JP5195205B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

インク吐出用のノズル口を複数備えるインクジェット式の記録ヘッドとして、圧力室形成板、コンプライアンス板、ノズルプレートの順序でこれら各板を積層してなる記録ヘッドが知られている。ノズルプレートは、複数のノズル口を一定方向に並べて形成しており、圧力室形成板は、複数のノズル口にそれぞれ連通する複数の圧力室を形成している。また圧力室形成板においては、各圧力室とそれぞれインク供給路を介して連通するリザーバと呼ばれる空間が、コンプライアンス板側が開口した状態（コンプライアンス板によって当該開口を塞がれた状態）で形成されている。リザーバに対しインクカートリッジ等から供給されたインクは、各圧力室へのインク供給路を通過して各圧力室に供給される。また、各圧力室の外側には、それぞれ圧電素子が設けられている。圧電素子に所定の駆動電圧が印加されて圧電素子が変形（伸張）すると、当該変形した圧電素子に対応する圧力室も変形（収縮）し、その結果、圧力室内のインクがノズル口から押し出されてインク滴（ドット）として吐出される。

インクカートリッジ等から供給されたインクは、各圧力室へ供給される前に一旦、上記リザーバに貯留される。このとき、リザーバへインクが大量に供給されるとリザーバ内に過剰な圧力がかかってしまい、その結果、圧力室にインクが過供給されて不要なドットの吐出（誤吐出）がなされる恐れがある。そこで上記コンプライアンス板は、リザーバに対応する範囲において、ノズルプレート側に凹部を形成することにより板厚を他の範囲の板厚より薄肉状としている。当該薄肉状の部分（コンプライアンス部と呼ぶ。）は、リザーバにインクが供給されてリザーバ内の圧力が上昇した場合に、リザーバ内のインクに押されてノズルプレート側へ撓むことでリザーバ内の圧力を吸収し、上記のような誤吐出が発生することを防いでいる。

ここで、圧力室を有するベースプレートを金属製圧延板材にて形成し、且つ、その圧延方向を圧力室の長手方向と平行状としたインクジェットプリンタヘッドが知られている（特許文献１参照。）。
また、インク吐出用のノズルを有したノズルプレートとして、平面形状の長い方の外形寸法の方向が圧延方向と略直交している金属の圧延プレートを用いたインクジェット記録ヘッドが知られている（特許文献２参照。）。

特開２００５−４１０４７号公報 特開２００１−１０５５９５号公報

今日、上記のような記録ヘッドにおいては、ノズル数の増加による高密度化および製品の小型化が進んでいる。製品の小型化のためには、記録ヘッドを構成する各板のサイズを従来よりも小さくする必要があり、各板のサイズを小型化すると、上記コンプライアンス部の面積も小さくならざるを得ない。しかしその一方で、上述した高密度化によって、リザーバに供給されるインク量自体は増加傾向にある。そのため、これまでのようにコンプライアンス部の撓みによってリザーバ内の圧力を十分に吸収することが困難となり、上記誤吐出などの危険性が高まっている。

また上記記録ヘッドを構成する各板は、それぞれが金属を圧延することで形成されているが、このように圧延された板は、その圧延方向と関連して一定の方向に反りやすいという性質がある。このような板の反りは、記録ヘッド全体の反りにつながる。記録ヘッドの反りは、例えば、ノズルプレートとドット吐出対象となる記録媒体との距離にノズル位置毎のばらつきを生じさせてしまうため、製品として不適切である。これは、インクを吐出するインクジェット式の記録ヘッド以外にもさまざまな液体噴射ヘッドに共通する課題である。

本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、リザーバに発生する圧力の増加による各種弊害、例えば上記誤吐出を防止し、かつ、製品の反りの発生を防ぐことが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドであって、圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板とを備え、上記コンプライアンス板は、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延されており、上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されている構成としている。

本発明によれば、上記コンプライアンス板は上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延されているため、上記コンプライアンス部の表面においては、金属を圧延したときに生じる微細な筋が上記長手方向に沿った状態で形成される。その結果、上記コンプライアンス部が撓みやすくなり、液体リザーバにおける圧力を効果的に吸収することができる。また、コンプライアンス板の圧延方向とリザーバ板の圧延方向とが直交した関係にあるため、それぞれの板の反りが抑制されて、液体噴射ヘッド全体が反りにくくなる。

