JP2006205670A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 導電性部材が隣接する他の個別電極に接触することに起因した電極間ショートの発生を抑制する。
【解決手段】 アクチュエータユニット２１の上面には、個別電極３５と、複数の個別電極３５とそれぞれ電気的に接合されたランド３６とが形成されている。ランド３６の頂面は、圧電シート４１の上面から個別電極３５の上面までの高さよりより高い位置に存在している。ランド３６の頂面には、上方に向かって開口する孔３６ａが形成されている。
【選択図】 図６

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。

インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。

かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成された共通電極と、各圧力室に対向して配置され主電極部及び外部より電圧が印加される補助電極部（ランド）からなる複数の個別電極とで挟み込んだ複数のアクチュエータユニットを有するものが知られている（特許文献１参照）。このインクジェットヘッドにおいて、複数の個別電極は、配線基板であるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）と電気的に接続されている。ＦＰＣには、複数の接続パッド（接続端子）が補助電極部に対応して形成されており、接続パッドと補助電極部とがそれぞれ半田によって接合されている。そして、個別電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、個別電極がＦＰＣからの駆動電圧の供給によって、共通電極と異なる電位にされると、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。これにより、圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから記録媒体に向けてインクが吐出される。

特開２００３−３１１９５３号公報

しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、画像の高解像度化や高速印字の要求に対応するために圧力室が高密度に配置されるに連れ、個別電極間も狭くなり、ＦＰＣの接続パッドと補助電極部とをそれぞれ接合したときに、補助電極部から周囲にはみ出した半田が当該補助電極部に隣接する個別電極に接触して、当該個別電極（補助電極部）と他の個別電極とがショートする可能性が高くなる。

そこで、本発明の目的は、半田などの導電性部材が他の個別電極に接触することに起因した電極間ショートの発生を抑制するインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドは、圧電層、インク吐出チャンネル毎に前記圧電層の表面に形成された複数の個別電極、前記複数の個別電極の各々と電気的に接合され前記圧電層の前記表面に形成された複数のランド、及び、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を含む圧電アクチュエータを備えている。そして、前記ランドは、前記個別電極よりも高く形成されると共に、その頂面において開口する穴を有している。

これによると、ランドの頂面に導電性部材を配置してランドと配線基板（ＦＰＣ）に形成された接続端子とを導電性部材を介して接合した場合に、導電性部材の余剰分が穴内に入り込む。そのため、導電性部材がランドの周囲にはみ出しにくくなる。したがって、個別電極に接合されたランドと、当該ランドに隣接した他の個別電極との電気的ショートを防ぐことが可能になる。また、ランドが個別電極よりも突出していることで、個別電極とランドを介して電気的に接続された配線が他の個別電極と接触しにくくなる。

本発明において、前記穴の深さ方向が前記表面と直交する方向と平行であることが好ましい。これにより、ランドの穴形成が簡易になる。

また、本発明において、前記ランドと前記圧電層との間には、絶縁性部材が配置されていることが好ましい。これにより、ランドと圧電層との距離が絶縁性部材の厚み分だけ離隔されることになるので、圧電層のランドと対向する領域の電界強度が小さくなる。そのため、圧電層のランドと対向する領域における構造的クロストークを抑制することができる。そのため、接合面積が大きくなるようにランド自体を大きくすることが可能になり、ランドとの接合信頼性が向上する。また、ランド−共通電極間に形成される寄生容量が小さくなる結果、この寄生容量に蓄えられる静電エネルギーも小さくなる。したがって、圧電アクチュエータを駆動するのに要する電力を削減することが可能となる。

また、このとき、前記絶縁性部材が、前記圧電層より誘電率が低いものであってもよい。これにより、前記寄生容量に蓄えられる静電エネルギーがより小さくなる。

また、このとき、前記絶縁性部材が、前記ランドと対向する領域にのみ形成されていてもよい。これにより、複数の個別電極及び複数のランドを高密度に配置させることが可能になる。

また、本発明において、前記穴が、前記ランドを貫通していることが好ましい。これにより、穴の深さが、ランドの厚さと同じになる。そのため、導電性部材の余剰分がランドの周囲によりはみ出しにくくなる。

また、このとき、前記絶縁性部材には、前記穴と連通する孔が形成されていてもよい。これにより、導電性部材の余剰分がランドの周囲により一層はみ出しにくくなる。

また、本発明において、前記ランドには、前記穴に連通するとともに、前記ランドの側面において当該ランドに接合された前記個別電極に向かない方向に開口する溝が形成されていることが好ましい。これにより、導電性部材の余剰分が溝によって当該ランドに接合された個別電極上に流れ込むのを防止することができる。そのため、個別電極ごとの剛性のばらつきが小さくなり、圧電層の各個別電極に対向する領域の変形特性が安定する。

