JP2011102232A - 石英ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多重管バーナー100にケイ素原料他複数のガスを供給し、多孔質石英ガラス体400を製造する方法であって、多重管バーナー100の中心軸に平行な平面に投影した直線と、回転ターゲット300の回転軸とがなす角度が10°未満であり、多重管バーナー100の最外周の径をd(mm)とするとき、中央ノズルの端面と、ターゲット300表面上若しくはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面上における多重管バーナー100の中心軸との交点との距離が3d〜6d(mm)であり、中央ノズルの開口部面積をSc(mm2)とするとき、中央ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)以下であることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
VAD法による石英ガラス母材の製造方法では、当初、光ファイバ用プリフォームを製造する方法として開発された。この方法は金属成分を含まず、OH基濃度が少ない石英ガラス母材を製造できることから、真空紫外域でのリソグラフィ用のレンズ材料の製造にも応用されている。
このような用途でVAD法により石英ガラス母材を製造する場合、製造コストを低減するために、高速で石英ガラス母材を製造できること、および、大型の石英ガラス母材を製造できることが望まれる。なお、ここでいう大型の石英ガラス母材とは、例えば、質量50kg以上の石英ガラス母材、または、径400mmφ以上の石英ガラス母材である。
これらの方法のうち、(I)の方法は、設備投資が大きくなる点や、大量に発生する熱を廃棄することが容易でないなどの問題がある。(II)の方法の場合、多孔質石英ガラス体を製造する過程で、多孔質石英ガラス体の表面に高温かつ高濃度の水分を含有する火炎を当てて更に多孔質石英ガラス体を形成することになるので、多孔質石英ガラス体を経て製造される石英ガラス母材の内部にOH基濃度変動が生じて脈理が発生したり、石英ガラス母材が充分な均質性を得られないおそれがある。ゆえに、(III)の方法が、VAD法により大型の石英ガラス母材を製造するための現実的な方法である。
より嵩密度の高い多孔質石英ガラス体を製造する手段としてまず考えられるのは、バーナーに供給する可燃性ガス(通常は水素ガス)及び支燃性ガス(通常は酸素ガス)を増加させることであるが、(1)多くの可燃性ガス及び支燃性ガスを必要とすることから、多孔質石英ガラス体の製造コストが増加する、(2)強い火力によって、多孔質石英ガラス体の製造を行う反応器の壁面が損傷するおそれがあるなどの懸念点があるので、望ましい手段とはいえない。
バーナーの取り付け角度、すなわち、ターゲットの回転軸とバーナーの中心軸とがなす角度を変化させると、ターゲット表面、あるいはターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面に対するバーナーから発する火炎の流れ方向の角度が変わることとなる。ここで、ターゲット表面(あるいはターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面)に対する火炎の流れ方向の角度が垂直に近づくほど(つまりバーナーの取り付け角度を小さくするほど)、多孔質石英ガラス体の単位面積当りの火炎から受ける熱エネルギーは増加することから、理論上は嵩密度の高い多孔質石英ガラス体を作製することができることとなる。
したがって、バーナーの取り付け角度を小さくすることによっては、従来の条件では嵩密度の高い多孔質石英ガラス体を安定的に製造することができなかった。
また、本発明は、上記の目的を達成するために、VAD法により平均嵩密度が0.3g/cm3以上の多孔質石英ガラス体を、効率よく、かつ、安定的に製造する方法を提供することを目的とする。
なお、本明細書において、大型の石英ガラス母材を効率よく製造すると言った場合、大型の石英ガラス母材を収率50%以上で製造することを指す。また、平均嵩密度が0.3g/cm3以上の多孔質石英ガラス体を効率よく製造すると言った場合、平均嵩密度が0.3g/cm3以上の多孔質石英ガラス体を収率50%以上で製造することを指す。
前記多重管バーナーの中心軸若しくは前記多重管バーナーの中心軸を、前記ターゲットの回転軸を含み、前記中心軸に平行な平面に投影した直線と、前記ターゲットの回転軸と、がなす角度が10°未満であり、
前記多重管バーナーの最外周の径をd(mm)とするとき、前記多重管バーナーの中央ノズルの端面と、前記ターゲット表面上若しくは前記ターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面上における前記多重管バーナーの中心軸との交点と、の距離が3d〜6d(mm)であり、
前記多重管バーナーの中央ノズルの開口部面積をSc(mm2)とするとき、該中央ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)以下であることを特徴とする多孔質石英ガラス体の製造方法を提供する。
