JP4024252B2 - カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 - Google Patents
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Description
前記回転台に脱着自在に固定される治具と、
上方より前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給するノズルを有する溶剤供給装置とを備え、
前記治具は、前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、前記溶剤供給装置からの溶剤を受ける筒状の受部と、前記受部から外方向に延出して設けられ、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて溶剤を噴出させる管状の噴出部とを有する
ことを特徴とする。
前記治具の前記管状の噴出部の先端が、前記回転台の下部に設けられた回転台駆動モータを覆うカバーの上面の周辺部より外側に位置する
ことを特徴とする。
前記治具の前記受部の上部に連続して形成され、上部ほど小径となり上端に溶剤導入用開口部が形成されたテーパー部を有する
ことを特徴とする。
前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、
上方より供給されるレジスト溶解用溶剤を受ける筒状の受部と、
前記受部から外方向に延出して設けられ、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて溶剤を噴出させる管状の噴出部とを有する
ことを特徴とする。
前記治具は、さらに、前記受部の上部に連続して形成され、上部ほど小径となり上端に溶剤導入用開口部が形成されたテーパー部を有する
ことを特徴とする。
前記回転台に、筒状をなす溶剤の受部と、前記受部から外方向に延出して設けられた管状の噴出部とを有するレジスト除去用治具を固定し、
前記治具にレジストを溶解させる溶剤を前記治具の上方から供給しながら、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、前記カップの内面に前記管状の噴出部から伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて噴出させることにより、カップ内面のレジストを除去する
ことを特徴とする。
Claims (6)
- 板状被処理物を回転台に固定し、サイズの異なる複数の筒状カップを伸縮可能に組み合わせた上面開口のカップにより前記被処理物を囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する装置であって、
前記回転台に脱着自在に固定される治具と、
上方より前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給するノズルを有する溶剤供給装置とを備え、
前記治具は、前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、前記溶剤供給装置からの溶剤を受ける筒状の受部と、前記受部から外方向に延出して設けられ、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて溶剤を噴出させる管状の噴出部とを有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去装置。 - 請求項1に記載のカップ内面のレジスト除去装置において、
前記治具の前記管状の噴出部の先端が、前記回転台の下部に設けられた回転台駆動モータを覆うカバーの上面の周辺部より外側に位置する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去装置。 - 請求項1または2に記載のカップ内面のレジスト除去装置において、
前記治具は、さらに、前記受部の上部に連続して形成され、上部ほど小径となり上端に溶剤導入用開口部が形成されたテーパー部を有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去装置。 - 板状被処理物を回転台に固定し、サイズの異なる複数の筒状カップを伸縮可能に組み合わせた上面開口のカップにより前記被処理物を囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する治具であって、
前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、
上方より供給されるレジスト溶解用溶剤を受ける筒状の受部と、
前記受部から外方向に延出して設けられ、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて溶剤を噴出させる管状の噴出部とを有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去用治具。 - 請求項4に記載のカップ内面のレジスト除去用治具において、
前記治具は、さらに、前記受部の上部に連続して形成され、上部ほど小径となり上端に溶剤導入用開口部が形成されたテーパー部を有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去用治具。 - 板状被処理物を回転台に固定し、サイズの異なる複数の筒状カップを伸縮可能に組み合わせた上面開口のカップにより前記被処理物を囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する方法であって、
前記回転台に、筒状をなす溶剤の受部と、前記受部から外方向に延出して設けられた管状の噴出部とを有するレジスト除去用治具を固定し、
前記治具にレジストを溶解させる溶剤を前記治具の上方から供給しながら、前記受部に溜まる溶剤を、前記回転台の回転によって生じる遠心力により、前記カップの内面に前記管状の噴出部から伸長させたカップにおける筒状カップ間の係止部の内面に向けて噴出させることにより、カップ内面のレジストを除去する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去方法。
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JP2005052953A JP4024252B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 |
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JP2005052953A JP4024252B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 |
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JP2006237468A JP2006237468A (ja) | 2006-09-07 |
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Family Applications (1)
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JP2005052953A Active JP4024252B2 (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | カップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法 |
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- 2005-02-28 JP JP2005052953A patent/JP4024252B2/ja active Active
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