JPH08274140A - 基板搬送用スカラ型ロボット - Google Patents
基板搬送用スカラ型ロボットInfo
- Publication number
- JPH08274140A JPH08274140A JP16375593A JP16375593A JPH08274140A JP H08274140 A JPH08274140 A JP H08274140A JP 16375593 A JP16375593 A JP 16375593A JP 16375593 A JP16375593 A JP 16375593A JP H08274140 A JPH08274140 A JP H08274140A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- pulley
- chucks
- substrate
- chuck
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- Manipulator (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 処理済み基板と処理前基板を短時間に交換し
て生産効率の向上を図ると共に、基板処理のクリーン度
を高めて品質向上に寄与する。 【構成】 半導体ウエハーやガラス、セラミックス等の
基板を１チャックに付き１枚づつ搬送する基板搬送用ス
カラ型ロボットに於て、回転する胴体上方へ左右対称の
アームに上下配置となるチャックを２個取り付け、基板
を同様水平線上で搬送出来るよう片方のアームをコ字形
に構成する。
て生産効率の向上を図ると共に、基板処理のクリーン度
を高めて品質向上に寄与する。 【構成】 半導体ウエハーやガラス、セラミックス等の
基板を１チャックに付き１枚づつ搬送する基板搬送用ス
カラ型ロボットに於て、回転する胴体上方へ左右対称の
アームに上下配置となるチャックを２個取り付け、基板
を同様水平線上で搬送出来るよう片方のアームをコ字形
に構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板搬送用スカラ型ロボ
ットに関する。
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来に於ける基板搬送用スカラ型ロボッ
トは図２に示す如きもので、同図Ａは平面図、同図Ｂは
図Ａの縦断面図である。
トは図２に示す如きもので、同図Ａは平面図、同図Ｂは
図Ａの縦断面図である。
【０００３】本図に於て１は基板Ｐを先端の透孔ｍを介
し真空吸着により保持するチャックであって、次の構成
により支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し
回動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設
置したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及び
プーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行わ
れる。
し真空吸着により保持するチャックであって、次の構成
により支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し
回動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設
置したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及び
プーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行わ
れる。
【０００４】一方、２、３及び４は上記胴体５上方に配
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に設置
されるモータ６、減速機７及びその出力軸４ａを介し回
動され、これに対しアーム３は上記出力軸４ａをその中
心内部に貫通状態として胴体５の首部に固定されたプー
リ４ｃが、基台８上のモータ１３の駆動で胴体５が回動
されることによりベルト４ｂ、プーリ３ｂ及びプーリ軸
３ａを介して回動されるものとなる。
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に設置
されるモータ６、減速機７及びその出力軸４ａを介し回
動され、これに対しアーム３は上記出力軸４ａをその中
心内部に貫通状態として胴体５の首部に固定されたプー
リ４ｃが、基台８上のモータ１３の駆動で胴体５が回動
されることによりベルト４ｂ、プーリ３ｂ及びプーリ軸
３ａを介して回動されるものとなる。
【０００５】他方、３ｃはプーリ軸３ａを中心部で貫挿
状態にしてアーム４の上方首部に固定したプーリであっ
て、該プーリ３ｃはベルト３ｄ及びプーリ２ｂを介しア
ーム２の支軸２ａと連繋されてなる。
状態にしてアーム４の上方首部に固定したプーリであっ
て、該プーリ３ｃはベルト３ｄ及びプーリ２ｂを介しア
ーム２の支軸２ａと連繋されてなる。
【０００６】この際、プーリ４ｃと３ｂ、及びプーリ３
ｃと２ｂは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが固定されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
ｃと２ｂは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが固定されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
【０００７】上記は平面視で胴体５の中心部を原点とす
るチャック１の回転動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の伸縮動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、続いて該回動がプー