上記液体噴射ヘッドにおいては、上記液体リザーバは、上記リザーバ板を貫通して形成され、圧延された金属からなり上記液体リザーバの上記コンプライアンス板と逆側の面を覆うように積層されるリザーバ隣接板を備え、当該リザーバ隣接板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と平行な方向に圧延されているとしてもよい。
当該構成によれば、液体リザーバを両側から塞ぐコンプライアンス板およびリザーバ隣接板の圧延方向が、それぞれ上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向であるため、液体リザーバ内での液体の流動抵抗が低くなり、かつ、液体噴射ヘッド全体の反りが強力に抑制される。

上記液体噴射ヘッドは、圧延された金属からなり上記コンプライアンス板の上記リザーバ板の側と逆側に積層されるコンプライアンス隣接板を備え、当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延されているとしてもよい。当該コンプライアンス隣接板には、例えば、ノズルプレートが該当する。
当該構成によれば、コンプライアンス板を両側から挟むリザーバ板およびコンプライアンス隣接板の圧延方向が、それぞれコンプライアンス板の圧延方向と直交した関係になるため、より強固にコンプライアンス板（コンプライアンス部を除く。）の反りが抑制され、液体噴射ヘッド全体がより反りにくくなる。

なお本発明にかかる技術的思想は、液体噴射ヘッドとしてではなく、液体噴射装置としても把握することができる。この場合、複数のノズル口から液体を噴射可能な液体噴射装置であって、圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板とを備える液体噴射ヘッド部を有し、上記コンプライアンス板は、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延されており、上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されている構成とすることができる。

上記液体噴射ヘッドの製造方法としても一つの発明を把握することができる。この場合、液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、圧延された金属からなる、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなる、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板と、を積層する場合に、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延された上記コンプライアンス板と、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されたリザーバ板とを用いる構成とすることができる。ただし本願において、「平行」や「直交」はそれぞれバラツキを許容するものであり、数学的に厳密な意味での「平行」や「直交」だと言うわけではない。また本願においては、「積層」や「隣接」とは、直接接していることに限られず、間に接着剤等を挟んでいることも含まれる。

以下、本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射装置１０の概略構成を、ブロック図により示している。
本実施形態では、液体噴射装置１０はインクジェット式プリンタであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えた制御部１１と、ヘッド駆動部１２と、記録ヘッドユニット１３等を備え、制御部１１では、ＣＰＵがＲＯＭに書き込まれたプログラムに従って各部を制御する。

記録ヘッドユニット１３は、複数のインク色（例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）。）にそれぞれ対応する記録ヘッド１４（１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ）の集合体である。記録ヘッドユニット１３を構成する記録ヘッド１４の数や、記録ヘッド１４が対応するインク（液体）の種類は特に限られない。記録ヘッドユニット１３には、複数のインク色に対応するインクカートリッジ１５が搭載される。各記録ヘッド１４には複数のインクジェットノズル（単にノズルと呼ぶ。）が設けられているとともに、ノズルのそれぞれに対応して圧電素子（ピエゾ素子）が設けられている。記録ヘッドユニット１３および記録ヘッド１４は、本発明における液体噴射ヘッドに該当する。

制御部１１は、印刷対象となる画像を表すラスタデータに対応する印加電圧データを生成し、当該印加電圧データをヘッド駆動部１２に出力する。印加電圧データは、画素毎のドットのオン・オフを規定したデータである。ヘッド駆動部１２は、印加電圧データに基づいて、各記録ヘッド１４に内蔵された各ピエゾ素子への駆動電圧を生成するとともに、この生成した駆動電圧を記録ヘッド１４に供給することにより、記録ヘッド１４のノズルからドットを吐出させる。その結果、記録媒体にドットが着弾し、上記ラスタデータに対応する画像が印刷される。その他、液体噴射装置１０は、記録ヘッドユニット１３を搭載したキャリッジをガイドレールに沿って往復動させるキャリッジ機構や、紙送りローラによって記録媒体をキャリッジの往復動方向（主走査方向）と略直交する向き（紙送り方向）に所定の速度で搬送する紙送り機構や、外部のＰＣ等が備えるプリンタドライバから上記ラスタデータの送信を受付ける通信インターフェースなど（いずれも不図示。）、プリンタとして必要な公知の各種構成を備える。

図２は、一つの記録ヘッド１４の一部を分解斜視図により示しており、図３は、記録ヘッド１４の一部断面図を示している。以下の説明は、記録ヘッドについての説明であると同時に、記録ヘッドの製造方法についての説明でもある。
記録ヘッド１４は、複数の板状部材を接着剤で接着して積層することにより形成されており、上から順に、弾性板２０、圧力室形成板３０、コンプライアンス板４０、ノズルプレート５０とされている。ノズルプレート５０は、記録ヘッド１４の下面に対応し、複数のノズル口５１が所定ピッチで一定の方向に並ぶことにより、ある色のインクに対応したノズル列が形成されている。ノズル口５１が並ぶ方向（ノズル並び方向）は、上記主走査方向に対して略直交する方向である。ノズルプレート５０は、本発明におけるコンプライアンス隣接板に該当する。
コンプライアンス板４０は、複数のノズル口５１に対応する各位置に複数の連通孔４１を形成するとともに、ノズルプレート５０側に開口する縦断面略矩形の凹部４２を形成している。

