JP3407689B2

JP3407689B2 - 振動ジャイロ

Info

Publication number: JP3407689B2
Application number: JP11474499A
Authority: JP
Inventors: 信行石床; 克己藤本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-04-22
Filing date: 1999-04-22
Publication date: 2003-05-19
Anticipated expiration: 2019-04-22
Also published as: CN1271848A; KR20010007012A; US6281618B1; EP1046883A3; JP2000304546A; EP1046883A2; KR100364968B1; CN1174221C

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止用として角速度
を検出するために用いられる振動ジャイロに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、従来の振動ジャイロの一例を
示す斜視図である。振動ジャイロ１は、たとえば正３角
柱状の振動体２を含む。振動体２の３つの側面には、そ
れぞれ圧電素子３ａ，３ｂ，３ｃが形成される。この振
動ジャイロ１を使用するために、たとえば図１１に示す
ように、圧電素子３ａ，３ｂと圧電素子３ｃとの間に発
振回路４が接続される。さらに、圧電素子３ａ，３ｂ
は、検出回路５に接続される。検出回路５は、差動回
路、同期検波回路、平滑回路および直流増幅回路などを
含む。

【０００３】この振動ジャイロ１では、圧電素子３ｃの
出力信号が発振回路４に帰還される。発振回路４におい
ては、帰還された信号が増幅され、さらに位相調整され
て励振信号が形成される。このようにして得られた励振
信号が、圧電素子３ａ，３ｂに与えられる。それによっ
て、振動体２は、圧電素子３ｃ形成面に直交する向きに
屈曲振動する。この状態においては、圧電素子３ａ，３
ｂの屈曲状態が同じであり、その出力信号も同じであ
る。そのため、検出回路５の差動回路からは信号が出力
されない。振動体２が屈曲振動している状態で、振動体
２の軸を中心として回転すると、コリオリ力によって振
動体２の振動方向が変わる。そのため、圧電素子３ａ，
３ｂから出力される信号に差が生じ、差動回路から信号
が出力される。この信号が同期検波回路で検波され、平
滑回路で平滑されて、直流増幅回路で増幅される。した
がって、検出回路５の出力信号を測定することにより、
回転角速度を検出することができる。

【０００４】また、振動ジャイロ１としては、図１２に
示すように、２つの圧電体基板６ａ，６ｂを接合させて
振動体２を作製してもよい。これらの圧電体基板６ａ，
６ｂは、図１２の矢印に示すように、互いに逆向きに分
極されている。この場合、振動体２の一方面側におい
て、長手方向に延びる２つの電極７ａ，７ｂが形成さ
れ、振動体の他方面側の全面に電極８が形成される。こ
のような振動ジャイロ１においても、図１１に示す回路
で、角速度を検出することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の振動ジャイロでは、振動体の軸を中心とした角速度が
検出できるのみであり、１つの向きに対する角速度だけ
しか検出することができなかった。そのため、２つの向
きに対する角速度を検出しようとすれば、２つの振動ジ
ャイロを使用する必要があり、これらの振動ジャイロを
励振するために２つの発振回路が必要となる。このよう
な発振回路は高価であり、複数の向きに対する角速度を
検出するためのコストが高くなる。

【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、１
つの素子で２つの向きに対する角速度を検出することが
できる振動ジャイロを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、対向して配
置される２つの板状の振動板を備え、２つの振動板は座
屈振動モードの振動を発生し、振動板の２次屈曲振動モ
ードを縮退または近接させて、かつ、２つの振動板の板
面に平行な軸を中心とした回転角速度が加わった際に発
生する２次屈曲振動モードの振幅バランスの変位を検出
してコリオリ力を検出する、振動ジャイロである。この
ような振動ジャイロにおいて、２つの振動板の間に空洞
部を形成するために２つの振動板の間に形成される中間
部材と、振動板を振動させるとともに、振動板の振動に
よって生じる信号を出力させるために、それぞれの振動
板上に形成される分割された励振検出手段とを含み、隣
接する２つの励振検出手段の組み合わせにより第１の検
出部が構成されるとともに、隣接する２つの励振検出手
段の別の組み合わせにより第２の検出部が構成され、第
１の検出部と第２の検出部とが直交するように配置され
た、振動ジャイロとすることができる。ここで、励振検
出手段は、中間部材に対向する位置には形成されず、空
洞部に対向する位置に形成されることが望ましい。ま
た、振動板は圧電体基板で形成され、圧電体基板上にお
いて十字状に４つに分割された電極を形成することによ
り電極と圧電体基板とで励振検出手段が形成されてもよ
い。さらに、振動板は金属板で形成され、振動板上に形
成された十字状に４つに分割された圧電素子によって励
振検出手段が形成されてもよい。また、中間部材は、中
央部に貫通孔が形成された枠材で形成することができ
る。さらに、中間部材は、振動板の複数の端部に配置さ
れる複数の部材で形成することもできる。