また、このとき、前記複数の個別電極はマトリクス状に配列されており、前記ランドに形成された前記溝が、当該ランドに隣接する複数の他の個別電極のうちの当該ランドから最も離れた個別電極に向かう方向に開口していてもよい。これにより、個別電極に接合されたランドと、当該ランドに隣接した他の個別電極との電気的ショートをより一層防ぐことが可能になる。

また、本発明において、前記共通電極は、前記圧電層の裏面の全域に隙間なく形成されていることが好ましい。また、本発明において、前記複数のランドとそれぞれ接合される複数の配線が形成された配線基板をさらに備えていることが好ましい。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

まず、本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドについて説明する。図１は、本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、図１に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つ２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１と、ヘッド本体７０の上面に接合されたフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）５０とを含んでいる。

ヘッド本体７０は、図２に示すように、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図５参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、ＦＰＣ（配線基板）５０が接合され左又は右に引き出されるとともに、ＦＰＣ５０が図２中において屈曲しながら上方に引き出されている。

図３は、ヘッド本体７０を上面から見た平面図である。図３に示すように、流路ユニット４は、主走査方向に延在した矩形平面形状を有している。図３において、流路ユニット４内に設けられたマニホールド流路５が破線で描かれている。マニホールド流路５には、ベースブロック７１のインク溜まり３に貯溜されていたインクが複数の開口３ａを通じて供給される。マニホールド流路５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。

流路ユニット４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット２１が、開口３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列されており、流路ユニット４の上面に接着されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。複数の開口３ａは流路ユニット４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口３ａがアクチュエータユニット２１と干渉しない位置に設けられている。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。

インク吐出面７０ａには、アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する領域ごとに、多数のノズル８がマトリクス状に配列されたインク吐出領域が形成されている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の上面には、多数の圧力室１０（図５参照）がマトリクス状に配列された圧力室群９が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１は、圧力室群９を構成する多数の圧力室１０に跨る寸法を有している。

図２に戻って、ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、インクを流出するための開口３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口３ｂは、流路ユニット４の開口３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり３の１０個の開口３ｂと流路ユニット４の１０個の開口３ａは、平面視において、同じ位置関係となるように設けられている。

ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍部分７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４の上面における開口３ａの近傍部分と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。

ホルダ７２は、ベースブロック７１を把持する把持部７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部７２ｂとを含んでいる。ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット２１に接続されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。すなわち、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１に伝達するものであり、アクチュエータユニット２１及びドライバＩＣ８０とは導電性部材によって電気的に接合されている。

ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方においては、ＦＰＣ５０の外側に接続された基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。

図４は、図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図４に示すように、流路ユニット４内のアクチュエータユニット２１と対向する領域には、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に４本の副マニホールド流路５ａが延在している。各副マニホールド流路５ａには、ノズル８の各々に通じる多数の個別インク流路７（図５参照）が接続されている。

流路ユニット４の上面であって、アクチュエータユニット２１と対向する領域には、平面形状が略菱形の多数の圧力室１０からなる圧力室群９が形成されている。圧力室群９は、アクチュエータユニット２１の外形とほぼ同じ大きさの台形形状を有している。圧力室群９は、各アクチュエータユニット２１について１つずつ形成されている。圧力室群９に属する各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１２を介して副マニホールド流路５ａに連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図６参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図４において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０（圧力室群９）、アパーチャ１２及びノズル８を実線で描いている。

次に、ヘッド本体７０の断面構造について説明する。図５は、図４に示すV−V線における断面図であり、個別インク流路を示している。図５から分かるように、ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャすなわち絞り１２を介して副マニホールド流路５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド流路５ａの出口からアパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図５に示すように、上から順に、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６〜２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図６参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する圧電層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３つの圧電層が活性部を有しない非活性層とされたものである。

キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６〜２８は、副マニホールド流路５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。

これら９枚のプレート２２〜３０は、図５に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、副マニホールド流路５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。なお、流路ユニット４を構成する９枚のプレートは、本実施の形態においては、同一金属材料から構成されており、ＳＵＳ４３０が使用されている。

図５から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１２とは異なるレベルに設けられている。これにより、図４に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。

次に、アクチュエータユニット２１及びＦＰＣ５０の構成について説明する。図６（ａ）はアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との接合状態を示す部分拡大断面図であり、図６（ｂ）はアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である。

図６（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１〜４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、圧力室群９を構成する多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面（圧電シート４１の裏面全体）に形成された略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。なお、圧電シート４２と圧電シート４３との間及び圧電シート４３と圧電シート４４との間には、電極は配置されていない。これら個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

