JP2022071410A - 液体吐出ヘッド、及び、その製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】安定したダンパ性能を得る。【解決手段】ダンパプレート１３の下面１３ｘには、ダンパ室４５を構成する凹部４５ｘが設けられている。凹部４５ｘは、Ｚ方向に供給孔と重なる第１部分Ｐ１と、Ｚ方向に供給孔と重ならず共通流路と重なる第２部分とを含む。凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に、凸部４５ｙが設けられている。ダンパプレート１３とスペーサプレート１２とを接着する際には、先ず、ウレタン等からなるローラ９０の外周面９０ｘに接着剤Ａを塗布し、外周面９０ｘを下面１３ｘに押圧しつつ、Ｘ方向に沿った軸９０ａを中心として外周部９０ｂを回転させることで、下面１３ｘに接着剤Ａを塗布する。その後、ダンパプレート１３とスペーサプレート１２とを積層し、接着剤Ａを介してダンパプレート１３の下面１３ｘにスペーサプレート１２の上面１２ｘを接着する。【選択図】図７

Description

本発明は、供給孔と重なる位置にダンパ室が設けられた液体吐出ヘッド、及び、その製造方法に関する。

特許文献１には、インク供給口（供給孔）と重なる位置にダンパ室が設けられたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）が示されている。インク供給口は、他の流路部分と比べて大きな面積を有し、当該大きな面積の部分にダンパ室を設けることで、高いダンパ性能を得ることができる。

特開２００５－２３１３１４号公報（図４）

特許文献１において、ダンパ室を構成する凹部が形成されたダンパプレートの下面は、接着剤を介してスペーサプレートの上面と接着されている。これらプレートの接着は、例えば、弾性を有するローラの外周面に接着剤を塗布し、外周面をダンパプレートの下面に押圧しつつローラを回転させることで、ダンパプレートの下面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、接着剤塗布工程の後、ダンパプレートとスペーサプレートとを積層し、接着剤を介してダンパプレートの下面にスペーサプレートの上面を接着する接着工程とを行うことにより、実現される。

しかしながら、特にダンパ室（凹部）のサイズが大きい場合は、接着剤塗布工程において、ローラの外周部が凹部内に入り込み、凹部の底面に接着剤が付着し得る。この場合、接着工程において、ダンパプレートのダンパ室（凹部）の底面がスペーサプレートの上面と接着され、ダンパ室のサイズが所望のサイズよりも小さくなり得る。ひいては、ダンパ室のサイズが所望のサイズと異なる可能性が生じるため、安定したダンパ性能を得ることができない。

本発明の目的は、安定したダンパ性能を得ることができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、ノズルをそれぞれ含み、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記複数の個別流路に連通し、前記第１方向に延びる共通流路と、前記共通流路に連通する供給孔と、前記第１方向と直交する第２方向に前記供給孔と重なる位置に設けられたダンパ室と、前記第２方向と直交する第１面であって前記ダンパ室を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、前記第１面に接着剤を介して接着された第２面を有する第２プレートと、を備え、前記凹部の底面に凸部が設けられたことを特徴とする。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、ノズルをそれぞれ含み、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記複数の個別流路に連通し、前記第１方向に延びる共通流路と、前記共通流路に連通する供給孔と、前記第１方向と直交する第２方向に前記供給孔と重なる位置に設けられたダンパ室と、前記第２方向と直交する第１面であって前記ダンパ室を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、前記第１面に接着された第２面を有する第２プレートと、を備え、前記凹部の底面に凸部が設けられた液体吐出ヘッドの製造方法であって、弾性を有するローラの外周面に接着剤を塗布し、前記外周面を前記第１面に押圧しつつ前記ローラを回転させることで、前記第１面に前記接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記接着剤塗布工程の後、前記第１プレートと前記第２プレートとを積層し、前記接着剤を介して前記第１面に前記第２面を接着する接着工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の分解斜視図である。 ヘッド１に含まれる流路部材１０の拡大分解斜視図である。 図２のＩＶ－ＩＶ線に沿ったヘッド１の拡大断面図である。 図２のＶ－Ｖ線に沿ったヘッド１の拡大断面図である。 ダンパプレートの下面１３ｘに設けられた凹部４５ｘ及び凸部４５ｙとスペーサプレートの上面に設けられた溝１２ｙとを示す平面図である。 （ａ）は、接着剤塗布工程を示す図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。（ｂ）は、接着工程を示す図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドにおける図７（ｂ）に相当する断面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッドにおける図６に相当する平面図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｙ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｚ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第３方向」に該当する。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘと、プラテン３と、搬送機構４と、制御部５とを備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、Ｘ方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９がＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、Ｙ方向に長尺であり、位置が固定された状態でノズル３５（図２～図５参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれＹ方向に長尺であり、Ｙ方向に千鳥状に配列されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ及び搬送モータ（共に図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２～図６を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図２に示すように、流路部材１０と、フィルタ部材２０と、アクチュエータ部材６０とを有する。

