JP2005156179A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 センサ体格の小型化が可能で、且つ、角度演算が容易な磁気センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板10表面に対して略垂直な側面を有する溝部11が形成された基板10において、基板10表面にホール素子20aを形成し、溝部11の側面にホール素子20bを形成した。従って、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしており、各ホール素子20a,20bの出力電圧が略90度位相のずれた正弦波となるので、角度演算が容易となる。特に、同一基板20上に角度演算用の回路を有している場合には、回路規模を小さくすることができる。又、基板10表面に対して垂直な面にホール素子20bを形成するので、基板10の平面方向において、ホール素子20の占める面積を小さくすることができる。すなわち、磁気センサ100の体格を小型化することが可能である。
【選択図】 図1
【解決手段】 基板10表面に対して略垂直な側面を有する溝部11が形成された基板10において、基板10表面にホール素子20aを形成し、溝部11の側面にホール素子20bを形成した。従って、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしており、各ホール素子20a,20bの出力電圧が略90度位相のずれた正弦波となるので、角度演算が容易となる。特に、同一基板20上に角度演算用の回路を有している場合には、回路規模を小さくすることができる。又、基板10表面に対して垂直な面にホール素子20bを形成するので、基板10の平面方向において、ホール素子20の占める面積を小さくすることができる。すなわち、磁気センサ100の体格を小型化することが可能である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板に複数のホール素子を備える磁気センサ及びその製造方法に関するものである。
従来、複数のホール素子を備える磁気センサとして、例えば非特許文献1が開示されている。
非特許文献1に示される磁気センサは、2個のホール素子を有する磁気センサであり、{100}面方位のp型シリコン基板に溝が形成され、溝の対向する斜面に、それぞれホール素子であるn型の低濃度不純物拡散領域が形成されている。また、ホール素子に接続するn型の高濃度不純物拡散領域が、電極配線として、ポリシリコン膜の開口部からイオン注入により形成されている。
従って、磁界が印加されると、斜面に直角な方向の磁界成分が各ホール素子に印加されるので、バイアス電流が流れる各ホール素子では、夫々の磁界成分に比例する電圧が発生し、出力電圧として検出される。これにより、2次元の磁界の変化を検出することができる。
Transducers 93', 1993 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, p.892-895
Transducers 93', 1993 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, p.892-895
しかしながら、上述の磁気センサの場合、段差の大きい(100μm程度)溝の斜面にホール素子を形成するため、基板の平面方向において、センサにおけるホール素子の占める面積が大きくなる。すなわち、センサ体格の小型化が困難である。
また、上述の磁気センサの場合、{100}面からシリコン基板を異方的にエッチングし、{111}面方位の斜面をもつ溝を形成している。従って、斜面に形成される2つのホール素子のなす角を90度にすることができないため角度演算が複雑となる。特に、同一基板上に演算回路を有する場合には、回路規模が大きくなるので、センサ体格の小型化が困難である。
そこで本発明は、上記問題点に鑑み、センサ体格の小型化が可能で、且つ、角度演算が容易な磁気センサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する為に請求項1に記載の磁気センサは、基板に複数のホール素子を備えるものである。そして、基板は、当該基板表面に対して略垂直な側面を有する溝部を少なくとも1箇所有し、溝部の側面に少なくとも1個のホール素子が設けられることにより、複数のホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなしていることを特徴とする。
