JP3293487B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図である。振動ジャイロ１は、振動体２を含む。振
動体２は、第１の圧電体基板３および第２の圧電体基板
４を接着することによって形成される。第１の圧電体基
板３および第２の圧電体基板４は、矢印で示すように、
互いに逆向きの厚み方向に分極される。
斜視図である。振動ジャイロ１は、振動体２を含む。振
動体２は、第１の圧電体基板３および第２の圧電体基板
４を接着することによって形成される。第１の圧電体基
板３および第２の圧電体基板４は、矢印で示すように、
互いに逆向きの厚み方向に分極される。
【０００３】第１の圧電体基板３の外側主面には、分割
された電極５が形成される。電極５は、第１の圧電体基
板３の長手方向に延びる溝によって、幅方向に２分割さ
れている。さらに、電極５は、第１の圧電体基板３の幅
方向に延びる２つの溝によって、長手方向に３分割され
ている。つまり、電極５は、６つの部分に分割されてい
る。さらに、第２の圧電体基板４の外側主面の全面に、
別の電極６が形成される。振動体２のノード点付近にお
いて、電極６と基板７上の支持ピン８とが接続される。
支持ピン８は、たとえば半田付けや導電接着剤などによ
って、電極６に取り付けられている。
された電極５が形成される。電極５は、第１の圧電体基
板３の長手方向に延びる溝によって、幅方向に２分割さ
れている。さらに、電極５は、第１の圧電体基板３の幅
方向に延びる２つの溝によって、長手方向に３分割され
ている。つまり、電極５は、６つの部分に分割されてい
る。さらに、第２の圧電体基板４の外側主面の全面に、
別の電極６が形成される。振動体２のノード点付近にお
いて、電極６と基板７上の支持ピン８とが接続される。
支持ピン８は、たとえば半田付けや導電接着剤などによ
って、電極６に取り付けられている。
【０００４】この振動ジャイロ１では、電極５の長手方
向の中央部にある２つの電極部分５ａ，５ｂと、それに
対向する電極６との間に、駆動信号が印加される。第１
の圧電体基板３および第２の圧電体基板４は、互いに逆
向きに分極されているため、振動体２はバイモルフ構造
となっており、駆動信号によって振動体２が電極５，６
形成面に直交する向きに屈曲振動する。このとき、振動
体２は、その長手方向の両端から少し内側にある２つの
ノード点を中心として屈曲振動する。このとき、電極部
分５ａ，５ｂからは同じ信号が出力されるため、これら
の電極部分５ａ，５ｂから出力される信号の差をとれ
ば、２つの出力信号が相殺されて０となる。
向の中央部にある２つの電極部分５ａ，５ｂと、それに
対向する電極６との間に、駆動信号が印加される。第１
の圧電体基板３および第２の圧電体基板４は、互いに逆
向きに分極されているため、振動体２はバイモルフ構造
となっており、駆動信号によって振動体２が電極５，６
形成面に直交する向きに屈曲振動する。このとき、振動
体２は、その長手方向の両端から少し内側にある２つの
ノード点を中心として屈曲振動する。このとき、電極部
分５ａ，５ｂからは同じ信号が出力されるため、これら
の電極部分５ａ，５ｂから出力される信号の差をとれ
ば、２つの出力信号が相殺されて０となる。
【０００５】振動体２の軸を中心として回転すると、振
動体２の屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が
働く。そのため、振動体２の屈曲振動の向きが変わり、
電極部分５ａ，５ｂの出力信号が変化する。つまり、一
方の電極部分５ａからの出力信号がコリオリ力に対応し
て増加すると、他方の電極部分５ｂからの出力信号はコ
リオリ力に対応して減少する。したがって、これらの電
極部分５ａ，５ｂからの出力信号の差をとれば、コリオ
リ力に対応した信号のみを得ることができる。このよう
に、電極部分５ａ，５ｂの出力信号の差を測定すること
によって、振動ジャイロ１に加わった回転角速度を検出
することができる。
動体２の屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が
働く。そのため、振動体２の屈曲振動の向きが変わり、
電極部分５ａ，５ｂの出力信号が変化する。つまり、一
方の電極部分５ａからの出力信号がコリオリ力に対応し
て増加すると、他方の電極部分５ｂからの出力信号はコ
リオリ力に対応して減少する。したがって、これらの電
極部分５ａ，５ｂからの出力信号の差をとれば、コリオ
リ力に対応した信号のみを得ることができる。このよう
に、電極部分５ａ，５ｂの出力信号の差を測定すること
によって、振動ジャイロ１に加わった回転角速度を検出
することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロでは、落下などによる衝撃に弱く、特
に支持ピン側から振動体側に向かって衝撃が加わったと
