JP5138802B2 - 回転塗布装置の洗浄用治具および洗浄方法 - Google Patents
回転塗布装置の洗浄用治具および洗浄方法 Download PDFInfo
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Description
図10(a)は本発明の一の実施形態の変形例1による洗浄用治具を示す断面図であり、図10(b)は図10(a)におけるI−I線に沿った断面図である。図示のとおり、洗浄用治具51は、外周面510に円周方向に沿って形成された溝部511を有している。溝部511により、外周面510に保持される溶剤溜まりRの量を増加することができ、外周面510からカップ体2へ飛散する溶剤の量を増加することが可能となる。
図11(a)は本発明の一の実施形態の変形例2による洗浄用治具を示す斜視図であり、図11(b)は図11(a)におけるI−I線に沿った断面図である。図11(a)に示すように、洗浄用治具52は、環状部52bにおける***部52eの内周に沿って、所定の角度間隔で複数の貫通孔521が設けられている。貫通孔521は、図11(b)に示すように、バックリンスノズル14から環状部52bの裏面に沿って流れる溶剤が、環状部52bの表面に回り込むのを許容する。表面に回り込んだ溶剤は、***部52eを乗り越えて外周面520へ到達する。すなわち、***部52eの上から溶剤溜まりRへ溶剤を供給することができ、したがって、外周面520からカップ体2へ飛散する溶剤の量を増加することが可能となる。
図12(a)は本発明の一の実施形態の変形例2による洗浄用治具を示す斜視図であり、図12(b)は図12(a)におけるI−I線に沿った断面図である。図示のとおり、洗浄用治具53は、環状部53bの裏面から***部53eを貫通し、外周面530に開口する複数の貫通孔531を有している。複数の貫通孔531は、変形例2による洗浄用治具52の貫通孔521と同様に、所定の角度間隔で設けられている。この貫通孔531を通して、バックリンスノズル14からの溶剤を溶剤溜まりRへ供給することができるため、外周面530からカップ体2へ飛散する溶剤の量を増加することが可能となる。
2b アウターカップ
2c インナーカップ
11 スピンチャック
14 バックリンスノズル
10 塗布ユニット
20 塗布現像装置
50,51,52,53 洗浄用治具
500,510,520,530 外周面
Claims (8)
- 容器内に設けられた基板保持具により回転可能に保持された基板の上に処理液を滴下し、該基板の回転により該基板上に前記処理液の膜を塗布する回転塗布装置において前記容器の洗浄に使用することができる洗浄用治具であって、
前記基板保持具より大きい寸法に形成され、当該基板保持具に保持される中心部材と、
前記中心部材に着脱可能に接続され、前記基板と略同一の直径を有する環状部材と、
を備え、
前記環状部材の外周部は、前記基板保持具により回転されながら前記洗浄液が裏面に対して供給された際に、当該洗浄液が前記裏面より上向きに回り込むように形成された外周面を備えることを特徴とする洗浄用治具。 - 前記中心部材が、前記環状部材よりも厚く形成されることを特徴とする、請求項1に記載の洗浄用治具。
- 前記中心部材が、樹脂により形成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の洗浄用治具。
- 前記中心部材が、ガラスにより形成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の洗浄用治具。
- 前記環状部材が、親水性を有する材料により形成されることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の洗浄用治具。
- 前記外周面の高さが2mmから7mmまでの範囲にあることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の洗浄用治具。
- 容器内に設けられた基板保持具により回転可能に保持された基板の上に処理液を滴下し、該基板の回転により該基板上に前記処理液の膜を塗布する回転塗布装置を請求項1から6のいずれか一項に記載の洗浄用治具を用いて洗浄する洗浄方法であって、
前記洗浄用治具を所定の保管場所から取り出して前記基板保持具に載置するステップと、
前記基板保持具より前記洗浄用治具を回転するステップと、
前記回転塗布装置に備わる溶剤供給部から前記洗浄用治具の裏面へ溶剤を供給するステップと、
を有することを特徴とする洗浄方法。 - 前記所定の保管場所は冷却ユニットであることを特徴とする、請求項7に記載の洗浄方法。
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