JPH10166599A - インクジェットプリントヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリントヘッドの製造方法Info
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- JPH10166599A JPH10166599A JP33695396A JP33695396A JPH10166599A JP H10166599 A JPH10166599 A JP H10166599A JP 33695396 A JP33695396 A JP 33695396A JP 33695396 A JP33695396 A JP 33695396A JP H10166599 A JPH10166599 A JP H10166599A
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- diaphragm
- bonding
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットプリンタの製造において薄板
の貼り合わせを高い信頼性で、且つ、比較的低コストで
実現する。 【解決手段】 振動板と振動板に隣接する薄板のみを金
属接合により貼り合わせ、残りの薄板の貼り合わせにつ
いては接着剤を用いる。
の貼り合わせを高い信頼性で、且つ、比較的低コストで
実現する。 【解決手段】 振動板と振動板に隣接する薄板のみを金
属接合により貼り合わせ、残りの薄板の貼り合わせにつ
いては接着剤を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子を用いた
オンデマンド型のインクジェットヘッドに関し、特に多
数のノズルを高密度に集積させたマルチノズルインクジ
ェットヘッドの製造方法に関するものである。
オンデマンド型のインクジェットヘッドに関し、特に多
数のノズルを高密度に集積させたマルチノズルインクジ
ェットヘッドの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドにおいては
ヘッドを構成する数枚の薄板を貼り合わせる際に、
（１）拡散接合あるいは半田接合などの金属接合を用い
るか、（２）接着剤を用いるかのいずれかひとつの方法
が採られていた。
ヘッドを構成する数枚の薄板を貼り合わせる際に、
（１）拡散接合あるいは半田接合などの金属接合を用い
るか、（２）接着剤を用いるかのいずれかひとつの方法
が採られていた。
【０００３】前記（１）の金属接合の場合は隣り合う加
圧室同士でインクが漏れるというようなことはなかっ
た。しかし、金属接合そのものが主として真空雰囲気で
行われるため、真空排気などの時間を要し、かつ、高温
で行われるために、熱変形が大きく、これを適正に抑え
る工夫をする必要があり、製造プロセス確立に多大な時
間を要した。その結果、ヘッドのコスト高を招き、コス
ト低減の必要があった。
圧室同士でインクが漏れるというようなことはなかっ
た。しかし、金属接合そのものが主として真空雰囲気で
行われるため、真空排気などの時間を要し、かつ、高温
で行われるために、熱変形が大きく、これを適正に抑え
る工夫をする必要があり、製造プロセス確立に多大な時
間を要した。その結果、ヘッドのコスト高を招き、コス
ト低減の必要があった。
【０００４】一方、（２）の接着剤は比較的廉価で出来
る方法であるが、振動板が運転中に常に振動するため、
振動板に接する部材と、振動板との貼り合わせで信頼性
に問題があり、インク室側の部材の場合は、クロストー
クや、駆動電圧の上昇などの問題が生じた。
る方法であるが、振動板が運転中に常に振動するため、
振動板に接する部材と、振動板との貼り合わせで信頼性
に問題があり、インク室側の部材の場合は、クロストー
クや、駆動電圧の上昇などの問題が生じた。
【０００５】
【発明が解決しようする課題】本発明の課題は、コスト
上昇を比較的小さく抑えた上で、インクリークに関して
長期信頼性の高い、薄板の貼り合わせ技術を確立するこ
とである。
上昇を比較的小さく抑えた上で、インクリークに関して
長期信頼性の高い、薄板の貼り合わせ技術を確立するこ
とである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、このような
課題を解決するため、インクの圧力を高める加圧室、電
気信号の印加により加圧室内に圧力変動を発生させる圧
電素子、加圧室の壁面の少なくとも一部を形成して圧電
素子と弾性材料を介して連結されている振動板、振動板
を補強するサポートプレート、加圧室にインクを供給す
る流路であるリストリクタ、リストリクタへインクを供
給するインク流路、及びインク液滴を加圧室から噴射す
るオリフィス、等によって構成された複数のノズルを有
するオンデマンド型インクジェットプリントヘッドにお
いて、振動板に隣接している部材を前記振動板と貼り合
わせる際に金属接合を使用し、その他の部材の貼り合わ
せには接着剤を使用するようにした。あるいは、振動板
に隣接している部材のうち、加圧室側のインクに接して
いる部材のみを前記振動板と貼り合わせる際に金属接合
を使用し、その他の部材の貼り合わせには接着剤を使用
