JP4115084B2 - 半導体装置及びリチウムイオン電池パック - Google Patents

半導体装置及びリチウムイオン電池パック Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はリチウムイオン二次電池(リチウムイオン電池という)用の保護回路などに用いるのに適した半導体装置と、その半導体装置をスイッチ回路内蔵の保護回路として備えたリチウムイオン電池パックに関するものである。
リチウムイオン電池は充電が可能な乾電池であり、携帯電話その他の携帯機器の電源として利用されている。
【0002】
【従来の技術】
携帯電話やノート型パーソナルコンピュータなどの携帯機器には、電源として充電可能なリチウムイオン電池が搭載されている。リチウムイオン電池は、定電流定電圧で充電が行われるが、充電が進むにつれて電圧が上昇しつづけ、過充電状態になるとガスが発生したり、内部ショートを起こす可能性がある。そのため、常に電池の電圧を監視し、電池の電圧が所定の電圧以上になると充電を停止するように制御している。
【0003】
また、放電に際しても一定電圧以下にまで放電してしまうと、サイクル寿命などの特性が劣化したり、再度充電したときにショートを起こしたすることがあるため、過放電に対しても電池の電圧を監視し、電池の電圧が所定の電圧以下になると放電を停止するように制御している。
【0004】
そのためリチウムイオン電池を備えた電池パック内には、充放電を制御する制御回路とスイッチ回路含む保護回路を備えている。このスイッチ回路は、例えば携帯電話のように充電中でも着信や画面表示が必要であり、放電しきった時の再充電が必要である。このため、充電中でも放電が、また放電完了時でも充電が可能である必要がある。
【0005】
図4は過充電と過放電を共に保護する保護回路の一例を示したものである(「電子技術」誌1999年11月号43〜46頁参照)。
2は過充電と過放電とから電池を保護するためのスイッチ回路であり、2つのMOSトランジスタ4a,4bと、それぞれに並列に挿入されたダイオード6a,6bとを備えている。一方の端子8aにはリチウムイオン電池10−極側が接続され、他方の端子8bには負荷12又はさらに充電器の−極側が接続される。電池10の+極側は負荷12又はさらに充電器の+極側と接続される。MOSトランジスタ4a,4bのゲート電極には制御回路14から過充電と過放電を制御するための制御信号が印加される。この例では充電電流は矢印で示されるように右方向に流れ、放電電流は左方向に流れる。
【0006】
充電の際は、充電器が負荷12に並列に接続される。充電電流は充電器の+極から電池10を通り、ダイオード6aからMOSトランジスタ4bを通って充電器の−極へと流れる。過充電状態になると制御回路14からMOSトランジスタ4bをオフにする制御電圧が印加されて充電が停止される。充電中でも電池10の+極から負荷12を通り、ダイオード6bからMOSトランジスタ4aを通って放電電流は流れることができ、負荷を作動させることができる。
また、放電が過放電状態になると、制御回路14からMOSトランジスタ4aをオフにする制御電圧が印加されて放電が停止させられる。
【0007】
このような保護回路に用いるスイッチ回路は、抵抗が高いと電池消耗に直結するので、充電電圧に耐え、かつ抵抗値の低いトランジスタとして、図5に示されるように、2つの個別のNチャネル型DMOSトランジスタ(二重拡散MOSトランジスタ)を使っている。2つのDMOSトランジスタ2aと2bは同じ構造であり、ドレインとなるN型シリコン基板20にP型拡散層22が形成され、その拡散層22内にソースとなるN型拡散層24が形成されて、拡散層24と基板20の間の拡散層22がチャネル領域となっている。チャネル領域上にはゲート酸化膜を介してゲート電極26が形成されている。
【0008】
