JP2007081291A - ウエハ洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1の回転速度でウエハ11を回転させつつウエハ11の表面に洗浄液を供給するステップと、第2の回転速度でウエハ11を回転させつつウエハ11の表面にリンス液を供給するステップと、前記ウエハの回転を停止し、又は、第1及び第2の回転速度よりも遅い第3の回転速度でウエハ11を回転させつつ、ウエハ11の表面の中心部にリンス液を供給し、中心部にリンス液を滞留させるステップと、ウエハ11を第1及び第2の回転速度よりも速い第4の回転速度で回転させ、中心部に滞留したリンス液を飛散させるステップとをこの順に有する。
【選択図】 図1
Description
第2の回転速度で前記ウエハを回転させつつ該ウエハの表面にリンス液を供給するステップと、
前記ウエハの回転を停止し、又は、前記第1及び第2の回転速度よりも遅い第3の回転速度で前記ウエハを回転させつつ、該ウエハの表面の中心部にリンス液を供給し、該中心部にリンス液を滞留させるステップと、
前記ウエハを前記第1及び第2の回転速度よりも速い第4の回転速度で回転させ、前記中心部に滞留したリンス液を飛散させるステップとをこの順に有することを特徴とする。
11:ウエハ
12:ステージ
13:遮蔽板
14:ガード
14a:ガードの庇部
15:洗浄液噴出用ノズル
16:リンス液噴出用ノズル
17:超音波流量計
18:回転数コントローラ
Claims (7)
- 第1の回転速度でウエハを回転させつつ該ウエハの表面に洗浄液を供給するステップと、
第2の回転速度で前記ウエハを回転させつつ該ウエハの表面にリンス液を供給するステップと、
前記ウエハの回転を停止し、又は、前記第1及び第2の回転速度よりも遅い第3の回転速度で前記ウエハを回転させつつ、該ウエハの表面の中心部にリンス液を供給し、該中心部にリンス液を滞留させるステップと、
前記ウエハを前記第1及び第2の回転速度よりも速い第4の回転速度で回転させ、前記中心部に滞留したリンス液を飛散させるステップとをこの順に有することを特徴とするウエハ洗浄方法。 - 前記第1の回転速度と前記第2の回転速度とが実質的に同じ回転速度である、請求項1に記載のウエハ洗浄方法。
- 前記第3の回転速度が0rpm以上10rpm以下である、請求項1又は2に記載のウエハ洗浄方法。
- 前記リンス液の滞留ステップでは、170ml以上の量のリンス液を滞留させる、請求項1〜3の何れか一に記載のウエハ洗浄方法。
- 前記第4の回転速度が、700rpm以上である、請求項1〜4の何れか一に記載のウエハ洗浄方法。
- 前記リンス液の供給ステップでは、前記リンス液が、前記ウエハの中心部の斜め上方に配設されたノズルから供給される、請求項1〜5の何れか一に記載のウエハ洗浄方法。
- 前記リンス液の飛散ステップでは、前記ウエハの周囲をガードで囲み、前記ウエハの回転によって飛散するリンス液を含むガスを、前記ウエハの裏面側に向けて排気する、請求項1〜6の何れか一に記載のウエハ洗浄方法。
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