リ４ｃ、ベルト４ｄ及びプーリ３ｂ並びにその支軸３ａ
を介してアーム３を回転させ、これによりアーム３にベ
アリングｋを介して支承されてなるアーム２が平面視で
胴体５の中心部の支軸４ａを原点とした放射方向へ伸縮
動作するものとなるのである。
るチャック１の回転動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の伸縮動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、続いて該回動がプー
リ４ｃ、ベルト４ｄ及びプーリ３ｂ並びにその支軸３ａ
を介してアーム３を回転させ、これによりアーム３にベ
アリングｋを介して支承されてなるアーム２が平面視で
胴体５の中心部の支軸４ａを原点とした放射方向へ伸縮
動作するものとなるのである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来のスカ
ラ型ロボットではチャック１が１個で基板を１枚しか持
てないため、基板を搬送する時間が長くなる。即ち、図
３で実際に半導体製造工程で行われているウエハー搬送
を例にして説明すると、ウエハー１５を多数収納したカ
セット１４を上昇下降させるエレベーター１７とステー
ジ１６により構成し、チャック１でウエハー１５を搬出
入出来る高さ位置へ随時移動させるのである。
ラ型ロボットではチャック１が１個で基板を１枚しか持
てないため、基板を搬送する時間が長くなる。即ち、図
３で実際に半導体製造工程で行われているウエハー搬送
を例にして説明すると、ウエハー１５を多数収納したカ
セット１４を上昇下降させるエレベーター１７とステー
ジ１６により構成し、チャック１でウエハー１５を搬出
入出来る高さ位置へ随時移動させるのである。
【０００９】１８はウエハー１５を処理するためのテー
ブルであって、該テーブル１８はテーブル上のウエハー
１５をチャック１に受け渡すためのプッシャーピン１９
とそのプッシャーピン１９を上下駆動させるシリンダー
２０を備えた構成となされている。
ブルであって、該テーブル１８はテーブル上のウエハー
１５をチャック１に受け渡すためのプッシャーピン１９
とそのプッシャーピン１９を上下駆動させるシリンダー
２０を備えた構成となされている。
【００１０】この状態でモータ１３及び７が駆動される
と、アーム４、３及び２の回動と共にチャック１を伸縮
させてテーブル１８上の処理済みウエハー１５を掴み、
カセット１４の特定段へ搬入させるのであり、搬入後他
の段の未処理ウエハー１５’を取り出してテーブル１８
上へ載置して処理が行われるようになすのであり、この
際上記搬入と搬出までの交換時間は凡そ１３秒程度が必
要とされるものとなっている。
と、アーム４、３及び２の回動と共にチャック１を伸縮
させてテーブル１８上の処理済みウエハー１５を掴み、
カセット１４の特定段へ搬入させるのであり、搬入後他
の段の未処理ウエハー１５’を取り出してテーブル１８
上へ載置して処理が行われるようになすのであり、この
際上記搬入と搬出までの交換時間は凡そ１３秒程度が必
要とされるものとなっている。
【００１１】ところで、テーブル１８上のウエハー１５
の処理時間は５秒とか１０秒等の如く比較的短時間で完
了する処理であり、従来のスカラ型ロボットでは生産効
率が上記ウエハー交換時間により大きく低下するものと
なっていた。
の処理時間は５秒とか１０秒等の如く比較的短時間で完
了する処理であり、従来のスカラ型ロボットでは生産効
率が上記ウエハー交換時間により大きく低下するものと
なっていた。
【００１２】本発明は上記問題点を解決せんとするもの
であって、即ち処理済みウエハー１５と処理前ウエハー
１５’を短時間に交換して生産性向上に寄与せしめんと
するものである。
であって、即ち処理済みウエハー１５と処理前ウエハー
１５’を短時間に交換して生産性向上に寄与せしめんと
するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は半導体ウエハー
やガラス、セラミックス等の基板を１チャックに付き１
枚づつ搬送する基板搬送用スカラ型ロボットに於て、回
転する胴体上方へ左右対称にチャックを２個取り付け、
基板を同様水平線上で搬送出来るよう片方のアームをコ
字形に構成したことを特徴とする。
やガラス、セラミックス等の基板を１チャックに付き１
枚づつ搬送する基板搬送用スカラ型ロボットに於て、回
転する胴体上方へ左右対称にチャックを２個取り付け、
基板を同様水平線上で搬送出来るよう片方のアームをコ
字形に構成したことを特徴とする。
【００１４】
【作用】回転する胴体上方へ左右対称にチャックを２個
取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処理済み基
板と処理前基板の交換を行っていたものも、その１回転
で同時に行うことが出来るものとなり、時間的には従来
の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処理済み基
板と処理前基板の交換を行っていたものも、その１回転
で同時に行うことが出来るものとなり、時間的には従来
の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
【００１５】
【実施例】図１は本発明装置を示すものであって、同図
Ａは平面図、同図Ｂは図Ａの縦断面図である。図に於て
８は基台、５は胴体であって該胴体５は基台８内に設け
たモータ１３、減速機２１を介して基台８上方で回動さ
れるものとなされる。
Ａは平面図、同図Ｂは図Ａの縦断面図である。図に於て
８は基台、５は胴体であって該胴体５は基台８内に設け
たモータ１３、減速機２１を介して基台８上方で回動さ
れるものとなされる。
【００１６】本発明では上記胴体５上部へ左右対称にチ
ャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用モータを
取り付けて作用させる構成となすのであり、具体的には
次の如くなされる。
ャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用モータを
取り付けて作用させる構成となすのであり、具体的には
次の如くなされる。
【００１７】１５、１５’はチャック１、１’に吸着さ
れて搬送される基板としてのウエハーである。該ウエハ
ー１５、１５’の移動方向は図１Ｂでは紙面の裏面側と
手前側、図１Ａでは上下方向の直線上を各々が独立して
移動する構成となされるのでであり、このためチャック
１のアーム２は図１Ｂで見られる通りコ字形の構造とな
されている。
れて搬送される基板としてのウエハーである。該ウエハ
ー１５、１５’の移動方向は図１Ｂでは紙面の裏面側と
手前側、図１Ａでは上下方向の直線上を各々が独立して
移動する構成となされるのでであり、このためチャック
１のアーム２は図１Ｂで見られる通りコ字形の構造とな
されている。
【００１８】本発明で他のアームの構成は上述のチャッ
ク１の回動アーム２の構造がコ字形となされるほかは、
前述の従来構成のものと変わりがなく、又アーム２、
３、４とアーム２’、３’、４’とでは同じ動作原理の
ため、これをアーム２、３、４側でのみ説明する。
ク１の回動アーム２の構造がコ字形となされるほかは、
前述の従来構成のものと変わりがなく、又アーム２、
３、４とアーム２’、３’、４’とでは同じ動作原理の
ため、これをアーム２、３、４側でのみ説明する。
【００１９】アーム２は支軸２を介してプーリ２ｂに固
定されてなり、該プーリ２ｂとアーム３内のプーリ３ｃ
はタイミングベルト３ｄにより接続されてなり、且つプ
ーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比を１／２と
なしてある。そして、このプーリ３ｃはアーム４に固定
されてなる。
定されてなり、該プーリ２ｂとアーム３内のプーリ３ｃ
はタイミングベルト３ｄにより接続されてなり、且つプ
ーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比を１／２と
なしてある。そして、このプーリ３ｃはアーム４に固定
されてなる。
【００２０】一方、アーム３は支軸３ａとプーリ３ｂに
より回転されるように固定され、プーリ３ｂはタイミン
グベルト４ｄによりプーリ４ｃに接続されてなり、且つ
プーリ４ｃの回転に対してプーリ３ｂの回転比を２倍と
なしてある。
より回転されるように固定され、プーリ３ｂはタイミン
グベルト４ｄによりプーリ４ｃに接続されてなり、且つ
プーリ４ｃの回転に対してプーリ３ｂの回転比を２倍と
なしてある。
【００２１】他方、プーリ４ｃは胴体５に固定されてな
り、アーム４は支軸４ａを介して胴体５内に設置される
減速機６、モータ７と接続される。
り、アーム４は支軸４ａを介して胴体５内に設置される
減速機６、モータ７と接続される。
【００２２】以上はチャック１に対する構成であるが、
チャック１’についてはアーム２’がコ字状となされて
いない従来例で説明した構造と同様で上記と左右対称に
配置されるのである。
チャック１’についてはアーム２’がコ字状となされて
いない従来例で説明した構造と同様で上記と左右対称に
配置されるのである。
【００２３】しかして、基台８内のモータ１３及び胴体
５内のモータ７、７’が駆動されるとウエハー１５、１
５’を支持してなるチャック１、１’は図１Ｂで紙面の
裏面側と手前側（図１Ａでは上下方向）の互いに相反す
る方向へ伸縮回動されるものとなる。
５内のモータ７、７’が駆動されるとウエハー１５、１
５’を支持してなるチャック１、１’は図１Ｂで紙面の
裏面側と手前側（図１Ａでは上下方向）の互いに相反す
る方向へ伸縮回動されるものとなる。
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上の通り、胴体上方へ基板を
支持するチャックを２個取り付けて対称作動させる構成
のため、処理済み基板と処理前基板を短時間に交換出
来、従来問題となっていた基板交換のロス時間を大幅に
短縮出来るほか、洗浄処理等で問題となる洗浄前の汚れ
た基板と洗浄後の清浄な基板を保持するチャックが別々
の専用となり、従来装置の１チャックにより生じていた
汚染が伝搬される等の問題が無くなり、半導体や液晶等
の製造工程に於けるクリーン度向上に大きく貢献出来る
ものとなる。
支持するチャックを２個取り付けて対称作動させる構成
のため、処理済み基板と処理前基板を短時間に交換出
来、従来問題となっていた基板交換のロス時間を大幅に
短縮出来るほか、洗浄処理等で問題となる洗浄前の汚れ
た基板と洗浄後の清浄な基板を保持するチャックが別々
の専用となり、従来装置の１チャックにより生じていた
汚染が伝搬される等の問題が無くなり、半導体や液晶等
の製造工程に於けるクリーン度向上に大きく貢献出来る
ものとなる。
【図１】Ａは本発明装置の平面図であり、Ｂは同Ａの縦
断面図である。
断面図である。
【図２】従来装置を示すものでＡは平面図であり、Ｂは
同Ａの縦断面図である。
同Ａの縦断面図である。
【図３】従来装置による基板交換状態を説明する模式平
面図である。
面図である。
１ チャック ２ アーム ２ａ 支軸 ２ｂ プーリ ３ アーム ３ａ 支軸 ３ｂ プーリ ４ アーム ４ａ 支軸 ４ｃ プーリ ５ 胴体 ６ 減速機 ７ モータ ８ 基台 ９ 支軸 １３ モータ
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】本図に於て１は基板を先端の透孔ｍを介し
真空吸着により保持するチャックであって、次の構成に
より支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し回
動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設置
したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及びプ
ーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行われ