流路部材１０は、ノズルプレート１１、スペーサプレート１２、ダンパプレート１３、マニホールドプレート１４ａ，１４ｂ、スペーサプレート１５，１６及びキャビティプレート１７の、計８枚のプレートで構成されている。これら８枚のプレートは、それぞれ金属、樹脂、セラミックス等からなり、Ｚ方向に積層されかつ接着剤を介して互いに接着されている。これら８枚のプレートのうち、ダンパプレート１３が本発明の「第１プレート」に該当し、スペーサプレート１２が本発明の「第２プレート」に該当する。

ノズルプレート１１には、それぞれノズル３５を構成する複数の貫通孔が形成されている。ノズル３５は、Ｙ方向に千鳥状に配列され、５つのノズル列を形成している。各ノズル列は、Ｙ方向に並ぶ複数のノズル３５で構成される。５つのノズル列は、Ｘ方向に並んでいる。

キャビティプレート１７には、それぞれ圧力室３６を構成する複数の貫通孔が形成されている。圧力室３６は、ノズル３５と同様、Ｙ方向に千鳥状に配列され、５つの圧力室列を形成している。各圧力室列は、Ｙ方向に並ぶ複数の圧力室３６で構成される。５つの圧力室列は、Ｘ方向に並んでいる。

各圧力室３６は、スペーサプレート１５，１６、マニホールドプレート１４ａ，１４ｂ、ダンパプレート１３及びスペーサプレート１２に形成された貫通孔３７を介して、各ノズル３５と連通している。また、各圧力室３６は、スペーサプレート１６に形成された連通孔３８と、スペーサプレート１５に形成された接続流路４０とを介して、５つの共通流路７のうち対応する１つの共通流路７と連通している（図２～図４参照）。

流路部材１０には、接続流路４０、連通孔３８、圧力室３６、貫通孔３７を介してノズル３５に至る個別流路３０が複数形成されている。個別流路３０は、ノズル３５及び圧力室３６と同様、Ｙ方向に千鳥状に配列され、５つの個別流路列を形成している。各個別流路列は、Ｙ方向に並ぶ複数の個別流路３０で構成される。５つの個別流路列は、Ｘ方向に並んでいる。

マニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、５つの共通流路７を構成する貫通孔が形成されている。５つの共通流路７は、それぞれＹ方向に延び、かつ、Ｘ方向に並んでいる。５つの共通流路７は、５つの個別流路列のそれぞれと連通している。各共通流路７は、５つの個別流路列のうち対応する個別流路列に属する複数の個別流路３０と連通している。

ダンパプレート１３の上面は、５つの共通流路７の底面を構成している。ダンパプレート１３の下面１３ｘには、ダンパ室４５を画定する凹部４５ｘが形成されている（図２～図４参照）。ダンパ室４５（凹部４５ｘ）は、５つの共通流路７とＺ方向に重なっている。ダンパ室４５（凹部４５ｘ）を設けたことで、ノズル３５からのインク吐出時に圧力室３６内で生じた圧力が共通流路７に伝播しても、ダンパプレート１３における凹部４５ｘの底部（薄膜）が弾性変形することにより圧力が減衰され、当該圧力が他の圧力室３６に伝搬する現象（所謂クロストーク）を防止することができる。

ダンパプレート１３の下面（第１面）１３ｘにおける凹部４５ｘの底面には、複数の凸部４５ｙが設けられている。また、スペーサプレート１２の上面（第２面）１２ｘにおける各凸部４５ｙとＺ方向に重なる部分には、複数の溝１２ｙが設けられている。これについては、後に詳述する。