してもよい。
課題を解決するため、インクの圧力を高める加圧室、電
気信号の印加により加圧室内に圧力変動を発生させる圧
電素子、加圧室の壁面の少なくとも一部を形成して圧電
素子と弾性材料を介して連結されている振動板、振動板
を補強するサポートプレート、加圧室にインクを供給す
る流路であるリストリクタ、リストリクタへインクを供
給するインク流路、及びインク液滴を加圧室から噴射す
るオリフィス、等によって構成された複数のノズルを有
するオンデマンド型インクジェットプリントヘッドにお
いて、振動板に隣接している部材を前記振動板と貼り合
わせる際に金属接合を使用し、その他の部材の貼り合わ
せには接着剤を使用するようにした。あるいは、振動板
に隣接している部材のうち、加圧室側のインクに接して
いる部材のみを前記振動板と貼り合わせる際に金属接合
を使用し、その他の部材の貼り合わせには接着剤を使用
してもよい。
【０００７】金属接合としては、銀を主成分とする半
田、金並びに錫を主成分とする半田、錫並びに鉛を主成
分とする半田、または拡散接合などを使用するとよい。
田、金並びに錫を主成分とする半田、錫並びに鉛を主成
分とする半田、または拡散接合などを使用するとよい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明につ
いて説明する。
いて説明する。
【０００９】図１は、本発明で用いたインクジェットプ
リントヘッドのノズル部の構成を示す断面図である。こ
のヘッドは、入力信号に応じてインクを噴射することに
より記録を行うことができる。
リントヘッドのノズル部の構成を示す断面図である。こ
のヘッドは、入力信号に応じてインクを噴射することに
より記録を行うことができる。
【００１０】１はオリフィス、２は加圧室、３は振動
板、４は圧電素子、５ａと５ｂは信号入力端子、６はヘ
ッド基板、７はインク流路８と加圧室２とを連結し加圧
室２へのインク流入を制御するリストリクタ、８はイン
ク流路、９は振動板３と圧電素子４とを連結する弾性部
材（ここではシリコンゴム）、１０はリストリクタ７を
形成するリストリクタプレート、１１は加圧室２を形成
するチャンバープレート、１２はオリフィス１を形成す
るオリフィスプレート、１３は振動板を補強するサポー
トプレート、１４はマニホールドプレート、１５はプレ
ートをはりあわせるための接着剤あるいははんだからな
る接合層である。ここで、接着剤としては、エポキシ、
ポリイミド、またはアクリル系樹脂などから選ばれる。
なお、１５の図示は代表的な部を表していて、図示して
いないが各プレート間に接合層がある。
板、４は圧電素子、５ａと５ｂは信号入力端子、６はヘ
ッド基板、７はインク流路８と加圧室２とを連結し加圧
室２へのインク流入を制御するリストリクタ、８はイン
ク流路、９は振動板３と圧電素子４とを連結する弾性部
材（ここではシリコンゴム）、１０はリストリクタ７を
形成するリストリクタプレート、１１は加圧室２を形成
するチャンバープレート、１２はオリフィス１を形成す
るオリフィスプレート、１３は振動板を補強するサポー
トプレート、１４はマニホールドプレート、１５はプレ
ートをはりあわせるための接着剤あるいははんだからな
る接合層である。ここで、接着剤としては、エポキシ、
ポリイミド、またはアクリル系樹脂などから選ばれる。
なお、１５の図示は代表的な部を表していて、図示して
いないが各プレート間に接合層がある。
【００１１】振動板３、リストリクタプレート１０、チ
ャンバープレート１１、サポートプレート１３は、例え
ばステンレス材から作られ、オリフィスプレート１２は
ニッケル材から作られている。また、ヘッド基板６は、
セラミックスなどの絶縁物から作られている。
ャンバープレート１１、サポートプレート１３は、例え
ばステンレス材から作られ、オリフィスプレート１２は
ニッケル材から作られている。また、ヘッド基板６は、
セラミックスなどの絶縁物から作られている。
【００１２】インクは、インク流路８、リストリクタ
７、加圧室２、オリフィス１の順に流れる。
７、加圧室２、オリフィス１の順に流れる。
【００１３】圧電素子４は信号入力端子５ａに正電位が
印加されたときに伸長し、信号入力端子５ａと５ｂ間に
電位差が無くなれば変形がゼロになるように取り付けら
れている。
印加されたときに伸長し、信号入力端子５ａと５ｂ間に
電位差が無くなれば変形がゼロになるように取り付けら
れている。
【００１４】従来、ヘッドはオリフィスプレート１２、
チャンバプレート１１、リストリクタプレート１０、振
動板３及びインク流路８を形成する数枚のプレートから
なるマニホールドプレート１４を高精度に位置決めした
後、一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤あるいは
金属接合にて貼り合わせて製作していた。
チャンバプレート１１、リストリクタプレート１０、振
動板３及びインク流路８を形成する数枚のプレートから
なるマニホールドプレート１４を高精度に位置決めした
後、一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤あるいは
金属接合にて貼り合わせて製作していた。
【００１５】本発明では、信頼性向上と低コストを両立