圧力室形成板３０は、複数の連通孔４１に対応する各位置に複数の圧力室３１を形成している。各圧力室３１は、圧力室形成板３０の上下に開口した空間である。各圧力室３１は、所定ピッチにてノズル並び方向に並んで形成されている。また圧力室形成板３０には、リザーバ３３が形成されており、リザーバ３３は圧力室３１毎に対応するインク供給路３２を介して各圧力室３１と夫々連通している。インク供給路３２は、コンプライアンス板４０側に開口した凹部である。リザーバ３３は、コンプライアンス板４０側に開口した凹部であり、ノズル並び方向を長手とし、ノズル並び方向に直交する方向を短手としている。

インク供給路３２は、リザーバ３３の短手方向を向いてリザーバ３３と圧力室３１とを接続している。各圧力室３１は、連通孔４１に対応する箇所を除いて、コンプライアンス板４０によって塞がれている。また、各インク供給路３２およびリザーバ３３は、コンプライアンス板４０によって塞がれている。このように、リザーバ３３を形成する点で、圧力室形成板３０は本発明におけるリザーバ板の一種に該当する。

各圧力室３１の上側の開口を塞ぐ弾性板２０の上側には、上下を電極６１，６２に挟まれたピエゾ素子６０が、各圧力室３１に対応する各所定位置に複数設けられている。かかる構成において、リザーバ３３に対して上記インクカートリッジ１５から図示しない供給路を介してインクが供給され、その結果、各圧力室３１にインクが供給される。ピエゾ素子６０の電極６１，６２には上記駆動電圧が印加されてピエゾ素子６０が変形し、当該変形したピエゾ素子６０に対応する圧力室３１も変形し、対応するノズル口５１からドットが記録ヘッド１４の下方へ吐出される。

凹部４２は、リザーバ３３の下方位置において、リザーバ３３の面積（水平断面積）と略一致した範囲に形成されている。従って、リザーバ３３と凹部４２とを隔てる（リザーバ３３を塞ぐ）コンプライアンス板４０の薄肉状の範囲（コンプライアンス部４３と呼ぶ。）の長手方向、短手方向は、リザーバ３３の長手方向、短手方向と一致する。また、凹部４２の長手方向、短手方向も、リザーバ３３の長手方向、短手方向と一致する。コンプライアンス部４３は、上述したように、リザーバ３３にインクが供給されてリザーバ３３内の圧力が上昇した場合に、ノズルプレート５０側へ膨らむように撓む（図３中の鎖線参照。）ことで、リザーバ３３内の圧力を吸収する。

本実施形態においては、記録ヘッド１４を構成する各部材のうち少なくとも圧力室形成板３０、コンプライアンス板４０、ノズルプレート５０については、金属を圧延して生成した金属板を用いて形成している。また、上記各種の凹部や貫通孔は、エッチング等によって形成される。ここで、金属を一つの方向に圧延すると、生成された金属板の表面には圧延方向に沿って圧延痕が生じる。当該圧延痕は、微細な筋となって表れ、この筋は圧延方向に沿って延伸した状態となる。つまり、圧延方向に直交する方向における金属板の断面を見た場合、圧延された表面には上記筋による微細な凸凹が生じた状態となっている。このように金属板の表面に生じた筋は梁の役割を果たす。そのため、圧延された金属板は、圧延方向においては撓みにくく（反りにくく）、圧延方向と直交する方向においては撓みやすい（反りやすい）性質を有することになる。

そこで本実施形態では、図２にも示したように、コンプライアンス板４０の圧延方向を、凹部４２の長手方向（コンプライアンス部４３の長手方向と同義。）と略平行としている。言い換えると、コンプライアンス板４０を生成する場合には、その金属板の圧延方向と略平行な方向が凹部４２の長手方向（ノズル並び方向）となるように、凹部４２および連通孔４１を形成する。その結果、コンプライアンス部４３を含むコンプライアンス板４０の表面には、凹部４２の長手方向に沿って上記筋が形成された状態となる。