キャビティプレート１７及びスペーサプレート１５，１６のＹ方向の一端には、図２に示すように、それぞれ供給孔４７を構成する４つの貫通孔が形成されている。供給孔４７は、Ｘ方向に並んでいる。供給孔４７は、図２の左から順に、ブラックインクが供給される供給孔４７ａと、イエローインクが供給される供給孔４７ｂと、マゼンタインクが供給される供給孔４７ｃと、シアンインクが供給される供給孔４７ｄとで構成されている。

５つの共通流路７のうち、図２の左から１番目及び２番目の２つの共通流路７ａは、供給孔４７ａと連通している。５つの共通流路７のうち、図２の左から３番目の共通流路７ｂは、供給孔４７ｂと連通している。５つの共通流路７のうち、図２の左から３番目の共通流路７ｂは、５つの共通流路７のうち、図２の左から４番目の共通流路７ｃは、供給孔４７ｃと連通している。５つの共通流路７のうち、図２の左から５番目の共通流路７ｄは、供給孔４７ｄと連通している。各供給孔４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄと、各共通流路７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄのＹ方向の一端とは、Ｚ方向に重なっている。

カラーインクが供給される供給孔４７ｂ，４７ｃ，４７ｄはそれぞれ１つの共通流路７ｂ，７ｃ，７ｄと連通しているのに対し、ブラックインクが供給される供給孔４７ａは２つの共通流路７ａと連通している。これは、モノクロ記録時の記録速度をカラー記録の場合よりも速くしたときに、ブラックインクの単位時間当りの消費量がカラーインクの単位時間当たりの消費量より多くなることを考慮したものである。

フィルタ部材２０は、４つの供給孔４７を覆うように、流路部材１０の上面（キャビティプレート１７の上面）に接着剤を介して接着されている。フィルタ部材２０は、供給孔４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄのそれぞれとＺ方向に重なる４つのフィルタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを含む。インクタンク（図示略）から供給される各色インクは、フィルタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを通過する際に異物（粉塵等）が除去された後、供給孔４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄに流入し、共通流路７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに供給される。このように、供給孔４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄに対して上側（Ｚ方向においてダンパ室４５と反対側）に、供給孔４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄの流入口を構成するフィルタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが設けられている。

アクチュエータ部材６０は、流路部材１０の上面（キャビティプレート１７の上面）におけるフィルタ部材２０が配置されない領域に、接着剤を介して接着されている。アクチュエータ部材６０は、詳細な図示を省略するが、振動板と、共通電極と、複数の圧電体と、複数の個別電極６１とを含む。振動板及び共通電極は、流路部材１０の上面（キャビティプレート１７の上面）に配置され、キャビティプレート１７に形成された全ての圧力室３６を覆っている。一方、圧電体及び個別電極６１は、圧力室３６毎に設けられており、圧力室３６のそれぞれとＺ方向に重なっている。

アクチュエータ部材６０の上面には、配線部材７０（図４参照）が配置されている。配線部材７０の配線は、各個別電極６１及び共通電極と電気的に接続されている。

制御部５（図１参照）は、配線部材７０に搭載されたドライバＩＣを制御し、共通電極の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極６１の電位を駆動電位とグランド電位との間で変化させる。このとき、振動板及び圧電体において個別電極６１と圧力室３６とで挟まれた部分が、圧力室３６に向かって凸となるように変形することにより、圧力室３６の容積が変化し、圧力室３６内のインクに圧力が付与され、ノズル３５からインクが吐出される。

次いで、図２、図５及び図６を参照し、ダンパプレート１３の下面１３ｘに設けられた凹部４５ｘ及び凸部４５ｙと、スペーサプレート１２の上面１２ｘに設けられた溝１２ｙとについて詳細に説明する。

凹部４５ｘは、ダンパプレート１３の下面１３ｘにハーフエッチングを施すことで形成されたものである。凸部４５ｙは、当該ハーフエッチングの際に凸部４５ｙに対応する部分をエッチングしないことで形成されたものである。溝１２ｙは、スペーサプレート１２の上面１２ｘにハーフエッチングを施すことで形成されたものである。