また、本発明の多孔質ガラス体の製造方法では、多重管バーナーの中心軸と、ターゲットの回転軸と、がなす角度が10°未満と小さいため、多重管バーナーから発せられる火炎による過度な加熱で反応器の内壁の損傷することを防ぐので、反応器の耐用年数が上がり、結果として低コストで石英ガラス母材を製造することができる。
図1は、本発明の多孔質ガラス体の製造方法で使用する多重管バーナーの一例を示した概略断面図である。図1に示す多重管バーナー100は、その中心部に中央ノズル1を有し、該中央ノズル1に対し同心円状に、第1外周ノズル2、第2外周ノズル3、第3外周ノズル4、第4外周ノズル5、第5外周ノズル6、第6外周ノズル7、第7外周ノズル8、第8外周ノズル9、第9外周ノズル10、および、第10外周ノズル11までがこの順に配置された11重管構造の多重管バーナーである。なお、後述する実施例では図1に示す11重管構造の多重管バーナーを使用した。
ここで、ケイ素原料は気体状態、すなわち、ケイ素原料のガスとして多重管バーナーに供給される。
これらのガスのうち、ガラス形成原料となるケイ素原料ガスは、多重管バーナー100の中央ノズル1に供給される。多重管バーナーの中央ノズルには、気化されたケイ素原料とともに、該ケイ素原料を希釈するガスが通常供給される。ケイ素原料を希釈するガスとしては、可燃性ガスとして用いられる水素ガスや、支燃性ガスとして用いられる酸素ガスが通常使用される。図1に示す多重管バーナー100の場合、ケイ素原料(四塩化ケイ素)とともに、該ケイ素原料を希釈するガスとして、可燃性ガスとしての水素ガスが中央ノズル1に供給されている。多重管バーナーの外周ノズルには、可燃性ガス、支燃性ガス(通常は酸素ガス)、および、シールガスとしての不活性ガスがそれぞれ供給される。図1に示す多重管バーナー100の場合、第1外周ノズル2〜第10外周ノズル11には、それぞれ以下のガスが供給されている。
第1外周ノズル2:水素ガス(可燃性ガス)
第2外周ノズル3:窒素ガス(不活性ガス(シールガス))
第3外周ノズル4:酸素ガス(支燃性ガス)
第4外周ノズル5:酸素ガス(支燃性ガス)
第5外周ノズル6:窒素ガス(不活性ガス(シールガス))
第6外周ノズル7:水素ガス(可燃性ガス)
第7外周ノズル8:窒素ガス(不活性ガス(シールガス))
第8外周ノズル9:水素ガス(可燃性ガス)
第9外周ノズル10:窒素ガス(不活性ガス(シールガス))
第10外周ノズル11:酸素ガス(支燃性ガス)
但し、多重管バーナーの各ノズルに供給されるガス種はこれに限定されない。例えば、中央ノズル1に、ケイ素原料(四塩化ケイ素)とともに、該ケイ素原料を希釈するガスとして、支燃性ガスとしての酸素ガスを供給する場合、上記した各外周ノズルに供給されるガス種について、水素ガス(可燃性ガス)と、酸素ガス(支燃性ガス)と、を置き換えることが好ましい。シールガスとして供給される不活性ガス(窒素ガス)については、水素ガス(可燃性ガス)が供給される外周ノズルと、酸素ガス(支燃性ガス)が供給される外周ノズルと、が隣接することがないように、両者の外周ノズルの間に位置する外周ノズルに供給することが好ましい。互いに隣接する外周ノズルに水素ガス(可燃性ガス)と、酸素ガス(支燃性ガス)と、を供給すると、外周ノズルの直近で燃焼反応が起こり、外周ノズルを損傷するおそれがあるからである。
図2は、この手順を示した模式図であり、多重管バーナーと、ターゲットと、の位置関係が示されている。図2において、回転するターゲット300上には、ケイ素原料が多重管バーナー100から発せられる火炎200中で加水分解することによって生成したシリカ微粒子が堆積して多孔質石英ガラス体400を形成している。
本発明の多孔質石英ガラス体の製造方法は、多重管バーナーと、ターゲットと、の位置関係を以下に述べる所定の位置関係とすることを特徴とする。
多重管バーナー100の中心軸と、ターゲット300の回転軸と、がなす角度αを10°未満とすれば、ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に対する、多重管バーナー100から発せられる火炎200の流れ方向の角度がほぼ垂直となるので、多孔質石英ガラス体400の単位面積当りの火炎200から受ける熱エネルギーは増加する。これにより、嵩密度の高い多孔質石英ガラス体400、具体的には、平均嵩密度が0.3g/cm3以上の多孔質石英ガラス体を製造することができる。また、この角度αは、8°未満であることがより好ましい。
多重管バーナー100と、ターゲット300と、の位置関係によっては、多重管バーナー100の中心軸と、ターゲット300の回転軸と、が同一平面上に存在しない場合もある。このような場合、多重管バーナー100の中心軸をターゲット300の回転軸を含み、前記中心軸に平行な平面に投影した直線と、ターゲット300の回転軸と、がなす角度をαとする。
多重管バーナー100の中心軸と、ターゲット300の回転軸と、がなす角度αは、多重管バーナー100から発せられる火炎200の乱れを抑えるために3°以上であることが好ましく、5°以上であることがより好ましい。
