JP3785120B2 - シリカ多孔質母材の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、気相堆積法(VAD法、OVD法)によりシリカ微粒子を堆積してシリカ多孔質母材を製造する方法、特には、高速かつ高収率で製造するシリカ多孔質母材の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、VAD法やOVD法によるシリカ多孔質母材の製造には、ガラス原料ガス、水素ガス、酸素ガスをバーナーに供給し、火炎加水分解反応で生成するシリカ微粒子を出発部材上に堆積させる方法が用いられている。このとき、気体のガラス原料には、四塩化珪素、三塩化シラン等の珪素化合物が用いられ、火炎を形成する水素ガス及び酸素ガスの完全燃焼を行うため、水素ガスは、化学量論比又はそれよりも多くなるように供給される。
【0003】
VAD法やOVD法によりシリカ多孔質母材を製造する場合、火炎加水分解反応で生成するシリカ微粒子の収率(堆積効率)が悪いと、1)経済性、生産性が悪化する、2)付着、堆積しないシリカ微粒子が大量に発生し、反応容器の内面に付着する、3)付着物が反応容器の壁面から剥がれ落ちると、シリカ多孔質母材を傷付け、泡や傷の原因になる、等の不都合を生じる。
【0004】
このため特開平5−105468号公報は、少なくとも4重管からなる多重管バーナーを用いて、生成するシリカ微粒子の収率を良くするために、原料供給用ノズルのまわりに、それぞれ個別の火炎流を形成する複数の火炎形成用ノズルを配置し、最外火炎を形成する水素ガスと酸素ガスとの流量比を(最外火炎水素ガス流量/最外火炎酸素ガス流量)>2、または(全水素ガス流量/全酸素ガス流量)>2とし、さらに、3.5≧(最外火炎水素ガス流量/最外火炎酸素ガス流量)>2が好ましいとしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら本発明者等の検討によれば、特開平5−105468号公報は、シリカ微粒子の収率が未だ満足できるレベルになかった。
そこで、本発明は、VAD法やOVD法において生成するシリカ微粒子の収率を向上させて経済性、生産性を上げ、反応容器の内面に付着するシリカ微粒子を減らし、泡や傷の発生を防止する、シリカ多孔質母材の製造方法を提供することを課題としている。本発明は、中心管にガラス原料ガスと酸素ガス、隣接する第2管に酸素ガス、第3管に水素ガスを供給するように構成した3重管バーナーにおいて、ガス条件の最適化をはかったものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明のシリカ多孔質母材の製造方法は、ガラス原料ガス、水素ガス及び酸素ガスをバーナーに供給し、火炎加水分解させてシリカ微粒子を生成、堆積させるシリカ多孔質母材の製造方法において、中心管にガラス原料ガスと酸素ガス、隣接する第2管に酸素ガス、第3管に水素ガスを供給するように構成した3重管バーナーを用い、該バーナーに供給される水素ガスの流量QHと全酸素ガスの流量QOとの流量比QH/QOが3〜5、好ましくは3.7〜4.3であり、かつ中心管に供給されるガスの流速V1と第2管に供給されるガスの流速V2との流速比V1/V2が2〜4であることを特徴としている。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明においては、3重管バーナーを用いてシリカ多孔質母材を製造するものであり、シリカ微粒子の収率を向上させるために、火炎を形成する水素ガス/酸素ガスの流量比が化学量論比よりも水素ガスが多くなるように供給し、その比が凡そ4の場合、シリカ微粒子の収率が向上すること、さらに、3重管バーナーの中心管と第2管に供給されるガスの流速比が、凡そ3となるときに、気流中での原料ガスと酸素の混合及び燃焼速度との関係で安定した火炎が形成されることを見出し、本発明を完成した。
【0008】
本発明では、水素ガスと酸素ガスとの燃焼効率を上げるために、特に3重管バーナーを使用するものであり、第3管(水素ガス供給管)の外側が空気であるため、水素が空気中の酸素と反応しやすい状態にある。このため第3管に流す水素ガス量を化学量論比よりも大きくすることで、燃焼効率を増すことができる。
【0009】
さらに本発明では、中心にガラス原料ガスと酸素ガスを流す中心管、これに隣接して酸素ガスを流す第2管、最外側に水素ガスを流す第3管を配置した3重管バーナーを用い、かつ、3重管バーナーにおいて火炎を形成する水素ガス流量QHと全酸素ガス流量QOの流量比QH/QOを3〜5、好ましくは3.7〜4.3としている。
【0010】
さらに本発明においては、中心管のガス流速V1と第2管のガス流速V2の流速比V1/V2を2〜4としている。
本発明において流量比QH/QOを3〜5とし、流速比V1/V2を2〜4とする理由は、後記する図1,2に示されているように、いずれも該範囲外では、生成するシリカ微粒子の付着効率が低下するためである。
特に、流速比V1/V2を上記範囲とする理由は、該範囲外では、気流中での原料ガスと酸素の混合及び燃焼速度との関係で安定した火炎が形成されないためである。また、中心管での速度が遅いと、外管からの水素を内側に引き込めずに、外側に拡散してしまうと考えられる。他方、中心管での速度が速すぎると、SiCl4とH2Oの反応が完了しないうちにSiCl4がスートに到達してしまうことになり、好ましくない。
【0011】
【実施例】
本発明を具体的に以下の実施例で示すが、本発明はこれらに限定されるものではなく、様々な態様が可能である。
先ず、従来例を示し、このときのシリカ微粒子の収率を1として、以下の実施例1〜3、比較例1〜3の収率と比較した。
【0012】
(従来例)
同心円状3重管バーナーを使用し、これに供給するキャリアO2ガス流量を8Nl/min(中心管)、火炎形成用O2ガス流量を5Nl/min(第2管)、火炎形成用H2ガス流量を75Nl/min(第3管)として火炎を形成した。このとき、水素ガス流量QHと全酸素ガス流量QOの流量比は、QH/QO=5.77である。さらに中心管には、ガラス原料ガスであるSiCl4が供給され、その供給量は2.7Nl/minである。また、中心管のガス流速V1と第2管のガス流速V2の流速比はV1/V2=2.80であった。
このようなガス供給条件でシリカ微粒子を生成させ、出発部材上に堆積させてシリカ多孔質母材を製造した。堆積後、堆積重量を計量してガラス原料ガスの供給量に対する収率を求め、このときのシリカ微粒子の収率を1とした。