図４は、コンプライアンス部４３の表面を例示している。同図では、コンプライアンス板４０からコンプライアンス部４３に対応する略矩形の範囲だけを切り取った状態を示している。コンプライアンス部４３の表面には、コンプライアンス部４３の長手方向（凹部４２の長手方向）に沿って筋Ｓが何本も形成されている。なお、実際には筋Ｓは肉眼で確認できないほどの微細な痕である場合が多い。

また本実施形態では、図２にも示したように、圧力室形成板３０の圧延方向を、コンプライアンス板４０の圧延方向と略直交する方向としている。言い換えると、圧力室形成板３０を生成する場合には、その金属板の圧延方向に略直交する方向がリザーバ３３の長手方向となるように、リザーバ３３や、圧力室３１や、インク供給路３２を形成する。その結果、圧力室形成板３０の表面には、リザーバ３３の長手方向と略直交する方向に沿って上記筋が形成された状態となる。

このように本実施形態によれば、コンプライアンス部４３には、凹部４２の長手方向に沿った複数の筋（梁）が形成される。そのため、コンプライアンス部４３は、凹部４２の短手方向においては非常に撓みやすく、また凹部４２の長手方向においては梁の影響である程度撓みが抑制されるもののコンプライアンス部４３上での梁が長い（コンプライアンス部４３上での梁が凹部４２の短手方向に向いている場合よりも長い）分その撓みの抑制度合いも小さく、結果、コンプライアンス部４３全体として従来よりも撓みやすさが増す。そのため、記録ヘッド１４のノズルの高密度化および小型化の影響で、リザーバ３３へのインク供給量の増加およびコンプライアンス部４３の狭小化が進んだ場合でも、コンプライアンス部４３の十分な撓みによってリザーバ３３内の圧力を的確に吸収することが可能となり、ドットの誤吐出等、リザーバ３３に発生する圧力の増加による弊害が防止される。

また、接し合うコンプライアンス板４０と圧力室形成板３０との各圧延方向が、略直交するようにした。そのため、コンプライアンス板４０と圧力室形成板３０とが互いの反りを抑制し合い、記録ヘッド１４全体として製品に反りが生じにくくなる。その結果、記録ヘッド１４の反りに起因する、ノズルプレート５０と記録媒体との距離のノズル口５１の位置毎のばらつき等が減り、高品質の製品を提供することが可能となる。

圧延方向を規定する対象は、コンプライアンス板４０と圧力室形成板３０だけに限られない。例えば、ノズルプレート５０についても圧延方向を限定してもよく、この場合、ノズルプレート５０の圧延方向をノズル並び方向に対して略直交する方向とする。言い換えると、ノズルプレート５０を生成する場合には、その金属板の圧延方向と略直交する方向がノズル並び方向となるように複数のノズル口５１を形成する。この結果、コンプライアンス板４０を挟む圧力室形成板３０およびノズルプレート５０の圧延方向が略一致し、コンプライアンス部４３以外のコンプライアンス板４０の反りが強固に抑制され、その結果、記録ヘッド１４の反りが防止される。

図５は、他の実施例にかかる記録ヘッド１６の一部断面図を示している。液体噴射装置１０は、記録ヘッド１４の代わりに、記録ヘッド１６を搭載するとしてもよい。
図５では、図３に示した記録ヘッド１４と共通の部位に対しては、図３における符号と同じ符号を付している。記録ヘッド１６では、弾性板２０とコンプライアンス板４０との間に、上から順に圧力室形成板７０、供給路形成板８０、リザーバ板９０を積層している。圧力室形成板７０、供給路形成板８０およびリザーバ板９０も、金属を圧延した板状部材である。

リザーバ板９０は、コンプライアンス板４０の連通孔４１に対応する位置に連通孔９１を形成するとともに、凹部４２に対応する範囲に、リザーバ９２を形成している。リザーバ９２は、リザーバ板９０を上下に貫通する空間である。リザーバ板９０の上の供給路形成板８０は、リザーバ９２に対応する範囲の一部にインク供給路８２を形成しつつ、リザーバ９２を覆う。また供給路形成板８０は、連通孔９１に対応する位置に、連通孔８１を形成している。供給路形成板８０の上の圧力室形成板７０には、インク供給路８２および連通孔８１に連通する位置に圧力室７１を形成している。