バーナー・ターゲット間の距離が上記の範囲であれば、バーナー・ターゲット間の距離が適度に離れていることから、多重管バーナー100から発せられる火炎200中で充分な反応時間を与えることができ、ケイ素原料を充分に反応させることができる一方で、バーナー・ターゲット間の距離が大きすぎないため、多重管バーナー200から発せられる火炎200の揺らぎを抑制すること、より具体的には、多重管バーナー200から発せられる火炎200のうち、ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に接する部分(以下、本明細書において、「ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に接する火炎」と言う。)での揺らぎを抑制することができる。
また、多重管バーナー100から発せられる火炎200の火炎温度が低い領域がターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に接することにより、合成される多孔質石英ガラス体の嵩密度が低くなるおそれもある。
また、多重管バーナー100から発せられる火炎200の火炎温度が低い領域がターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に接することにより、熱泳動によるシリカ微粒子のターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)への付着量が減少することにより、多孔質石英ガラス体の収率が低下する。
また、火炎200中にシリカ微粒子が長く存在することになるため、シリカ微粒子の粒子径が大きくなることによっても、熱泳動によるシリカ微粒子のターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)への付着量が減少して、多孔質石英ガラス体の収率が低下する。
バーナー・ターゲット間の距離は、4d〜5dであることが好ましい。
本発明の多孔質石英ガラス体の製造方法は、多重管バーナー100から発せられる火炎200の揺らぎを抑制するために、多重管バーナー100に供給されるガスの流量が以下に述べる特定の条件を満たすようにすることを特徴とする。
ここで、中央ノズル1に供給されるガスがケイ素原料のみである場合、ケイ素原料の供給量が標準状態で0.30Sc(L/min)以下となるようにする。一方、ケイ素原料とともに、該ケイ素原料を希釈するガスとして、可燃性ガスとして用いられる水素ガスや、支燃性ガスとして用いられる酸素ガスが中央ノズル1に供給される場合、ケイ素原料と、これらのガスと、の合計供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)以下となるようにする。
中央ノズル1に供給されるガスの供給量が上記の条件を満たす場合、該中央ノズル1から放出されるガスが層流となるので、多重管バーナー100から発せられる火炎200の揺らぎを抑制することができる。中央ノズル1に供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)超になると、該中央ノズル1から放出されるガスが乱流となりやすくなり、多重管バーナー100から発せられる火炎200の揺らぎが生じやすくなる。
上記の観点からは、中央ノズル1に供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.2Sc(L/min)以下となるようにすることが好ましい。
上記の理由から、中央ノズル1に供給されるガスの供給量は、標準状態(0℃、1atm)で0.006Sc(L/min)以上であることが好ましく、0.018Sc(L/min)以上であることがより好ましく、0.05Sc(L/min)以上であることがさらに好ましく、0.1Sc(L/min)以上であることが特に好ましい。
したがって、外周ノズルについては、可燃性ガスが放出される外周ノズル、および、支燃性ガスが放出されるノズルのうち、より内側にあるノズルからから放出されるガスが層流となるように、ノズルに供給されるガスの供給量を調節することが好ましい。
支燃性ガスが供給されるガス供給ノズルについてみた場合、中央ノズル以外で最も内側のガス供給ノズル(図1に示す多重管バーナー100の場合、第3外周ノズル4)の開口部面積をSs(mm2)とするとき、該ガス供給ノズルに供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.1Ss(L/min)以下であることが好ましく、0.07Ss(L/min)以下であることがより好ましい。
なお、嵩密度が高い多孔質石英ガラス体を製造するためには、ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)の温度を1100〜1200℃に保持することが好ましい。
また、多重管バーナー100全体としてみた場合、可燃性ガスの供給量は、3L/min以上であることが好ましく、9L/min以上であることがより好ましく、30L/min以上であることがさらに好ましく、100L/min以上であることが特に好ましい。
また、多重管バーナー100全体としてみた場合、支燃性ガスの供給量は、1.5L/min以上であることが好ましく、4.5L/min以上であることがより好ましく、15L/min以上であることがさらに好ましく、50L/min以上であることが特に好ましい。
