JP3320676B2 - ネガフォトレジスト組成物およびネガ画像の形成方法 - Google Patents

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【発明の詳細な説明】 【０００１】本発明は、１９８４年６月１日付で米国特
許庁に提出された本発明者による係属中の「熱安定性ポ
リマー画像およびその製造法」（「Ｔｈｅｒｍａｌｌｙ
Ｓｔａｂｌｅ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｉｍａｇｅｓ ａｎ
ｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」）という名称の米国特許出願
第６１６，５１８号に関連するものである。さらに本発
明は、同日提出の「マイクロプラスチツクス構造物およ
びその製造法」（「Ｍｉｃｒｏｐｌａｓｔｉｃ Ｓｔｒ
ｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ ｔｈｅｉｒ ｍｅｔｈｏｄ
ｏｆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ」）という名称の本発明
者による特許出願に関連するものである。 【０００２】本発明では、例えば遠紫外線やＸ線のよう
な特定のタイプの短波活性化放射線に対してすぐれた感
光性を有する特定の公知ハロゲン化有機化合物が、表面
上に水性現像できるネガ画像を製造するのに利用するこ
とができることを発見したものである。さらに詳しく
は、これらのフォト酸発生剤は、水性で現像できて、熱
安定性で、高分解能のネガ画像をつくるため、酸硬化性
樹脂系およびこのような樹脂系を含有している感光性コ
ーテイング溶液との組合せで使用することができる。 【０００３】環化ゴムをベースとし、ダイアジド増感剤
を含有しているネガ−作用で液状タイプのフォトレジス
ト組成物は周知であり、通常印刷版画像を製造するため
のリソグラフイー用途に使用されている。しかしなが
ら、例えばシリコーンウエフアー上にミクロサイズの画
像を形成するといったようなミクロ電子工学的用途にお
いてこれらを商業ベースで利用しようとする場合、いく
つかの技術的問題があり、その利用は限られている。そ
の場合の問題点としては、特に表面処理とか他の処理工
程を経ることなしに基体表面上に均一性および接着性の
すぐれた高品質のピンポールのない塗膜を得ることが困
難であること、種々のミクロ電子工学的用途において必
要とされる画像を得るには熱安定性および分解能が不足
していること、とりわけ、ネガ画像に現像するのに有機
溶媒を必要とすること等が挙げられる。 【０００４】例えば、慣用のネガ作用フォトレジストは
ポリイソプレンや環化ゴムのようなゴム状熱可塑性ポリ
マーを使用し、この場合、現像には有機溶媒を使用する
必要がある。このようなネガレジストを現像した場合、
露光された熱可塑性物質が有機溶媒現像液中で膨潤して
しまう。従って、画像の分解能は低下し、場合によって
は画像がゆがみ、使用できなくなってしまう。さらに有
機溶媒現像液は環境上、健康上有害でありさらには引火
性の点でも望ましくない。 【０００５】「ＤＣＯＰＡ」は、グリシジルメタクリレ
ートおよび２，３−ジクロロプロピルメタクリレートを
含有しているコポリマーである。この物質はＳＰＩＥ第
５３７巻（１９８５年発行）の５７〜５８頁に載ってい
るＢ．Ｆａｙ，Ｌ．Ｔａｉ，およびＤ，Ａｌｅｘａｎｄ
ｅｒによる論文「Ｒｅｃｅｎｔ Ｐｒｉｎｔｉｎｇａｎ
ｄ Ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ Ｒｅｓｕｌｔｓ ｗｉ
ｔｈ Ｘ−ＲａｙＬｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ」（Ｘ線リソ
グラフイーによる最近の印刷および印り合せ技術」中に
おいてＸ線感光性フォトレジスト物質であることが報告
されている。ＤＣＯＰＡは柔軟なラバー状物質で１００
℃以下程度の低い温度で軟化し、最近のウエフアー製造
に採用されているプラズマエツチング条件下での耐久性
が充分でない。脂肪族ポリマー材料においては、プラズ
マエツチングの際の耐久性の点が固有な問題とされてき
ている。 【０００６】ノボラック含有フォトレジスト材料は実質
的に芳香族物質からなるものであり、すぐれた耐プラズ