させるために、上記貼り合わせ部のうち、振動板３とリ
ストリクタプレート１０並びにサポートプレート１３と
を金属接合することを特徴としている。
させるために、上記貼り合わせ部のうち、振動板３とリ
ストリクタプレート１０並びにサポートプレート１３と
を金属接合することを特徴としている。
【００１６】以下、実施例により説明する。
【００１７】〔実施例１〕本実施例では金属接合に銀固
相接合法を適用した場合について説明する。本発明では
プレートにＳＵＳ３０４を用いた例を説明するが、本発
明の主旨を考慮すればＳＵＳ３０４以外の他の金属でも
同等の効果があることは明らかである。
相接合法を適用した場合について説明する。本発明では
プレートにＳＵＳ３０４を用いた例を説明するが、本発
明の主旨を考慮すればＳＵＳ３０４以外の他の金属でも
同等の効果があることは明らかである。
【００１８】まずＳＵＳ３０４からなるプレート３、１
０、１３をアルカリ脱脂、電解脱脂、酸エッチングにて
清浄化する。その後、後述する銀膜との密着性改善のた
めに、ニッケル、銅の順にめっきする。次いで、これら
のプレートの接合面にスパッタリング法にて厚さ１〜３
０μｍ程度の銀膜を形成する。これらの膜を一旦大気中
で、２００℃で加熱処理して、接合表面の汚染原子（硫
黄、炭素）を酸化除去する。ついで、プレス機を用いて
温度２８０℃、圧力１０ｋｇｆ／ｍｍ2の条件で３０分
保持して接合する。この様な条件で接合することにより
接合面はリークがなく接合強度が高く、信頼性に優れた
接合面を形成できる。最後に、金属接合した３枚のプレ
ートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１１
及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなるマ
ニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、一
括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わせ
て作製する。本方法で作製したノズル部は実機評価にて
も従来の接着方法よりも格段に信頼性が向上しているこ
とが確認された。
０、１３をアルカリ脱脂、電解脱脂、酸エッチングにて
清浄化する。その後、後述する銀膜との密着性改善のた
めに、ニッケル、銅の順にめっきする。次いで、これら
のプレートの接合面にスパッタリング法にて厚さ１〜３
０μｍ程度の銀膜を形成する。これらの膜を一旦大気中
で、２００℃で加熱処理して、接合表面の汚染原子（硫
黄、炭素）を酸化除去する。ついで、プレス機を用いて
温度２８０℃、圧力１０ｋｇｆ／ｍｍ2の条件で３０分
保持して接合する。この様な条件で接合することにより
接合面はリークがなく接合強度が高く、信頼性に優れた
接合面を形成できる。最後に、金属接合した３枚のプレ
ートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１１
及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなるマ
ニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、一
括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わせ
て作製する。本方法で作製したノズル部は実機評価にて
も従来の接着方法よりも格段に信頼性が向上しているこ
とが確認された。
【００１９】〔実施例２〕本実施例では金属接合に金−
錫および鉛ー錫半田接合法を適用した場合について説明
する。
錫および鉛ー錫半田接合法を適用した場合について説明
する。
【００２０】実施例１と同様に、まずＳＵＳ３０４から
なるプレート３、１０、１３をアルカリ脱脂、電解脱
脂、酸エッチングにて清浄化する。その後、後述する金
膜との密着性改善のために、ニッケルをめっきする。そ
の後、リストリクタプレート及びサポートプレートには
金膜、錫膜を所定の組成になるようにそれぞれの膜厚を
かえて合計３μｍになるようにめっきする。最後に錫の
酸化防止層として再度金膜を０．５μｍめっきする。一
方、振動板には金のみを０．５μｍめっきする。これら
のプレートを真空チャンバ内にセットされたプレス機の
加圧治具にセットし温度３５０℃、圧力１ｋｇｆ／ｍｍ
2の条件で３０秒間保持して、金−錫めっき膜を溶融さ
せて接合する。プレートが十分冷えた後に真空チャンバ
ーから取り出す。このようにして金属接合した３枚のプ
レートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１
１及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなる
マニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、
一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わ
せて作製する。
なるプレート３、１０、１３をアルカリ脱脂、電解脱
脂、酸エッチングにて清浄化する。その後、後述する金
