JP4157481B2 - 現像方法 - Google Patents
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- G03D5/00—Liquid processing apparatus in which no immersion is effected; Washing apparatus in which no immersion is effected
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Description
12:カップ
14:現像溶液ノズル
15:洗浄溶液ノズル
16:抜気通路
17:洗浄溶液ノズル
Claims (4)
- チャックとノズルと溝とを具えたコーチング装置に応用される現像方法であって、露出フォトレジストを具えたウエファを前記コーチング装置のチャック上に配置し、前記ウエファの表面上に現像溶液をコーチングし、前記ウエファが低速で回転されかつ前記コーチング装置が抜気されているときに前記現像溶液の水壁を前記ウエファの下面と前記溝の外側壁との間に形成し、前記ウエファの上下面を前記ノズルにより洗浄し、前記ウエファの上面の洗浄を止めるとともに特定時間に亘って前記ウエファの下面の洗浄は続け、これにより前記ウエファの下面上に残っている汚れを除くことを特徴とする現像方法。
- 前記ウエファを回転するに際して、前記ウエファの回転速度を増加させることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ウエファの下面に対する前記ノズルの入射角が実質的に90度未満であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ウエファの下面洗浄を続ける特定時間が少なくとも5秒であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
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