ケイ素原料が揮発性であるためには、該ケイ素原料の蒸気圧が、100℃において10000Pa以上であることが好ましく、80℃において10000Pa以上であることがより好ましく、60℃において10000Pa以上であることがさらに好ましく、40℃において10000Pa以上であることが特に好ましい。このように低温でも蒸気圧が高い揮発性のケイ素原料を用いることで、該ケイ素原料のガスに脈動が生じにくくなり、合成の安定させやすくなる。
このような反応器では、多重管バーナー100からガスが供給されること、該反応器内の不要なガスを外部に排気していること等の理由から、該反応器内の圧力変動が生じることは実質上不可避である。しかしながら、反応器内での圧力変動は、その程度によっては、多重管バーナー100から発せられる火炎200の揺らぎの原因となる。このため、反応器内の圧力変動は可能な限り抑制することが好ましい。反応器内の圧力変動を抑制する方法としては、例えば、反応器内に圧力ゲージを設置し、圧力の増減に従い反応器内からの排気量あるいは吸気量を調整する等の方法が挙げられる。
上記の効果を得るためには、ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)よりも下方に位置する反応器の内壁の温度を300℃以上に保持することが好ましく、400℃以上に保持することがより好ましい。
反応器の内壁の温度が高いと、壁面からの輻射によって、シリカ微粒子が逐次堆積するターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)の温度が上昇する。この場合、製造される多孔質石英ガラス体の嵩密度は上昇するが、多孔質石英ガラス体の収率は低下するので、シリカ微粒子が堆積するターゲット表面(あるいはターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面)の温度を管理することにより、多孔質石英ガラス体の収率と嵩密度のバランスを取る必要がある。
これらの点から、ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)よりも下方に位置する反応器の内壁の温度は、300〜800℃に保持することが好ましく、400〜700℃に保持することがより好ましい。
なお、反応器の内壁の温度が高い場合、製造される多孔質石英ガラス体との温度差が小さくなるため、反応器内で生じる対流は抑えられ、バーナーから発せられる火炎は安定する。
さらに本発明において、ターゲット300の回転数は、3rpm〜60rpmの範囲で一定の速度にて回転させることが好ましい。ターゲット300の回転数3rpm未満だと、1回転当たりに堆積するシリカ微粒子の量が多すぎ、形状が変化しやすくなり、安定した合成が困難になりやすい。より好ましくは4rpm以上である。一方、60rpm超だと、反応器内のガスの流れが乱れるため、シリカ微粒子の付着が起こりにくく、収率が悪化しやすくなる。より好ましくは30rpm以下、さらに好ましくは20rpm以下、特に好ましくは10rpm以下である。
ケイ素原料の具体例としては、四塩化ケイ素(SiCl4)、SiHCl3、SiH2Cl2、SiH3Clなどの塩化物、またRnSi(OR)4-n(ここでRは炭素数1〜4のアルキル基、nは0〜3の整数。なお、Rは同一でも異なっていてもよい。)で示されるアルコキシシラン等が例示される。これらの中でも、100℃における蒸気圧が10000Pa以上であることから、四塩化ケイ素(SiCl4)、テトラメトキシシラン(Si(OCH3)4)、メチルトリメトキシシラン(SiCH3(OCH3)3)等が好ましい。他にヘキサメチルジシロキサン(Si(CH3)3OSi(CH3)3)が好ましい。
可燃性ガスとしては、通常は水素ガスが用いられる。水素ガス以外では、メタン、エタン等の炭化水素を可燃性ガスとして用いることができる。
支燃性ガスとしては、通常は酸素ガスが用いられる。酸素ガス以外では空気、オゾン、二酸化窒素、一酸化窒素、一酸化二窒素を支燃性ガスとして用いることができる。
シールガスとして供給する不活性ガスとしては、窒素以外にヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスを用いることができる。
これらの中でも、安価である理由から、窒素、アルゴンが好ましい。
ここで、質量50kg以上の石英ガラス母材、または、径400mmφ以上の石英ガラス母材を製造するためには、径が600mmφ以上、平均嵩密度が0.3g/cm3以上の多孔質石英ガラス体を用いることが好ましい。
質量50kg以上の石英ガラス母材、または、径400mmφ以上の石英ガラス母材を製造するためには、多重管バーナー100の中心軸とターゲット300の回転軸とがなす角度αや、ガスの流量は合成初期から安定期に入るまでは適宜変更しながら、調整することが好ましい。本発明における多重管バーナー100の中心軸とターゲット300の回転軸とがなす角度αや、ガスの流量は、安定期に入ってからの合成パラメーターである。安定期に入ってからは、各合成パラメーターは変化させないことが好ましいが、変化させる場合は、その平均値を指すものとする。
図1に示す11重管構造の多重管バーナー100を使用した。この多重管バーナー100は、肉厚が1mm〜2mmで径の異なる石英製チューブを同軸上に配列させたもので、最外周の外径dは128mmφである。最外周のさらに外周の先端部に長さ300mmの石英製円筒状のフードが取り付けられている。