膜との密着性改善のために、ニッケルをめっきする。そ
の後、リストリクタプレート及びサポートプレートには
金膜、錫膜を所定の組成になるようにそれぞれの膜厚を
かえて合計３μｍになるようにめっきする。最後に錫の
酸化防止層として再度金膜を０．５μｍめっきする。一
方、振動板には金のみを０．５μｍめっきする。これら
のプレートを真空チャンバ内にセットされたプレス機の
加圧治具にセットし温度３５０℃、圧力１ｋｇｆ／ｍｍ
2の条件で３０秒間保持して、金−錫めっき膜を溶融さ
せて接合する。プレートが十分冷えた後に真空チャンバ
ーから取り出す。このようにして金属接合した３枚のプ
レートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１
１及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなる
マニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、
一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わ
せて作製する。
【００２１】同様に鉛−錫はんだの例についても説明す
る。前述の金−錫はんだと同様に金及び錫膜を積層して
合金膜を作製することができるが、ここでは、鉛−錫合
金めっき液を用いて作製した。
る。前述の金−錫はんだと同様に金及び錫膜を積層して
合金膜を作製することができるが、ここでは、鉛−錫合
金めっき液を用いて作製した。
【００２２】まずＳＵＳ３０４からなるプレート３、１
０、１３をアルカリ脱脂、電解脱脂、酸エッチングにて
清浄化する。その後、密着性改善のために、ニッケルを
めっきする。ついで、鉛６０％−錫４０％めっき液を用
いて厚さ３μｍになるようめっきする。これらのプレー
トを真空チャンバ内にセットされたプレス機の加圧治具
にセットし温度３００℃、圧力１ｋｇｆ／ｍｍ2の条件
でで３０秒間保持して、鉛６０％−錫４０％めっき膜を
溶融させて接合する。プレートが十分冷えた後に真空チ
ャンバーから取り出す。
０、１３をアルカリ脱脂、電解脱脂、酸エッチングにて
清浄化する。その後、密着性改善のために、ニッケルを
めっきする。ついで、鉛６０％−錫４０％めっき液を用
いて厚さ３μｍになるようめっきする。これらのプレー
トを真空チャンバ内にセットされたプレス機の加圧治具
にセットし温度３００℃、圧力１ｋｇｆ／ｍｍ2の条件
でで３０秒間保持して、鉛６０％−錫４０％めっき膜を
溶融させて接合する。プレートが十分冷えた後に真空チ
ャンバーから取り出す。
【００２３】本はんだ膜の場合、インクの種類によって
は腐食する場合がある。従って、より信頼性を出すため
に本例では、耐食性のあるニッケル８８％−リン１２％
のめっき膜を保護膜として厚さ３μｍだけ無電解めっき
法でコートする。このようにして金属接合した３枚のプ
レートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１
１及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなる
マニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、
一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わ
せて作製する。
は腐食する場合がある。従って、より信頼性を出すため
に本例では、耐食性のあるニッケル８８％−リン１２％
のめっき膜を保護膜として厚さ３μｍだけ無電解めっき
法でコートする。このようにして金属接合した３枚のプ
レートとオリフィスプレート１２、チャンバプレート１
１及びインク流路８を形成する数枚のプレートからなる
マニホールドプレート１４を高精度に位置決めした後、
一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤にて貼り合わ
せて作製する。
【００２４】本方法で作製したノズル部は、いずれの場
合も実施例１と同様に実機評価にても従来の接着法より
も格段に信頼性が向上していることが確認された。
合も実施例１と同様に実機評価にても従来の接着法より
も格段に信頼性が向上していることが確認された。
【００２５】以上、比較的低融点のはんだ材について例
示したが、金ーニッケル合金のようないわゆる高温ろう
をもちいても同様な効果が実現できる。
示したが、金ーニッケル合金のようないわゆる高温ろう
をもちいても同様な効果が実現できる。
【００２６】〔実施例３〕本実施例では金属接合に拡散
接合法を適用した場合について説明する。
接合法を適用した場合について説明する。
【００２７】実施例１と同様に、まずＳＵＳ３０４から
なるプレート３、１０、１３をアルカリ脱脂、電解脱
脂、酸エッチングにて清浄化する。その後、密着性改善
のために、ニッケルをめっきする。ついで、リストリク
タプレート１０、サポートプレート１３及び振動板３に
ニッケル８７％−リン１３％膜を厚さ３μｍだけ、無電
解めっき法にてめっきする。これらのプレートを真空チ
ャンバ内にセットされたプレス機の加圧治具にセット
し、温度１０００℃、圧力０．３ｋｇｆ／ｍｍ2の条件