【０００８】たとえば、全ての励振検出手段に励振信号
を与えることにより、振動板の中心部が最大振幅となる
ような座屈振動が発生する。振動板の面に平行な向きの
軸を中心とした角速度が加わると、コリオリ力によっ
て、振動板に２次屈曲振動モードの振動が変化を受け
る。そして、座屈振動と２次屈曲振動モードの振動とを
縮退もしくは近接させることにより、振動板の振幅が最
大となる点が振動板の中心部からずれるような振動が生
じる。そのため、第１または第２の検出部を構成する２
つの励振検出手段の屈曲状態に差が生じ、第１または第
２の検出部からコリオリ力に対応した信号が出力され
る。ここで、第１の検出部と第２の検出部とが直交する
ように配置されているため、直交する２つの向きに対す
る角速度に対応した信号を得ることができる。振動板と
中間部材とは固定されるため、振動板の中心部の振幅が
最大となるように座屈振動させるために、励振検出手段
は空洞部に対向する位置に配置されることが望ましい。
この振動ジャイロにおいて、振動板として圧電体基板を
使用し、この圧電体基板と、その上において十字状に４
つに分割された電極とで励振検出手段を構成することが
できる。また、振動板として金属板を用いることがで
き、この場合、振動板上に形成された十字状に分割され
た４つの圧電素子によって励振検出手段が形成される。
さらに、中間部材は、対向する振動板の間に空洞部を形
成するためのものであり、貫通孔を形成した枠材で形成
してもよく、振動板の複数の端部に配置される複数の部
材で形成してもよい。

【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。また、図２は図１に示す振動
ジャイロを異なる角度からみた斜視図であり、図３はこ
の振動ジャイロの分解斜視図である。振動ジャイロ１０
は、中間部材１２を含む。中間部材１２は、図３に示す
ように、中央部に貫通孔の形成された枠材で形成され
る。中間部材１２の一方側には、振動板１４が形成され
る。振動板１４は、たとえば２枚の圧電体基板１６，１
８を接合することにより形成される。これらの圧電体基
板１６，１８は、図３の矢印に示すように、互いに逆向
きとなるように厚み方向に分極される。

【００１１】圧電体基板１６上には、１６個に分割され
た電極が形成され、そのうちの中央部にある４つの電極
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが、信号入出力用とし
て用いられる。これらの電極は、たとえば圧電体基板１
６上に形成された全面電極をダイサーなどによって格子
状に切断することによって形成される。したがって、中
央部の電極２０ａ〜２０ｄは、十字状に分割されてい
る。なお、図１に示す振動ジャイロ１０では、上述のよ
うな方法によって電極が形成されているため、１６個の
電極が形成されているが、中央部の電極２０ａ〜２０ｄ
が振動ジャイロ１０の動作に必要なものであって、周囲
の電極はなくてもよいものである。したがって、圧電体
基板１６上に印刷によって電極２０ａ〜２０ｄを形成す
る場合には、周囲の電極を形成する必要はなく、また全
面電極をエッチングして電極２０ａ〜２０ｄを形成する
場合には、周囲の電極を除去してもよい。さらに、圧電
体基板１８上には、全面電極２２が形成される。そし
て、圧電体基板１６，１８、信号入出力用の電極２０ａ
〜２０ｄおよび全面電極２２によって、励振検出手段が
構成される。