ケイ素原料には四塩化ケイ素を使用し、5℃に設定した気化器によりガス化させた。5℃で気化された四塩化ケイ素の蒸気圧は約15000Paであった。ちなみに、四塩化ケイ素の100℃における蒸気圧は10000Pa超である。
なお、四塩化ケイ素濃度は気化器の温度設定を四塩化ケイ素の沸点(57℃)以上に設定することにより、中央ノズル1に供給する四塩化ケイ素濃度を濃度100vol%にすることが可能であるが、実施例1では、中央ノズル1には四塩化ケイ素と水素ガス(可燃性ガス)との混合ガスを供給した。ここで、混合ガス中の四塩化ケイ素濃度は約15vol%であった。また、混合ガスは、中央ノズル1の開口部面積Sc(=500mm2)に対して標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)となるように供給した。
第3外周ノズル4、第4外周ノズル5、および、第10外周ノズル11には、支燃性ガスとして酸素ガスを供給した。ここで、第3外周ノズル4には、該ノズル4の開口部面積Ss(=720mm2)に対して標準状態(0℃、1atm)で0.07Ss(L/min)となるように酸素ガスを供給した。また、多重管バーナー全体として見た場合、酸素ガスの供給量は、150L/minであった。
また、第2外周ノズル3、第5外周ノズル6、第7外周ノズル8、および、第9外周ノズル10には、シールガスとして窒素ガスをノズル端面の赤熱が抑えられる最小限の量を供給した。
多重管バーナー100は、取り付け位置と角度を自由に設定することができる。実施例1では、多重管バーナー100の中央ノズル1の端面と、ターゲット300表面上における多重管バーナー100の中心軸との交点と、の距離が4.5d(mm)、多重管バーナー100の中心軸と、ターゲット300の回転軸と、がなす角度αが9°となるように、多重管バーナー100とターゲット300との位置関係を設定した。
中央ノズル1から放出された四塩化ケイ素が、多重管バーナー100から発せられる火炎200中で加水分解することによって生成したシリカ微粒子がターゲット表面(ターゲット下面)に堆積した。シリカ粒子はターゲット下面に逐次堆積するので、ターゲットを徐々に上方へ移動させて、多重管バーナー100の中央ノズル1の端面と、ターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面上における多重管バーナー100の中心軸との交点と、の距離を常に4.5d(mm)に保持した。
この多孔質石英ガラス体を真空下で1450℃で2時間加熱し、透明ガラス化することにより、多孔質石英ガラス体に対して収率ほぼ100%(原料に対する収率は70%)で径450mmφの円筒形状の石英ガラス母材50kgを得た。
多重管バーナーとして、5重管構造の多重管バーナー(図1の多重管バーナー100のうち、中央ノズル1から第4外周ノズル5までを有する構造のバーナー)を使用した点を除いて実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造し、該多孔質石英ガラス体を透明ガラス化して石英ガラス母材を得た。
多重管バーナーの最外周の外径dは64mmφである。最外周のさらに外周の先端部に長さ300mmの石英製円筒状のフードが取り付けられている。
多重管バーナーの中央ノズルには、四塩化ケイ素と水素ガスとの混合ガス(四塩化ケイ素濃度は約15vol%)を中央ノズルの開口部面積Sc(=500mm2)に対して標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)となるように供給した。
多重管バーナーの第1外周ノズルには、可燃性ガスとして水素ガスを供給した。ここで、第1外周ノズルには、該ノズルの開口部面積Sf(=280mm2)に対して標準状態(0℃、1atm)で0.33Sf(L/min)となるように水素ガスを供給した。また、多重管バーナー全体として見た場合、水素ガスの供給量は200L/minであった。
多重管バーナーの第3外周ノズル、および、第4外周ノズルには、支燃性ガスとして酸素ガスを供給した。ここで、第3外周ノズルには、該ノズルの開口部面積Ss(=720mm2)に対して標準状態(0℃、1atm)で0.07Ss(L/min)となるように酸素ガスを供給した。また、多重管バーナー全体として見た場合、酸素ガスの供給量は100(L/min)であった。
また、多重管バーナーの第2外周ノズルには、シールガスとして窒素ガスをノズル端面の赤熱が抑えられる最小限の量を供給した。
合成開始後50時間の時点で製造された多孔質石英ガラス体は、平均径が400mmであり、平均嵩密度が0.3g/cm3であり、収率80%であった。
この多孔質石英ガラス体を透明ガラス化することにより、多孔質石英ガラス体に対して収率ほぼ100%(原料に対する収率は80%)で径400mmφの円筒形状の石英ガラス母材50kgを得た。
実施例2と同じく5重管構造の多重管バーナーを使用した。但し、中央ノズルへのガス供給量(混合ガス供給量)を0.15Sc(L/min)、第1外周ノズルへのガス供給量(水素ガス供給量)を0.18Sf(L/min)、第3外周ノズルへのガス供給量(酸素ガス供給量)を0.05Ss(L/min)とした。また、多重管バーナー全体として見た場合、水素ガスの供給量は、110((L/min)であり、酸素ガスの供給量は56(L/minであった。