凹部４５ｘは、図２に示すように、Ｚ方向に４つの供給孔４７のそれぞれと重なる４つの第１部分Ｐ１と、Ｚ方向に供給孔４７と重ならず５つの共通流路７のそれぞれと重なる５つの第２部分Ｐ２とを含む。各第１部分Ｐ１の幅（Ｘ方向の長さ）Ｗ１は、各第２部分Ｐ２の幅（Ｘ方向の長さ）Ｗ２よりも長い。

凸部４５ｙは、第１部分Ｐ１に設けられている。具体的には、４つの第１部分Ｐ１のそれぞれに、３つの凸部４５ｙが設けられている。３つの凸部４５ｙは、それぞれＺ方向と直交する面においてＸ方向に長い矩形状であり、Ｙ方向に並んでいる。

各凸部４５ｙと凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の側壁とのＸ方向の間隔Ｓ１（図６参照）は、１ｍｍ以下である。各凸部４５ｙは、間隔Ｓ１が一定になるよう、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）におけるＸ方向の中央に配置されている。

３つの凸部４５ｙのうち凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）のＹ方向の一端に最も近い凸部４５ｙと、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の側壁とのＹ方向の間隔Ｓ２（図６参照）は、１ｍｍ以下である。３つの凸部４５ｙ同士のＹ方向の間隔Ｓ３も、１ｍｍ以下である。３つの凸部４５ｙは、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）のＹ方向の一端から等間隔Ｓ２，Ｓ３で配置されている。

溝１２ｙは、各凸部４５ｙに対応して設けられており、各凸部４５ｙとＺ方向に重なっている。溝１２ｙは、凸部４５ｙと同様にＺ方向と直交する面においてＸ方向に長い矩形状であり、凸部４５ｙよりも大きくかつ凹部４５ｘ（第１部分）よりも小さいサイズを有する。即ち、溝１２ｙは、凸部４５ｙとＺ方向に重なる部分と、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面における凸部４５ｙ以外の部分とＺ方向に重なる部分とを含む。

図５に示すように、スペーサプレート１２のＺ方向の厚みは、ダンパプレート１３のＺ方向の厚みよりも大きい（例えば、スペーサプレート１２の厚みは１００μｍ、ダンパプレート１３の厚みは５０μｍである）。凹部４５ｘ及び溝１２ｙは、それぞれ、各プレート１３，１２の厚みの略半分の深さを有する。つまり、溝１２ｙのＺ方向の深さＤ２は、凹部４５ｘのＺ方向の深さＤ１よりも深い。凸部４５ｙの高さは、凹部４５ｘの深さＤ１と同じである。

次いで、図７を参照し、ダンパプレート１３とスペーサプレート１２とを接着する工程について説明する。

当該工程では、図７（ａ）に示すローラ９０を用いる。ローラ９０は、軸９０ａと、軸９０ａの周囲に配置された外周部９０ｂとを含む。外周部９０ｂは、ウレタン（例えば、密度１．９２^-7ｋｇ／ｍｍ³）等からなり、弾性を有する。

先ず、図７（ａ）に示すように、外周部９０ｂの外周面９０ｘに接着剤Ａを塗布し、外周面９０ｘをダンパプレート１３の下面１３ｘに押圧しつつ、Ｘ方向に沿った軸９０ａを中心として外周部９０ｂを回転させることで、下面１３ｘに接着剤Ａを塗布する（接着剤塗布工程）。このときの押圧力は、例えば５００ｋＰａである。また、このときローラ９０を、下面１３ｘに対し、Ｙ方向に沿った転写方向Ｔ（図６参照）に移動させる。転写方向Ｔは、Ｚ方向と直交する面において凸部４５ｙが延びる方向（Ｘ方向）と直交する方向である。

ここで、外周部９０ｂは、弾性を有するため、接着剤塗布工程で下面１３ｘに押圧されたときに変形し、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）内に入り込み得る。例えば、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に凸部４５ｙが設けられていない場合は、外周部９０ｂが凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）内に入り込み、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に接着剤Ａが付着し易い。しかしながら、本実施形態では、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に凸部４５ｙを設け、間隔Ｓ１を小さくしたことで（Ｓ１＜Ｗ１）、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に接着剤Ａが付着し難くなっている。一方、凸部４５ｙの先端面は、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面よりも下方に位置する（本実施形態では、下面１３ｘと同じレベルにある）ため、外周面９０ｘに塗布された接着剤Ａが付着する（図７（ｂ）参照）。