このように、本発明の磁気センサによると、基板表面に対して略垂直な溝部の側面に、ホール素子が設けられている。そして、これにより、複数のホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなしている。従って、各ホール素子の出力電圧が略90度位相のずれた正弦波となるので、角度演算が容易となる。特に、同一基板上に角度演算用の回路を有している場合には、回路規模を小さくすることができる。また、基板表面に対して垂直な面にホール素子が形成されているので、基板の平面方向において、センサにおけるホール素子の占める面積を小さくすることができる。すなわち、センサ体格を小型化することが可能である。
ホール素子の形成位置は、基板上であれば特に限定されるものではない。例えば、請求項2に記載のように、溝部を除く基板表面に少なくとも1個のホール素子を有していても良い。
この場合も、ホール素子の形成面である基板表面と溝部側面とが略90度の角度をなしているので、角度演算が容易となる。
また、請求項3に記載のように、直交する位置関係にある溝部の2つの側面に、それぞれホール素子を有していても良い。
この場合も、ホール素子の形成面である溝部の側面同士が90度の角度をなしているので、角度演算が容易となる。
尚、直交する位置関係にある2つの側面とは、異なる溝部間の側面であっても良いし、同一の溝部における側面であっても良い。例えば、請求項4に記載のように、溝部が四角柱形状を有している場合、請求項3に記載のホール素子は同一の溝部に設けられていることが好ましい。
この場合、角度演算が容易となるとともに、同一の溝部の隣接する2つの側面に夫々ホール素子が設けられているので、基板の平面方向において、センサにおけるホール素子の占める面積を小さくすることができる。従って、センサ体格をより小型化することができる。
請求項5に記載のように、基板が、溝部の周囲に応力緩衝用溝部を有していると、基板に生じた歪(応力)により、ホール素子に生じるピエゾ効果の影響を低減することができる。
尚、請求項6に記載のように、基板は半導体基板であり、ホール素子として低濃度不純物拡散領域を有し、電極と低濃度不純物拡散領域とを電気的に接続する配線部として高濃度不純物拡散領域を有する構成であっても良い。
基板が半導体基板の場合、イオン注入により溝部の側面にもホール素子を形成することができる。
その際、請求項7に記載のように、溝部の側面に設けられた低濃度不純物拡散領域に対し、高濃度不純物拡散領域が、溝部の底面及び低濃度不純物拡散領域が設けられていない溝部の側面に設けられ、溝部を除く基板表面にて電極と接続していることが好ましい。
電極が溝部の側面或いは底面にある場合、スペースが狭いため、ホール素子へのバイアス電流の印加やホール素子のホール電圧の取り出しが困難である。しかしながら、ホール素子が基板表面に設けられた電極に対して電気的に接続されているので、ホール素子へのバイアス電流の印加やホール素子のホール電圧の取り出しが容易となる
次に、本発明の磁気センサの製造方法は、請求項8に記載のように、基板に複数のホール素子を形成してなる磁気センサの製造方法であって、基板表面に対して略垂直な側面を有する溝部を、基板に少なくとも1箇所形成する溝部形成工程と、溝部の側面に少なくとも1個のホール素子を形成する工程とを備えることにより、形成された複数のホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなすことを特徴とする。
次に、本発明の磁気センサの製造方法は、請求項8に記載のように、基板に複数のホール素子を形成してなる磁気センサの製造方法であって、基板表面に対して略垂直な側面を有する溝部を、基板に少なくとも1箇所形成する溝部形成工程と、溝部の側面に少なくとも1個のホール素子を形成する工程とを備えることにより、形成された複数のホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなすことを特徴とする。
本発明の作用効果は、請求項1に記載の発明の作用効果と同一であるので、その記載を省略する。
ここで、溝部は、例えば請求項9に記載のように、基板をエッチングすることにより形成されても良いし、請求項10に記載のように、基板が複数層からなる積層基板の場合には、溝部に対応して予め所定形状に加工された各層を積層することにより形成されても良い。
ホール素子は、例えば請求項11に記載のように、溝部の側面だけでなく、溝部を除く基板の表面にも形成されても良い。
本発明の作用効果は、請求項2に記載の発明の作用効果と同一であるので、その記載を省略する。
また、請求項12に記載のように、ホール素子は直交する位置関係にある溝部の2つの側面に形成されても良い。
本発明の作用効果は、請求項3に記載の発明の作用効果と同一であるので、その記載を省略する。