き、振動体が支持ピンから外れる恐れがある。このよう
に、振動体が支持ピンから外れると、振動ジャイロとし
ての機能を失ってしまう。
うな振動ジャイロでは、落下などによる衝撃に弱く、特
に支持ピン側から振動体側に向かって衝撃が加わったと
き、振動体が支持ピンから外れる恐れがある。このよう
に、振動体が支持ピンから外れると、振動ジャイロとし
ての機能を失ってしまう。
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、強
い耐衝撃性を有する振動ジャイロを提供することであ
る。
い耐衝撃性を有する振動ジャイロを提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、２つの圧電
体基板を接合してなる四角柱状の振動体と、２つの圧電
体基板の外側主面に形成され、少なくとも一方が分割さ
れた対向電極とを含み、２つの圧電体基板の外側主面に
おいて振動体のノード点に対応する一方側が導電材料で
形成された支持ピンによって支持され、他方側が軟性樹
脂によって支持された、振動ジャイロである。
体基板を接合してなる四角柱状の振動体と、２つの圧電
体基板の外側主面に形成され、少なくとも一方が分割さ
れた対向電極とを含み、２つの圧電体基板の外側主面に
おいて振動体のノード点に対応する一方側が導電材料で
形成された支持ピンによって支持され、他方側が軟性樹
脂によって支持された、振動ジャイロである。
【０００９】四角柱状の振動体の両側部分が支持されて
いるため、振動体の支持強度が強く、振動ジャイロに衝
撃が加わっても、振動体が外れにくい。そのため、衝撃
が加わっても特性が劣化せず、信頼性の高い振動ジャイ
ロを得ることができる。また、導電材料で形成された支
持ピンを用いることにより、振動体の支持以外に、振動
体への信号入出力用として支持ピンを利用することがで
きる。さらに、振動体を軟性樹脂で支持することによ
り、振動体の振動がダンピングされにくくなり、特性の
劣化を抑えることができる。
いるため、振動体の支持強度が強く、振動ジャイロに衝
撃が加わっても、振動体が外れにくい。そのため、衝撃
が加わっても特性が劣化せず、信頼性の高い振動ジャイ
ロを得ることができる。また、導電材料で形成された支
持ピンを用いることにより、振動体の支持以外に、振動
体への信号入出力用として支持ピンを利用することがで
きる。さらに、振動体を軟性樹脂で支持することによ
り、振動体の振動がダンピングされにくくなり、特性の
劣化を抑えることができる。
【００１０】
【発明の効果】この発明によれば、強い耐衝撃性を有す
る、信頼性の高い振動ジャイロを得ることができる。ま
た、導電材料で形成された支持ピンを用いることによ
り、外部回路との接続に支持ピンを利用することがで
き、リード線などを省略することができる。さらに、振
動体を軟性樹脂で支持することにより、振動体の振動が
ダンピングされにくく、良好な特性を有する振動ジャイ
ロを得ることができる。
る、信頼性の高い振動ジャイロを得ることができる。ま
た、導電材料で形成された支持ピンを用いることによ
り、外部回路との接続に支持ピンを利用することがで
き、リード線などを省略することができる。さらに、振
動体を軟性樹脂で支持することにより、振動体の振動が
ダンピングされにくく、良好な特性を有する振動ジャイ
ロを得ることができる。
【００１１】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。振動ジャイロ１０は、四角柱
状の振動体１２を含む。振動体１２は、第１の圧電体基
板１４および第２の圧電体基板１６を含む。第１の圧電
体基板１４および第２の圧電体基板１６としては、たと
えば圧電セラミックやＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ3 など
の単結晶などが用いられる。第１の圧電体基板１４およ
び第２の圧電体基板１６は、接合層１８で接合される。
接合層１８の材料としては、たとえばエポキシ樹脂など
が用いられる。第１の圧電体基板１４と第２の圧電体基
板１６とは、図１の矢印に示すように、互いに逆向きの
厚み方向に分極される。したがって、振動体１２は、バ
イモルフ構造となる。
一例を示す斜視図である。振動ジャイロ１０は、四角柱
状の振動体１２を含む。振動体１２は、第１の圧電体基
板１４および第２の圧電体基板１６を含む。第１の圧電
体基板１４および第２の圧電体基板１６としては、たと
えば圧電セラミックやＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ3 など
の単結晶などが用いられる。第１の圧電体基板１４およ
び第２の圧電体基板１６は、接合層１８で接合される。
接合層１８の材料としては、たとえばエポキシ樹脂など
が用いられる。第１の圧電体基板１４と第２の圧電体基