次に、図７（ａ）に示す接着剤塗布工程の後、図７（ｂ）に示すように、ダンパプレート１３とスペーサプレート１２とを積層し、接着剤Ａを介してダンパプレート１３の下面１３ｘにスペーサプレート１２の上面１２ｘを接着する（接着工程）。このとき、ダンパプレート１３とスペーサプレート１２との間に、ダンパ室４５が形成される。特に、供給孔４７（図２参照）とＺ方向に重なる部分においては、スペーサプレート１２の上面１２ｘに溝１２ｙが設けられているため、凸部４５ｙが上面１２ｘに接着されず、凸部４５ｙと溝１２ｙとの間の空間を含むダンパ室４５が形成される。

なお、本実施形態のように凸部４５ｙが上面１２ｘに接着されない構成は、例えばインク粘度２～５ｃｐｓ、駆動周波数２５～３０ｋＨｚの場合に好適な構成である。

以上に述べたように、本実施形態によれば、ダンパ室４５を構成する凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に、凸部４５ｙが設けられている。この場合、接着剤塗布工程（図７（ａ））において、凸部４５ｙの先端面には接着剤Ａが付着し易い一方、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面の凸部４５ｙ以外の部分には接着剤Ａが付着し難い。これにより、予期せぬ部位に接着剤Ａが付着して所望のサイズのダンパ室を形成できないという問題を抑制できる。即ち、接着剤Ａが付着し易い凸部４５ｙをあえて設け、凹部（第１部分Ｐ１）の底面の凸部４５ｙ以外の部分には接着剤Ａが付着しないようにすることで、所望のサイズのダンパ室４５を形成でき、安定したダンパ性能を得ることができる。

凹部４５ｘは、図２に示すように、Ｚ方向に供給孔４７と重なる第１部分Ｐ１と、Ｚ方向に供給孔４７と重ならず共通流路７と重なる第２部分Ｐ２とを含む。第１部分Ｐ１の幅（Ｘ方向の長さ）Ｗ１は、第２部分Ｐ２の幅（Ｘ方向の長さ）Ｗ２よりも長い。この場合、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に凸部４５ｙが設けられていないと、接着剤塗布工程（図７（ａ））においてローラ９０をＹ方向に移動させるときに、ローラ９０の外周部９０ｂが凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）内に入り込み易く、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に接着剤Ａが付着する問題が特に生じ易くなる。本実施形態では、このように幅Ｗ１が比較的大きい場合において、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に凸部４５ｙを設け、間隔Ｓ１を小さくしたことで（Ｓ１＜Ｗ１）、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に接着剤Ａが付着し難く、上記問題を抑制できる。

供給孔４７に対して上側（Ｚ方向においてダンパ室４５と反対側）に、供給孔４７の流入口（フィルタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）が設けられている（図２及び図５参照）。この場合、流入口からのインクの流入により、供給孔４７内に高い圧力が生じるが、当該圧力をダンパ室４５により減衰させ、吐出に悪影響が出るのを抑制できる。また、このように高い圧力を減衰させる必要のあるダンパ室４５について、安定したダンパ性能が得られることで、高流量での吐出を実現できる。

スペーサプレート１２の上面１２ｘにおける凸部４５ｙとＺ方向に重なる部分に、溝１２ｙが設けられている（図５参照）。この場合、接着工程（図７（ｂ））において、凸部４５ｙをスペーサプレート１２に接着させないことができる。これにより、凸部４５ｙを含む凹部４５ｘ全体としてダンパ室４５のサイズを確保でき、高いダンパ性能を得ることができる。

溝１２ｙのＺ方向の深さＤ２は、凹部４５ｘのＺ方向の深さＤ１よりも深い（図５参照）。この場合、接着工程（図７（ｂ））において、プレート１２，１３がたわみ変形した場合でも、凸部４５ｙをスペーサプレート１２に接着させないことができる。これにより、より確実に、凸部４５ｙを含む凹部４５ｘ全体としてダンパ室４５のサイズを確保でき、高いダンパ性能を得ることができる。