尚、直交する位置関係にある2つの側面とは、異なる溝部間の側面であっても良いし、同一の溝部における側面であっても良い。例えば、請求項13に記載のように、溝部が四角柱状に形成され、請求項12に記載のホール素子が同一の溝部に形成されても良い。
本発明の作用効果は、請求項4に記載の発明の作用効果と同一であるので、その記載を省略する。
請求項14に記載のように、基板の溝部形成領域の周囲に、応力緩衝用溝部を形成する工程をさらに備えても良い。
本発明の作用効果は、請求項5に記載の発明の作用効果と同一であるので、その記載を省略する。
その際、応力緩衝用溝部は、請求項15に記載のように、溝部と同一工程において形成されることが好ましい。
溝部と応力緩衝用溝部とを同一工程において形成することで、製造工程を簡素化することができる。
基板が半導体基板の場合、請求項16に記載のように、ホール素子形成工程において、ホール素子として低濃度不純物拡散領域を形成し、電極と低濃度不純物拡散領域とを電気的に接続する配線部として高濃度不純物拡散領域を形成しても良い。
基板が半導体基板の場合、イオン注入により溝部の側面にホール素子を形成することができる。
また、請求項17に記載のように、溝部の側面に形成される低濃度不純物拡散領域に対し、高濃度不純物拡散領域が、溝部の底面及び低濃度不純物拡散領域が形成されない溝部の側面に形成され、溝部を除く基板の表面にて電極と接続すると良い。
イオン注入により、溝部の底面及び側面に配線部である高濃度不純物拡散領域を形成することができるので、溝部の側面に形成されるホール素子は基板表面の電極と電気的に接続される。電極が溝部の側面或いは底面にある場合は、ホール素子へのバイアス電流の印加やホール素子のホール電圧の取り出しが困難である。しかしながら、ホール素子は基板表面の電極と電気的に接続されているので、ホール素子へのバイアス電流の印加やホール素子のホール電圧の取り出しが容易となる。
以下、本発明の実施の形態を、図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態における磁気センサの概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のA−A断面における断面図である。
図1は、本実施形態における磁気センサの概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のA−A断面における断面図である。
図1(a),(b)に示すように、本実施形態における磁気センサ100は、基板10と、基板10に形成された複数のホール素子20とにより構成される。
基板10は、基板10表面に対して略垂直な側面を有する溝部11を有している。本実施形態においては、基板10として半導体基板であるp型シリコン基板を用いており、当該基板10に四角柱状の溝部11が1つ形成されている。このように、基板10が半導体基板であると、公知のトレンチ形成技術(トレンチエッチング)により、基板10表面に対して略垂直な側面を有する溝部11を、基板10に形成することができる。尚、溝部11の形状は四角柱に限定されるものではない。それ以外にも例えば三角柱等の多角柱状であれば本発明を適用することができる。また、同一基板10に形成される溝部11の個数も上記例に限定されず、複数形成されても良い。
ホール素子20は、少なくとも1個が溝部11の側面に形成されており、これによりホール素子20の形成面同士が略90度の角度をなしている。本実施形態においては、ホール素子20として2つのn型の低濃度不純物拡散領域が形成されている。この低濃度不純物拡散領域は、同一基板10(半導体基板)に集積されるトランジスタ等(図示せず)の他の素子形成におけるイオン注入工程を用いて形成される。従って、磁気センサ100の製造コストが低減される。尚、ホール素子20のうち、基板10表面に形成されているものをホール素子20aとし、溝部11の側面に形成(一端が基板10表面まで形成)されているものをホール素子20bとする。
また、各ホール素子20a,20bは、ホール素子20よりも抵抗の低い配線部30を介して、電極40に電気的に接続されている。本実施形態においては、配線部30としてn型の高濃度不純物拡散領域が形成されている。この高濃度不純物拡散領域も、低濃度不純物拡散領域同様、イオン注入工程を用いて形成される。尚、図1(a)において、その下部に形成されている配線部30(高濃度不純物拡散領域)の形成位置がわかるように、各電極40を簡略化して図示している。そして、便宜上、図1(b)において、その記載を省略している。