マエツチング性を有するものであるが熱安定性は劣り、
Ｘ線とか他の短波長放射線に対して感受性に劣る。 【０００７】従ってマイクロリソグラフイー技術分野で
は、短波長活性放射線に対して感受性があり、すぐれた
分解能と熱安定性、さらには耐プラズマエツチング性の
すぐれた改良フォトレジストの開発が試みられてきてい
る。 【０００８】本発明者は係属中の米国出願第６１６，５
１８号中において、水性現像できる熱安定性のすぐれた
画像を形成するために、酸硬化樹脂系と近紫外線スペク
トル内で有用なフォト酸発生剤を含有している。両用
の、即ちポジまたはネガ感光性組成物について述べた。
この両用の感光性組成物を使用すれば、ノボラツク樹脂
から製造されたような従来のフォトレジスト組成物を用
いて形成される画像よりも、実質的にさらに熱安定性の
すぐれた画像が得られる。本発明者による上記の先の発
明の両用感光性組成物に使用されるフォト酸発生剤は、
波長が３００〜５００ｎｍ、特に３６５ｎｍの近紫外線
（近ＮＶ）に対して感受性のあるものに制限されてい
た。例えばジアゾナフトキノン類といったようなこの種
の近紫外線フォト酸発生剤は、その感光性組成物が近紫
外線に曝された際にインデンカルボン酸といった弱いカ
ルボン酸を生ずる。このようなフォト酸発生剤は、通
常、感光性組成物中に感光性組成物の全固形分基準で１
０〜３０重量％の濃度で存在する。しかしながら本発明
者による先の発明の酸硬化性樹脂系との組合せで使用さ
れるカルボン酸フォト酸発生剤は、２１０〜３００ｎｍ
の遠紫外線（遠ＮＶ）特に２５４ｎｍといった短波長に
対しては感光性を示さなかった。 【０００９】米国特許第３，６９２，５６０号、同第
３，６９７，２７４号、同第３，８９０，１５２号およ
び同第４，４０４，２７２号に記載されているように、
近紫外線で露光した際、塩化水素酸といったような強い
無機酸を発生する化合物は、ポジおよびネガの両方の熱
安定性画像を水性現像するために酸硬化性樹脂と一緒に
使用するのには適当でないことが知られている。 【００１０】上記から明らかなように本発明の一つの目
的は、感光性組成物を提供することにあり、さらに詳し
くは、マイクロ電子工学的用途に使用するのに適した水
性現像可能な、熱安定性のすぐれた、高分解能のネガ画
像製造用の、酸硬化性樹脂系との組合せで使用すること
のできる、遠紫外線やＸ線のような短波長放射線に対し
て感光性を示すフォト酸発生剤に関するものである。 【００１１】本発明者は、特定の選択されたハロゲン化
有機化合物が、遠紫外線および他の短波長化学線に対し
てすぐれた感受性を示すことを発見した。高分解能を持
ち、熱安定性のある、水性現像可能なネガ画像を表面に
形成するために、その組合せが感光性組成物に使用でき
るよう、これらのフォト酸は、酸硬化樹脂と混和性があ
り、低濃度で架橋を促進するものである必要がある。熱
安定性、高分解能のある水性現像可能なネガ画像を表面
に形成するため酸硬化性樹脂系と組合せるのに有用なフ
ォト酸発生剤は、広範囲のハロゲン化有機化合物から実
質的に選択した。 【００１２】本発明において有用なフォト酸発生剤は、
いくつかの性能基準に合致しなければならない。即ち （１）フォト酸発生剤は、露光または加熱時に酸硬化性
樹脂系の架橋を促進するのに充分な濃度において、目的
とする酸硬化性樹脂系を含有している感光性コーテイン
グ溶液中に溶解するかまたはこの溶液と均一な溶液を形
成するものでなくてはならない。 （２）フォト酸発生剤は、このレジストをウエフア表面
に塗布する際、酸硬化性樹脂系から相分離してはならな
い。 （３）フォト酸発生剤は、化学線で活性化した場合、適
当な塩基性水溶液現像液を使用して除去できるものでな
くてはならない。 （４）フォト酸発生剤は、選択露光放射線に曝されない
時は酸硬化性樹脂と反応しないものでさらに基体表面自
体とも反応しないものでなくてはならない。 （５）フォト酸発生剤は、基体表面上に塗布された酸硬
化性樹脂を含有している感光性塗膜の接着性、均一性、
および品質に悪影響を持たないものでなくてはならな
い。 （６）フォト酸発生剤は、遠紫外線または他の短波長放
射線に露光された時および或は高い温度まで加熱された
時、感光性塗膜中で酸硬化性樹脂の架橋を促進させるこ
とができるものであって、一方周囲温度で早期の架橋反
応を促進するものであってはならない。 （７）フォト酸発生剤は、形成されたネガ画像が２００