スペーサプレート１２のＺ方向の厚みは、ダンパプレート１３のＺ方向の厚みよりも大きい（図５参照）。この場合、上記のように溝１２ｙが深い構成をより確実に実現できる。

溝１２ｙは、凸部４５ｙとＺ方向に重なる部分と、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面における凸部４５ｙ以外の部分とＺ方向に重なる部分とを含む（図６参照）。この場合、接着工程（図７（ｂ））において、プレート１２，１３間の位置ずれが生じた場合でも、凸部４５ｙをスペーサプレート１２に接着させないことができる。これにより、より確実に、凸部４５ｙを含む凹部４５ｘ全体としてダンパ室４５のサイズを確保でき、高いダンパ性能を得ることができる。

凹部４５ｘの底面に、複数の凸部４５ｙが設けられている（図６参照）。この場合、凹部４５ｘの底面の凸部４５ｙ以外の部分に接着剤Ａがより確実に付着し難くなる。これにより、より確実に、所望のサイズのダンパ室４５を形成でき、安定したダンパ性能を得ることができる。

凸部４５ｙと凹部４５ｘの側壁との間隔Ｓ１，Ｓ２（図６参照）は、１ｍｍ以下である。この場合、凹部４５ｘの底面の凸部４５ｙ以外の部分に接着剤Ａがより確実に付着し難くなる。これにより、より確実に、所望のサイズのダンパ室４５を形成でき、安定したダンパ性能を得ることができる。

凸部４５ｙは、Ｚ方向と直交する面において矩形状である（図６参照）。この場合、凸部４５ｙと凹部４５ｘの側壁との間隔Ｓ１，Ｓ２を一定にし易く、凹部４５ｘの底面の凸部４５ｙ以外の部分に接着剤Ａが付着し難い構成をより確実に実現できる。

接着剤塗布工程（図７（ａ））において、Ｚ方向と直交する面において凸部４５ｙが延びる方向（Ｘ方向）と直交する方向（転写方向Ｔ：図６参照）に、ローラ９０を移動させる。この場合、ダンパプレート１３の下面１３ｘとローラ９０の外周面９０ｘとの接触部において、凸部４５ｙとその周縁部（別の凸部４５ｙ、又は、凹部４５ｘの側壁）との間隔（本実施形態では、凸部４５ｙと凹部４５ｘの側壁とのＸ方向の間隔Ｓ１）が小さくなり、凹部４５ｘの底面の凸部４５ｙ以外の部分に接着剤Ａがより確実に付着し難くなる。これにより、より確実に、所望のサイズのダンパ室４５を形成でき、安定したダンパ性能を得ることができる。

＜第２実施形態＞
続いて、図８を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッドについて説明する。

第１実施形態（図７（ｂ））では、スペーサプレート１２の上面１２ｘに溝１２ｙが設けられており、ダンパプレート１３の凸部４５ｙが上面１２ｘに接着されない。これに対し、第２実施形態（図８）では、スペーサプレート１２の上面１２ｘに溝１２ｙが設けられておらず、ダンパプレート１３の凸部４５ｙが接着剤Ａを介して上面１２ｘに接着される。

なお、本実施形態のように凸部４５ｙが上面１２ｘに接着される構成は、例えばインク粘度４ｃｐｓ、駆動周波数２０～２５ｋＨｚの場合に好適な構成である。

本実施形態によれば、凸部４５ｙをスペーサプレート１２の上面１２ｘに接着させることで、所望のサイズのダンパ室４５を形成でき、安定したダンパ性能を得ることができる。

＜第３実施形態＞
続いて、図９を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッドについて説明する。

第１実施形態（図６）では、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に、複数の凸部４５ｙが設けられている。これに対し、第３実施形態（図９）では、凹部４５ｘ（第１部分Ｐ１）の底面に、１つの凸部４５ｙが設けられている。また、第３実施形態では、第２実施形態（図８）と同様、スペーサプレート１２の上面１２ｘに溝１２ｙが設けられておらず、ダンパプレート１３の凸部４５ｙが接着剤Ａを介して上面１２ｘに接着される。

本実施形態によれば、凸部４５ｙに接着剤Ａ（図８参照）を確実に付着させることができる。具体的には、複数の凸部４５ｙが設けられた場合、複数の凸部４５ｙのうちのいくつかに、接着剤Ａが付着しない場合があり得る。これに対し、本実施形態のように１つの凸部４５ｙが設けられた場合、当該凸部４５ｙに接着剤Ａを確実に付着させることができる。ひいては、より確実に、凸部４５ｙをスペーサプレート１２の上面１２ｘに接着させ、安定したダンパ性能を得ることができる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