個別電極３５は、図６（ｂ）に示すように、圧力室１０と対向する位置に配置された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ主電極領域３５ａの鋭角部から圧力室１０と対向しない位置まで引き出された補助電極領域３５ｂとから構成されている。主電極領域３５ａは、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。補助電極領域３５ｂは、主電極領域３５ａの左側端部から左方に向かって延在している。補助電極領域３５ｂの先端と接触する位置には、略円柱形状のランド３６が設けられている。

ランド３６は、図６（ｂ）に示された４つのランド３６のなかで最も右側に位置するランド３６に注目したとき、当該ランド３６と隣接する他の３つの個別電極３５のうち、近くに配置された２つの個別電極３５間に配置されている。なお、この近くに配置された２つの個別電極３５は、ともに当該ランド３６から等距離に配置されており、もう１つの個別電極３５（図６（ｂ）に示された４つの個別電極３５のなかで最も左側に位置する個別電極３５）は、当該ランド３６と隣接する他の３つの個別電極３５のうち最も離れた位置に存在している。ランド３６の厚みは、個別電極３５の厚みよりも分厚く形成され個別電極３５よりも高く形成されている。つまり、ランド３６は、その上面（圧電シート４１の上面（表面）からの最も離れた頂面）が個別電極３５の上面よりも圧電シート４１の上面からの離れた位置に存在している。ランド３６の中央には、圧電シート４１の上面に対して直交する方向に貫通した孔（穴）３６ａが形成されている。孔３６ａの一方（下側）は、圧電シート４１の上面によって塞がれており、他方（上側）は上方に向かって開口している。図６（ｂ）に示すように、ランド３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向するように配置されている。これは、後述するように導電性部材４７を加熱しながらＦＰＣ５０の端子４６を対応するランド３６に対して押圧し、端子４６とランド３６とを導電性部材４７を介して接合するときに、そのランド３６に対する押圧力によって圧電シート４１〜４４を破損させないためである。ランド３６は、例えば、ガラスフリットを含む金からなり、補助電極領域３５ｂに電気的に接合されている。共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。

ＦＰＣ５０は、図６（ａ）に示すように、ベースフィルム４９と、銅箔からなりベースフィルム４９の下面に形成された複数の配線４８と、ベースフィルム４９の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム４０とを含む。カバーフィルム４０には、貫通孔４５が複数の配線４８のそれぞれに対応するように複数形成されている。図６（ａ）において、ベースフィルム４９、配線４８、及び、カバーフィルム４０は、貫通孔４５と配線４８の一端部とがそれぞれ対応し、配線４８の一端部外周縁部分がカバーフィルム４０にそれぞれ覆われるよう、互いに位置合わせして積層される。ＦＰＣ５０の端子４６は、貫通孔４５を介して、配線４８の一端部と電気的に接続されている。配線４８の他端部は、ドライバＩＣ８０と電気的に接続されている。

ベースフィルム４９及びカバーフィルム４０は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。本実施形態において、ベースフィルム４９はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム４０は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム４０を感光性材料から構成することで、多数の貫通孔４５を形成するのが容易になる。

端子４６は、例えばニッケルなどの導電性材料から構成されている。端子４６は、貫通孔４５を塞ぐと共に、カバーフィルム４０の下面における貫通孔４５の外側周縁を覆い、圧電シート４１の方向に凸となるように、形成されている。

端子４６は、図６（ａ）に示すように、対応するランド３６と導電性部材４７を介して接合されている。導電性部材４７には、例えば、エポキシ系熱硬化性接着剤及び半田など導電性を有する接合（接着）部材を使用することができる。

ＦＰＣ５０は多数の端子４６を有し、各端子４６はそれぞれ１つのランド３６と対応するよう構成されている。したがって、各ランド３６と電気的に接合された各個別電極３５は、ＦＰＣ５０においてそれぞれ独立した配線４８を介してドライバＩＣ８０に接続される。これにより、圧力室１０ごとに個別電極３５の電位を制御することが可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図６（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート２２）の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクを副マニホールド流路５ａ側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４３が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが副マニホールド流路５ａ側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

次に、上述したインクジェットヘッド１の製造方法について、以下に説明する。図７及び図８は、インクジェットヘッド１の製造工程のフロー図である。インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１などの部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。図７に示すように、まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット４を作製する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図５に示すような孔を各プレート２２〜３０に形成する。その後、個別インク流路７が形成されるように位置合わせされた９枚のプレート２２〜３０を、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、９枚のプレート２２〜３０を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して９枚のプレート２２〜３０が互いに固着され、図５に示すような流路ユニット４が得られる。

一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシートを複数用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうちの一部のグリーンシート上に、導電性ペーストを共通電極３４のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせる。

そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、４枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４４となり、導電性ペーストが共通電極３４となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を、個別電極３５の補助電極領域３５ｂの先端に電気的に接合される位置に個別電極３５と同じ厚み分だけ印刷する。このとき、ランド３６の中央に孔３６ａの一部となる孔が形成されるようなパターンでガラスフリットを含む金を印刷する。そして、先に印刷されたガラスフリットを含む金上に、同じパターン且つ同じ厚みでガラスフリットを含む金を２回印刷して、個別電極３５の厚みより約３倍の厚みを有するランド３６を形成する。このようにして、図６（ａ）に描かれたようなアクチュエータユニット２１を作製することができる。

なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の圧力室１０の開口が多数形成された上面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば二液混合タイプのものが用いられる。

続いて、ステップ５において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層上に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、圧力室間の桁部に支持されるとともに個別電極３５と圧力室１０とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。

次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット４と、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤と、アクチュエータユニット２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。これにより、圧力室１０の開口はアクチュエータユニット２１によって塞がれる。そして、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体７０が製造される。

続いて、ＦＰＣ５０を作製するには、図８に示すように、まず、ステップ８（Ｓ８）において、ベースフィルム４９を準備し、ベースフィルム４９の一面全体に接着剤を介して銅箔を貼り付ける。そして、ステップ９（Ｓ９）において、銅箔の表面にフォトレジストをパターン形成した後、フォトレジストをマスクとして銅箔に対してエッチングを施して複数の配線４８となる部分以外の銅箔を除去し、その後フォトレジストを除去する。次に、ステップ１０（Ｓ１０）において、ベースフィルム４９の配線４８が形成された面にカバーフィルム４０を接着剤を介して貼り付ける。そして、ステップ１１（Ｓ１１）において、カバーフィルム４０のランド３６に対向する位置であって配線４８の一端部と対向する位置にそれぞれ孔４５を形成し、その後、孔４５を介して配線４８とそれぞれ電気的に接続されるように複数の端子４６を設ける。こうして、ＦＰＣ５０が製造される。

続いて、ヘッド本体７０とＦＰＣ５０との接合工程について説明する。図９は、ヘッド本体とＦＰＣ５０との接合工程図である。ヘッド本体７０とＦＰＣ５０とを接合するときは、ステップ１２（Ｓ１２）において、図９（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１のランド３６の上面に導電性部材４７を塗布する。次に、ステップ１３（Ｓ１３）において、図９（ｂ）に示すように、端子４６が下方に面するように治具９０の下面にＦＰＣ５０を保持させるとともに、治具９０によって保持されたＦＰＣ５０を、ランド３６と端子４６とが対向するように位置合わせする。

次に、ステップ１４（Ｓ１４）において、図９（ｃ）に示すように、ＦＰＣ５０とヘッド本体７０とを加熱装置（図示せず）で加熱しつつ、治具９０を下方に移動させ導電性部材４７が溶融した状態で端子４６をランド３６に対して押圧し端子４６とランド３６とを仮接合する。この仮接合において、ランド３６に対して端子４６を押圧したときに、ランド３６の上面上に存在する導電性部材４７が端子４６によって押しのけられ、その押しのけられた導電性部材４７の余剰分が、図９（ｃ）に示すように、ランド３６の周囲にはほとんど広がらずに孔３６ａ内に流れ込む。こうして、仮接合されたＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１とを、ステップ１５（Ｓ１５）において、自然冷却することで、ＦＰＣ５０の端子４６とアクチュエータユニット２１のランド３６とが導電性部材４７によって電気的に接続され、ヘッド本体７０とＦＰＣ５０とが接合される。

しかる後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。

以上のような第１実施形態のインクジェットヘッド１によると、ランド３６の頂面に導電性部材４７を配置してランド３６と配線４８とを導電性部材４７を介して接合した場合に、導電性部材４７の余剰分が孔３６ａ内に入り込む。そのため、導電性部材４７を比較的多めに配置しても導電性部材４７がランド３６の周囲にはみ出しにくくなる。したがって、個別電極３５に接合されたランド３６と、当該ランド３６に隣接した他の個別電極３５との電気的ショートを防ぐことが可能になる。また、ランド３６の高さ（圧電シート４１の上面からランド３６の頂面までの距離）が個別電極３５の高さ（圧電シート４１の上面から個別電極３５の上面までの距離）よりも大きいので、個別電極３５とランド３６を介して電気的に接続された配線４８が他の個別電極３５と接触しにくくなる。加えて、個別電極３５と配線４８との離隔距離が大きくなるので、ＦＰＣ５０にカバーフィルム４０を形成しなくても、配線４８と個別電極３５とが接触しにくくなる。そのため、ＦＰＣ５０のコストの削減を図れる。さらに、ランド３６が比較的大きな厚みを有しているので、ランド３６の頂面から圧電シート４１の上面までの距離も大きくなる。そのため、導電性部材４７の余剰分がランド３６の頂面から側面にかけて流れ出しても圧電シート４１の上面に到達しにくい。したがって、導電性部材４７の余剰分が圧電シート４１上に広がりにくい。また、ランド３６の孔３６ａが、圧電シート４１の上面に対して直交する方向に形成されているので、スクリーン印刷して孔３６ａを形成するのが簡易になる。なぜなら、同じパターンでガラスフリットを含む金を３回重ね合わせるだけで孔３６ａを有するランド３６を形成することができるからである。仮に、孔３６ａの延在方向が、圧電シート４１の上面に対して直交する方向に対して傾いていると同じパターンでのスクリーン印刷ができず、異なるパターンで且つ細かな位置合わせが要求される。また、ランド３６には貫通した孔３６ａが形成されているので、孔３６ａの深さとランド３６の高さ（厚み）とが同じになる。そのため、導電性部材４７の余剰分がランド３６の周囲によりはみ出しにくくなる。