合成開始後50時間の時点で製造された多孔質石英ガラス体は、平均径が400mmであり、平均嵩密度が0.3g/cm3であり、収率90%であった。
この多孔質石英ガラス体を透明ガラス化することにより、多孔質石英ガラス体に対して収率ほぼ100%(原料に対する収率は90%)で径400mmφの円筒形状の石英ガラス母材50kgを得た。
実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造し、該多孔質石英ガラス体を透明ガラス化して石英ガラス母材を得た。但し、ケイ素原料にはテトラエトキシシラン(100℃における蒸気圧17000Pa)を使用した。
気化器温度を110℃に設定し、テトラエトキシシランを気化器によりガス化して多重管バーナーの中央ノズルに供給した。多重管バーナーから発せられる火炎で揺らぎが生じた。揺らぎの原因は、多重管バーナー内でケイ素原料(テトラエトキシシラン)が液化と揮発を繰り返すことによって、多重管バーナーの放出されるガスに脈動が生じたことによると考えられる。
多重管バーナーから発せられる火炎で揺らぎが生じた結果、火炎200中での加水分解によって生成したシリカ微粒子の熱泳動によるターゲット300への堆積が阻害され、多孔質石英ガラス体の収率が50%と低下した。
なお、合成開始後50時間の時点で製造された多孔質石英ガラス体は、平均径が450mmであり、平均嵩密度が0.3g/cm3であった。
この多孔質石英ガラス体を透明ガラス化することにより、多孔質石英ガラス体に対して収率ほぼ100%(原料に対する収率は50%)で径450mmφの円筒形状の石英ガラス母材50kgを得た。
実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造し、該多孔質石英ガラス体を透明ガラス化して石英ガラス母材を得た。但し、多重管バーナーの中央ノズルへの混合ガスの供給量を標準状態(0℃、1atm)で0.35Sc(L/min)とした。
多重管バーナーから発せられる火炎の中心部分に揺らぎ(乱流)が生じた。この結果、多孔質石英ガラス体の収率が40%と低下した。
なお、合成開始後50時間の時点で製造された多孔質石英ガラス体は、平均径が450mmであり、平均嵩密度が0.3g/cm3であった。
この多孔質石英ガラス体を透明ガラス化することにより、多孔質石英ガラス体に対して収率ほぼ100%(原料に対する収率は40%)で径450mmφの円筒形状の石英ガラス母材50kgを得た。
実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造した。但し、多重管バーナー100の中央ノズル1の端面と、ターゲット300表面上における多重管バーナー100の中心軸との交点と、の距離を6.5d(mm)に保持した。
ターゲット300表面(あるいはターゲット300上に堆積した多孔質石英ガラス体400表面)に接する火炎で揺らぎが生じ、ターゲット300表面に堆積するシリカ微粒子が著しく減少した。
合成開始後50時間を経過した時点で、多孔質石英ガラス体10kgが得られた。収率10%であった。
なお、比較例2では製造された多孔質石英ガラス体の透明ガラス化は行わなかった。
実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造した。但し、多重管バーナー100の中央ノズル1の端面と、ターゲット300表面上における多重管バーナー100の中心軸との交点と、の距離を2.5d(mm)に保持した。
多孔質石英ガラス体の質量が30kgとなった時点で、多孔質石英ガラス体が質量に耐えられずに崩壊した。
実施例1と同様の手順を実施して、多孔質石英ガラス体を製造した。但し、多重管バーナー100の中心軸と、ターゲット300の回転軸と、がなす角度αを15°とした。
多孔質石英ガラス体の製造時のターゲットの引き上げ速度が実施例1の2倍以上であった。ここから、実施例1に比べて、嵩密度が低い多孔質石英ガラス体が製造されていると推測される。多孔質石英ガラス体の質量が50kgとなった時点で合成を停止したところ、径が400mmφと細い多孔質石英ガラス体が得られた。透明ガラス化するために多孔質石英ガラス体を移動させたところ、振動により多孔質石英ガラス体が崩壊した。
1:中央ノズル
2:第1外周ノズル
3:第2外周ノズル
4:第3外周ノズル
5:第4外周ノズル
6:第5外周ノズル
7:第6外周ノズル
8:第7外周ノズル
9:第8外周ノズル
10:第9外周ノズル
11:第10外周ノズル
200:火炎
300:ターゲット
400:多孔質石英ガラス体
Claims (7)
- 複数のガス供給ノズルが同心円状に配置された多重管バーナーの中央ノズルへケイ素原料を供給し、該多重管バーナーから発せられる火炎中で該ケイ素原料を加水分解してシリカ微粒子を生成し、生成したシリカ微粒子を回転するターゲット上に堆積、成長させて多孔質石英ガラス体を製造する方法であって、
前記多重管バーナーの中心軸若しくは前記多重管バーナーの中心軸を前記ターゲットの回転軸を含み、前記中心軸に平行な平面に投影した直線と、前記ターゲットの回転軸と、がなす角度が10°未満であり、