凸部のサイズや位置は、ローラの外周部の弾性率、接着剤塗布工程でのローラの押圧力、必要とされるダンパ性能等によって決定されてよい。

凸部は、第２方向と直交する面において、矩形状に限定されず、台形状、円形状等であってもよい。

上述の実施形態（図６）では、複数の凸部が一方向（Ｙ方向）に配列されているが、複数の凸部が２方向にマトリクス状に配列されてもよい。

凸部の先端面は、第１プレートの第１面と同じレベルにあることに限定されない。例えば、上述の実施形態（図５）において、凸部４５ｙの高さは凹部４５ｘの深さＤ１と同じであり、凸部４５ｙの先端面はダンパプレート１３の下面１３ｘと同じレベルであるが、これに限定されず、凸部４５ｙの高さが凹部４５ｘの深さＤ１よりも小さく、凸部４５ｙの先端面が下面１３ｘよりも上方（凹部４５ｘの底面の近く）に位置してもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明は、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
７ 共通流路
１２ スペーサプレート（第２プレート）
１２ｘ 上面（第２面）
１２ｙ 溝
１３ ダンパプレート（第１プレート）
１３ｘ 下面（第１面）
３０ 個別流路
３５ ノズル
４５ ダンパ室
４５ｘ 凹部
４５ｙ 凸部
４７ 供給孔
９０ ローラ
９０ｘ 外周面
Ａ 接着剤
Ｐ１ 第１部分
Ｐ２ 第２部分
Ｘ 第３方向
Ｙ 第１方向
Ｚ 第２方向

Claims (14)

1. ノズルをそれぞれ含み、第１方向に配列された複数の個別流路と、
   前記複数の個別流路に連通し、前記第１方向に延びる共通流路と、
   前記共通流路に連通する供給孔と、
   前記第１方向と直交する第２方向に前記供給孔と重なる位置に設けられたダンパ室と、
   前記第２方向と直交する第１面であって前記ダンパ室を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、
   前記第１面に接着剤を介して接着された第２面を有する第２プレートと、を備え、
   前記凹部における前記第２方向に前記供給孔と重なる第１部分の底面に凸部が設けられたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記凹部は、前記第１部分と、前記第２方向に前記供給孔と重ならず前記共通流路と重なる第２部分とを含み、
   前記第１部分における前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向の長さは、前記第２部分における前記第３方向の長さよりも長いことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記供給孔に対して前記第２方向において前記ダンパ室と反対側に、前記供給孔の流入口が設けられたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２面における前記凸部と前記第２方向に重なる部分に、溝が設けられたことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記溝の前記第２方向の深さは、前記凹部の前記第２方向の深さよりも深いことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２プレートの前記第２方向の厚みは、前記第１プレートの前記第２方向の厚みよりも大きいことを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記溝は、前記凸部と前記第２方向に重なる部分と、前記底面における前記凸部以外の部分と前記第２方向に重なる部分とを含むことを特徴とする、請求項４～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記凸部が前記第２面に接着されたことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記凹部の前記底面に、１つの前記凸部が設けられたことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記凹部の前記底面に、複数の前記凸部が設けられたことを特徴とする、請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記凸部と前記凹部の側壁との間隔は、１ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記凸部は、前記第２方向と直交する面において矩形状であることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. ノズルをそれぞれ含み、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記複数の個別流路に連通し、前記第１方向に延びる共通流路と、前記共通流路に連通する供給孔と、前記第１方向と直交する第２方向に前記供給孔と重なる位置に設けられたダンパ室と、前記第２方向と直交する第１面であって前記ダンパ室を構成する凹部が形成された第１面を有する第１プレートと、前記第１面に接着された第２面を有する第２プレートと、を備え、前記凹部における前記第２方向に前記供給孔と重なる部分の底面に凸部が設けられた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    弾性を有するローラの外周面に接着剤を塗布し、前記外周面を前記第１面に押圧しつつ前記ローラを回転させることで、前記第１面に前記接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
    前記接着剤塗布工程の後、前記第１プレートと前記第２プレートとを積層し、前記接着剤を介して前記第１面に前記第２面を接着する接着工程と、
    を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記接着剤塗布工程において、前記第２方向と直交する面において前記凸部が延びる方向と直交する方向に前記ローラを移動させることを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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