本実施形態のアクチュエータユニット２１は、図１０に示すようなアクチュエータユニット２１´であってもよい。この変形例によるアクチュエータユニット２１´は、図１０に示すように、流路ユニット４の上面に接合される振動板７５と、振動板７５の上面に形成された圧電層７６とを備えている。圧電層７６の上面には、上述の個別電極３５及びランド３６が圧電シート４１の上面における配置形態と同様にして形成されている。つまり、アクチュエータユニット２１´は、上述のアクチュエータユニット２１の圧電シート４２〜４４が振動板７５に変更された構成となっている。振動板７５は、導電性を有しており、図示しない領域において接地されている。つまり、振動板７５は、共通電極としても機能している。このようなアクチュエータユニット２１´においても、上述と同様に個別電極を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電層７６中の電極に挟まれた電界印加部分（すなわち、個別電極３５と振動板７５とに挟まれた領域）が活性部として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、振動板７５は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、圧電層７６と振動板７５との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電層７６及び振動板７５が流路ユニット４側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図１０に示したように、振動板７５の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート２２）の上面に固定されているので、結果的に圧電層７６及び振動板７５は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズルからインクが吐出される。その後、個別電極３５を振動板７５と同じ電位に戻すと、圧電層７６及び振動板７５は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクを副マニホールド流路５ａ側から吸い込む。

なお、他の駆動方法としても、上述のアクチュエータユニット２１と同様である。つまり、予め個別電極３５を振動板７５と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を振動板７５と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５と振動板７５とが同じ電位になるタイミングで、圧電層７６が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態と比較して増加し、インクが副マニホールド流路５ａ側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を振動板７５と異なる電位にしたタイミングで、圧電層７６及び振動板７５が圧力室側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

本変形例によるアクチュエータユニット２１´の製造方法について、以下に説明する。アクチュエータユニット２１´を作製するには、まず、流路ユニット４の上面と同じ平面形状を有する振動板７５上に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて圧電層７６を形成する。つまり、図示しないエアロゾル発生器から超微粒子状の圧電材料とキャリアガスとの混合物であるエアロゾルを噴射して、振動板７５の一平面に堆積させて圧電層７６を形成する。なお、圧電層７６は、ＡＤ法以外に、例えば、スパッタ法、化学蒸着法（ＣＶＤ法）、あるいは、水熱合成法などの他の既知の方法を用いても振動板７５上に形成可能である。そして、振動板７５上に圧電層７６を形成した後、スクリーン印刷法、スパッタ法、あるいは、蒸着法などにより、圧電層７６の振動板７５と反対側の面に、複数の個別電極３５及びランド３６を形成する。こうして、アクチュエータユニット２１´が形成され、上述と同様に、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１´とを接着してヘッド本体を製造し、ランド３６とＦＰＣ５０の端子４６とを接合した後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、上述したインクジェットヘッド１と同様な機能を有するインクジェットヘッドを製造することができる。

続いて、本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドについて以下に説明する。図１１（ａ）は本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットとＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図であり、図１１（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。なお、上述した第１実施形態と同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。

本実施形態のインクジェットヘッドは、ランド２３６の形状が上述のランド３６の形状と若干異なるだけで第１実施形態のインクジェットヘッド１とほぼ同じ構成を有している。図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、ランド２３６には、上述の孔３６ａと同様に中央において圧電シート４１の上面に対して直交する方向に貫通した孔２３６ａと、孔２３６ａから図中左方に延在した溝２３７とが形成されており、孔２３６ａと溝２３７とが連通している。溝２３７は、ランド２３６の側面において、当該ランド２３６と隣接する他の３つの個別電極のうちの最も離れた個別電極３５に向かう方向（図１１中左方向）に開口しており、孔２３６ａが溝２３７を介して外部と連通可能になっている。また、溝２３７は、孔２３６ａの直径と同じ幅（図１１（ｂ）中上下方向の幅）を有し、且つ、ランド２３６の上面において開口を有して高さ方向に貫通状に形成されている。孔２３６ａ及び溝２３７の高さ方向の一方（下側）は、圧電シート４１によって塞がれており、他方（上側）は上方に向かって開口している。