る。
真空吸着により保持するチャックであって、次の構成に
より支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し回
動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設置
したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及びプ
ーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行われ
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】一方、２、３及び４は上記胴体５上方に配
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に設置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動され、これに対しアーム３は上記出力軸４ａをその中
心内部に貫通状態として胴体５の首部に固定されたプー
リ４ｃが、モータ７の駆動で出力軸４ａが回動されるこ
とによりアーム４が回動されベルト４ｄ、プーリ３ｂ及
びプーリ軸３ａを介して回動されるものとなる。
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に設置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動され、これに対しアーム３は上記出力軸４ａをその中
心内部に貫通状態として胴体５の首部に固定されたプー
リ４ｃが、モータ７の駆動で出力軸４ａが回動されるこ
とによりアーム４が回動されベルト４ｄ、プーリ３ｂ及
びプーリ軸３ａを介して回動されるものとなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】この際、プーリ４ｃと３ｂ、及びプーリ２
ｂと３ｃは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが回動されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
ｂと３ｃは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが回動されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】上記は平面視で胴体５の中心部を原点とす
るチャック１の伸縮動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の回転動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、胴体５に接続されて
いる全ての機構を平面視で胴体５の中心部の支軸９を原
点とした回転動作するものとなるのである。
るチャック１の伸縮動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の回転動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、胴体５に接続されて
いる全ての機構を平面視で胴体５の中心部の支軸９を原
点とした回転動作するものとなるのである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は半導体ウエハー
やガラス、セラミックス等の基板を１チャックに付き１
枚づつ搬送する基板搬送用スカラ型ロボットに於て、回
転する胴体上方へ左右対称のアームに上下配置となるチ
ャックを２個取り付け、基板を同様水平線上で搬送出来
るよう片方のアームをコ字形に構成したことを特徴とす
る。
やガラス、セラミックス等の基板を１チャックに付き１
枚づつ搬送する基板搬送用スカラ型ロボットに於て、回
転する胴体上方へ左右対称のアームに上下配置となるチ
ャックを２個取り付け、基板を同様水平線上で搬送出来
るよう片方のアームをコ字形に構成したことを特徴とす
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【作用】回転する胴体上方へ左右対称のアームにチャッ
クを２個取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処
理済み基板と処理前基板の交換を行っていたものも、そ
の１回転で同時に行うことが出来るものとなり、時間的
には従来の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
クを２個取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処
理済み基板と処理前基板の交換を行っていたものも、そ
の１回転で同時に行うことが出来るものとなり、時間的
には従来の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】本発明では上記胴体５上部へ左右対称のア
ームにチャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用
モータを取り付けて作用させる構成となすのであり、具
体的には次の如くなされる。
ームにチャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用
モータを取り付けて作用させる構成となすのであり、具
体的には次の如くなされる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】アーム２は支軸２ａを介してプーリ２ｂに
固定されてなり、該プーリ２ｂとアーム３内のプーリ３
ｃはタイミングベルト３ｄにより接続されてなり、且つ
プーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比を１／２
となしてある。そして、このプーリ３ｃはアーム４に固
定されてなる。