この従来例の収率1と、以下の実施例1〜3、比較例1〜3の収率とを比較した。
【0013】
(実施例1)
同心円状3重管バーナーを使用し、これに供給するキャリアO2ガス流量を8Nl/min(中心管)、火炎形成用O2ガス流量を5Nl/min(第2管)、火炎形成用H2ガス流量を50Nl/min(第3管)として火炎を形成した。このとき、水素ガス流量QHと全酸素ガス流量QOの流量比は、QH/QO=3.85である。さらに中心管に供給したガラス原料ガスのSiCl4の供給量は2.7Nl/minである。また、中心管のガス流速V1と第2管のガス流速V2の流速比はV1/V2=2.80であった。
このようなバーナー条件でシリカ多孔質母材の製造を行ったところ、シリカ微粒子の収率は、上記従来例の1.19倍であった。
【0014】
(実施例2,3、比較例1〜3)
以下、同心円状3重管バーナーに供給する酸素ガス、水素ガス及びSiCl4の流量、流速を適宜選択し、表1に示す条件で、上記実施例1と同様にしてシリカ多孔質母材の製造を行った。
【0015】
上記実施例1〜3及び比較例1〜3で得た、水素ガス流量(QH)と全酸素ガス流量(QO)との流量比QH/QOと、付着効率(収率;従来例の収率を1とする)との関係をグラフ化して図1に示した。同様に、中心管の流速(V1)と第2管の流速(V2)との流速比V1/V2と、付着効率との関係をグラフ化して図2に示した。
【0016】
【表1】
【0017】
図1,2から明らかなように、付着効率が1を超えるのは、流量比QH/QOが3〜5の範囲にあるときであり、また、流速比V1/V2が2〜4の範囲にあるときである。
【0018】
【発明の効果】
本発明の多孔質母材の製造方法によれば、ガラス原料ガスの反応率及び付着効率が上がる。これにともない、反応容器の内壁に付着するシリカ微粒子が減るとともに、泡や傷の少ないシリカ多孔質母材が得られ、生産性の向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 水素ガス流量(QH)と全酸素ガス流量(QO)との流量比QH/QOと、付着効率(収率)との関係を示すグラフである。
【図2】 中心管の流速(V1)と第2管の流速(V2)との流速比V1/V2と、付着効率(収率)との関係を示すグラフである。
Claims (2)
- ガラス原料ガス、水素ガス及び酸素ガスをバーナーに供給し、火炎加水分解させてシリカ微粒子を生成、堆積させるシリカ多孔質母材の製造方法において、中心管にガラス原料ガスと酸素ガス、隣接する第2管に酸素ガス、第3管に水素ガスを供給するように構成した3重管バーナーを用い、該バーナーに供給される水素ガスの流量QHと全酸素ガスの流量QOとの流量比QH/QOが3〜5であり、かつ中心管に供給されるガスの流速V1と第2管に供給されるガスの流速V2との流速比V1/V2が2〜4であることを特徴とするシリカ多孔質母材の製造方法。
- 該バーナーに供給される水素ガスの流量QHと全酸素ガスの流量QOとの流量比QH/QOが3.7〜4.3である請求項1に記載のシリカ多孔質母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181008A JP3785120B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | シリカ多孔質母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181008A JP3785120B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | シリカ多孔質母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004026518A JP2004026518A (ja) | 2004-01-29 |
JP3785120B2 true JP3785120B2 (ja) | 2006-06-14 |
Family
ID=31177950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002181008A Expired - Fee Related JP3785120B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | シリカ多孔質母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3785120B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6682519B2 (ja) | 2014-09-29 | 2020-04-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス導入管の環境制御 |
EP4015468A1 (de) * | 2020-12-16 | 2022-06-22 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05116968A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ母材の製造方法 |
JP3828192B2 (ja) * | 1996-02-22 | 2006-10-04 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材製造用バーナ |
JPH10330129A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 |
-
2002
- 2002-06-21 JP JP2002181008A patent/JP3785120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004026518A (ja) | 2004-01-29 |
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A977 | Report on retrieval |
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