また、溝部11内に電極40を形成することが困難であるので、全ての電極40が溝部11を除く基板10の表面上に設けられている。従って、基板10の表面に形成されているホール素子20aは、ホール素子20aにおける電極40との接続領域のみに配線部30である高濃度不純物拡散領域を有している。尚、図1(a)において、符号40aはホール素子20aにバイアス電流を流すための電極であり、符号40bはホール素子20aに生じるホール電圧を検出する電極である。
また、ホール素子20bは、溝部11の側面に形成されているため、基板10表面である一端の領域と、溝部11の底面及びホール素子20bの形成されていない側面(図1においては、溝部11のホール素子20b形成面の対向面)とに配線部30である高濃度不純物拡散領域が形成されている。尚、符号40cはホール素子20bにバイアス電流を流すための電極であり、符号40dはホール素子20bに生じるホール電圧を検出する電極である。
このように構成される磁気センサ100は、基板10表面に対して略垂直な溝部11の側面に、ホール素子20bが形成されている。そして、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしている。例えば、図1(a),(b)に示す方向を軸として磁界Bが変化すると、各ホール素子20a,20bに対して直角方向の磁界成分がホール素子20a,20bに印加される。この状態で、電極40a間及び電極40c間に夫々バイアス電流が流れると、印可された直角方向の磁界成分に比例するホール電圧が各ホール素子20a,20b発生する。このホール電圧を、出力電圧として電極40b及び電極40dにおいて検出することにより、磁界Bの変化を検出することができる。従って、本発明の磁気センサ100は、2次元の磁界変化を検出する回転角センサとして適用することができる。
また、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしている。従って、2つのホール素子20a,20bに生じるホール電圧は、振幅がほぼ等しく略90度位相のずれた正弦波となる。従って、従来のように90度に対するずれを演算により補正しなくとも良いので、磁界Bの角度演算が容易となる。特に、同一基板10上に角度演算用の回路を有している場合には、その回路規模を小さくすることができる。
また、基板10表面に対して垂直な溝部11の側面にホール素子20bが形成されているので、基板10の平面方向において、センサ100におけるホール素子20の占める面積を小さくすることができる。すなわち、従来のように溝部の斜面にホール素子を形成する場合よりも、センサ100の体格を小型化することが可能である。
次に、上述した磁気センサ100の製造方法を図2〜図7に示す工程別概略図を用いて説明する。図2〜図6において、(a)は断面図、(b)は平面図を示し、(b)においては、便宜上、基板10上に設けられるエッチングマスク等は省略して図示している。図2は基板10表面へのホール素子20a形成工程、図3は溝部11形成工程、図4は溝部11側面へのホール素子20b形成工程を示す図である。図5及び図6は配線部30形成工程を示す図である。そして、図7は電極40を含む配線の形成工程を示す断面図である。尚、図2〜図7の各断面図は、図1(a)のA−A断面における断面を示している。
先ず、基板10として、p型のシリコン基板を準備する。そして、図2(a),(b)に示すように、最終的にホール素子20aとなるn型の低濃度不純物拡散領域50aを基板10の表面に形成する。
基板10表面に、イオン注入時のマスクとなるホトレジスト60を積層し、低濃度不純物拡散領域50aの形成領域が開口するようにパターニングする。そして、ホトレジスト60を介して、基板10の所定領域に、燐(P)等のn型不純物をイオン注入(図2(a)の白抜き矢印方向)する。イオン注入後、活性化のための熱処理を行い、n型の低濃度不純物拡散領域50aの形成が終了する。
次いで、図3(a),(b)に示すように、基板10に溝部11を形成する。
低濃度不純物拡散領域50aを含む基板10の表面に、例えば酸化シリコン膜を積層し、溝部11の形成領域が開口するようにパターニングしてエッチングマスク61とする。そして、エッチングマスク61を介して、基板10の所定領域をプラズマによりトレンチエッチングする。これにより、基板10表面に対して略垂直な側面を有する四角柱状の溝部11が形成される。
次いで、図4(a),(b)に示すように、最終的にホール素子20bとなるn型の低濃度不純物拡散領域50bを、溝部11の側面に形成する。
低濃度不純物拡散領域50bは、エッチングマスク61をマスクとし、溝部11の側面に対して斜め方向(図4(a)の白抜き矢印方向)に、燐(P)等のn型不純物をイオン注入する。そして、イオン注入後、活性化のための熱処理を行い、n型の低濃度不純物拡散領域50bの形成が終了する。
次いで、図5(a),(b)及び図6(a),(b)に示すように、配線部30としてn型の高濃度不純物拡散領域を形成する。