℃を超える温度でも熱安定性を保つことができる程度ま
で、酸硬化性樹脂の硬化を促進することができるもので
なくてはならない。 （８）フォト酸発生剤は、感光性組成物が貯蔵安定性の
あるものであるよう、露光放射線以外の放射線に対して
は感受性のないものでなくてはならない。 （９）フォト酸発生剤は、ソフトベーキングの間レジス
トから実質的に蒸発するものであってはならない。 （１０）フォト酸発生剤は、「ソフトベーキング」の間
に酸を発生しない程度の熱安定性を持つものでなくては
ならない。 【００１３】化学線に露光した際、ハロゲン酸を発生す
ることのできるものであれば、ハロゲン置換基を持つ有
機化合物はすべて、フォト酸発生剤として利用できる潜
在的候補者であることが知られている。或るハロゲン化
合物が潜在的に遠紫外線フォト酸発生剤として有用であ
るかどうかを決定するため、市販されているハロゲン置
換有機化合物のいくつかについて吸収スペクトルを調べ
た。一般にはＤＤＴとして知られている１，１−ビス
〔ｐ−クロロフエニル〕−２，２，２−トリクロロエタ
ンおよびその異性体、類似体、同族体および残留化合物
は、殺虫剤として以前から使用されているので、これに
ついての文献は多数存在する。例えばＨ．Ｃ．Ａ．Ｖａ
ｎ Ｂｅｃｋ等による「Ｉｎｄ．Ｅｎｇ．Ｃｈｅｍ．Ｐ
ｒｅｓｓＲｅｓ．Ｄｅｖ」の２１巻１２３〜１２５頁
（１９８２年発行）およびＬ．Ｌ．Ｍｉｌｌｅｒ等によ
る「Ｊ，Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．」３８巻３４０頁（１９７
３年）を参照するとよい。 【００１４】本発明者はＤＤＴが２５０ｎｍ付近に最大
吸収を持つことを発見した。この波長は、ミクロ電子工
学的画像形成装置で使用されている水銀ランプによって
発生する遠紫外線に極めて近いものである。従って本発
明者は、２重量％のＤＤＴと、２０重量％のＣｙｍｅｌ
３０３アミノプラストと８０重量％の市販の活性水素含
有クレゾール−ホルムアルデヒドノボラツク樹脂からな
る酸硬化性樹脂系をＳｈｉｐｌｅｙ Ｍｉｃｒｏｐｏｓ
ｉｔ Ｔｈｉｎｎｅｒ溶媒中に溶かした溶液をつくっ
た。ＤＤＴはこの酸硬化性樹脂組成物と均一な溶液をつ
くった。次にこの溶液を、スピンコーテイングによっ
て、シリコンウエフア上に塗布し、この塗膜を９０℃で
３０分間加熱し（即ちソフトベーキングし）、溶媒を揮
発させ、厚さ１〜１．５μの高品質の塗膜をつくった。
この塗膜に、２５０ｎｍの波長の遠紫外線源から標準金
属化石英フォトマスクを通して１０ミリジユール／平方
センチメートル（ｍＪ／ｃｍ^２）の照射量となるように
露光を行った。露光後、ウエフアを９０℃で３０分間ベ
ーキングした。露光を受けなかった帯域は塩基性水溶液
現像液を使用して洗い流し、得られた画像を調べ、徐々
に段階的に３００℃の温度まで加熱した。この工程中に
画像の品質および分解能を調べた。高分解能の、熱安定
性のすぐれた画像が保たれていることを確認した。 【００１５】次に、上記したようなスクリーニング法に
よって水で現像することのできる熱安定性のすぐれたネ
ガ画像を製造するため、酸硬化性樹脂系との組合せで化
学的に関連のあるハロゲン化有機化合物が遠紫外線に感
受性があるかどうか、そしてフォト酸発生剤として作用
するのに必要とされる他の性能基準に合うかどうかを検
討した。その結果、ハロゲン化有機化合物の吸収スペク
トルと、その化合物の遠紫外線に対する感受性および酸
硬化性樹脂系との共用性との間に関連があることがわか
った。ハロゲン化化合物の最大吸収が、慣用の石英容器
とスペクトル分析器を使用して測定することのできる最
低波長の２１０ｎｍと、そして２９９ｎｍとの間にあれ
ば、この化合物は、その吸収最大領域が慣用の画像形成
装置によってつくられた遠紫外線に充分に近いので潜在
的遠紫外線フォト酸発生剤といえる。上記のような方法
によってこの範囲に最大吸収を持つハロゲン化有機化合
物について調べた。このハロゲン化有機化合物を５重量
％の濃度で使用し、この潜在フォト酸発生剤と酸硬化性
樹脂を含有している感光性組成物から形成された塗膜に
２５４ｎｍの遠紫外線を１０ｍＪ／ｃｍ^２の照射量で照
射した。２１０〜２９９ｎｍの範囲内の遠紫外線に対し
て低レベルの吸収感受性しか示さなかった、潜在的に有
用なハロゲン化有機化合物のうちのいくつかは、テスト
の濃度、波長および照射量で硬化性樹脂系とのフォト酸
