JP5195206B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

インク吐出用のノズル口を複数備えるインクジェット式の記録ヘッドとして、圧力室形成板、コンプライアンス板、ノズルプレートの順序でこれら各板を積層してなる記録ヘッドが知られている。ノズルプレートは、複数のノズル口を一定方向に並べて形成しており、圧力室形成板は、複数のノズル口にそれぞれ連通する複数の圧力室を形成している。また圧力室形成板においては、各圧力室とそれぞれインク供給路を介して連通するリザーバと呼ばれる空間が、コンプライアンス板側が開口した状態（コンプライアンス板によって当該開口を塞がれた状態）で形成されている。リザーバに対しインクカートリッジ等から供給されたインクは、各圧力室へのインク供給路を通過して各圧力室に供給される。また、各圧力室の外側には、それぞれ圧電素子が設けられている。圧電素子に所定の駆動電圧が印加されて圧電素子が変形（伸張）すると、当該変形した圧電素子に対応する圧力室も変形（収縮）し、その結果、圧力室内のインクがノズル口から押し出されてインク滴（ドット）として吐出される。

インクカートリッジ等から供給されたインクは、各圧力室へ供給される前に一旦、上記リザーバに貯留される。このとき、リザーバへインクが大量に供給されるとリザーバ内に過剰な圧力がかかってしまい、その結果、圧力室にインクが過供給されて不要なドットの吐出（誤吐出）がなされる恐れがある。そこで上記コンプライアンス板は、リザーバに対応する範囲において、ノズルプレート側に凹部を形成することにより板厚を他の範囲の板厚より薄肉状としている。当該薄肉状の部分（薄肉部と呼ぶ。）は、リザーバにインクが供給されてリザーバ内の圧力が上昇した場合に、リザーバ内のインクに押されてノズルプレート側へ撓むことでリザーバ内の圧力を吸収し、上記のような誤吐出が発生することを防いでいる。

ここで、圧力室を有するベースプレートを金属製圧延板材にて形成し、且つ、その圧延方向を圧力室の長手方向と平行状としたインクジェットプリンタヘッドが知られている（特許文献１参照。）。
また、インク吐出用のノズルを有したノズルプレートとして、平面形状の長い方の外形寸法の方向が圧延方向と略直交している金属の圧延プレートを用いたインクジェット記録ヘッドが知られている（特許文献２参照。）。

特開２００５−４１０４７号公報 特開２００１−１０５５９５号公報

今日、上記のような記録ヘッドにおいては、ノズル数の増加による高密度化および製品の小型化が進んでいる。製品の小型化のためには、記録ヘッドを構成するコンプライアンス板などの各板を、従来よりも薄く形成する必要がある。しかしその一方で、上述した高密度化によって、リザーバに供給されるインク量自体は増加傾向にある。そのため、上記小型化のためにコンプライアンス板の板厚を薄くして上記薄肉部の剛性が低下してしまうと、リザーバ内で発生した圧力に応じて薄肉部が撓み過ぎ、その結果、撓んだ薄肉部の一部がノズルプレート側に接触する状況が発生し得る。このように薄肉部がノズルプレート側に接触する状況では、薄肉部は上記圧力を吸収する手段としての役割を果たせなくなってしまう。

また上記記録ヘッドを構成する各板は、それぞれが金属を圧延することで形成されているが、このように圧延された板は、その圧延方向と関連して一定の方向に反りやすいという性質がある。このような板の反りは、記録ヘッド全体の反りにつながる。記録ヘッドの反りは、例えば、ノズルプレートとドット吐出対象となる記録媒体との距離にノズル位置毎のばらつきを生じさせてしまうため、製品として不適切である。これは、インクを吐出するインクジェット式の記録ヘッド以外にもさまざまな液体噴射ヘッドに共通する課題である。

本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、リザーバに発生する圧力の増加による上記薄肉部の過剰な撓みを防止すると同時に、製品の小型化（薄型化）を促進し、かつ反りの発生を防ぐことが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドであって、圧延された金属からなり、上記複数のノズル口と連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバの壁面となる位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板とを備え、上記コンプライアンス板は、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延されており、上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されている構成としている。

本発明によれば、上記コンプライアンス板は上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延されているため、上記薄肉部の表面においては、金属を圧延したときに生じる微細な筋が上記短手方向に沿った状態で形成される。その結果、上記薄肉部が従来よりも撓みにくいものとなり、薄肉部の一部が他の部材に接触するといった事態も解消される。また、薄肉部が他の部材に接触する危険性が減った分、コンプライアンス板を更に薄くすることができる。また、コンプライアンス板の圧延方向とリザーバ板の圧延方向とが直交した関係にあるため、それぞれの板の反りが抑制されて、液体噴射ヘッド全体の反りが生じにくくなる。