先ず、図5(a),(b)に示すように、エッチングマスク61をマスクとし、溝部11における低濃度不純物拡散領域50bの形成面の対向面に対して、斜め方向(図5(a)の白抜き矢印方向)に、燐(P)等のn型不純物をイオン注入する。
次いで、図6(a),(b)に示すように、エッチングマスク61の所定領域を除去し、基板10の表面に対して垂直(図6(a)の白抜き矢印方向)に、燐(P)等のn型不純物をイオン注入し、配線部30である高濃度不純物拡散領域を形成する。これにより、n型の低濃度不純物拡散領域50a,50bは、所定領域に配線部30が形成されて、2個のホール素子20a,20bとなる。また、ホール素子20bは、溝部11の底面及び側面に渡って形成された配線部30により接続される。
イオン注入後、活性化のための熱処理を行い、配線部30であるn型の高濃度不純物拡散領域の形成が終了する。
最後に、図7に示すように、例えば窒化シリコン膜からなる層間絶縁膜62を堆積し、ホトリソグラフィとドライエッチングによりコンタクトホールを形成後、電極40a〜40dを含む配線(例えばアルミ配線)を形成する(図7において、電極40a,40cのみ図示)。以上の工程により、磁気センサ100が完成する。
尚、本実施形態において、エッチングにより溝部11を形成する例を示した。しかしながら、基板10が複数層を積層してなる積層基板の場合には、予め加工された各層を積層することにより、基板10に溝部11を形成する構成であっても良い。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態を図8に基づいて説明する。図8は、本実施形態における磁気センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のC−C断面における断面図である。
次に、本発明の第2の実施形態を図8に基づいて説明する。図8は、本実施形態における磁気センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のC−C断面における断面図である。
第2の実施の形態における磁気センサ100は、第1の実施の形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
第2の実施の形態において、第1の実施の形態と異なる点は、溝部11の直交する2つの側面にホール素子20a,20bを有する点である。
図8(a),(b)に示すように、本実施形態における磁気センサ100は、第1の実施形態同様、基板10に四角柱状の溝部11を有している。そして、同一の溝部11の隣接する側面に2つのホール素子20a,20bを有している。
従って、本実施形態における磁気センサ100も、2次元の磁界変化を検出する回転角センサとして適用することができる。
また、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしているので、磁界Bの角度演算が容易となる。特に、同一基板10上に角度演算用の回路を有している場合には、その回路規模を小さくすることができる。
また、基板10表面に対して垂直な溝部11の側面にホール素子20bが形成されているので、基板10の平面方向において、センサ100におけるホール素子20の占める面積を小さくすることができる。特に、同一の溝部11に2つのホール素子20a,20bが形成されているので、センサ100の体格をより小型化することができる。
上述のように、2つのホール素子20a,20bを同一の溝部11に有する場合、例えば、図8(a)に示すように、ホール素子20a,20bにバイアス電流を流すための電極40a及び電極40cの一方が共通となり、電極40acとなる。また、基板10表面に形成された電極40acまでの溝部11の側面及び底面に形成される配線部30も共通となる。
尚、本実施形態に示す磁気センサ100は、第1実施形態に示す製造方法を活用して製造することができる。本実施形態においては、基板10表面へのホール素子20aの形成を省略し、かわりに溝部11の側面に2つのホール素子20a,20bを形成する点が異なるだけである。
その際、溝部11の隣接する2側面へのイオン注入は、例えば両側面に対して略45度の方向からイオン注入することにより同時に実施しても良いし、夫々の側面に対して略90度の方向からイオン注入することにより、2段階で実施しても良い。しかしながら、所定の領域にイオン注入するためには、夫々の側面に対して別個にイオン注入することが好ましい。
