JP3254779B2 - 多電極形弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多電極形弾性表面波装
置に関し、特に、入出力の少なくとも一方がアース電位
に対して平衡とされている多電極形弾性表面波装置に関
する。
置に関し、特に、入出力の少なくとも一方がアース電位
に対して平衡とされている多電極形弾性表面波装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、帯域幅が広くかつ損失の小さ
い高周波用弾性表面波フィルタとして、多電極形弾性表
面波フィルタが知られている。
い高周波用弾性表面波フィルタとして、多電極形弾性表
面波フィルタが知られている。
【０００３】図８は、従来の多電極形弾性表面波フィル
タの一例の電極構成を示す図である。この弾性表面波フ
ィルタ１は、圧電基板（図示せず）上に３個のインター
デジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴと略す。）２
〜４を表面波伝搬方向に沿って配置した構造を有する。
ＩＤＴ２〜４は、それぞれ、一対の櫛歯電極２ａ，２ｂ
〜４ａ，４ｂを互いの電極指が間挿し合うように配置し
た構造を有する。ＩＤＴ２〜４は表面波伝搬方向に沿っ
て交互に入力用（又は出力用）ＩＤＴ、及び出力用（入
力用）ＩＤＴとされている。
タの一例の電極構成を示す図である。この弾性表面波フ
ィルタ１は、圧電基板（図示せず）上に３個のインター
デジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴと略す。）２
〜４を表面波伝搬方向に沿って配置した構造を有する。
ＩＤＴ２〜４は、それぞれ、一対の櫛歯電極２ａ，２ｂ
〜４ａ，４ｂを互いの電極指が間挿し合うように配置し
た構造を有する。ＩＤＴ２〜４は表面波伝搬方向に沿っ
て交互に入力用（又は出力用）ＩＤＴ、及び出力用（入
力用）ＩＤＴとされている。
【０００４】図９は、従来の多電極形弾性表面波フィル
タの他の例の電極構造を示す図である。弾性表面波フィ
ルタ５では、３個のＩＤＴ６〜８が表面波伝搬方向に沿
って配置されており、交互に入力用（出力用）ＩＤＴ及
び出力用（入力用）ＩＤＴとされている。また、ＩＤＴ
６〜８の表面波伝搬方向両側にリフレクタ９，１０が配
置されている。この多電極形弾性表面波フィルタ５は、
３電極縦結合形２重モード弾性表面波共振子フィルタで
ある。
タの他の例の電極構造を示す図である。弾性表面波フィ
ルタ５では、３個のＩＤＴ６〜８が表面波伝搬方向に沿
って配置されており、交互に入力用（出力用）ＩＤＴ及
び出力用（入力用）ＩＤＴとされている。また、ＩＤＴ
６〜８の表面波伝搬方向両側にリフレクタ９，１０が配
置されている。この多電極形弾性表面波フィルタ５は、
３電極縦結合形２重モード弾性表面波共振子フィルタで
ある。
【０００５】ところで、近年、弾性表面波フィルタの前
後の回路のＩＣ化に伴って、差動入出力用ＩＣに対し
て、バランすなわち平衡−不平衡変換トランスを用いる
ことなく接続するために、弾性表面波フィルタにおいて
も入出力の少なくとも一方を平衡とすることが求められ
ている。
後の回路のＩＣ化に伴って、差動入出力用ＩＣに対し
て、バランすなわち平衡−不平衡変換トランスを用いる
ことなく接続するために、弾性表面波フィルタにおいて
も入出力の少なくとも一方を平衡とすることが求められ
ている。
【０００６】例えば、図９に示した３電極縦結合形２重
モード弾性表面波フィルタ５を例にとると、図１０に示
すようにＩＤＴ７の櫛歯電極７ａ，７ｂ間を入力端（出
力端）とし、ＩＤＴ６，８の同じ側の櫛歯電極６ａと櫛
歯電極８ａとを、並びに櫛歯電極６ｂと櫛歯電極８ｂと
を、それぞれ、圧電基板上に形成された接続導電部１１
ａ，１１ｂに共通接続し、出力端とすれば、入出力を平
衡とすることができる。しかしながら、この方法では、
ボンディングワイヤが長くなるので信頼性が低下し、か
つボンディングワイヤのインダクタンスにより高周波特
性が劣化する。
モード弾性表面波フィルタ５を例にとると、図１０に示
すようにＩＤＴ７の櫛歯電極７ａ，７ｂ間を入力端（出
力端）とし、ＩＤＴ６，８の同じ側の櫛歯電極６ａと櫛
歯電極８ａとを、並びに櫛歯電極６ｂと櫛歯電極８ｂと
を、それぞれ、圧電基板上に形成された接続導電部１１
ａ，１１ｂに共通接続し、出力端とすれば、入出力を平
衡とすることができる。しかしながら、この方法では、
ボンディングワイヤが長くなるので信頼性が低下し、か
つボンディングワイヤのインダクタンスにより高周波特
性が劣化する。