MOSトランジスタ2aではソース24と拡散層22が短絡されて端子Bとなり、リチウムイオン電池側に接続される。一方MOSトランジスタ2bでも同様にしてソース24と拡散層22が短絡されて端子Eとなり負荷側又はさらに充電器側に接続される。ダイオード6a,6bは拡散層22と基板20の間のPN接合により形成される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
これらのMOSトランジスタ2a,2bはP型拡散層22とN型基板20で形成される寄生PNダイオードがダイオード6a,6bとなって好都合であるが、チップを2個実装させるため、面積が大きくなる点と実装コストアップとなる問題があった。
更に、コストダウンの要求により、このスイッチ回路2を制御回路14の半導体チップ内部へ搭載したいが、このままでは不可能であった。
【0010】
そこで、本発明の第1の目的は、従来2個の個別MOSトランジスタで構成されていた保護回路のスイッチ回路を単一のMOSデバイスとすることにより小型にすると共に実装コストを低下させることである。
本発明の第2の目的は、そのスイッチ回路を制御回路と同一の半導体チップに形成することにより更にコスト低下を図ることである。
本発明の第3の目的は、そのような保護回路を備えてリチウムイオン電池パックのコスト低下を図ることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の目的は、請求項1の半導体装置により達成することができる。すなわち、本発明の半導体装置は、半導体基板のドレインとなるN型ウエル拡散層内に互いに分離した2つのP型拡散層が形成され、それらの各P型拡散層内にそれぞれソースとなるN型拡散層が形成されて、それぞれのソース拡散層と前記ウエル拡散層との間のP型拡散層領域をチャネル領域としており、各チャネル領域上にはゲート絶縁膜を介して互いに分離されたそれぞれのゲート電極が形成されて、ドレイン拡散層を共通とする2つのNチャネルDMOSトランジスタが構成されているMOSデバイスを備えたものである。
【0012】
このように、1つのウエル拡散層を共通のドレインとして2つのNチャネル型LDMOSトランジスタ(横型DMOSトランジスタ)を含んだ単一のMOSデバイスを形成し、2つのDMOSトランジスタのゲート電極を別々に制御できるようにして、そのMOSデバイスを保護回路のスイッチ回路とすることにより、保護回路が小型になると共に実装コストが低下する。
【0013】
このMOSデバイスにおいては、寄生PNダイオード以外に、チャネル拡散となるP型拡散層領域とその間にあるN型ウエル拡散層で構成される寄生PNPバイポーラトランジスタが存在する。その寄生PNPバイポーラトランジスタのベースとなるN型ウエル拡散層が開放(どこにも接続されていない)状態の場合には、チャネル拡散層の耐圧はバイポーラトランジスタのベース開放状態の耐圧と同じとなり、約1/2から1/3に低下する。これは、寄生バイポーラ構造のhFE(電流増幅率)に関連するパラメータである。
【0014】
チャネル拡散層の耐圧を上げるにはチャネルとなる互いのP型拡散層の距離を離すことが考えられるが、それでは微細化が困難となり、小さな面積で抵抗値の低いスイッチ回路とすることに支障が出る。
そこで本発明の半導体装置では、チャネル拡散層の耐圧を上げる方法として、両P型拡散層とN型ウエル拡散層との間に接続され、そのN型ウエル拡散層をそれらのP型拡散層のうちの高電圧側のP型拡散層に接続する電圧判定回路をさらに備えた。
さらに、2つのチャネル領域間のウエル拡散層にそのウエル拡散層よりも高濃度のN型拡散層を形成するようにしてもよい(請求項2)。これにより、2つのチャネル領域間を離す距離を小さくすることができる。
【0015】
本発明の半導体装置で、ドレインとなるN型ウエル拡散層を共用する構造では別の電圧がかかるチャンネル拡散層間でPNP寄生バイポーラトランジスタが形成されるが、ドレインとなるN型ウエル拡散層の電圧を高電圧側のソース(P型拡散層)電圧と同じ電圧にすることにより、寄生バイポーラトランジスタのベース電圧とエミッタ電圧が同じになるため、バイポーラトランジスタの動作がなくなる。そのため、2つのチャネル領域間を離す距離は、ドレインとなるN型ウエル拡散層とP型チャンネル拡散領域との接合での逆方向電圧印加の空乏層距離の広がり幅の距離マージンでよいこととなる。