発生剤として有用であることがわかり、一方同様の吸収
スペクトル最大値（低吸光率）を持つ他の潜在的な有用
なフォト酸発生剤は、酸硬化性樹脂系に対するフォト酸
発生剤として使用するのに適さないことがわかった。 【００１６】従って一つのハロゲン化有機化合物の吸収
スペクトルは潜在的に有用なフォト酸発生剤を確認する
ことができるにすぎず、そのハロゲン化有機化合物が、
水性現像できる高分解能の熱安定性のすぐれた画像を遠
紫外線で形成する際の酸硬化性樹脂との組合せで使用で
きるかどうかを予知するのに用いることはできない。例
えば、ある種のハロゲン化有機化合物はマイクロ平版と
して調和のとれた使用可能なネガ画像を生ずるのには蒸
気圧が高すぎたりする。例えばクロロホルムは、塗布し
た塗膜から溶媒を除くためのソフトベーキング（９０℃
で３０分間）の際に、かなり揮発する。そのため、塗膜
中に残っているクロロホルムの最終濃度が、塗膜全体に
均一に酸硬化反応を充分に促進するのには低くなりすぎ
てしまう。さらに、わずかな塗膜厚さのちがいが、塗膜
内におけるフォト酸発生剤の濃度の差を引き起し形成さ
れた画像の架橋の程度に差が生じ表面上に不調和な分解
能（ライン幅）を生じてしまう。他の或る潜在的に有用
な有機化合物は熱安定性が低く、塗膜から溶媒を除去す
るためのソフトベーキング工程の間に酸が発生してしま
う。フォト酸発生剤がソフトベーキング工程で酸を生じ
てしまうと、酸硬化性樹脂系は早期に架橋してしまう。
早期架橋が起ると、表面に架橋ずみの画像にならない塗
膜ができてしまう。 【００１７】従って、本発明において酸硬化性樹脂系と
の組合せで使用するのに有用なフォト酸発生剤は、塗膜
のソフトベーキング際にフォト酸発生剤の実質的な揮発
が生じないような低い蒸気圧を持つものであって、また
ソフトベーキングの際の充分な耐早期活性化性を持つも
のでなければならない。 【００１８】感光性組成物中に５重量％以下の濃度で使
用し、１０ｍＪ／ｃｍ^２の照射量で遠紫外線に曝した
際、高分解能の、熱安定性のすぐれた、水性現像できる
ネガ画像を形成するために、酸硬化性樹脂系との組合せ
でフォト酸発生剤として使用するのに適した多数のハロ
ゲン化有機化合物を見出した。このような遠紫外線用フ
ォト酸発生剤の例を挙げれば下記の通りである。 【００１９】１，１−ビス〔ｐ−クロロフエニル〕−
２，２，２−トリクロロエタン（ＤＤＴ）；１，１−ビ
ス〔ｐ−メトキシフエニル〕−２，２，２−トリクロロ
エタン；１，２，５，６，９，１０−ヘキサブロモシク
ロドデカン；１，１０−ジブロモデカン；１，１−ビス
〔ｐ−クロロフエニル〕−２，２−ジクロロエタン；
４，４′−ジクロロ−２−（トリクロロメチル）ベンズ
ヒドロールまたは１，１−ビス〔クロロフエニル〕−
２，２，２−トリクロロエタノール（Ｋｅｌｔｈａｎｅ
（登録商標））；ヘキサクロロジメチルスルホン；２−
クロロ‐６−（トリクロロメチル）ピリジン；Ｏ，Ｏ−
ジエチル−Ｏ−（３，５，６−トリクロロ−２−ピリジ
ル）ホスホロチオエート（Ｄｕｒｓｂａｒ（登録商
標））；１，２，３，４，５，６−ヘキサクロロシクロ
ヘキサン；Ｎ（１，１−ビス〔ｐ−クロロフエニル〕−
２，２，２−トリクロロエチルアセトアミド；トリス
〔２，３−ジブロモプロピル〕イソシアネレート；２，
２−ビス〔ｐ−クロロフエニル〕−１，１−ジクロロエ
チレン；およびこれらの異性体、類似体、同族体および
残留化合物である。 【００２０】ここで言う「残留化合物」とはハロゲン化
有機化合物の合成の間に生じた密接に関連のある不純物
または他の態種を含有することを意味するものであっ
て、これらは上記ハロゲン化有機化合物を主成分として
含有している市販製品中に少量で存在していてもよい。
残留化合物は、例えば米国特許第２，８１２，２８０号
中に記載されているように、本発明の技術分野において
公知のものである。 【００２１】好ましい遠紫外線用フォト酸発生剤は遠紫
外線の照射量が１０ｍＪ／ｃｍ^２である場合、約０．１
重量％のような低濃度で、酸硬化系樹脂系との組合せで
有効に作用するようなものである。好ましい遠紫外線用
フォト酸発生剤は、ＤＤＴ、Ｍｅｔｈｏｘｙｃｈｌｏ
ｒ，Ｋｅｌｔｈａｎｅおよびトリス（２，３−ジブロモ
プロピル）−イソシアヌレートである。 【００２２】遠紫外線を用いて熱安定で、水性現像可能
なネガ画像を形成するのに有用なハロゲン化有機化合物