記録ヘッド１６においても記録ヘッド１４と同様に、圧力室７１は所定ピッチでノズル並び方向（図５の紙面に対して垂直な方向）に並んで複数形成され、また、リザーバ９２は、ノズル並び方向を長手方向とし、各圧力室７１に対してインク供給路８２を介してインクを供給する。記録ヘッド１６では、リザーバ板９０を挟むコンプライアンス板４０と供給路形成板８０との圧延方向とを略平行にしている。コンプライアンス板４０の圧延方向は、凹部４２の長手方向（リザーバ９２の長手方向）であるため、供給路形成板８０の圧延方向も凹部４２の長手方向（リザーバ９２の長手方向）となる。供給路形成板８０は、本発明におけるリザーバ隣接板に該当する。むろん、リザーバ９２を形成するリザーバ板９０の圧延方向は、コンプライアンス板４０および供給路形成板８０の圧延方向と略直交する方向である。

このような構成とすることで、コンプライアンス部４３の撓み量の増加および、記録ヘッド１６の反り発生の防止という効果に加え、更に、リザーバ９２内におけるインクの流動抵抗の減少という効果も得られる。つまり、リザーバ９２の上下の開口を塞いでリザーバ９２内を向く供給路形成板８０およびコンプライアンス板４０の各表面には、リザーバ９２の長手方向を向いた圧延痕（筋）が生じているため、かかる筋に沿ってリザーバ９２内でインクが長手方向に流れ易くなる。その結果、リザーバ９２の長手方向に並ぶ複数の圧力室７１に対して万遍なくインクが供給されるようになる。さらに記録ヘッド１６においては、圧力室形成板７０やノズルプレート５０についての圧延方向も限定可能である。この場合、圧力室形成板７０からノズルプレート５０まで順に積層されている各板について、接し合う板の圧延方向が互いに直交するように圧延方向を決める。かかる構成とすれば、記録ヘッド１６の反りが強力に防止される。

なお上記では、コンプライアンス板４０は、リザーバに略対応する範囲においてリザーバ側を向く面とは逆側の面に凹部４２を形成することによりコンプライアンス部４３を形成している。しかし、コンプライアンス部４３は、リザーバ内で発生する圧力を吸収できるものであればよく、例えば、凹部４２は形成せずにコンプライアンス板４０全体をより薄肉状とすることで、リザーバに対応する位置にコンプライアンス部４３を形成するとしてもよい。また上記では、液体噴射ヘッドや液体噴射装置を、インクを記録媒体に噴射して印刷を行なうためのものとして説明を行なった。しかし本発明の構成は、インクに限らず液体を任意の対象に噴射するための装置であれば、カラーフィルタの製造に用いる色材噴射装置や、バイオチップ製造に用いられる有機物質噴射装置などのあらゆる装置に対して適用可能である。また上記では、液体噴射ヘッドは、圧電素子（ピエゾ素子６０）を用いて液体吐出を行なうとしたが、圧電素子以外にも、発熱素子など、液体に対する様々な圧力発生手段を用いることが可能である。

液体噴射装置の一例について概略構成を示したブロック図である。 記録ヘッドの一部分解斜視図である。 記録ヘッドの一部断面図である。 コンプライアンス部の表面を示した図である。 記録ヘッドの一部断面図である。

符号の説明

１０…液体噴射装置、１１…制御部、１２…ヘッド駆動部、１３…記録ヘッドユニット、１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…記録ヘッド、１５…インクカートリッジ、１６…記録ヘッド、３０…圧力室形成板（リザーバ板）、３１…圧力室、３２…インク供給路、３３…リザーバ、４０…コンプライアンス板、４２…凹部、４３…コンプライアンス部、５０…ノズルプレート、５１…ノズル口、６０…ピエゾ素子、６１，６２…電極、７０…圧力室形成板、７１…圧力室、８０…供給路形成板、８２…インク供給路、９０…リザーバ板、９２…リザーバ。

Claims (5)

1. 液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドであって、
   圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、
   圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板とを備え、
   上記コンプライアンス板は、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延されており、
   上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 上記液体リザーバは、上記リザーバ板を貫通して形成され、
   圧延された金属からなり、上記液体リザーバの上記コンプライアンス板と逆側の面を覆うように積層されるリザーバ隣接板を備え、当該リザーバ隣接板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と平行な方向に圧延されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 圧延された金属からなり、上記コンプライアンス板の上記リザーバ板の側と逆側に積層されるコンプライアンス隣接板を備え、当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 複数のノズル口から液体を噴射可能な液体噴射装置であって、
   圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、
   圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板とを備える液体噴射ヘッド部を有し、
   上記コンプライアンス板は、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延されており、
   上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されていることを特徴とする液体噴射装置。
5. 液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   圧延された金属からなる、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなる、上記液体リザーバの壁面となる位置に上記液体リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部を形成したコンプライアンス板と、を積層する場合に、上記コンプライアンス部の長手方向と平行な方向に圧延された上記コンプライアンス板と、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されたリザーバ板とを用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

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