板１６とは、図１の矢印に示すように、互いに逆向きの
厚み方向に分極される。したがって、振動体１２は、バ
イモルフ構造となる。
【００１３】第１の圧電体基板１４の外側主面には、第
１の電極２０が形成される。第１の電極２０には、第１
の圧電体基板１４の長手方向に延びる溝２２ａと、第１
の圧電体基板１４の幅方向に延びる２つの溝２２ｂとが
形成される。振動体１２は駆動信号によって屈曲振動す
るが、２つの溝２２ｂは、それぞれ振動体１２の２つの
ノード点より両端側に形成される。これらの溝２２ａ，
２２ｂによって、第１の電極２０が６つの電極部分２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅおよび２０ｆに分
割される。さらに、第２の圧電体基板１６の外側主面に
は、その全面に第２の電極２４が形成される。
１の電極２０が形成される。第１の電極２０には、第１
の圧電体基板１４の長手方向に延びる溝２２ａと、第１
の圧電体基板１４の幅方向に延びる２つの溝２２ｂとが
形成される。振動体１２は駆動信号によって屈曲振動す
るが、２つの溝２２ｂは、それぞれ振動体１２の２つの
ノード点より両端側に形成される。これらの溝２２ａ，
２２ｂによって、第１の電極２０が６つの電極部分２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅおよび２０ｆに分
割される。さらに、第２の圧電体基板１６の外側主面に
は、その全面に第２の電極２４が形成される。
【００１４】このような振動体１２を作製するには、た
とえば大きい２枚の圧電体基板をエポキシ樹脂などで接
合して積層基板を形成し、一方の圧電体基板上に形成さ
れた電極に所定の間隔で溝を形成したのち、ダイシング
カットなどによって積層基板を切断すればよい。
とえば大きい２枚の圧電体基板をエポキシ樹脂などで接
合して積層基板を形成し、一方の圧電体基板上に形成さ
れた電極に所定の間隔で溝を形成したのち、ダイシング
カットなどによって積層基板を切断すればよい。
【００１５】振動体１２は、図２および図３に示すよう
に、支持部材２８によって基板２６上に支持される。支
持部材２８は、たとえばシリコン樹脂などの軟性樹脂に
よって形成される。振動体１２は、その屈曲振動の２つ
のノード点に対応する部分で、支持部材２８によって基
板２６に接着される。ここでは、振動体１２に形成され
た第２の電極２４が、支持部材２８によって基板２６に
接着される。
に、支持部材２８によって基板２６上に支持される。支
持部材２８は、たとえばシリコン樹脂などの軟性樹脂に
よって形成される。振動体１２は、その屈曲振動の２つ
のノード点に対応する部分で、支持部材２８によって基
板２６に接着される。ここでは、振動体１２に形成され
た第２の電極２４が、支持部材２８によって基板２６に
接着される。
【００１６】さらに、第１の電極２０の長手方向の中央
部にある電極部分２０ａ，２０ｂには、それぞれ支持ピ
ン３０ａ，３０ｂが取り付けられる。支持ピン３０ａ，
３０ｂは、たとえば金属などの導電材料で形成される。
支持ピン３０ａ，３０ｂは、振動体１２の２つのノード
点に対応する部分において、電極部分２０ａ，２０ｂに
半田付けされる。このとき、支持ピン３０ａは電極部分
２０ａに半田付けされ、支持ピン３０ｂは電極部分２０
ｂに半田付けされる。支持ピン３０ａ，３０ｂの端部
は、たとえば基板２６の端縁部に固定される。つまり、
振動体１２は、その両面において、支持部材２８と支持
ピン３０ａ，３０ｂとによって支持される。
部にある電極部分２０ａ，２０ｂには、それぞれ支持ピ
ン３０ａ，３０ｂが取り付けられる。支持ピン３０ａ，
３０ｂは、たとえば金属などの導電材料で形成される。
支持ピン３０ａ，３０ｂは、振動体１２の２つのノード
点に対応する部分において、電極部分２０ａ，２０ｂに
半田付けされる。このとき、支持ピン３０ａは電極部分
２０ａに半田付けされ、支持ピン３０ｂは電極部分２０
ｂに半田付けされる。支持ピン３０ａ，３０ｂの端部
は、たとえば基板２６の端縁部に固定される。つまり、
振動体１２は、その両面において、支持部材２８と支持
ピン３０ａ，３０ｂとによって支持される。
【００１７】この振動ジャイロ１０を使用するには、図
４に示すように、第１の電極２０の長手方向の中央部に
ある２つの電極部分２０ａ，２０ｂに抵抗４０，４２が
接続される。これらの抵抗４０，４２と第２の電極２４
との間には、発振回路４４が接続される。発振回路４４
は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含み、第２の
電極２４から出力される信号が発振回路４４に帰還され
る。そして、増幅回路および位相補正回路によって、帰
還された信号のレベルおよび位相が調整され、第１の電
極２０の電極部分２０ａ，２０ｂに与えられる。
４に示すように、第１の電極２０の長手方向の中央部に