【0016】
この結果、例えば、ドレインとなるN型ウエル拡散層の濃度を1×1016/cm3程度の濃度にした場合、30V程度の印加電圧であれば、2つのチャネル領域間を離す距離は3μm程度でよく、非常に微細化が可能となる。さらに、寄生バイポーラトランジスタのベース部分にドレインとなるN型ウエル拡散層よりも濃度の濃いN型拡散層を配置することにより、逆方向電圧印加時の空乏層の伸びが減少し、2つのチャネル領域間を離す距離はさらに縮小することができ、また寄生バイポーラトランジスタのベースとエミッタ電位を同じ電圧にしやすくなる。
【0017】
保護回路のスイッチ回路とするために、このMOSデバイスの2つのNチャネルDMOSトランジスタのそれぞれにおいてソース拡散層とP型拡散層とを短絡させてそれぞれの端子とし、それぞれのDMOSトランジスタのゲート電極にそれぞれの制御電圧を印加して各DMOSトランジスタを独立して制御するようにする。
【0018】
本発明ではスイッチ回路をウエルに形成し、基板から独立にしたことにより、制御回路と共に共通の半導体チップに搭載できるようになった。そして、本発明の第2の目的は、スイッチ回路としたこのMOSデバイスを制御回路とともに共通の半導体チップに搭載し、このMOSデバイスの両端子をリチウムイオン電池と負荷又はさらに充電器との間に接続されるものとし、一方のDMOSトランジスタのゲート電極にはその制御回路から過充電時にこのDMOSトランジスタをオフにする信号が制御信号として印加され、他方のDMOSトランジスタのゲート電極にはその制御回路から過放電時にこのDMOSトランジスタをオフにする信号が制御信号として印加されてリチウムイオン電池保護回路を構成することにより達成される。
【0019】
本発明の第3の目的は、リチウムイオン電池と、保護回路としての本発明の半導体装置とを組み合わせたリチウムイオン電池パックとすることにより達成することができる。
【0020】
【実施例】
図1はスイッチ回路を構成するMOSデバイスの一実施例を示したものである。(A)は装置の断面図、(B)はその等価回路図である。
P型シリコン基板30にドレインとなるN型ウエル拡散層32が形成されており、そのウエル拡散層32内に互いに分離した2つのP型拡散層34aと34bが形成されている。各P型拡散層34a,34b内にはそれぞれソースとなるN型拡散層36a,36bが形成されている。ウエル拡散層32とそれぞれのソース拡散層36a,36bの間のP型拡散層領域34a,34bがチャネル領域38a,38bとなっている。各チャネル領域38a,38b上にはゲート絶縁膜を介してそれぞれのゲート電極40a,40bが形成されて、ドレイン拡散層を共通とする2つのNチャネルDMOSトランジスタが構成されている。41は素子分離用フィールド酸化膜である。
【0021】
等価回路(B)における2つのMOSトランジスタ42a,42bは、装置図(A)の左右の2つのDMOSトランジスタに対応したものである。それぞれのMOSトランジスタのソース拡散層36a,36bとP型拡散層34a,34bが短絡していることにより、P型拡散層34a,34bとN型ウエル32の間のPN接合による2つのダイオード44a,44bがそれぞれのMOSトランジスタ42a,42bに並列に形成されている。
【0022】
また、2つのP型拡散層34a,34bとN型ウエル32の間には寄生PNPトランジスタ46が形成されている。
この寄生バイポーラトランジスタ46が形成されることにより、2つのP型拡散層34a,34bの間の耐圧が低下するのを防ぐための1つの方法として、図1(A)に破線で示されるように、高濃度のN型拡散層33を形成してもよい。