上記液体噴射ヘッドは、圧延された金属からなり上記コンプライアンス板の上記リザーバ板と接する面と逆側の面に積層されるコンプライアンス隣接板を備え、当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延されているとしてもよい。当該構成によれば、コンプライアンス板を両側から挟むリザーバ板およびコンプライアンス隣接板の圧延方向が、それぞれコンプライアンス板の圧延方向と直交した関係になるため、より強固にコンプライアンス板（薄肉部を除く。）の反りが抑制され、液体噴射ヘッド全体の反りがより抑えられる。

上記コンプライアンス隣接板は、上記複数のノズル口を上記凹部の長手方向と平行に並べて形成したノズルプレートであるとしてもよい。当該構成によれば、ノズルプレートの表面に圧延によって生じた微細な筋は、ノズル口が並ぶ方向を向いた状況となる。よって、ノズル口周辺に固化した液体を除去する処理いわゆるワイピングを行なうときに、通常は所定のワイパーでノズルプレートの表面をノズル口の並ぶ方向に沿って掃くために、上記固化した液体のかすなどが上記筋に沿って掃き出される。

なお本発明にかかる技術的思想は、液体噴射ヘッドとしてではなく、液体噴射装置としても把握することができる。この場合、複数のノズル口から液体を噴射可能な液体噴射装置であって、圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバの壁面となる位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板とを備える液体噴射ヘッド部を有し、上記コンプライアンス板は、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延されており、上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されている構成とすることができる。また、上記液体噴射装置は、圧延された金属からなり、上記コンプライアンス板の上記リザーバ板と逆側の面に積層されるコンプライアンス隣接板を上記液体噴射ヘッド部に備え、当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延され、該圧延方向と平行な方向に上記複数のノズル口が形成され、さらに上記コンプライアンス隣接板の圧延方向と平行な方向にワイピングを行なうワイピング部を備える構成としてもよい。

上記液体噴射ヘッドの製造方法としても一つの発明を把握することができる。この場合、液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、圧延された金属からなる、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなる、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバに対応する位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板と、を積層する場合に、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延された上記コンプライアンス板と、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されたリザーバ板とを用いる構成とすることができる。ただし本願において、「平行」や「直交」はそれぞれバラツキを許容するものであり、数学的に厳密な意味での「平行」や「直交」だと言うわけではない。また本願においては、「積層」や「隣接」とは、直接接していることに限られず、間に接着剤等を挟んでいることも含まれる。

以下、本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射装置１０の概略構成を、ブロック図により示している。
本実施形態では、液体噴射装置１０はインクジェット式プリンタであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えた制御部１１と、ヘッド駆動部１２と、記録ヘッドユニット１３等を備え、制御部１１では、ＣＰＵがＲＯＭに書き込まれたプログラムに従って各部を制御する。

記録ヘッドユニット１３は、複数のインク色（例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）。）にそれぞれ対応する記録ヘッド１４（１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ）の集合体である。記録ヘッドユニット１３を構成する記録ヘッド１４の数や、記録ヘッド１４が対応するインク（液体）の種類は特に限られない。記録ヘッドユニット１３には、複数のインク色に対応するインクカートリッジ１５が搭載される。各記録ヘッド１４には複数のインクジェットノズル（単にノズルと呼ぶ。）が設けられているとともに、ノズルのそれぞれに対応して圧電素子（ピエゾ素子）が設けられている。記録ヘッドユニット１３および記録ヘッド１４は、本発明における液体噴射ヘッドに該当する。

制御部１１は、印刷対象となる画像を表すラスタデータに対応する印加電圧データを生成し、当該印加電圧データをヘッド駆動部１２に出力する。印加電圧データは、画素毎のドットのオン・オフを規定したデータである。ヘッド駆動部１２は、印加電圧データに基づいて、各記録ヘッド１４に内蔵された各ピエゾ素子への駆動電圧を生成するとともに、この生成した駆動電圧を記録ヘッド１４に供給することにより、記録ヘッド１４のノズルからドットを吐出させる。その結果、記録媒体にドットが着弾し、上記ラスタデータに対応する画像が印刷される。その他、液体噴射装置１０は、記録ヘッドユニット１３を搭載したキャリッジをガイドレールに沿って往復動させるキャリッジ機構や、紙送りローラによって記録媒体をキャリッジの往復動方向（主走査方向）と略直交する向き（紙送り方向）に所定の速度で搬送する紙送り機構や、外部のＰＣ等が備えるプリンタドライバから上記ラスタデータの送信を受付ける通信インターフェースなど（いずれも不図示。）、プリンタとして必要な公知の各種構成を備える。