このようなランド２３６とＦＰＣ５０の端子４６との接合工程について説明する。まず、ランド２３６の上面（すなわち、孔２３６ａ及び溝２３７を除くほぼＵ字形状の頂面）に導電性部材２４７を塗布した状態で、第１実施形態と同様にＦＰＣ５０を、ランド２３６と端子４６とが対向するように位置合わせする。そして、ＦＰＣ５０とヘッド本体とを加熱しつつ、導電性部材２４７が溶融した状態で端子４６をランド２３６に対して押圧し端子４６とランド２３６とを仮接合する。この仮接合において、ランド２３６に対して端子４６を押圧したときに、ランド２３６の上面上に存在する導電性部材２４７が端子４６によって押しのけられ、その押しのけられた導電性部材２４７の余剰分が、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、孔２３６ａ及び溝２３７内に流れ込み、溝２３７を通ってランド２３６の左側に若干流れ出す。こうして、仮接合されたＦＰＣ５０とヘッド本体とを自然冷却することで、ＦＰＣ５０の端子４６とアクチュエータユニットのランド２３６とが導電性部材２４７によって電気的に接続され、ヘッド本体とＦＰＣ５０とが接合される。

以上のような第２実施形態のインクジェットヘッドによると、第１実施形態とほぼ同様な効果を得ることができるとともに、ランド２３６に溝２３７が形成されているので、仮接合時にランド２３６と端子４６とを接合する導電性部材２４７の余剰分が孔２３６ａに納まらず溝２３７から圧電シート４１上に流れ出しても、その流れ方向は溝２３７の開口方向とほぼ同じ方向になり、当該ランド２３６と隣接する他の３つの個別電極３５に接触するように広がらない。そのため、ランド２３６と、当該ランド２３６と隣接する他の個別電極３５とが導電性部材２４７の余剰分によって電気的に接続されるのを抑制することができる。ここで、溝２３７は当該ランド２３６に隣接した他の３つの個別電極３５のうち、最も離れた位置に存在する個別電極３５に向かって開口しているが、最も離れた個別電極３５と当該ランド２３６との距離は比較的大きく離れているため、導電性部材２４７の余剰分がその個別電極３５には到達する可能性は極めて低い。加えて、溝２３７が当該ランド３６と接合された個別電極３５に向く方向に対して反対となる方向に開口しているので、導電性部材２４７の余剰分が溝２３７によって当該ランドに接合された個別電極３５上に流れ込むのを防止することができる。そのため、個別電極ごとの剛性のばらつきが小さくなり、圧電層の各個別電極に対向する領域の変形特性が安定する。

続いて、本発明の第３実施形態のインクジェットヘッドについて以下に説明する。図１２（ａ）は本発明の第３実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットとＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図であり、図１２（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。なお、上述した第１実施形態と同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。

本実施形態のインクジェットヘッドは、ランド３３６の形状が上述のランド３６の形状と若干異なり、さらにランド３３６と圧電シート４１との間に絶縁性部材３４０が配置されているだけで第１実施形態のインクジェットヘッド１とほぼ同じ構成を有している。絶縁性部材３４０は、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、ランド３３６と対向する領域内であって補助電極領域３５ｂの先端と接触する位置に配置されている。絶縁性部材３４０は、本実施形態において圧電シート４１よりも誘電率が低いガラスから形成されているが、絶縁性を有しておれば他の材料から形成されていてもよい。絶縁性部材３４０には、中央において圧電シート４１の上面に対して直交する方向に貫通した孔３４０ａと、孔３４０ａから図中左方に延在した溝３４１とが形成されており、孔３４０ａと溝３４１とが連通している。溝３４１は、絶縁性部材３４０の側面において、当該絶縁性部材３４０と隣接する他の３つの個別電極３５のうち、最も離れた個別電極３５に向かう方向（図１２中左方向）に開口しており、孔３４０ａが溝３４１を介して外部と連通可能になっている。また、溝３４１は、孔３４０ａの直径と同じ幅（図１２（ｂ）中上下方向の幅）を有し、且つ、絶縁性部材３４０の上面において開口を有して高さ方向に貫通状に形成されている。孔３４０ａ及び溝３４１の高さ方向の一方（下側）は圧電シート４１によって塞がれており、他方（上側）は上方に向かって開口している。