【００１２】さらに、中間部材１２の他方側には、別の
振動板２４が形成される。振動板２４は、振動板１４と
同様の構造を有する。つまり、振動板２４は接合された
圧電体基板２６，２８を含み、これらの圧電体基板２
６，２８は互いに逆向きに分極される。圧電体基板２６
上には１６個に分割された電極が形成され、中央部の電
極３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが信号入出力用とし
て用いられる。さらに、圧電体基板２８上には、全面電
極３２が形成される。そして、圧電体基板２６，２８、
電極３０ａ〜３０ｄおよび全面電極３２によって、励振
検出手段が構成される。

【００１３】このように、中間部材１２を挟んで２つの
振動板１４，２４を配置することにより、振動板１４，
２４の間に空洞部が形成される。そして、励振検出手段
を構成する電極２０ａ〜２０ｄおよび電極３０ａ〜３０
ｄを空洞部に対向した位置に配置することにより、励振
信号をこれらの電極に入力したとき、振動板１４，２４
を効率よく座屈振動させることができる。

【００１４】振動ジャイロ１０を用いるために、図４に
示すような回路に接続される。なお、図４では、振動ジ
ャイロ１０の各電極と回路との接続関係を示すために、
電極２０ａ〜２０ｄ、電極３０ａ〜３０ｄ、全面電極２
２，３２および中間部材１２のみを示してある。また、
全面電極２２，３２および中間部材１２は、電極２０ａ
〜２０ｄの外形とほぼ同じ大きさに示されているが、実
際には、図１に示すように、振動板１４，２４と同じ外
形寸法を有するものである。電極２０ａ〜２０ｄには、
それぞれ抵抗４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが接続さ
れる。また、電極３０ａ〜３０ｄには、それぞれ抵抗４
２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄが接続される。これらの
抵抗４０ａ〜４０ｄおよび抵抗４２ａ〜４２ｄと全面電
極２２，３２との間には、発振回路４４が接続される。

【００１５】このような接続を行うため、中間部材１２
の一部または全部に導電材料が使用され、この中間部材
１２に全面電極２２，３２が電気的に接続されることに
より、中間部材１２を介して全面電極２２，３２が発振
回路４４に接続される。なお、中間部材１２の材料とし
ては、振動板１４，２４の振動を妨げないために、振動
板１４，２４に近い材料を用いることが好ましい。した
がって、圧電体基板１６，１８，２６，２８と同じ材料
を用いて、その表面にスパッタリングなどによって電極
層を形成したものを中間部材１２とすることができる。
この場合、電極層に全面電極２２，３２が電気的に接続
される。また、高弾性金属を用いて中間部材１２を形成
してもよい。

【００１６】さらに、振動板１４側の隣接する２つの電
極２０ｂ，２０ｄは、差動回路４６に接続される。差動
回路４６の出力信号は、同期検波回路４８において、た
とえば発振回路４４の信号に同期して検波される。同期
検波回路４８で検波された信号は、平滑回路５０で平滑
され、さらに直流増幅回路５２で増幅される。同様に、
振動板２４側の隣接する２つの電極３０ｃ，３０ｄは、
差動回路５４に接続される。差動回路５４の出力信号
は、同期検波回路５６において、たとえば発振回路４４
の信号に同期して検波される。同期検波回路５６で検波
された信号は、平滑回路５８で平滑され、さらに直流増
幅回路６０で増幅される。

【００１７】図４に示す回路では、隣接する２つの電極
２０ｂ，２０ｄを用いて第１の検出部が構成され、隣接
する２つの電極３０ｃ，３０ｄを用いて第２の検出部が
構成されている。これらの第１の検出部および第２の検
出部は、任意の隣接する２つの電極の組み合わせとする
ことができるが、第１の検出部を構成する電極と第２の
検出部を構成する電極とは、互いに直交する配置のもの
を選ぶ必要がある。したがって、第１の検出部として電
極２０ｂ，２０ｄを選択したとき、第２の検出部として
電極３０ａ，３０ｂを選択することもできるし、また電
極２０ｃ，２０ｄを選択して、電極２０ｄを第１の検出
部および第２の検出部に共用することもできる。