で２分間保持して、ニッケル８７％−リン１３％めっき
膜を溶融させて接合する。プレートが十分冷えた後に真
空チャンバーから取り出す。このようにして金属接合し
た３枚のプレートとオリフィスプレート１２、チャンバ
プレート１１及びインク流路８を形成する数枚のプレー
トからなるマニホールドプレート１４を高精度に位置決
めした後、一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤に
て貼り合わせて作製する。
なるプレート３、１０、１３をアルカリ脱脂、電解脱
脂、酸エッチングにて清浄化する。その後、密着性改善
のために、ニッケルをめっきする。ついで、リストリク
タプレート１０、サポートプレート１３及び振動板３に
ニッケル８７％−リン１３％膜を厚さ３μｍだけ、無電
解めっき法にてめっきする。これらのプレートを真空チ
ャンバ内にセットされたプレス機の加圧治具にセット
し、温度１０００℃、圧力０．３ｋｇｆ／ｍｍ2の条件
で２分間保持して、ニッケル８７％−リン１３％めっき
膜を溶融させて接合する。プレートが十分冷えた後に真
空チャンバーから取り出す。このようにして金属接合し
た３枚のプレートとオリフィスプレート１２、チャンバ
プレート１１及びインク流路８を形成する数枚のプレー
トからなるマニホールドプレート１４を高精度に位置決
めした後、一括又は必要に応じて数回に分けて接着剤に
て貼り合わせて作製する。
【００２８】本方法で作製したノズル部は、実施例１と
同様に実機評価にても従来の接着法よりも格段に信頼性
が向上していることが確認された。
同様に実機評価にても従来の接着法よりも格段に信頼性
が向上していることが確認された。
【００２９】以上３例について説明したが、各々の接合
条件は代表例であり、本例を中心値としてより幅広い範
囲で接合条件を選択できる。
条件は代表例であり、本例を中心値としてより幅広い範
囲で接合条件を選択できる。
【００３０】なお、これまでの実施例の説明では振動板
の両側の板（リストリクタプレート１０並びにサポート
プレート１３）と振動板３とを金属接合を行うように説
明してきたが、インクリークにより問題が発生しやすい
のは振動板とリストリクタプレートとの間であることが
経験的に分かっており、コスト低減から見れば、金属接
合をするのは振動板３と、リストリクタプレート１０と
の間だけに限っても、効果は大きくは変わらない。
の両側の板（リストリクタプレート１０並びにサポート
プレート１３）と振動板３とを金属接合を行うように説
明してきたが、インクリークにより問題が発生しやすい
のは振動板とリストリクタプレートとの間であることが
経験的に分かっており、コスト低減から見れば、金属接
合をするのは振動板３と、リストリクタプレート１０と
の間だけに限っても、効果は大きくは変わらない。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、マルチノズルインクジ
ェットヘッドにおいて製造コストを比較的安価に出来
る。更に本発明ではより割安な方法である接着法に比べ
て、インクリーク防止に対する信頼性が遥かに高いもの
が得られる。
ェットヘッドにおいて製造コストを比較的安価に出来
る。更に本発明ではより割安な方法である接着法に比べ
て、インクリーク防止に対する信頼性が遥かに高いもの
が得られる。
【図１】本発明で用いたインクジェットプリントヘッド
のノズル断面図である。
のノズル断面図である。
１はオリフィス、２は加圧室、３は振動板、４は圧電素
子、５ａと５ｂは信号入力端子、６はヘッド基板、７は
リストリクタ、８はインク流路、９は弾性部材、１０は
リストリクタプレート、１１はチャンバープレート、１
２はオリフィスプレート、１３はサポートプレート、１
４はマニホールドプレート、１５はプレートをはりあわ
せる接合層である。
子、５ａと５ｂは信号入力端子、６はヘッド基板、７は
リストリクタ、８はインク流路、９は弾性部材、１０は
リストリクタプレート、１１はチャンバープレート、１
２はオリフィスプレート、１３はサポートプレート、１
４はマニホールドプレート、１５はプレートをはりあわ
せる接合層である。
フロントページの続き (72)発明者 能登 信博 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 秋元 和明 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 秋山 佳孝 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 久貝 健二 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 黒澤 信広 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 松岡 孝雄 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】インクの圧力を高める加圧室、電気信号の
印加により加圧室内に圧力変動を発生させる圧電素子、
加圧室の壁面の少なくとも一部を形成して圧電素子と弾
性材料を介して連結されている振動板、振動板を補強す