を評価および選択するのに加えて、本発明者はＸ線照射
を用いて、これらのフォト酸発生剤を酸硬化性樹脂と組
合せて、水性現像可能で、熱安定なネガ画像を形成する
のに用いることができるかどうかを調べた。後述する実
施例はＸ線照射およびネガ画像形成についての実験の結
果を示す。 【００２３】遠紫外線フォト酸発生剤として有用である
ことがわかっているフォト酸発生剤のうちのいくつか
は、Ｘ線フォト酸発生剤として有用でないことがわか
り、二つの化合物、即ちトリス〔２，３−ジクロロプロ
ピル〕ホスフエートおよびトリス〔２−クロロエチル〕
ホスフエートは、遠紫外線フォト酸としては有用ではな
いが、Ｘ線フォト酸発生剤としては有用であった。フォ
ト酸発生剤をＸ線画像形成の際に酸硬化性樹脂系と使用
する場合、感光性組成物中におけるフォト酸発生剤の最
低濃度は、同じフォト酸発生剤を遠紫外線フォト酸発生
剤として使用する場合よりもずっと高くなければならな
いことがわかった。Ｘ線画像形成感光性組成物中のフォ
ト酸発生剤の最低濃度が１０重量％であり、一般的には
１０〜５０重量％の範囲で使用される。遠紫外線照射の
代りにＸ線照射を行う場合は、酸硬化性樹脂系中におけ
るフォト酸発生剤の濃度はずっと高濃度にする必要があ
るがＸ線照射によるネガレジストから得られた画像の分
解能は遠紫外線照射によるものよりも高い。Ｘ線は、
０．１〜１０ｎｍの範囲の非常に短かい波長を持つもの
なので、非常に高分解能の画像を形成することができ
る。このことについては、ワシントンＤ．Ｃ．にあるＡ
ＣＳのＡＣＳ Ｓｙｓ．シリーズ第２１９号（１９８３
号発行）の１３８〜１４０頁に記載された、「イントロ
ダクシヨン トウーマイクロリソグラフイー（「Ｉｎｔ
ｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｔｏ Ｍｉｃｒｏｌｉｔｈｏｇｒ
ａｐｈｙ」）を参照するとよい。ここには電子線および
陽子線感度に対するＸ線感度についても述べられてい
る。結論は、Ｘ線レジストが行う基本的放射線化学は他
の種々な短波長放射線についてと同様であるということ
である。従って、本発明のＸ線レジストは、他の短波長
化学線に照射された場合にも有用であろう。 【００２４】２０，０００ボルトで操作されるパラジウ
ムのターゲツトを含むＸ線源（Ｍｉｃｒｏｎｉｘ社製）
を用いて、本感光性組成物により０．２〜１ミクロン程
度の非常に高い分解能のサブミクロン画像を形成するこ
とができた。Ｘ線は典型的には、フォトレジスト内で、
二次電子を発生するとの見方が一般的である。これらの
二次電子がフォト酸発生剤と作用して、酸硬化性樹脂の
架橋を促進することのできるハロゲン酸をつくる。従っ
て、Ｘ線の外にも、選択されたＸ線感光性フォト酸発生
剤を使用した本発明の感光性組成物は、電子線のような
他の短波長の放射線を使用して画像を形成することもで
きる。感光性組成物に電子線を照射して画像を形成する
場合は、極端に高い、０．１μ程度の分解能を必要とす
るフォトマスクを製造するのに利用できる。 【００２５】上記のフォト酸発生剤と一緒に使用される
酸硬化性樹脂系については、本発明者による係属中の米
国特許出願第６１６，５１８号中にその詳細が記載され
ている。酸硬化性樹脂系は酸触媒および熱の存在下に架
橋するポリマーを含有している。酸硬化性樹脂系は種々
のアミノプラストおよびフエノプラストを、ヒドロキシ
ル基、カルボキシル基、アミド基またはイミド基の複数
を含有している化合物または低分子量ポリマーと組合せ
たものから製造することができる。アミノプラストとし
て適するものには、尿素−ホルムアルデヒド、メラミン
−ホルムアルデヒド、ベンゾグアナミン−ホルムアルデ
ヒド、グリコルリル−ホルムアルデヒド樹脂またはこれ
らの組合せを含む。アミノプラストは、ノボラツク樹
脂、ポリビニルフエノール、ポリグルタールイミド、ポ
リ（メタ）アクリル酸コポリマー、塩基溶解性ポリアク
リルアミドおよびポリメタクリルアミドコポリマー、２
−ヒドロキシエチルアクリレートまたはメタクリレート
を含有しているコポリマー、部分加水分解ポリビニルア
セテートから製造されたもののようなポリビニルアルコ
ール、塩基溶解性スチレン−アリルアルコールコポリマ
ーおよびこれらの混合物のような、反応性水素含有化合
物と組合せて使用する。酸硬化性樹脂との組合せで使用
される好ましい反応性水素含有化合物は、ヒドロキシル
基、ヒドロキシル基に対してオルトまたはパラ位で芳香