また、本実施形態においては、2つのホール素子20a,20bが形成される溝部11の隣接する側面の角部が、図8(a)に示すように除去されずに残った凸領域を有している。これにより、ホール素子20a,20bの接続を防止している(尚、図8(a)において、便宜上、凸領域の一部分に形成される低濃度拡散領域を省略している)。このような凸領域は、溝部11形成時のエッチングマスク61のパターンを調整することにより形成することができる。しかしながら、それ以外にも、四角柱状の溝部11を形成し、隣接する2側面にホール素子20a,20bを形成した後で、図9に示すように、2つのホール素子20a,20bが接続する角部70(図9における破線で囲まれた領域)にp型の不純物をイオン注入することにより、ホール素子20a,20bを分離しても良い。
また、本実施形態においては、同一の溝部11に2つのホール素子20a,20bを有する例を示した。しかしながら、異なる溝部11の、直交する位置関係にある2つの側面にホール素子20a,20bを有する構成であっても良い。
(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態を図10に基づいて説明する。図10は、本実施形態における磁気センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のD−D断面における断面図である。
次に、本発明の第3の実施形態を図10に基づいて説明する。図10は、本実施形態における磁気センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は上面側から見た平面図、(b)は(a)のD−D断面における断面図である。
第3の実施の形態における磁気センサ100は、第1の実施の形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
第3の実施の形態において、第1の実施の形態と異なる点は、溝部11の周囲に応力緩衝用溝部を有する点である。
図10(a),(b)に示すように、本実施形態における磁気センサ100は、第1の実施形態同様、基板10に四角柱状の溝部11を有しており、当該溝部11の側面と基板10の表面にそれぞれホール素子20bを有している。そして、基板10は、溝部11の周囲に応力緩衝用溝部80を有している。
応力緩衝用溝部80は、基板10に生じる応力を緩衝するための溝である。本実施形態においては、溝部11同様、四角柱形状をもって、ホール素子20bの周囲に形成されている。従って、応力の印加や温度変化等により基板10に歪(応力)が生じても、応力緩衝用溝部80により応力を緩衝することができる。すなわち、ホール素子20bに生じるピエゾ効果の影響を低減することができるので、ホール素子20bは磁界の変化を精度良く検出することができる。
尚、応力緩衝用溝部80の形状は上記例に限定されるものではなく、基板10に対して所定深さの溝であれば良い。
また、ホール素子20bは、溝部11の側面に形成されているので、ホール素子20aよりも基板10に生じた応力の影響を受けやすい。従って、応力緩衝用溝部80は、溝部11の周囲に設けられると良い。しかしながら、ホール素子20aも多少なりとも基板10に生じる応力の影響を受けるので、好ましくは、溝部11の周囲であって、基板10のホール素子20aの形成領域との間に設けられると良い。
このような磁気センサ100は、第1実施形態に示す製造方法を活用して製造することができる。応力緩衝用溝部80は溝部11と別工程で形成されても良いが、本実施形態においては、エッチングにより溝部11の形成とともに応力緩衝用溝部80を形成する。従って、製造工程を簡素化することができる。尚、本実施形態においては、溝部11とともに応力緩衝用溝部80を形成し、イオン注入を行うため、図10(a),(b)に示すように、ホール素子20bと同一方向の応力緩衝用溝部80の側面に低濃度不純物拡散領域50bが形成され、底面及び側面に高濃度不純物拡散領域30a(溝部11の配線部30と同様)が形成される。しかしながら、製造工程によっては、応力緩衝用溝部80に低濃度不純物拡散領域50b及び高濃度不純物拡散領域30aが形成されない構成とすることもできる。
また、本実施形態における磁気センサ100も、2次元の磁界変化を検出する回転角センサとして適用することができる。
また、2つのホール素子20a,20bの形成面が互いに略90度の角度をなしているので、磁界Bの角度演算が容易となる。特に、同一基板10上に角度演算用の回路を有している場合には、その回路規模を小さくすることができる。
また、基板10表面に対して垂直な溝部11の側面にホール素子20bが形成されているので、基板10の平面方向において、センサ100におけるホール素子20の占める面積を小さくすることができる。
また、本実施形態においては、1つの溝部11に対し、1つの応力緩衝用溝部80が形成される例を示した。しかしながら、応力緩衝用溝部80の個数は特に限定されるものではない。