図２は、一つの記録ヘッド１４の一部を分解斜視図により示しており、図３は、記録ヘッド１４の一部断面図を示している。以下の説明は、記録ヘッドについての説明であると同時に、記録ヘッドの製造方法についての説明でもある。
記録ヘッド１４は、複数の板状部材を接着剤で接着して積層することにより形成されており、上から順に、弾性板２０、圧力室形成板３０、コンプライアンス板４０、ノズルプレート５０とされている。ノズルプレート５０は、記録ヘッド１４の下面に対応し、複数のノズル口５１が所定ピッチで一定の方向に並ぶことにより、ある色のインクに対応したノズル列が形成されている。ノズル口５１が並ぶ方向（ノズル並び方向）は、上記主走査方向に対して略直交する方向である。ノズルプレート５０は、本発明におけるコンプライアンス隣接板に該当する。
コンプライアンス板４０は、複数のノズル口５１に対応する各位置に複数の連通孔４１を形成するとともに、ノズルプレート５０側に開口する縦断面略矩形の凹部４２を形成している。

圧力室形成板３０は、複数の連通孔４１に対応する各位置に複数の圧力室３１を形成している。各圧力室３１は、圧力室形成板３０の上下に開口した空間である。各圧力室３１は、所定ピッチにてノズル並び方向に並んで形成されている。また圧力室形成板３０には、リザーバ３３が形成されており、リザーバ３３は圧力室３１毎に対応するインク供給路３２を介して各圧力室３１と夫々連通している。インク供給路３２は、コンプライアンス板４０側に開口した凹部である。リザーバ３３は、コンプライアンス板４０側に開口した凹部であり、ノズル並び方向を長手とし、ノズル並び方向に直交する方向を短手としている。

インク供給路３２は、リザーバ３３の短手方向を向いてリザーバ３３と圧力室３１とを接続している。各圧力室３１は、連通孔４１に対応する箇所を除いて、コンプライアンス板４０によって塞がれている。また、各インク供給路３２およびリザーバ３３は、コンプライアンス板４０によって塞がれている。このように、リザーバ３３を形成する点で、圧力室形成板３０は本発明におけるリザーバ板の一種に該当する。

各圧力室３１の上側の開口を塞ぐ弾性板２０の上側には、上下を電極６１，６２に挟まれたピエゾ素子６０が、各圧力室３１に対応する各所定位置に複数設けられている。かかる構成において、リザーバ３３に対して上記インクカートリッジ１５から図示しない供給路を介してインクが供給され、その結果、各圧力室３１にインクが供給される。ピエゾ素子６０の電極６１，６２には上記駆動電圧が印加されてピエゾ素子６０が変形し、当該変形したピエゾ素子６０に対応する圧力室３１も変形し、対応するノズル口５１からドットが記録ヘッド１４の下方へ吐出される。

凹部４２は、リザーバ３３の下方位置において、リザーバ３３の面積（水平断面積）と略一致した範囲に形成されている。従って、凹部４２の長手方向、短手方向は、リザーバ３３の長手方向、短手方向と一致する。リザーバ３３と凹部４２とを隔てる（リザーバ３３を塞ぐ）コンプライアンス板４０の薄肉部４３（コンプライアンス部とも言う。）は、上述したように、リザーバ３３にインクが供給されてリザーバ３３内の圧力が上昇した場合に、ノズルプレート５０側へ膨らむように撓む（図３中の鎖線参照。）ことで、リザーバ３３内の圧力を吸収する。

本実施形態においては、記録ヘッド１４を構成する各部材のうち少なくとも圧力室形成板３０、コンプライアンス板４０、ノズルプレート５０については、金属を圧延して生成した金属板を用いて形成している。また、上記各種の凹部や貫通孔は、エッチング等によって形成される。ここで、金属を一つの方向に圧延すると、生成された金属板の表面には圧延方向に沿って圧延痕が生じる。当該圧延痕は、微細な筋となって表れ、この筋は圧延方向に沿って延伸した状態となる。つまり、圧延方向に直交する方向における金属板の断面を見た場合、圧延された表面には上記筋による微細な凸凹が生じた状態となっている。このように金属板の表面に生じた筋は梁の役割を果たす。そのため、圧延された金属板は、圧延方向においては撓みにくく（反りにくく）、圧延方向と直交する方向においては撓みやすい（反りやすい）性質を有することになる。