族環の求電子置換のための部位を含むノボラツク樹脂で
あり、３００〜１００，０００、好ましくは１，０００
〜２０，０００の範囲の平均分子量を持つものである。 【００２６】酸硬化性樹脂系は、フエノプラスト樹脂と
潜在的ホルムアルデヒド−発生化合物との組合せからも
製造することができる。このような潜在的ホルムアルデ
ヒド発生化合物としては、Ｓ−トリオキサン、Ｎ−（２
−ヒドロキシエチル）オキサゾリジンおよびオキサゾリ
ジニルエチルメタクリレートがある。 【００２７】酸硬化性樹脂系は、エチレングリコールモ
ノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエー
テル、Ｐｒｏｐａｓｏｌ（登録商標）Ｐ、Ｐｒｏｐａｓ
ｏｌ（登録商標）Ｂ等のようなグリコールエーテル、メ
チルセルソルブ（登録商標）アセテート、エチルセルソ
ルブ（登録商標）（登録商標）アセテートおよびＰｒｏ
ｐａｓｏｌ（登録商標）ＢアセテートやＰｒｏｐａｓｏ
ｌ（登録商標）Ｐのアセテート等のようなセルソルブ
（登録商標）エステル；トルエン、キシレン等のような
芳香族炭化水素；メチルエチルケトン、シクロペンタノ
ン、シクロヘキサノン等のようなケトン；エチルアセテ
ート、ブチルアセテート、イソブチルイソブチレート、
ブチロラクトン等のようなエステル；ジメチルアセトア
ミド（ＤＭＡＣ）、Ｎ−メチルピロリジノン（ＮＭ
Ｐ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）等のようなアミ
ド；エチレンジクロリド、クロロベンゼン、オルト−ジ
クロロベンゼン等のような塩素化炭化水素；ニトロベン
ゼン、ジメチルスルホキシドおよびこれらの混合物のよ
うな適当な非反応性溶媒中に溶解する。感光性コーテイ
ング溶液は、通常、５０重量％以上の溶媒、好ましくは
６５〜９５重量％の溶媒を含有している。 【００２８】本発明の遠紫外線感光性組成物は、アルカ
リ可溶性フェノール樹脂、アミノプラスト及びハロゲン
化有機フォト酸発生化合物を含む酸硬化性樹脂系からな
るネガフォトレジスト組成物であって、該ハロゲン化有
機フォト酸発生化合物は、該フォトレジスト組成物中に
０．１〜１０重量％含有され、２１０〜２９９ｎｍの範
囲の化学線を選択的に吸収するものであり、該酸硬化性
樹脂系に相溶性であり、塩基性水溶液中で現像可能であ
り、昇温下で熱安定性ネガ画像を形成するよう酸硬化性
樹脂系を架橋させるために遠紫外線で照射した際ハロゲ
ン酸を発生できるものである。 【００２９】本発明のＸ線感光性組成物は、アルカリ可
溶性フェノール樹脂、アミノプラスト酸硬化性樹脂及び
フォト酸発生化合物からなるネガフォトレジスト組成物
であって、フォト酸発生化合物は該フォトレジスト組成
物中に１０〜５０重量％含有され、Ｘ線領域の化学線を
吸収するものであり、該酸硬化性樹脂系に相溶性であ
り、塩基性水溶液で除去可能であり、昇温下で熱安定性
ネガ画像を形成するよう、酸硬化性樹脂系を架橋させる
ために遠Ｘ線に照射した際酸を発生できるものである。 【００３０】下記の実施例は、表面に水で現像できる熱
安定性のすぐれた高分解能のネガ画像をつくるために酸
硬化性樹脂系との組合せでフォト酸発生剤を含有してい
る感光性組成物を説明するためのものであり、これによ
って本発明の範囲を限定することを意図するものではな
い。 【００３１】実施例 実施例１ 接触印刷による遠紫外線中でのネガ画像の形成 ３０％固形分のノボラツク樹脂（溶液）、即ちＳｈｉｐ
ｌｅｙ Ｃｏ（シプレー社）製のＸＰ−０１０３の１０
０ｇに対して、０．６０ｇのメチレート化メラミン−ホ
ルムアルデヒドアミノプラスト、即ちＣｙｍｅｌ（登録
商標）３０３と、０．７３ｇのＳｈｉｐｌｅｙ Ｍｉｃ
ｒｏｐｏｓｉｔ（登録商標）シンナー中に溶解した１，
１−ビス〔ｐ−クロロフエニル〕−２，２，２−トリク
ロロエタンからなるフォト酸発生剤の１０％溶液を加
え、次に２４ｇのＳｈｉｐｌｅｙＭｉｃｒｏｐｏｓｉｔ
（登録商標）Ｔｙｐｅ Ａのシンナーを加えて、１．９
９％のフォト酸発生剤（固形分の重量による）と２６．
７３％固形分を含んだ混合物を製造した。混合物を２５
℃で５分間緩やかに攪拌し、均一な溶液にした。３イン
チ直径のシリコンオキシドのウエフアをヘキサメチレン
ジシラザン（ＨＭＤＳ）で蒸気下塗りし、表面の湿気を
除去した。１．０ｍｌのアリコートをウエフア上に３０