ある２つの電極部分２０ａ，２０ｂに抵抗４０，４２が
接続される。これらの抵抗４０，４２と第２の電極２４
との間には、発振回路４４が接続される。発振回路４４
は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含み、第２の
電極２４から出力される信号が発振回路４４に帰還され
る。そして、増幅回路および位相補正回路によって、帰
還された信号のレベルおよび位相が調整され、第１の電
極２０の電極部分２０ａ，２０ｂに与えられる。
【００１８】また、第１の電極２０の電極部分２０ａ，
２０ｂは、差動回路４６の入力端に接続される。差動回
路４６の出力端は、同期検波回路４８に接続される。同
期検波回路４８では、たとえば発振回路４４の信号に同
期して、差動回路４６の出力信号が検波される。同期検
波回路４８は平滑回路５０に接続され、さらに平滑回路
５０は増幅回路５２に接続される。
２０ｂは、差動回路４６の入力端に接続される。差動回
路４６の出力端は、同期検波回路４８に接続される。同
期検波回路４８では、たとえば発振回路４４の信号に同
期して、差動回路４６の出力信号が検波される。同期検
波回路４８は平滑回路５０に接続され、さらに平滑回路
５０は増幅回路５２に接続される。
【００１９】この振動ジャイロ１０は、発振回路４４に
よって自励振駆動される。このとき、振動体１２はバイ
モルフ構造であるため、第１の圧電体基板１４がその主
面に平行する向きに延びたとき、第２の圧電体基板１６
はその主面に平行する向きに縮む。逆に、第１の圧電体
基板１４がその主面に平行する向きに縮んだとき、第２
の圧電体基板１６がその主面に平行する向きに延びる。
そのため、振動体１２は、第１および第２の電極２０，
２４形成面に直交する向きに屈曲振動する。
よって自励振駆動される。このとき、振動体１２はバイ
モルフ構造であるため、第１の圧電体基板１４がその主
面に平行する向きに延びたとき、第２の圧電体基板１６
はその主面に平行する向きに縮む。逆に、第１の圧電体
基板１４がその主面に平行する向きに縮んだとき、第２
の圧電体基板１６がその主面に平行する向きに延びる。
そのため、振動体１２は、第１および第２の電極２０，
２４形成面に直交する向きに屈曲振動する。
【００２０】回転角速度が加わっていないとき、電極部
分２０ａ，２０ｂから出力される信号は同じであり、差
動回路４６で相殺されるため、差動回路４６からは信号
が出力されない。振動体１２の軸を中心として回転する
と、屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が働
く。このコリオリ力により、振動体１２の屈曲振動の向
きが変わる。そのため、電極部分２０ａ，２０ｂから出
力される信号が変わる。たとえば、電極部分２０ａから
出力される信号が大きくなったとき、電極部分２０ｂか
ら出力される信号は小さくなる。したがって、差動回路
４６から、２つの電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の
差が得られる。電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の変
化は、振動体１２の屈曲振動の向きの変化、すなわちコ
リオリ力に対応している。したがって、差動回路４６か
らは、コリオリ力に対応したレベルの信号が出力され
る。
分２０ａ，２０ｂから出力される信号は同じであり、差
動回路４６で相殺されるため、差動回路４６からは信号
が出力されない。振動体１２の軸を中心として回転する
と、屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が働
く。このコリオリ力により、振動体１２の屈曲振動の向
きが変わる。そのため、電極部分２０ａ，２０ｂから出
力される信号が変わる。たとえば、電極部分２０ａから
出力される信号が大きくなったとき、電極部分２０ｂか
ら出力される信号は小さくなる。したがって、差動回路
４６から、２つの電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の
差が得られる。電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の変
化は、振動体１２の屈曲振動の向きの変化、すなわちコ
リオリ力に対応している。したがって、差動回路４６か
らは、コリオリ力に対応したレベルの信号が出力され
る。
【００２１】差動回路４６の出力信号は、同期検波回路
４８において、発振回路４４の信号に同期して検波され
る。このとき、差動回路４６の出力信号の正部分のみま
たは負部分のみが検波される。同期検波回路４８で検波
された信号は、平滑回路５０で平滑され、さらに増幅回
路５２で増幅される。したがって、増幅回路５２の出力
信号を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わっ