そこで本実施形態では、図２にも示したように、コンプライアンス板４０の圧延方向を、凹部４２の短手方向と略平行としている。言い換えると、コンプライアンス板４０を生成する場合には、その金属板の圧延方向と略直交する方向が凹部４２の長手方向（ノズル並び方向）となるように、凹部４２および連通孔４１を形成する。その結果、薄肉部４３を含むコンプライアンス板４０の表面には、凹部４２の短手方向に沿って上記筋が形成された状態となる。

図４は、薄肉部４３の表面を例示している。同図では、コンプライアンス板４０から薄肉部４３に対応する略矩形の範囲だけを切り取った状態を示している。薄肉部４３の表面には、薄肉部４３の短手方向（凹部４２の短手方向）に沿って筋Ｓが何本も形成されている。なお、実際には筋Ｓは肉眼で確認できないほどの微細な痕である場合が多い。

また本実施形態では、図２にも示したように、圧力室形成板３０の圧延方向を、コンプライアンス板４０の圧延方向と略直交する方向としている。言い換えると、圧力室形成板３０を生成する場合には、その金属板の圧延方向に対してリザーバ３３の長手方向が略平行になるように、リザーバ３３や、圧力室３１や、インク供給路３２を形成する。その結果、圧力室形成板３０の表面には、リザーバ３３の長手方向と略平行な方向に沿って上記筋が形成された状態となる。

このように本実施形態によれば、薄肉部４３には、凹部４２の短手方向に沿った複数の筋（梁）が形成される。そのため、薄肉部４３は、凹部４２の短手方向においては剛性が非常に強まり撓みにくく、また凹部４２の長手方向においても、薄肉部４３上で短く且つ多い（薄肉部４３上での梁が凹部４２の長手方向を向いている場合よりも短く、且つ本数が多い）梁の影響を受けて撓みが大きく抑制され、結果、薄肉部４３全体として従来よりも撓み難くなる。そのため、記録ヘッド１４のノズルの高密度化によりリザーバ３３へのインク供給量が増加し、さらに小型化の要請によりコンプライアンス板４０の薄型化を進めても、薄肉部４３が凹部４２の深さを越えて過剰に撓んでノズルプレート５０に接触してしまう、といった不都合が防止される。

また、接し合うコンプライアンス板４０と圧力室形成板３０との各圧延方向が、略直交するようにした。そのため、コンプライアンス板４０と圧力室形成板３０とが互いの反りを抑制し合い、記録ヘッド１４全体として製品に反りが生じにくくなる。その結果、記録ヘッド１４の反りに起因する、ノズルプレート５０と記録媒体との距離のノズル口５１の位置毎のばらつき等が減り、高品質の製品を提供することが可能となる。

圧延方向を規定する対象は、コンプライアンス板４０と圧力室形成板３０だけに限られない。例えば、ノズルプレート５０についても圧延方向を限定してもよく、この場合、ノズルプレート５０の圧延方向をノズル並び方向に対して略平行とする。言い換えると、ノズルプレート５０を生成する場合には、その金属板の圧延方向と略平行な方向がノズル並び方向となるように複数のノズル口５１を形成する。この結果、コンプライアンス板４０を挟む圧力室形成板３０およびノズルプレート５０の圧延方向が略一致し、薄肉部４３以外のコンプライアンス板４０の反りが強固に抑制され、その結果、記録ヘッド１４の反りが防止される。
このようにノズルプレート５０の圧延方向をノズル並び方向に対して略平行とした場合、更に以下のような効果が生じる。

図５は、ノズルプレート５０のインク吐出面５２の一部を斜視図により表している。インク吐出面５２は記録媒体と相対する面であり、通常は下を向いているが、同図では説明の便宜上、上を向いた状態で図示している。記録ヘッド１４の使用を繰り返すと、ノズル口５１の周囲に微量のインクかすＤ（鎖線）が固化して残ることがある。固化したインクかすＤはノズル口５１から吐出するドットに飛行曲がりなどの悪影響を及ぼすため、液体噴射装置１０ではこのようなインクかすＤを除去するワイピングを、例えば定期的に行なう。