【００１８】振動板１４，２４の全面電極２２，３２か
らの出力信号は、発振回路４４に帰還される。帰還され
た信号は、発振回路４４で増幅され、さらに位相調整さ
れて励振信号が形成される。この励振信号が、電極２０
ａ〜２０ｄおよび電極３０ａ〜３０ｄに与えられる。そ
れによって、図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、振動板１
４，２４は、互いに逆向きとなるように座屈振動する。
このとき、振動板１４，２４は、その中央部の振幅が最
大となるような振動をする。このような振動をすると
き、電極２０ａ〜２０ｄ形成部分の圧電体基板１６，１
８の振動状態は同じであるため、電極２０ａ〜２０ｄの
出力信号は同じとなる。そのため、差動回路４６から
は、信号が出力されない。同様に、電極３０ａ〜３０ｄ
形成部分の圧電体基板２６，２８の振動状態は同じであ
るため、差動回路５４からは、信号が出力されない。こ
れにより、振動ジャイロ１０に角速度が加わっていない
ことがわかる。

【００１９】このような振動状態において、第１の検出
部を構成する電極２０ｂ，２０ｄの間を通る振動板１
４，２４に平行な軸を中心として回転すると、無回転時
の振動方向に直交する向きに回転角速度に起因するコリ
オリ力が働き、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、振動板
１４，２４のモードが変化を受ける。そして、図６
（Ｃ）に示すように、振動板１４，２４の最大振幅位置
が中心部からずれるような振動により、これまで中心対
称であった２次屈曲振動モードも影響を受ける。そのた
め、電極２０ｂ，２０ｄ形成部分の圧電体基板１６，１
８の振動状態に差が生じ、電極２０ｂ，２０ｄから異な
る信号が出力される。圧電体基板１６，１８の振動状態
の変位は、コリオリ力の大きさに対応するため、電極２
０ｂ，２０ｄの出力信号の変化は、コリオリ力に対応し
たものとなる。

【００２０】このとき、図５（Ｂ）に示される座屈振動
モードの振動と、図６（Ａ）に示される２次屈曲振動モ
ードの振動とが縮退しているとき、その感度は最大とな
る。そして、この２つのモードを縮退させるには、振動
板１４，２４の板厚、面積（外寸）、空洞部の径などの
最適化を図ることにより可能である。なお、２つの振動
モードを完全に縮退させるのではなく、２つのモードを
近接させることによっても、十分に高い感度が得られる
ことは言うまでもない。

【００２１】これらの信号の差が、差動回路４６から出
力される。電極２０ｂ，２０ｄの出力信号は、コリオリ
力に対応して変化しているため、差動回路４６からは、
この変化分、つまりコリオリ力に対応した大きい信号が
得られる。差動回路４６の出力信号は、同期検波回路４
８において、発振回路４４の信号に同期して検波され
る。それにより、差動回路４６の出力信号の正部分のみ
または負部分のみ、または正負のいずれかを反転した信
号が検波される。検波された信号は平滑回路５０で平滑
され、さらに直流増幅回路５２で増幅される。差動回路
４６の出力信号はコリオリ力に対応したレベルを有して
いるため、直流増幅回路５２の出力信号のレベルもコリ
オリ力に対応しており、直流増幅回路５２の出力信号レ
ベルから角速度の大きさを検出することができる。さら
に、振動ジャイロ１０に加わる角速度の方向が逆の場
合、同期検波回路４８で検波される信号の極性が逆とな
る。そのため、直流増幅回路５２の出力信号の極性も逆
となり、直流増幅回路５２の出力信号の極性によって、
角速度の向きを検出することができる。

【００２２】このとき、振動板２４においては、振動板
１４と逆向きにコリオリ力が働いて振動板２４の振動も
変位するが、電極３０ｂ，３０ｄの間を通る軸の両側で
振動状態が変わるため、電極３０ｃ，３０ｄの出力信号
は同様に変化する。そのため、差動回路５４からは信号
が出力されない。