P型シリコン基板30を接地して使用すれば、このスイッチ回路部分はこの領域部分のみで動作できるために、同じ基板30の他の部分に別の回路を形成することが可能となる。
【0023】
図2には図1の実施例のMOSデバイスをスイッチ回路として備えた保護回路の一実施例を示す。鎖線で囲まれた領域50が1つの半導体チップ内に形成された保護回路用のLSI(大規模集積回路)である。
図1の実施例のスイッチ回路としてのMOSデバイスは、破線の円で囲まれた領域48内に示されている。リチウムイオン電池52は+電極側がVDD端子54に接続され、−電極側がVSS端子56に接続される。また、携帯電話などの負荷58はVDD端子54とV−端子60の間に接続される。充電するときは、充電器もVDD端子54とV−端子60の間に接続される。
【0024】
図1示したスイッチ回路は、MOSトランジスタ42a側の端子BがVSS端子56に接続され、MOSトランジスタ42b側の端子EがV−端子60に接続されている。MOSトランジスタ42aが放電用MOSトランジスタ、MOSトランジスタ42bが充電用MOSトランジスタである。
【0025】
電池52の電圧を常に監視するために、VDD端子54とVSS端子56の間には過充電検知回路62が設けられており、過充電検知回路62は電池52の電圧が設定電圧以上になるとレベルシフト回路64を介してMOSトランジスタ42bのゲート電極に制御電圧を供給し、MOSトランジスタ42bをオフとする。レベルシフト回路64は充電用MOSトランジスタ42bをオフにするために、MOSトランジスタ42bのゲート電極に供給する制御電圧の電位を充電器に接続されているMOSトランジスタ42bのソース電位と同じ電位にすめためのものである。過充電検知回路62につながるCT端子66は遅延用コンデンサを外付けするための端子であり、過充電を検出するときの遅延時間を設定するためのものである。この遅延時間は、ノイズなどにより誤動作が起こるのを防ぐためのものである。
【0026】
さらに、VDD端子54とVSS端子56の間には過放電を検知するための過放電検知回路68が設けられている。遅延回路70は負荷変動などによる瞬間的な電圧変動で誤動作しないように遅延時間を設定するものであり、過放電検知回路68が電池52の電圧が設定電圧以下に低下して過放電であることを検知したときに、その遅延回路70を経て設定された遅延時間の後に、MOSトランジスタ42aのゲート電極に制御電圧を供給し、MOSトランジスタ42aをオフにする。
制御回路は過充電検知回路62、レベルシフト回路64、過放電検知回路68及び遅延回路70を含んでいる。
【0027】
図2の保護回路において、充電電流は充電器から電池52を通り、スイッチ回路のダイオード44aからMOSトランジスタ42bを経て矢印で示されるように右方向に流れる。過充電状態になると、過充電検知回路62からの信号によりレベルシフト回路64を経てMOSトランジスタ42bに制御信号が供給されて充電用MOSトランジスタ42bがオフになる。充電の際にも放電電流は、電池52から負荷58を通り、スイッチ回路のダイオード44bから放電用MOSトランジスタ42aを経て矢印で示されるように左方向に流れることができる。
一方、過放電状態になると、過放電検知回路68から遅延回路70を経てMOSトランジスタ42aのゲート電極に制御電圧が供給され、放電用MOSトランジスタ42aがオフになって放電が停止させられる。
【0028】
図2の実施例では、寄生バイポーラトランジスタ46が形成されることにより、2つのP型拡散層34a,34bの間の耐圧が低下するのを防ぐための他の方法として、両P型拡散層34a,34bとN型ウエル拡散層32との間に接続され、そのN型ウエル拡散層32をそれらのP型拡散層のうちの高電圧側のP型拡散層に接続する電圧判定回路72を備えている。電圧判定回路72はP型拡散層34aの電圧を検知するためにVSS端子56に接続され、P型拡散層34bの電圧を検知するためにV−端子60に接続されている。
【0029】