た回転角速度を検出することができる。
４８において、発振回路４４の信号に同期して検波され
る。このとき、差動回路４６の出力信号の正部分のみま
たは負部分のみが検波される。同期検波回路４８で検波
された信号は、平滑回路５０で平滑され、さらに増幅回
路５２で増幅される。したがって、増幅回路５２の出力
信号を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わっ
た回転角速度を検出することができる。
【００２２】回転角速度の向きが逆の場合、振動体１２
の屈曲振動の向きの変化も逆になり、電極部分２０ａ，
２０ｂの出力信号の変化は逆となる。そのため、差動回
路４６から出力される信号は逆位相となり、同期検波回
路４８で検波される信号も逆極性となる。そのため、増
幅回路５２からの出力信号の極性も逆となる。したがっ
て、増幅回路５２の出力信号の極性から、回転角速度の
方向を検出することができる。
の屈曲振動の向きの変化も逆になり、電極部分２０ａ，
２０ｂの出力信号の変化は逆となる。そのため、差動回
路４６から出力される信号は逆位相となり、同期検波回
路４８で検波される信号も逆極性となる。そのため、増
幅回路５２からの出力信号の極性も逆となる。したがっ
て、増幅回路５２の出力信号の極性から、回転角速度の
方向を検出することができる。
【００２３】この振動ジャイロ１０では、振動体１２の
両面において、支持部材２８および支持ピン３０ａ，３
０ｂで支持されているため、振動体１２の支持強度が大
きく、落下などの衝撃が加わっても、振動体１２が基板
２６から外れにくい。また、この振動ジャイロ１０で
は、振動体１２の第２の電極２４側が軟性樹脂で形成さ
れた支持部材２８で支持されているため、振動体１２の
屈曲振動がダンピングされにくい。そのため、良好な特
性を有する振動ジャイロ１０を得ることができる。この
ように、この発明によれば、強い耐衝撃性を有し、しか
も良好な特性を有する振動ジャイロ１０を得ることがで
きる。
両面において、支持部材２８および支持ピン３０ａ，３
０ｂで支持されているため、振動体１２の支持強度が大
きく、落下などの衝撃が加わっても、振動体１２が基板
２６から外れにくい。また、この振動ジャイロ１０で
は、振動体１２の第２の電極２４側が軟性樹脂で形成さ
れた支持部材２８で支持されているため、振動体１２の
屈曲振動がダンピングされにくい。そのため、良好な特
性を有する振動ジャイロ１０を得ることができる。この
ように、この発明によれば、強い耐衝撃性を有し、しか
も良好な特性を有する振動ジャイロ１０を得ることがで
きる。
【００２４】 なお、２つの圧電体基板１４，１６は、必
ずしも逆向きに分極される必要はなく、同じ方向に分極
してもよい。この場合、たとえば接合層１８を半田など
の金属層で形成し、この接合層１８が共通電極として用
いられ、接合層１８からの出力信号が発振回路４４に帰
還される。そして、発振回路４４からの信号を第１の電
極２０および第２の電極２４に与えることにより、振動
体１２を屈曲振動させることができる。
ずしも逆向きに分極される必要はなく、同じ方向に分極
してもよい。この場合、たとえば接合層１８を半田など
の金属層で形成し、この接合層１８が共通電極として用
いられ、接合層１８からの出力信号が発振回路４４に帰
還される。そして、発振回路４４からの信号を第１の電
極２０および第２の電極２４に与えることにより、振動
体１２を屈曲振動させることができる。
【００２５】 また、上述の振動ジャイロ１０では、第１
の電極２０のみが分割されたが、第２の電極２４も同様
に分割されてもよい。このような電極構造であっても、
２つの電極２０，２４間に駆動信号を与えることによ
り、振動体１２を屈曲振動させることができる。この場
合、回転角速度に対応した信号は、第１の電極２０の分
割部分から取り出してもよいし、第２の電極２４の分割
部分から取り出してもよい。
の電極２０のみが分割されたが、第２の電極２４も同様
に分割されてもよい。このような電極構造であっても、
２つの電極２０，２４間に駆動信号を与えることによ
り、振動体１２を屈曲振動させることができる。この場
合、回転角速度に対応した信号は、第１の電極２０の分
割部分から取り出してもよいし、第２の電極２４の分割
部分から取り出してもよい。
【図１】この発明の振動ジャイロの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
【図３】図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面図であ
る。
る。
【図４】図１に示す振動ジャイロを使用するときの回路
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図５】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