ワイピングでは、例えば図６に示すように、インク吐出面５２を所定の柔らかさを持った素材で形成されたワイパー１００で一定方向に撫でることで、インクかすＤを除去する。プリンタとしての液体噴射装置１０は、ワイパー１００およびワイパー１００を駆動するための駆動機構を備えており、制御部１１が当該駆動機構を制御してワイピングを行なう。ワイパー１００と、ワイパー１００を駆動する駆動機構と、駆動機構を制御する制御部１１とからなる構成をワイピング部と呼ぶ。ワイパー１００の移動方向（ワイピング方向）は通常、ノズル並び方向に沿って行なわれる。従って、ノズルプレート５０の圧延方向がノズル並び方向に略平行であれば、インク吐出面５２の圧延痕（筋）が向く方向と、ワイピング方向とが略平行となる。仮に、インク吐出面５２の筋とワイピング方向とが交差する場合には、ワイパー１００で掃かれたインクかすＤが途中の筋と筋との間に溜まり、ひいては当該筋と筋の間が滞留したインクかすＤで盛り上がってしまう状態が起こり得る。しかし、上記のようにインク吐出面５２の筋の方向とワイピング方向とを合わせることで、そのようなインクかすＤの滞留が防止され、インクかすＤがインク吐出面５２の筋に沿って的確に掃き出されることになる。

なお上記では、液体噴射ヘッドや液体噴射装置を、インクを記録媒体に噴射して印刷を行なうためのものとして説明を行なった。しかし本発明の構成は、インクに限らず液体を任意の対象に噴射するための装置であれば、カラーフィルタの製造に用いる色材噴射装置や、バイオチップ製造に用いられる有機物質噴射装置などのあらゆる装置に対して適用可能である。また上記では、液体噴射ヘッドは、圧電素子（ピエゾ素子６０）を用いて液体吐出を行なうとしたが、圧電素子以外にも、発熱素子など、液体に対する様々な圧力発生手段を用いることが可能である。

液体噴射装置の一例について概略構成を示したブロック図である。 記録ヘッドの一部分解斜視図である。 記録ヘッドの一部断面図である。 薄肉部の表面を示した図である。 ノズル吐出面の一部を示した斜視図である。 ノズル吐出面をワイピングする様子を示した図である。

符号の説明

１０…液体噴射装置、１１…制御部、１２…ヘッド駆動部、１３…記録ヘッドユニット、１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…記録ヘッド、１５…インクカートリッジ、３０…圧力室形成板（リザーバ板）、３１…圧力室、３２…インク供給路、３３…リザーバ、４０…コンプライアンス板、４２…凹部、４３…薄肉部、５０…ノズルプレート、５１…ノズル口、５２…ノズル吐出面、６０…ピエゾ素子、６１，６２…電極、１００…ワイパー。

Claims (6)

1. 液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドであって、
   圧延された金属からなり、上記複数のノズル口と連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、
   圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバの壁面となる位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板とを備え、
   上記コンプライアンス板は、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延されており、
   上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 圧延された金属からなり、上記コンプライアンス板の上記リザーバ板と接する面と逆側の面に積層されるコンプライアンス隣接板を備え、当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 上記コンプライアンス隣接板は、上記複数のノズル口を上記凹部の長手方向と平行に並べて形成したノズルプレートであることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 複数のノズル口から液体を噴射可能な液体噴射装置であって、
   圧延された金属からなり、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、
   圧延された金属からなり、上記リザーバ板に積層されるとともに、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバの壁面となる位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板とを備える液体噴射ヘッド部を有し、
   上記コンプライアンス板は、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延されており、
   上記リザーバ板は、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されていることを特徴とする液体噴射装置。
5. 圧延された金属からなり、上記コンプライアンス板の上記リザーバ板と逆側の面に積層されるコンプライアンス隣接板を上記液体噴射ヘッド部に備え、
   当該コンプライアンス隣接板は、上記リザーバ板の圧延方向と平行な方向に圧延され、該圧延方向と平行な方向に上記複数のノズル口が形成され、
   さらに上記コンプライアンス隣接板の圧延方向と平行な方向にワイピングを行なうワイピング部を備えていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
6. 液体噴射用のノズル口を複数備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   圧延された金属からなる、上記複数のノズル口へ連通する液体リザーバを形成するリザーバ板と、圧延された金属からなる、液体リザーバに相対する面と逆側の面に凹部を形成することにより、液体リザーバの壁面となる位置に薄肉部を形成したコンプライアンス板と、を積層する場合に、上記凹部の短手方向と平行な方向に圧延された上記コンプライアンス板と、上記コンプライアンス板の圧延方向と直交する方向に圧延されたリザーバ板とを用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

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