前記多重管バーナーの最外周の径をd(mm)とするとき、前記多重管バーナーの中央ノズルの端面と、前記ターゲット表面上若しくは前記ターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面上における前記多重管バーナーの中心軸との交点と、の距離が3d〜6d(mm)であり、
前記多重管バーナーの中央ノズルの開口部面積をSc(mm2)とするとき、該中央ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.30Sc(L/min)以下であることを特徴とする多孔質石英ガラス体の製造方法。 - 前記多重管バーナーが有するガス供給ノズルのうち、可燃性ガスが供給される、中央ノズル以外で最も内側のガス供給ノズルの開口部面積をSf(mm2)とするとき、該ガス供給ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.33Sf(L/min)以下である請求項1に記載の多孔質石英ガラス体の製造方法。
- 前記多重管バーナーが有するガス供給ノズルのうち、支燃性ガスが供給される、中央ノズル以外で最も内側のガス供給ノズルの開口部面積をSs(mm2)とするとき、該ガス供給ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態(0℃、1atm)で0.1Ss(L/min)以下である請求項1または2に記載の多孔質石英ガラス体の製造方法。
- 前記多重管バーナーの中央ノズルへ供給するケイ素原料の蒸気圧が100℃において10000Pa以上である請求項1〜3のいずれかに記載の多孔質石英ガラス体の製造方法。
- 前記ターゲット表面若しくは前記ターゲット上に堆積した多孔質石英ガラス体表面、よりも下方に位置する反応器の内壁の温度を300℃以上に保つ請求項1〜4のいずれかに記載の多孔質石英ガラス体の製造方法。
- 前記多重管バーナーから発せられる火炎と接する多孔質石英ガラス体表面の最高温度が1000〜1300℃である請求項1〜5のいずれかに記載の多孔質石英ガラス体の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の多孔質石英ガラス体の製造方法によって製造された多孔質ガラス体を真空中またはヘリウムガスを主成分とする雰囲気中で加熱し、透明ガラス化することにより石英ガラス母材を製造する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231167A JP5589744B2 (ja) | 2009-10-15 | 2010-10-14 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009238371 | 2009-10-15 | ||
JP2009238371 | 2009-10-15 | ||
JP2010231167A JP5589744B2 (ja) | 2009-10-15 | 2010-10-14 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011102232A true JP2011102232A (ja) | 2011-05-26 |
JP5589744B2 JP5589744B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=43304016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010231167A Expired - Fee Related JP5589744B2 (ja) | 2009-10-15 | 2010-10-14 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2311781B1 (ja) |
JP (1) | JP5589744B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017036172A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2019137602A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-22 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法、多孔質ガラス微粒子体の製造装置、およびガラス母材の製造方法 |
JP2022095576A (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスの調製方法 |
JP2022095575A (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスの調製方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107382051B (zh) * | 2017-08-23 | 2020-05-08 | 成都富通光通信技术有限公司 | 一种光纤预制棒脱水工艺以及一种光纤 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63248734A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材の製造方法 |
