造方法。 - 前記母基板の前記除去領域を除く基板表面に、前記挿入基板に形成されたセンサ素子の配線部を形成する工程をさらに備え、
前記センサ素子の形成された前記挿入基板の表面に、前記突出部として、前記センサ素子に電気的に接続されつつ基板表面から突出する複数の接続端子を形成し、前記挿入基板を前記除去領域に挿入した状態で、前記接続端子が前記母基板における前記除去領域の周囲部位に固定され、前記接続端子が前記配線部と電気的に接続されることを特徴とする請求項19に記載のセンサ装置の製造方法。 - 前記接続端子が前記配線部と接した状態で前記接続端子を溶融させて、前記配線部と接合させることを特徴とする請求項20に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記母基板の対向する両表面を貫通するように、前記除去領域を形成することを特徴とする請求項20又は請求項21に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記挿入基板及び前記母基板を液体中に配置し、前記母基板の前記除去領域を通過する前記液体の流れにより、前記除去領域に前記挿入基板の少なくとも一部を挿入することを特徴とする請求項22に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記挿入基板は略正方形の表面を有しており、当該表面を構成する4辺それぞれに対して、平行に前記接続端子を形成し、当該接続端子を有する前記挿入基板を前記液体中に配置することを特徴とする請求項23に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記挿入基板の表面は矩形状を有しており、矩形状のそれぞれの角部を構成する各2辺において、角部頂点からの距離が等しい点を結んだそれぞれの直線上に前記接続端子を形成し、当該接続端子を有する前記挿入基板を前記液体中に配置することを特徴とする請求項23に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記挿入基板の挿入先端に、当該基板よりも比重の大きな材料からなる重り部を接合し、当該重り部を有する前記挿入基板を前記液体中に配置することを特徴とする請求項23に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記挿入基板の対向する両表面に、同一の大きさ及び形状を有する前記センサ素子を、それぞれ形成し、当該センサ素子の形成された前記挿入基板を前記液体中に配置することを特徴とする請求項23〜26いずれか1項に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記母基板の前記除去領域を挟んで対向する両周辺部位に、前記配線部をそれぞれ形成し、当該配線部の形成された前記母基板を前記液体中に配置することを特徴とする請求項23〜26いずれか1項に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記センサ素子は、ホール素子であることを特徴とする請求項14〜28いずれか1項に記載のセンサ装置の製造方法。
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