充電時はV−端子60よりもVSS端子56の方が高電圧になるため、N型ウエル拡散層32をVSS端子56に接続して寄生バイポーラトランジスタ46がオンになるのを阻止する。
充電を行なわずに放電のみを行なっているときは、VSS端子56よりもV−端子60の方が高電圧になるため、N型ウエル拡散層32をV−端子60に接続して寄生バイポーラトランジスタ46がオンになるのを阻止する。
【0030】
図2の実施例ではスイッチ回路48が制御回路及び電圧判定回路72と共に1つの半導体チップ内に形成されて保護回路50を形成している。
保護回路50をN型シリコン基板に形成するときは、図1に示されたP型基板30の領域をP型ウエルとすればよい。また、P型シリコン基板を使用するときは、他の回路もウエル内に形成するようにすればよい。
【0031】
次に、図3により図1の実施例を製造する方法を説明する。
(A)P型シリコン基板30(抵抗率20Ωcm)にリンを150KeVのエネルギーで5×1012/cm2程度注入し、その後1180℃で8時間程度の熱処理をしてN型ウエル拡散層32を形成する。
(B)そのNウエル拡散領域32を活性化領域とするように、LOCOS酸化法でそれ以外の部分に厚さが800nm程度のフィールド酸化膜41を形成する。
【0032】
(C)活性化領域にゲート酸化膜を25nm程度の厚さに形成し、その上にポリシリコン層を約500nmの厚さに堆積し、リン堆積やリン注入によりそのポリシリコン層の抵抗を約100Ω/□以下に下げる。そのポリシリコン層を写真製版とエッチングによりパターン化して互いに離れた2つのゲート電極40a,40bに仕上げる。
【0033】
(D)写真製版にて注入する場所を限定した後、ポリシリコン電極40a,40bをマスクとしてソース領域になる部分にボロンを30KeVのエネルギーで3×1013/cm2程度の注入する。34はボロンが注入された領域である。
また、2つのP型拡散層の間の耐圧が低下するのを防ぐために図1(A)に示されるように高濃度のN型拡散層33を配置する場合には、ゲート電極40aと40bの間にリンを注入する。このリンの注入は、ゲート電極端から導入する場合には100KeVのエネルギーで5×1012/cm2程度の注入とし、ゲート電極端より1μm以上離して注入する場合には100KeVのエネルギーで5×1013/cm2程度の注入とする。
【0034】
(E)1100℃で3時間程度の熱拡散を行ない、これらの拡散層を所定の深さにする。
(F)ソース領域となる部分に写真製版で注入領域を限定し、ゲート電極40a,40bをマスクとしてN型ソース用にヒ素を50KeVのエネルギーで6×1015/cm2を注入し、その後の熱処理を経てソース拡散層36a,36bとする。
【0035】
【発明の効果】
請求項1の半導体装置においては、ゲート電極を別々の電圧で制御できるようにして、同じドレイン領域を共用している。そのため、従来のように2個の個別トランジスタを使うものに比べてチップ面積が縮小されて小型になると共に実装コストが低下する。
さらに、両P型拡散層とN型ウエル拡散層との間に接続され、そのN型ウエル拡散層をそれらのP型拡散層のうちの高電圧側のP型拡散層に接続する電圧判定回路を備えている。これにより、寄生バイポーラトランジスタがオンとなるのを抑えることができ、2つのチャネル領域間を離す距離を小さくすることができる。
【0036】
請求項2では、2つのチャネル領域間のウエル拡散層にそのウエル拡散層よりも高濃度のN型拡散層を形成したことにより、寄生PNPバイポーラトランジスタ存在にもかかわらず、2つのチャネル領域間を離す距離を小さくすることができる。
【0038】
請求項では、このMOSデバイスの2つのNチャネルDMOSトランジスタのそれぞれにおいてソース拡散層とP型拡散層とを短絡させてそれぞれの端子とし、それぞれのDMOSトランジスタのゲート電極にそれぞれの制御電圧を印加して各DMOSトランジスタを独立して制御するようにした。これにより、各DMOSトランジスタに並列に寄生ダイオードが接続され、リチウムイオン電池保護回路のスイッチ回路とすることができる。