以上本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されず、種々変更して実施する事ができる。
本実施形態において、磁気センサ装置100は、同一の基板10に2つのホール素子20a,20bを有する例を示した。しかしながら、同一の基板10に複数のホール素子20を有し、その内の少なくとも1つが溝部11の側面に形成されている磁気センサ100であれば、本発明を適用することができる。
例えば、図11に示すように、同一基板10に2つの溝部11が形成され、基板10の表面にホール素子20aを有し、2つの溝部11の直交する位置関係にある2側面に、ホール素子20b,20cを有する構成であっても良い。この場合、3次元の磁界変化を検出することができるので、磁気センサ100を位置センサとして適用することができる。その際、図11に示すように、基板10が2つの溝部11の周囲で、且つ、3つのホール素子20a,20b,20cの形成領域間に応力緩衝用溝部80を有すると、各ホール素子20a,20b,20cへのピエゾ効果の影響を低減することができる。図11は本実施形態に変形例を示す上面から見た平面図である。図11において、符号40eはホール素子20cにバイアス電流を流すための電極、符号40fはホール素子20cに生じるホール電圧を検出する電極である。
尚、溝部11へのホール素子20b,20c及び配線部30の形成は、例えば溝部11の側面に対して垂直方向からイオン注入することにより形成しても良い。この場合、2つのホール素子20b,20cの形成が2段階となるが、ホール素子20b,20cの寸法精度は向上される。それ以外にも、ホール素子20b,20cが形成されるそれぞれの溝部11の側面(配線部30が形成されるそれぞれの溝部11の側面)に対して略45度の方向からイオン注入することにより形成しても良い。この場合、2つのホール素子20b,20cを同時に形成することができる。しかしながら、同一の溝部11において、ホール素子20b(20c)の形成された側面と配線部30の形成された側面以外の側面にも、イオン注入によりn型の低濃度不純物拡散領域及びn型の高濃度不純物拡散領域(ともに図示せず)が形成される。すなわち、当該側面に形成されたn型の低濃度不純物拡散領域及びn型の高濃度不純物拡散領域を介して、ホール素子20b(20c)が配線部30と接続した状態となり、バイアス電流がn型の低濃度不純物拡散領域及びn型の高濃度不純物拡散領域を介して、ホール素子20b(20c)に流れる恐れがある。従って、バイアス電流が電極40d間(40f)に対して90度の角度をもって流れるように、当該側面に形成されたn型の低濃度不純物拡散領域及びn型の高濃度不純物拡散領域に対してp型の不純物をイオン注入し、p型の不純物拡散領域を形成すると良い。
また、図12に示すように、同一基板10に1つの溝部11が形成され、基板10の表面にホール素子20aを有し、溝部11の2側面に、ホール素子20b,20cを有する構成であっても良い。この場合も、3次元の磁界変化を検出することができるので、磁気センサ100を位置センサとして適用することができる。図12は本実施形態に変形例を示す上面から見た平面図である。図12において、符号40eはホール素子20cにバイアス電流を流すための電極、符号40fはホール素子20cに生じるホール電圧を検出する電極、符号40ceは、ホール素子20b,20cにバイアス電流を流すための共通の電極である。尚、図11,12以外にも、例えば溝部11が並列に複数設けられ、各溝部11の同一方向の側面にホール素子20bが形成された構成であっても良い。この場合、溝部11が同一の形状及び大きさであると、1つの溝部11だけを形成する場合よりも、トレンチエッチング時の加工精度が向上される。
10・・・基板
11・・・溝部
20(20a,20b,20c)・・・ホール素子
30・・・配線部(高濃度不純物拡散領域)
40(40a〜40f,40ac,40ce)・・・電極
50a,50b・・・低濃度不純物拡散領域
80・・・応力緩衝用溝部
100・・・磁気センサ
11・・・溝部
20(20a,20b,20c)・・・ホール素子
30・・・配線部(高濃度不純物拡散領域)
40(40a〜40f,40ac,40ce)・・・電極
50a,50b・・・低濃度不純物拡散領域
80・・・応力緩衝用溝部
100・・・磁気センサ
Claims (17)
- 基板に複数のホール素子を備える磁気センサであって、
前記基板は、当該基板表面に対して略垂直な側面を有する溝部を少なくとも1箇所有し、