固定されてなり、該プーリ２ｂとアーム３内のプーリ３
ｃはタイミングベルト３ｄにより接続されてなり、且つ
プーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比を１／２
となしてある。そして、このプーリ３ｃはアーム４に固
定されてなる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】しかして、胴体５内のモータ７、７’が駆
動されるとウエハー１５、１５’を支持してなるチャッ
ク１、１’は図１Ｂで紙面の裏面側と手前側（図１Ａで
は上下方向）へ伸縮回動されるものとなる。
動されるとウエハー１５、１５’を支持してなるチャッ
ク１、１’は図１Ｂで紙面の裏面側と手前側（図１Ａで
は上下方向）へ伸縮回動されるものとなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上の通り、胴体上方へ基板を
支持するチャックを２個取り付けて独立作動させる構成
のため、処理済み基板と処理前基板を短時開に交換出
来、従来問題となっていた基板交換のロス時間を大幅に
短縮出来るほか、洗浄処理等で問題となる洗浄前の汚れ
た基板と洗浄後の清浄な基板を保持するチャックが別々
の専用となり、従来装置の１チャックにより生じていた
汚染が伝搬される等の問題が無くなり、半導体や液晶等
の製造工程に於けるクリーン度向上に大きく貢献出来る
ものとなる。
支持するチャックを２個取り付けて独立作動させる構成
のため、処理済み基板と処理前基板を短時開に交換出
来、従来問題となっていた基板交換のロス時間を大幅に
短縮出来るほか、洗浄処理等で問題となる洗浄前の汚れ
た基板と洗浄後の清浄な基板を保持するチャックが別々
の専用となり、従来装置の１チャックにより生じていた
汚染が伝搬される等の問題が無くなり、半導体や液晶等
の製造工程に於けるクリーン度向上に大きく貢献出来る
ものとなる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ チャック ２ アーム ２ａ 支軸 ２ｂ プーリ ３ アーム ３ａ 支軸 ３ｂ プーリ３ｄ タイミングベルト ４ アーム ４ａ 支軸 ４ｃ プーリ４ｄ タイミングベルト ５ 胴体 ６ 減速機 ７ モータ ８ 基台 ９ 支軸１０ プーリ １１ タイミングベルト １２ 減速機 １３ モータ
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】一方、２、３及び４は上記胴体５上方に配
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に配置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動される。又、４ｃは上記出力軸４ａをその中心内部に
貫通状態として胴体５の首部に固定されたプーリであ
る。モータ７の駆動により減速機６、出力軸４ａを介し
てアーム４が回転すると、アーム４内部にはプーリ４
ｃ、タイミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３
ａが配設されていることからアーム４と共にこれらが位
置変動することにより、アーム３が上記プーリ４ｃ、タ
イミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３ａを介
して回動されるものとなる。
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に配置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動される。又、４ｃは上記出力軸４ａをその中心内部に
貫通状態として胴体５の首部に固定されたプーリであ
る。モータ７の駆動により減速機６、出力軸４ａを介し
てアーム４が回転すると、アーム４内部にはプーリ４
ｃ、タイミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３
ａが配設されていることからアーム４と共にこれらが位
置変動することにより、アーム３が上記プーリ４ｃ、タ
イミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３ａを介
して回動されるものとなる。
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハーやガラス、セラミックス
等の基板を１チャックに付き１枚づつ搬送する基板搬送
用スカラ型ロボットに於て、回転する胴体上方へ左右対
称にチャックを２個取り付け、基板を同様水平線上で搬
送出来るよう片方のアームをコ字形に構成したことを特
徴とする基板搬送用スカラ型ロボット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163755A JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
| KR1019940008552A KR100288085B1 (ko) | 1993-05-26 | 1994-04-22 | 기판 반송용 스칼라형 로보트 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163755A JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08274140A true JPH08274140A (ja) | 1996-10-18 |
| JP2739413B2 JP2739413B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=15780088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163755A Expired - Lifetime JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2739413B2 (ja) |