【００２３】また、電極３０ｃ，３０ｄの間を通る振動
板１４，２４に平行な軸を中心として回転すると、図５
および図６で説明した振動状態と同様に、コリオリ力に
より、その軸の両側において圧電体基板２６，２８の振
動状態が変わる。そのため、電極３０ｃ，３０ｄから出
力される信号に差が生じ、差動回路５４から信号が出力
される。したがって、差動回路５４の出力信号を同期検
波回路５６で検波し、平滑回路５８で平滑したのち、直
流増幅回路６０で増幅することにより、電極３０ｃ，３
０ｄの間を通る軸を中心とした角速度を検出することが
できる。このとき、振動板１４側の電極２０ｂ，２０ｄ
が形成された部分の圧電体基板１６，１８は、同じよう
に変位するため、差動回路４６からは信号が出力されな
い。

【００２４】このように、直流増幅回路５２の出力信号
を測定することにより、電極２０ｂ，２０ｄの間を通る
軸を中心とした角速度を検出することができる。また、
直流増幅回路６０の出力信号を測定することにより、電
極３０ｃ，３０ｄの間を通る軸を中心とした角速度を検
出することができる。つまり、電極２０ｂ，２０ｄで構
成される第１の検出部と電極３０ｃ，３０ｄで構成され
る第２の検出部とが直交するように配置されることによ
り、直交する２つの軸を中心とした角速度を検出するこ
とができる。しかも、振動板１４，２４に基本振動を励
振するために、１つの発振回路４４を用いるだけでよ
く、発振回路を２つ用いる従来の方法に比べてコストダ
ウンを図ることができる。

【００２５】なお、図７に示すように、振動板１４，２
４を円板状にしてもよい。この場合、中間部材１２は、
円形のリング状に形成される。また、振動板１４側の電
極２０ａ〜２０ｄおよび振動板２４側の電極３０ａ〜３
０ｄは、扇型に形成される。この場合においても、電極
２０ａ〜２０ｄの周囲の電極および電極３０ａ〜３０ｄ
の周囲の電極は、振動ジャイロ１０の動作には関係ない
ものであり、除去しても差し支えない。このような振動
ジャイロ１０でも、図４に示す回路を用いて、直交する
２つの軸を中心とした角速度を検出することができる。

【００２６】また、中間部材１２は、中央部に貫通孔を
設けた枠材で形成する必要はなく、たとえば図８に示す
ように、振動板１４，２４の４つの角部に形成されても
よい。このように、信号入出力用の電極２０ａ〜２０ｄ
および電極３０ａ〜３０ｄの形成された部分に対応して
空洞部が形成されていればよく、空洞部を形成するため
の中間部材１２の形状は任意に変更可能である。

【００２７】さらに、図９に示すように、励振検出手段
を構成する電極は、２つに分割されてもよい。なお、振
動板１４側に形成される電極６２ａ，６２ｂと、振動板
２４側に形成される電極６４ａ，６４ｂとは、互いに直
交するように配置される。この場合、図９に示す回路に
よって、振動板１２を励振することができ、かつ直交す
る２つの軸に対する角速度に対応した信号を検出するこ
とができる。このような電極配置の場合においても、電
極６２ａ，６２ｂおよび電極６４ａ，６４ｂは、中間部
材１２が存在していない空洞部に対応する位置に形成す
ることが望ましい。

【００２８】なお、振動板として、圧電体基板ではな
く、金属板などを用いることができる。この場合、励振
検出手段としては、圧電体層の両面に電極を形成した圧
電素子を用いることができる。このとき、圧電素子は、
図１の電極２０ａ〜２０ｄおよび電極３０ａ〜３０ｄと
同様に配置されるか、または図９の電極６２ａ，６２ｂ
および電極６４ａ，６４ｂと同様に配置される。もちろ
ん、これらの電極の周囲にある電極に対応する位置に圧
電素子を形成する必要はない。この場合、中間部材１２
も振動板１４，２４と同じ金属材料で形成すればよく、
中間部材１２を発振回路４４に接続することにより、各
圧電素子の一方の電極を発振回路４４に接続することが
できる。

