JP4062226B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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- 所定のデータを被検査基板に入力して、該被検査基板から出力されるデータと、上記所定のデータに基づき予め正常な被検査基板から出力されたデータとを比較して当該被検査基板の良否を判定する基板検査装置において、
被検査基板の検査に用いる複数のテストデータを記憶装置に領域別に格納するテストデータ格納手段と、
上記記憶装置から指定のテストデータを読み出して上記被検査基板への入力データビット幅に変換して該被検査基板に入力するデータ出力手段と、
入力したテストデータに対して上記被検査基板から出力される処理後データを上記記憶装置のデータビット幅に変換して該記憶装置に領域別に格納するデータ入力手段と、
予め正常な被検査基板から上記複数のテストデータのそれぞれの入力に対して出力される処理後データを期待値データとして上記記憶装置に領域別に格納する期待値データ格納手段と、
上記テストデータの格納領域アドレス情報と上記期待値データの格納領域アドレス情報を対応付けて管理するアドレス管理手段と、
上記処理後データと該処理後データ元のテストデータに上記アドレス管理手段で対応付けられた上記期待値データとをビット毎、または任意のビット幅単位で逐次比較して、ビット幅毎に良否判定の結果をカウントしカウント結果を出力するハードウェアからなる比較判定手段と
を有し、上記被検査基板を処理機能別に良否判定を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置であって、
上記テストデータ格納手段を、上記被検査基板を設けた製品における該被検査基板の前段部に接続する手段を有し、
上記テストデータ格納手段により、上記製品における上記前段部から出力されたデータをテストデータとして上記記憶装置に格納することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1もしくは請求項2のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記期待値データ格納手段を、上記正常な被検査基板を設けた製品における該被検査基板の後段部に接続する手段を有し、
上記期待値データ格納手段により、上記製品における上記後段部から出力されたデータを期待値データとして上記記憶装置に格納することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記処理後データおよび上記期待値データにビット単位でビットマスクをかけて上記比較判定手段に出力する手段を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記比較判定手段で上記任意のビット幅単位で比較判定するときは、合致しないデータ(NGデータ)数をカウントする手段を有し、上記NGデータ数のカウント値を判定結果として出力することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記比較判定手段は、上記期待値データに対して、上記任意のビット幅毎に予め定められた差分値を設定する手段を有し、該差分値の範囲でアナログデータの比較判定を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記比較判定手段は、
上記NGデータが発生すると、
上記処理後データと上記期待値データの各々の比較開始アドレスおよび上記NGデータが発生した上記比較開始アドレスからのオフセットアドレスを、上記カウント値と共にエラー情報として出力することを特徴とする基板検査装置。 - 所定のデータを被検査基板に入力して、該被検査基板から出力されるデータと、上記所定のデータに基づき予め正常な被検査基板から出力されたデータとを比較して当該被検査基板の良否を判定する基板検査装置であって、
被検査基板の検査に用いる複数のテストデータを記憶装置に領域別に格納するテストデータ格納手段と、
上記記憶装置から指定のテストデータを読み出して上記被検査基板への入力データビット幅に変換して該被検査基板に入力するデータ出力手段と、
入力したテストデータに対して上記被検査基板から出力される処理後データを上記記憶装置のデータビット幅に変換して該記憶装置に領域別に格納するデータ入力手段と、
予め正常な被検査基板から上記複数のテストデータのそれぞれの入力に対して出力される処理後データを期待値データとして上記記憶装置に領域別に格納する期待値データ格納手段と、
上記テストデータの格納領域アドレス情報と上記期待値データの格納領域アドレス情報を対応付けて管理するアドレス管理手段と、
上記処理後データと該処理後データ元のテストデータに上記アドレス管理手段で対応付けられた上記期待値データとをビット毎、または任意のビット幅単位で逐次比較して、ビット幅毎に良否判定の結果をカウントしカウント結果を出力するハードウェアからなる比較判定手段と、
上記テストデータ格納手段を、上記正常な被検査基板を実装した製品における該被検査基板の前段部に接続する手段と、
上記期待値データ格納手段を、上記正常な被検査基板を設けた製品における該被検査基板の後段部に接続する手段と
を有し、
上記テストデータ格納手段により、上記製品における上記正常な被検査基板の前段部から出力されたデータをテストデータとして上記記憶装置に格納し、
上記期待値データ格納手段により、上記製品における上記正常な被検査基板の後段部から出力されたデータを期待値データとして上記記憶装置に格納することを特徴とする基板検査装置。 - 所定のデータを被検査基板に入力して、該被検査基板から出力されるデータと、上記所定のデータに基づき予め正常な被検査基板から出力されたデータとを比較して当該被検査基板の良否を判定する基板検査装置であって、
被検査基板の検査に用いる複数のテストデータを記憶装置に領域別に格納するテストデータ格納手段と、
上記記憶装置から指定のテストデータを読み出して上記被検査基板への入力データビット幅に変換して該被検査基板に入力するデータ出力手段と、
入力したテストデータに対して上記被検査基板から出力される処理後データを上記記憶装置のデータビット幅に変換して該記憶装置に領域別に格納するデータ入力手段と、
予め正常な被検査基板から上記複数のテストデータのそれぞれの入力に対して出力される処理後データを期待値データとして上記記憶装置に領域別に格納する期待値データ格納手段と、
上記テストデータの格納領域アドレス情報と上記期待値データの格納領域アドレス情報を対応付けて管理するアドレス管理手段と、
上記処理後データと該処理後データ元のテストデータに上記アドレス管理手段で対応付けられた上記期待値データとをビット毎、または任意のビット幅単位で逐次比較して、ビット幅毎に良否判定の結果をカウントしカウント結果を出力するハードウェアからなる比較判定手段と、
上記テストデータ格納手段を、検査対象の被検査基板を実装した製品における該被検査基板の前段部に接続する手段と、
上記データ入力手段を、上記製品における上記被検査基板の後段部に接続する手段と
を有し、
上記テストデータ格納手段により、上記製品における前段部からのデータをテストデータとして上記記憶装置に格納し、上記データ出力部により、上記記憶装置から上記テストデータを読み出して上記正常な被検査基板に入力し、該正常な被検査基板から出力される処理後データを上記期待値データ格納手段により上記期待値データとして上記記憶装置に格納し、
上記データ入力手段により、上記製品における後段部から出力される処理後データを上記記憶装置に格納することで、
上記製品に実装された被検査基板に対する検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記記憶装置に格納した上記テストデータおよび上記期待値データをアップロードしてファイルデータにファイル化する手段と、
ファイル化されたファイルデータをダウンロードして上記記憶装置に格納する手段を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1から請求項10のいずれかに記載の基板検査装置であって、
上記記憶装置に格納したテストデータを読み出して、被検査基板を実装した製品における該被検査基板に出力する手段と、
上記記憶装置に格納した期待値データを読み出して上記製品における該被検査基板の後段部に出力する手段との少なくともいずれか一方を有し、上記製品のエミュレーションに用いられることを特徴とする基板検査装置。
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