| KR (1) | KR100288085B1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100283095B1 (ko) * | 1997-03-21 | 2001-04-02 | 이시다 아키라 | 기판처리장치, 및 기판반송장치 및 기판이재장치 |
| US6318538B1 (en) | 1999-02-16 | 2001-11-20 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for treatment of a substrate |
| US6514032B1 (en) | 2000-02-01 | 2003-02-04 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| US6593718B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-07-15 | Tazmo Co., Ltd. | Horizontal multi-joint industrial robot |
| US6614201B2 (en) | 2000-02-07 | 2003-09-02 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| US6669434B2 (en) | 2000-11-17 | 2003-12-30 | Tazmo Co., Ltd. | Double arm substrate transport unit |
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| US10580676B2 (en) | 2014-09-08 | 2020-03-03 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot system and carrying method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110860870A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-06 | 珠海格力智能装备有限公司 | 插弯头机的控制方法及装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58164687U (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-02 | クラリオン株式会社 | スカラロボツトにおける作業ヘツド |
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH0227828U (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-22 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP5163755A patent/JP2739413B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-04-22 KR KR1019940008552A patent/KR100288085B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS58164687U (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-02 | クラリオン株式会社 | スカラロボツトにおける作業ヘツド |
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| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2013093615A (ja) * | 1998-07-10 | 2013-05-16 | Brooks Automation Inc | 基板取扱いロボットの基板取り出し方法 |
| US6318538B1 (en) | 1999-02-16 | 2001-11-20 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for treatment of a substrate |
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| US6514032B1 (en) | 2000-02-01 | 2003-02-04 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| US6614201B2 (en) | 2000-02-07 | 2003-09-02 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| US6669434B2 (en) | 2000-11-17 | 2003-12-30 | Tazmo Co., Ltd. | Double arm substrate transport unit |
| US10580676B2 (en) | 2014-09-08 | 2020-03-03 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot system and carrying method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2739413B2 (ja) | 1998-04-15 |
| KR100288085B1 (ko) | 2001-05-02 |
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