００ｒｐｍ／６０秒でスピンコートした。このウエフア
を強制空気炉中に、９０℃で３０分間入れた。（即ちソ
フトベーキング）。このウエフアを次にＨｙｂｒｉｄ
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｇｒｏｕｐ Ｍｏｄｅｌ Ｎ
ｏ．Ｌ−８４−５Ｘ接触印刷機を使用して、Ｓｈｉｐｌ
ｅｙ Ｔａｒｇｅｔフォトマスクと接触するようにし
た。この塗膜にピーク波長２５８．５ｎｍで帯の巾が２
８ｎｍのＡｃｔｉｏｎ Ｒｅｓｅａｒｃｈバンドパスフ
イルターを備え付けた高圧水銀蒸気ランプ（５００ワッ
ト）から２５４ｎｍで化学線を照射した。このウエフア
は、７．５ｍＪ／ｃｍ^２の放射線照射を受けた。露光し
てから、フォトマスクを除去し、塗膜の照射された帯域
中の酸潜在画像を、強制空気炉中で９０℃で３０分間加
熱することによって架橋させた。画像を塩基水溶液現像
液、即ちＳｈｉｐｌｅｙ Ｃｏｍｐａｎｙ製のＭｉｏｒ
ｏｐｏｓｉｔ（登録商標）３５１の２容量部を３容量部
の脱イオン水で希釈して得た液中で緩やかに攪拌しなが
ら２０℃で２．７５分間現像した。得られた画像は１．
４μｍの厚さ（Ｂ）のものであった。上記と同様のレジ
スト状況で２６％の固形分まで希釈し、実施例１の手順
により処理して０．７μｍの行および語間の印刷版を製
造した。 【００３２】実施例２ 市販の露光系の使用による遠紫外線中でのネガ画像の形
成 実施例１と同様にして、２％の１，１−ビス〔ｐ−クロ
ロフエニル〕−２，２，２−トリクロロエタンのレジス
ト溶液をつくった。このコーテイング溶液をＰｅｒｋｉ
ｎ−Ｅｌｍｅｒ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｌａｂｓ ｏｆ
Ｓｏｕｔｈ．Ｗｉｌｔｏｎ．ＣＴにとり、これからＨＭ
ＤＳ−前処理ずみの５インチ直径のシリコンオキシドウ
エフアの上に３５００ｐｍで４５秒間スピンコートし
た。この塗膜を９０℃で４０分間、強制空気炉中で、Ｐ
ｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ Ｍｉｃｒａｌｉｇｎ（登録商
標）５４０ａｌｉｇｎｅｒ上で露光する前にソフトベー
キングした。ピーク波長が２８０ｎｍでバンド幅が５０
ｎｍの２８０ｎｍバンドパスフイルターを、ＵＶＣ遠紫
外線ランプと配列したマスク／ウエフア系との間に置い
た。このウエフアを、放射線の走査速度を変えることに
よってウエフア表面を横切る５種の照射量で露光した。
Ｐｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒテストパターン（暗視野マス
ク上）を、２．２，３．９，５．５，７．２および８．
８ｍＪ／ｃｍ^２の照射量で塗膜に画像を形成するように
使用した。露光されたウエフアは実施例１と同様に処理
して、ほゞ０．９μｍの厚さの画像を製造した。 【００３３】実施例３ Ｘ線を使用したネガ画像の形成 ２％の１，１−ビス〔ｐ−クロロフエニル〕−２，２，
２−トリクロロエタンのレジスト溶液を１０．００ｇの
ノボラツク樹脂、０．６０ｇのＣｙｍｅｌ３０３、０．
７３ｇのＳｈｉｐｌｅｙ Ｍｉｃｒｏｐｏｓｉｔ Ｔｈ
ｉｎｎｅｒ中に溶解したフォト酸発生剤の１０％溶液お
よび２．４０ｇのシンナーを混合することにより製造し
た。この溶液を、実施例１に記載したようにして４イン
チウエフア上にスピンコーテイングし、Ｍｉｃｒｏｎｉ
ｘ Ｃｏｒｐ ｏｆ Ｌｏｓ Ｇａｔｏｓ．ＣＡに入れ
る前に、焼付けを行った。Ｍｉｃｒｏｎｉｘで、塗膜を
プロトタイプのＸ−線露光系統に入れる前に１０分間脱
イオン水中で浸漬した。２．５ｋＷのパラジウム源を使
用し、３Åで鮮明なＸ線ラインをつくる２５ｋＶで、Ｘ
線の弱い広幅帯上に重畳した。Ｍｉｃｒｏｎｉｘテスト
金属化フォトマスクを、Ｘ線源とウエフアステージの間
に入れた。Ｘ線源に面したマスクの側をヘリウム雰囲気
に曝し、反対側を通常の雰囲気に曝した。ウエフアをマ
スクの下に４０ミクロンの間隔をあけて配置し、ウエフ
ア表面を覆うエアーパージを使用して６０分間照射し
た。これは１３１ｍＪ／ｃｍ^２の照射量に相当した。９
３℃で２３分間、後焼付けをした後、１．３μｍの厚さ
の塗膜を、照射されなかった部分がＳｈｉｐｌｅｙ３５
１水性現像液／脱イオン水の３／２溶液中で透明になる
まで（２〜３分間）現像すると、０．９６μｍの画像