ランド３３６は、図１２（ａ）に示すように、左側端部が下方に向かって突出したＬ字断面形状を有しており、その突出した先端部分において個別電極３５の補助電極領域３５ｂの先端と電気的に接合されている。ランド３３６には、中央において高さ方向に貫通した孔３３６ａと、孔３３６ａから図中左方に延在した溝３３７とが形成されており、孔３３６ａと溝３３７とが連通している。孔３３６ａは、絶縁性部材３４０に形成された孔３４０と同じ平面形状を有し且つ重なるように形成されている。溝３３７は、絶縁性部材３４０に形成された溝３４１と同じ平面形状を有し且つ重なるように形成されている。また、溝３３７は、孔３３６ａの直径と同じ幅（図１２（ｂ）中上下方向の幅）を有し、且つ、ランド３３６の上面において開口を有して高さ方向に貫通状に形成されている。溝３３７の高さ方向の両端はともに開口している。つまり、孔３３６ａと孔３４０ａとが、溝３３７と溝３４１とが互いに連通している。また、溝３３７は、ランド３３６の側面において、当該ランド３３６と隣接する他の３つの個別電極３５のうち、最も離れた個別電極３５に向かう方向（図１２中左方向）に開口しており、孔３３６ａが溝３３７を介して、さらには孔３４０ａ、溝３４１を介して外部と連通可能になっている。

このようなランド３３６とＦＰＣ５０の端子４６との接合工程について説明する。まず、ランド３３６の上面（すなわち、孔３３６ａ及び溝３３７を除くほぼＵ字形状の頂面）に導電性部材３４７を塗布した状態で、第１実施形態と同様にＦＰＣ５０を、ランド３３６と端子４６とが対向するように位置合わせする。そして、ＦＰＣ５０とヘッド本体とを加熱しつつ、導電性部材３４７が溶融した状態で端子４６をランド３３６に対して押圧し端子４６とランド３３６とを仮接合する。この仮接合において、ランド３３６に対して端子４６を押圧したときに、ランド３３６の上面上に存在する導電性部材３４７が端子４６によって押しのけられ、その押しのけられた導電性部材３４７の余剰分が、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、孔３３６ａ，３４０ａ及び溝３３７，３４１内に流れ込み、溝３４１を通ってランド３３６の左側に若干流れ出す。こうして、仮接合されたＦＰＣ５０とヘッド本体とを自然冷却することで、ＦＰＣ５０の端子４６とアクチュエータユニットのランド３３６とが導電性部材３４７によって電気的に接続され、ヘッド本体とＦＰＣ５０とが接合される。

以上のような第３実施形態のインクジェットヘッドによると、第１実施形態とほぼ同様な効果を得ることができるとともに、ランド３３６に孔３３６ａ及び溝３３７が形成されているので、仮接合時にランド３３６と端子４６とを接合する導電性部材３４７の余剰分が圧電シート４１上に流れ出しても、その流れ方向は溝３３７の開口方向とほぼ同じ方向になり、当該ランド３３６と隣接する他の３つの個別電極３５に接触するように広がらない。そのため、ランド３３６と、当該ランド３３６と隣接する他の３つの個別電極３５とが導電性部材３４７の余剰分によって電気的に接続されるのを抑制することができる。ここで、溝３３７は当該ランド３３６に隣接した他の３つの個別電極３５のうち、最も離れた位置に存在する個別電極３５に向かって開口しているが、最も離れた個別電極３５と当該ランド３３６との距離は比較的大きく離れているため、導電性部材３４７の余剰分がその個別電極３５には到達する可能性は極めて低い。さらに、絶縁性部材３４０には、孔３４０ａ及び溝３４１が形成されており、これら孔３４０ａ及び溝３４１がランド３３６の孔３３６ａ及び溝３３７と連通しているので、導電性部材３４７の余剰分がランド３３６の周囲により一層はみ出しにくくなる。加えて、溝３３７，３４１が当該ランド３３６と接合された個別電極３５に向く方向に対して反対となる方向に開口しているので、導電性部材３４７の余剰分が溝３３７，３４１によって当該ランド３３６に接合された個別電極３５上に流れ込むのを防止することができる。したがって、個別電極３５の動作特性が安定する。