【0039】
このスイッチ回路はウエル内に形成されているため、基板と関係がなくなり、この領域のみでのスイッチ動作が可能となり、別の場所に制御回路の配置も可能となる。そこで、請求項では、スイッチ回路としたこのMOSデバイスを制御回路とともに共通の半導体チップに搭載してリチウムイオン電池保護回路を構成したことにより、更にコスト低下を図ることができる。
【0040】
請求項では、リチウムイオン電池と、保護回路としての本発明の半導体装置とを組み合わせたリチウムイオン電池パックとしたことにより、リチウムイオン電池パックのコストを低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】スイッチ回路を構成するMOSデバイスの一実施例を示したものであり、(A)は装置の断面図、(B)はその等価回路図である。
【図2】図1の実施例のMOSデバイスをスイッチ回路として備えた保護回路の一実施例を示すブロック図である。
【図3】図1の実施例を製造する方法を示す工程断面図である。
【図4】過充電と過放電を共に保護する従来の保護回路の一例を示す回路図である。
【図5】従来の保護回路におけるスイッチ回路を構成する2つのMOSトランジスタを示す断面図である。
【符号の説明】
30 P型シリコン基板
32 ドレインとなるN型ウエル拡散層
33 高濃度のN型拡散層
34a,34b P型拡散層
36a,36b ソースとなるN型拡散層
38a,38b チャネル領域
40a,40b ゲート電極
42a,42b MOSトランジスタ
44a,44b ダイオード
46 寄生PNPトランジスタ
50 1つの半導体チップ
52 リチウムイオン電池
58 負荷5(充電器)
62 過充電検知回路
68 過放電検知回路
72 電圧判定回路

Claims (5)

  1. 半導体基板のドレインとなるN型ウエル拡散層内に互いに分離した2つのP型拡散層が形成され、前記各P型拡散層内にそれぞれソースとなるN型拡散層が形成されて、それぞれのソース拡散層と前記ウエル拡散層との間の前記P型拡散層領域をチャネル領域としており、各チャネル領域上にはゲート絶縁膜を介して互いに分離されたそれぞれのゲート電極が形成されて、ドレイン拡散層を共通とする2つのNチャネルDMOSトランジスタが構成されているMOSデバイスを備え
    前記両P型拡散層と前記N型ウエル拡散層との間に接続され、そのN型ウエル拡散層をそれらのP型拡散層のうちの高電圧側のP型拡散層に接続する電圧判定回路をさらに備えている半導体装置。
  2. 前記2つのチャネル領域間の前記ウエル拡散層にそのウエル拡散層よりも高濃度のN型拡散層が形成されている請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記MOSデバイスは、2つのNチャネルDMOSトランジスタのそれぞれにおいてソース拡散層とP型拡散層とが短絡されてそれぞれの端子となり、それぞれのDMOSトランジスタのゲート電極にそれぞれの制御電圧が印加されて各DMOSトランジスタが独立して制御されるスイッチ回路となっている請求項1又は2に記載の半導体装置。
  4. 前記MOSデバイスと制御回路とが共通の半導体チップに搭載され、前記MOSデバイスの前記両端子がリチウムイオン電池と負荷又はさらに充電器との間に接続されるものであり、一方のDMOSトランジスタのゲート電極には前記制御回路から過充電時にこのDMOSトランジスタをオフにする信号が制御信号として印加され、他方のDMOSトランジスタのゲート電極には前記制御回路から過放電時にこのDMOSトランジスタをオフにする信号が制御信号として印加されてリチウムイオン電池保護回路を構成している請求項に記載の半導体装置。
  5. リチウムイオン電池と、保護回路としての請求項に記載の半導体装置とを組み合わせたリチウムイオン電池パック。
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