（８０％の初期厚さが保たれた。）が得られる。 【００３４】現像された塗膜は、慣用のＤＣＯＰＡＸ線
レジストに匹敵する均一性と外側の縁にさらに薄い塗膜
の環を持つものであった。１．０μｍバーは解像され
ず、これは露出オーバーを示すものであるが、画像のプ
ロフイールはＤＣＯＰＡの場合（この場合は斜めになり
さらに丸くなっている。）よりも優れていた。 【００３５】表１には、以下の実施例に相当するネガ画
像を形成するために酸硬化性樹脂との組合せで使用され
るフォト酸発生剤を示した。感光性組成物、塗膜形成お
よびネガ画像でつくるのに使われた手順は遠紫外線につ
いては実施例１において記載したのと同様であり、Ｘ線
については実施例２において記載したのと同様にし、変
更するところは表２〜４に示した通りである。 【００３６】 【表１】 【００３７】表２には遠紫外線照射を利用して、種々の
遠紫外線フォト酸発生剤を酸硬化性樹脂フォトレジスト
との組合せで使用した場合の実験結果を示すものであ
る。このようなフォトレジスト組成物では水性現像でき
る熱安定性のすぐれた、高分解能のネガ画像を形成する
ことができた。 【００３８】 【表２】 【００３９】 【表３】 【００４０】 【表４】【００４１】 【表５】 【００４２】 【表６】【００４３】 【表７】 【００４４】 【表８】【００４５】 【表９】 【００４６】表３には、表示した以外実施例１の実験手
順に従ってフォト酸発生剤と酸硬化性樹脂とを利用した
感光性組成物に関する比較実験結果を示したが、この場
合、満足すべきネガ画像を形成することができなかっ
た。 【００４７】 【表１０】【００４８】 【表１１】 【００４９】表４には、Ｘ線照射によるフォト酸発生剤
と酸硬化性樹脂とを使用した感光性組成物についての実
験結果を示すが、この場合は熱安定性のすぐれた、水性
現像できるネガ画像を形成することができた。 【００５０】 【表１２】【００５１】 【表１３】 【００５２】 【表１４】【００５３】表５には、実施例３の実験手順に従って、
Ｘ線フォト酸発生剤と酸硬化性樹脂を利用した感光性組
成物についての比較実験結果を示すが、この場合は満足
すべき画像を得ることができなかった。 【００５４】 【表１５】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/038 G03F 7/004 G03F 7/029 G03F 7/38 H01L 21/027

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．（１）アルカリ可溶性フェノール樹脂及びアミノプ
   ラストを含む酸硬化性樹脂系、並びにハロゲン化有機フ
   ォト酸発生剤を含むフォトレジスト組成物の溶液であっ
   て、該ハロゲン化有機フォト酸発生剤が、該フォトレジ
   スト組成物中に全固形分の０．１〜１０重量％含有さ
   れ、２１０〜２９９ｎｍの範囲の化学線を吸収してフォ
   ト酸を発生し、該酸硬化性樹脂系に相溶性である、前記
   フォトレジスト組成物の溶液を基体表面に塗布し、 （２）塗布されたフォトレジスト溶液をソフトベーキン
   グして塗膜を形成し、 （３）２１０〜２９９ｎｍの範囲の化学線源で照射し、 （４）照射された塗膜を高い温度まで加熱し、 （５）塗膜の未露光部分を水性塩基性現像液と接触させ
   て、 ２００℃を超える温度でも熱安定性を示す高解像ネガ画
   像を形成することを含む、表面にネガ画像を形成する方
   法。 ２．（１）アルカリ可溶性フェノール樹脂及びアミノプ
   ラストを含む酸硬化性樹脂系、並びにハロゲン化有機フ
   ォト酸発生剤を含むフォトレジスト組成物の溶液であっ
   て、該ハロゲン化有機フォト酸発生剤が、該フォトレジ
   スト組成物中に少なくとも全固形分の１０重量％含有さ
   れ、Ｘ線領域の化学線を吸収してフォト酸を発生し、該
   酸硬化性樹脂系に相溶性である、前記フォトレジスト組
   成物の溶液を基体表面に塗布し、 （２）塗布されたフォトレジスト溶液をソフトベーキン
   グして塗膜を形成し、 （３）Ｘ線領域の化学線源で照射し、 （４）照射された塗膜を高い温度まで加熱し、 （５）塗膜の未露光部分を水性塩基性現像液と接触させ
   て、 ２００℃を超える温度でも熱安定性を示す高解像ネガ画
   像を形成することを含む、０．２から１ミクロンの分解
   能を有する表面にネガ画像を形成する方法。