さらに、絶縁性部材３４０がランド３３６と圧電シート４１との間に介在しているので、ランド３３６と圧電シート４１との距離が絶縁性部材の厚み分だけ離隔され、圧電シート４１のランド３３６と対向する領域の電界強度が小さくなる。つまり、電界強度は（ランド３３６−共通電極３４間の電位差）／（ランド３３６−共通電極３４の距離）から算出されるので、上述したランド３６−共通電極３４の距離と比較してランド３３６−共通電極３４の距離が絶縁性部材３４０の厚み分だけ長くなると、第１実施形態におけるアクチュエータユニット２１よりも本実施形態におけるアクチュエータユニットのランド３３６−共通電極３４間の電界強度が小さくなる。そのため、圧電シート４１のランド３３６と対向する領域の変形量が小さくなり、圧電シート４１のランド３３６と対向する領域における構造的クロストークを抑制することができる。加えて、ＦＰＣ５０の端子４６とランド３３６との接合面積が大きくなるようにランド３３６の平面積を大きくすることが可能になり、ランドとＦＰＣ５０の端子４６との接合強度の向上及びランドと端子４６との接合信頼性の向上が図れる。また、ランド３３６−共通電極３４間に形成される寄生容量が小さくなる結果、この寄生容量に蓄えられる静電エネルギーも小さくなる。したがって、アクチュエータユニットを駆動するのに要する電力を削減することが可能となる。また、絶縁性部材３４０が圧電シート４１の誘電率よりも低い誘電率を有しているので、寄生容量に貯えられるエネルギーがより小さくなる。また、絶縁性部材３４０がランド３３６と対向する領域内に形成されているので、複数の個別電極３５及び複数のランド３３６を高密度に配置させることが可能になる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した第１実施形態におけるランド３６の孔３６ａは、貫通状に形成されていなくてもよいし、圧電シート４１の上面に対して直交する方向に延在していなくてもよい。つまり、ランド３６の頂面から直交する方向に対して傾斜した方向にランド３６を貫通しない穴が形成されていてもよい。この場合でも第１実施形態とほぼ同様な効果を得ることができる。また、上述した第２実施形態におけるランド２３６の溝２３７は、上方が開口していなくてもよい。つまり、溝２３７が孔２３６ａから側面に向かってトンネル状に形成されていてもよい。また、上述した第３実施形態における絶縁性部材３４０には、孔３４０ａ及び溝３４１が形成されていなくてもよい。また、絶縁性部材３４０はランド３３６よりも平面形状が一回り大きくてもよい。また、第２及び第３実施形態におけるランド２３６，３３６に形成された溝２３７，３３７のランド外周側端部は、当該ランド２３６，３３６に隣接した他の３つの個別電極３５のうち、最も離れた個別電極３５に向かって開口しているが、当該ランド２３６，３３６に接合された個別電極３５を向く方向以外であればどの方向に開口していてもよい。また、第１及び第２実施形態においては、個別電極３５の補助電極領域３５ｂ上にランド３６，２３６が形成されていてもよい。また、第３実施形態においては、個別電極３５の補助電極領域３５ｂ上に絶縁性部材３４０が形成されその絶縁性部材３４０上にランド３３６が形成されていてもよい。

本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体を上面から見た平面図である。 図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。 図４に示すV−V線における断面図である。 （ａ）はアクチュエータユニットとＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図であり、（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。 インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。 インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。 ヘッド本体とＦＰＣとの接合工程図である。 本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの変形例を示しており、ヘッド本体とＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図である。 （ａ）は本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットとＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図であり、（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。 （ａ）は本発明の第３実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットとＦＰＣとの接合状態を示す部分拡大断面図であり、（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
１０ 圧力室
２１ アクチュエータユニット
３４ 共通電極
３５個別電極
３６，２３６，３３６ ランド
３６ａ，２３６ａ，３３６ａ 孔
４１〜４４ 圧電シート（圧電層）
４７，２４７，３４７ 導電性部材
５０ ＦＰＣ（配線基板）
７５ 振動板
７６ 圧電層
２３７，３３７ 溝
３４０ 絶縁性部材
３４０ａ 孔

Claims (11)

1. 圧電層、インク吐出チャンネル毎に前記圧電層の表面に形成された複数の個別電極、前記複数の個別電極の各々と電気的に接合され前記圧電層の前記表面に形成された複数のランド、及び、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を含む圧電アクチュエータを備え、
   前記ランドは、前記個別電極よりも高く形成されると共に、その頂面において開口する穴を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記穴の深さ方向が前記表面と直交する方向と平行であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記ランドと前記圧電層との間には、絶縁性部材が配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記絶縁性部材が、前記圧電層より誘電率が低いものであることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記絶縁性部材が、前記ランドと対向する領域にのみ形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記穴が、前記ランドを貫通していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記絶縁性部材には、前記穴と連通する孔が形成されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ランドには、前記穴に連通するとともに、前記ランドの側面において当該ランドに接合された前記個別電極に向かない方向に開口する溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記複数の個別電極はマトリクス状に配列されており、
   前記ランドに形成された前記溝が、当該ランドに隣接する複数の他の個別電極のうちの当該ランドから最も離れた個別電極に向かう方向に開口していることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記共通電極は、前記圧電層の裏面の全域に隙間なく形成されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記複数のランドとそれぞれ接合される複数の配線が形成された配線基板をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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