【００２９】

【発明の効果】この発明によれば、１つの振動ジャイロ
で２つの方向の軸を中心とした角速度を検出することが
できる。さらに、１つの発振回路で振動ジャイロを励振
することができ、従来のような２つの振動ジャイロを用
いる方法に比べて、コストダウンを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の振動ジャイロの一例を示す斜視図で
ある。

【図２】図１に示す振動ジャイロを他の方向からみた斜
視図である。

【図３】図１に示す振動ジャイロの分解斜視図である。

【図４】図１に示す振動ジャイロを使用するための回路
を示すブロック図である。

【図５】（Ａ）は無回転時における振動ジャイロの振動
状態を示すＦＥＭ解析図であり、（Ｂ）はその振動状態
を断面で表した図解図である。

【図６】（Ａ）は回転時における振動ジャイロの振動状
態を示すＦＥＭ解析図であり、（Ｂ）はその振動状態を
図６（Ａ）の一点鎖線で示す断面で表した図解図であ
り、（Ｃ）は図５（Ａ）に示す振動状態と図６（Ａ）に
示す振動状態とが重なった振動状態を断面で示した図解
図である。

【図７】この発明の振動ジャイロの他の例を示す分解斜
視図である。

【図８】この発明の振動ジャイロのさらに他の例を示す
分解斜視図である。

【図９】この発明の振動ジャイロにおいて、電極構造を
変更したときの回路を示すブロック図である。

【図１０】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。

【図１１】図１０に示す従来の振動ジャイロを用いるた
めの回路を示すブロック図である。

【図１２】従来の振動ジャイロの他の例を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１０振動ジャイロ１２中間部材１４振動板１６，１８圧電体基板２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ電極２２全面電極２４振動板２６，２８圧電体基板３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ電極３２全面電極６２ａ，６２ｂ電極６４ａ，６４ｂ電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平８−271256（ＪＰ，Ａ) 特開平10−253362（ＪＰ，Ａ) 特開平９−184726（ＪＰ，Ａ) 特開平８−278147（ＪＰ，Ａ) 特開平７−113644（ＪＰ，Ａ) 特開平８−292033（ＪＰ，Ａ) 特開平８−285608（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】対向して配置される２つの板状の振動板
を備え、２つの前記振動板は座屈振動モードの振動を発生し、前記振動板の２次屈曲振動モードを縮退または近接させ
て、かつ、２つの前記振動板の板面に平行な軸を中心と
した回転角速度が加わった際に発生する２次屈曲振動モ
ードの振幅バランスの変位を検出してコリオリ力を検出
する、振動ジャイロ。
【請求項２】２つの前記振動板の間に空洞部を形成す
るために２つの前記振動板の間に形成される中間部材、
および前記振動板を振動させるとともに、前記振動板の
振動によって生じる信号を出力させるために、それぞれ
の前記振動板上に形成される分割された励振検出手段を
含み、隣接する２つの前記励振検出手段の組み合わせにより第
１の検出部が構成されるとともに、隣接する２つの前記
励振検出手段の別の組み合わせにより第２の検出部が構
成され、前記第１の検出部と前記第２の検出部とが直交
するように配置された、請求項１に記載の振動ジャイ
ロ。
【請求項３】前記励振検出手段は、前記中間部材に対
向する位置には形成されず、前記空洞部に対向する位置
に形成される、請求項２に記載の振動ジャイロ。
【請求項４】前記振動板は圧電体基板で形成され、前
記圧電体基板上において十字状に４つに分割された電極
を形成することにより前記電極と前記圧電体基板とで前
記励振検出手段が形成される、請求項２または請求項３
に記載の振動ジャイロ。
【請求項５】前記振動板は金属板で形成され、前記振
動板上に形成された十字状に４つに分割された圧電素子
によって前記励振検出手段が形成される、請求項２また
は請求項３に記載の振動ジャイロ。
【請求項６】前記中間部材は、中央部に貫通孔が形成
された枠材で形成される、請求項２ないし請求項５のい
ずれかに記載の振動ジャイロ。
【請求項７】前記中間部材は、前記振動板の複数の端
部に配置される複数の部材で形成される、請求項２ない
し請求項５のいずれかに記載の振動ジャイロ。