る。
１０ 振動ジャイロ １２ 振動体 １４ 第１の圧電体基板 １６ 第２の圧電体基板 １８ 接合層 ２０ 第１の電極 ２２ａ，２２ｂ 溝 ２４ 第２の電極 ２６ 基板 ２８ 支持部材 ３０ａ，３０ｂ 支持ピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−332988（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−34162（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−201064（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−324936（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−68634（ＪＰ，Ａ) 近野正，圧電形の振動ジャイロ・方向 センサー，昭和61年度文部省科学研究費 補助金（一般研究（Ｂ））研究成果報告 書（課題番号Ｎｏ60460142），日本 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】 ２つの圧電体基板を接合してなる四角柱
状の振動体、および前記２つの圧電体基板の外側主面に
形成され、少なくとも一方が分割された対向電極を含
み、 前記２つの圧電体基板の外側主面において前記振動体の
ノード点に対応する一方側が導電材料で形成された支持
ピンによって支持され、他方側が軟性樹脂によって支持
された、振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP23724596A JP3293487B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23724596A JP3293487B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 振動ジャイロ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062179A JPH1062179A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3293487B2 true JP3293487B2 (ja) | 2002-06-17 |
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ID=17012559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23724596A Expired - Fee Related JP3293487B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 振動ジャイロ |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3293487B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3613117B2 (ja) | 2000-02-23 | 2005-01-26 | 株式会社村田製作所 | 振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 |
| JP4678093B2 (ja) * | 2001-02-23 | 2011-04-27 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロの製造方法 |
| JP2002250630A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子支持構造およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 |
-
1996
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Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 近野正，圧電形の振動ジャイロ・方向センサー，昭和６１年度文部省科学研究費補助金（一般研究（Ｂ））研究成果報告書（課題番号Ｎｏ６０４６０１４２），日本 |
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|---|---|
| JPH1062179A (ja) | 1998-03-06 |
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