るサポートプレート、加圧室にインクを供給する流路で
あるリストリクタ、該リストリクタへインクを供給する
インク流路、及びインク液滴を加圧室から噴射するオリ
フィス、等によって構成された複数のノズルを有するオ
ンデマンド型インクジェットプリントヘッドにおいて、 振動板に隣接している部材を前記振動板と貼り合わせる
際に金属接合を使用し、その他の部材の貼り合わせには
接着剤を使用することを特徴とするインクジェットプリ
ントヘッドの製造方法。 - 【請求項２】請求項１のインクジェットプリントヘッド
において、 振動板に隣接している部材のうち、加圧室側のインクに
接している部材のみを前記振動板と貼り合わせる際に金
属接合を使用し、その他の部材の貼り合わせには接着剤
を使用することを特徴とするインクジェットプリントヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項３】請求項１または請求項２のインクジェット
プリントヘッドにおいて、 金属接合として、銀を主成分とする半田を使用すること
を特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方
法。 - 【請求項４】請求項１または請求項２のインクジェット
プリントヘッドにおいて、 金属接合として、金並びに錫を主成分とする半田を使用
することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの
製造方法。 - 【請求項５】請求項１または請求項２のインクジェット
プリントヘッドにおいて、 金属接合として、錫並びに鉛を主成分とする半田を使用
することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの
製造方法。 - 【請求項６】請求項１または請求項２のインクジェット
プリントヘッドにおいて、 金属接合として、拡散接合を使用することを特徴とする
インクジェットプリントヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33695396A JPH10166599A (ja) | 1996-12-17 | 1996-12-17 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33695396A JPH10166599A (ja) | 1996-12-17 | 1996-12-17 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166599A true JPH10166599A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18304151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33695396A Withdrawn JPH10166599A (ja) | 1996-12-17 | 1996-12-17 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10166599A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002264345A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US7249413B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-07-31 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing inkjet printing head |
| US7836599B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-11-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing thereof |
-
1996
- 1996-12-17 JP JP33695396A patent/JPH10166599A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002264345A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US7249413B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-07-31 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing inkjet printing head |
| US7836599B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-11-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing thereof |
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