前記溝部の側面に少なくとも1個の前記ホール素子が設けられることにより、複数の前記ホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなしていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記基板は、前記溝部を除く表面に少なくとも1個の前記ホール素子を有していることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記溝部の直交する位置関係にある2つの側面に、それぞれ前記ホール素子を設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の磁気センサ。
- 前記溝部は四角柱形状を有し、前記ホール素子は同一の溝部に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の磁気センサ。
- 前記基板は、前記溝部の周囲に、応力緩衝用溝部を有していることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の磁気センサ。
- 前記基板は半導体基板であり、前記ホール素子として低濃度不純物拡散領域を有し、電極と前記低濃度不純物拡散領域とを電気的に接続する配線部として高濃度不純物拡散領域を有することを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の磁気センサ。
- 前記溝部の側面に設けられた前記低濃度不純物拡散領域に対し、前記高濃度不純物拡散領域が、前記溝部の底面及び前記低濃度不純物拡散領域が設けられていない前記溝部の側面に設けられ、前記溝部を除く前記基板の表面にて前記電極と接続していることを特徴とする請求項6に記載の磁気センサ。
- 基板に複数のホール素子を形成してなる磁気センサの製造方法であって、
前記基板表面に対して略垂直な側面を有する溝部を、前記基板に少なくとも1箇所形成する溝部形成工程と、
前記溝部の側面に少なくとも1個の前記ホール素子を形成する工程とを備え、
形成された複数の前記ホール素子の形成面が互いに略90度の角度をなすことを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記溝部は、前記基板をエッチングすることにより形成されることを特徴とする請求項8に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記基板は複数層からなり、前記溝部は予め所定形状に加工された各層を積層することにより形成されることを特徴とする請求項8に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記ホール素子は、前記溝部を除く前記基板の表面にも形成されることを特徴とする請求項8〜10いずれか1項に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記ホール素子は、直交する位置関係にある前記溝部の2つの側面に、それぞれ形成されることを特徴とする請求項8〜11いずれか1項に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記溝部は四角柱状に形成され、前記ホール素子は同一の前記溝部に形成されることを特徴とする請求項12に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記基板の前記溝部形成領域の周囲に、応力緩衝用溝部を形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項8〜13いずれか1項に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記応力緩衝用溝部は、前記溝部と同一工程において形成されることを特徴とする請求項14に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記基板は半導体基板であり、前記ホール素子形成工程において、前記ホール素子として低濃度不純物拡散領域を形成し、電極と前記低濃度不純物拡散領域とを電気的に接続する配線部として高濃度不純物拡散領域を形成することを特徴とする請求項8〜15いずれか1項に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記溝部の側面に形成される前記低濃度不純物拡散領域に対し、前記高濃度不純物拡散領域が、前記溝部の底面及び前記低濃度不純物拡散領域が形成されない前記溝部の側面に形成され、前記溝部を除く前記基板の表面にて前記電極と接続することを特徴とする請求項16に記載の磁気センサの製造方法。
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