JPS63282138A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
JPH1081532A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 合成シリカガラスの製造方法 |
JPH1192153A (ja) * | 1997-09-11 | 1999-04-06 | Nikon Corp | 石英ガラスおよびその製造方法 |
JP2003137585A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用コアガラス母材の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170832A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of base material for optical fiber |
JPH07100614B2 (ja) * | 1985-10-15 | 1995-11-01 | 旭硝子株式会社 | 多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
-
2010
- 2010-10-14 JP JP2010231167A patent/JP5589744B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-15 EP EP10013711A patent/EP2311781B1/en not_active Not-in-force
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63248734A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材の製造方法 |
JPS63282138A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
JPH1081532A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 合成シリカガラスの製造方法 |
JPH1192153A (ja) * | 1997-09-11 | 1999-04-06 | Nikon Corp | 石英ガラスおよびその製造方法 |
JP2003137585A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用コアガラス母材の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017036172A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法 |
US10167543B2 (en) | 2015-08-07 | 2019-01-01 | Fujikura Ltd. | Method for manufacturing optical fiber preform |
JP2019137602A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-22 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法、多孔質ガラス微粒子体の製造装置、およびガラス母材の製造方法 |
JP7229792B2 (ja) | 2018-02-05 | 2023-02-28 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法、多孔質ガラス微粒子体の製造装置、およびガラス母材の製造方法 |
JP2022095576A (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスの調製方法 |
JP2022095575A (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスの調製方法 |
JP7488247B2 (ja) | 2020-12-16 | 2024-05-21 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスの調製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2311781A1 (en) | 2011-04-20 |
EP2311781B1 (en) | 2013-02-13 |
JP5589744B2 (ja) | 2014-09-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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|
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|
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