【０００７】また、図１１に示す弾性表面波フィルタ１
５のように、２個の多電極形弾性表面波フィルタを接続
した２段接続形の弾性表面波フィルタにおいても、図示
のように接続することにより平衡入出力を実現すること
ができる。すなわち、弾性表面波フィルタ１５では、入
力段の多電極形弾性表面波フィルタのＩＤＴ１６の櫛歯
電極１６ａ，１６ｂ間が入力端（出力端）とされてい
る。ＩＤＴ１６の両側に配置されたＩＤＴ１７，１８の
櫛歯電極１７ａ，１８ａがアース電位に接続されてお
り、他方側の櫛歯電極１７ｂ，１８ｂが、出力段（入力
段）の弾性表面波フィルタのＩＤＴ２０，２１の一方の
櫛歯電極２０ａ，２１ａに接続導電部２２ａ，２２ｂに
より接続されている。出力段（入力段）のＩＤＴ２０，
２１の他方の櫛歯電極２０ｂ，２１ｂはアース電位に接
続されている。そして、ＩＤＴ１９の櫛歯電極１９ａ，
１９ｂ間が出力端（入力端）とされている。
５のように、２個の多電極形弾性表面波フィルタを接続
した２段接続形の弾性表面波フィルタにおいても、図示
のように接続することにより平衡入出力を実現すること
ができる。すなわち、弾性表面波フィルタ１５では、入
力段の多電極形弾性表面波フィルタのＩＤＴ１６の櫛歯
電極１６ａ，１６ｂ間が入力端（出力端）とされてい
る。ＩＤＴ１６の両側に配置されたＩＤＴ１７，１８の
櫛歯電極１７ａ，１８ａがアース電位に接続されてお
り、他方側の櫛歯電極１７ｂ，１８ｂが、出力段（入力
段）の弾性表面波フィルタのＩＤＴ２０，２１の一方の
櫛歯電極２０ａ，２１ａに接続導電部２２ａ，２２ｂに
より接続されている。出力段（入力段）のＩＤＴ２０，
２１の他方の櫛歯電極２０ｂ，２１ｂはアース電位に接
続されている。そして、ＩＤＴ１９の櫛歯電極１９ａ，
１９ｂ間が出力端（入力端）とされている。
【０００８】しかしながら、２段接続形弾性表面波フィ
ルタ１５では、ＩＤＴ１６の櫛歯電極１６ｂのバスバー
と、出力段（入力段）の多電極形弾性表面波フィルタの
ＩＤＴ１９の櫛歯電極１９ａのバスバーとが近接されて
いる。従って、上記のように入出力を平衡化したとして
も、ボンディングワイヤの長さの違いも加わって平衡度
が充分にとれないという欠点があった。
ルタ１５では、ＩＤＴ１６の櫛歯電極１６ｂのバスバー
と、出力段（入力段）の多電極形弾性表面波フィルタの
ＩＤＴ１９の櫛歯電極１９ａのバスバーとが近接されて
いる。従って、上記のように入出力を平衡化したとして
も、ボンディングワイヤの長さの違いも加わって平衡度
が充分にとれないという欠点があった。
【０００９】上記のような問題は、図１２に示すより多
くのＩＤＴを有する多電極形弾性表面波フィルタにおい
てはさらに深刻となっていた。すなわち、多電極形弾性
表面波フィルタ２５では、リフレクタ２６，２７間に、
７個ものＩＤＴ２８〜３４が配置されており、ＩＤＴ２
８，３０，３２，３４が接続導電部３５により、ＩＤＴ
２９，３１，３３が接続導電部３６により電気的に接続
されている。従って、このような多電極形弾性表面波フ
ィルタ２５を、複数段接続した場合、ボンディングワイ
ヤの長さがより長くなり、信頼性が低下したり、平衡度
が劣化し実用的なデバイスとして構成することができな
くなる。
くのＩＤＴを有する多電極形弾性表面波フィルタにおい
てはさらに深刻となっていた。すなわち、多電極形弾性
表面波フィルタ２５では、リフレクタ２６，２７間に、
７個ものＩＤＴ２８〜３４が配置されており、ＩＤＴ２
８，３０，３２，３４が接続導電部３５により、ＩＤＴ
２９，３１，３３が接続導電部３６により電気的に接続
されている。従って、このような多電極形弾性表面波フ
ィルタ２５を、複数段接続した場合、ボンディングワイ
ヤの長さがより長くなり、信頼性が低下したり、平衡度
が劣化し実用的なデバイスとして構成することができな
くなる。
【００１０】さらに、特に、６４°Ｙ− Ｘ ＬｉＮｂ
Ｏ3 基板を圧電基板として用いた場合には、挿入損失を
小さくするためにＩＤＴ間の間隔を電極で埋めることが
有効であることが知られているが、上述した従来の方法
により入出力を平衡化する場合には、ＩＤＴ間を電極で
埋めることができない。
Ｏ3 基板を圧電基板として用いた場合には、挿入損失を
小さくするためにＩＤＴ間の間隔を電極で埋めることが
有効であることが知られているが、上述した従来の方法
により入出力を平衡化する場合には、ＩＤＴ間を電極で
埋めることができない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
した多電極形弾性表面波フィルタの種々の問題点を解消
し、構造的に無理なく入出力を平衡化し得る新規な多電
極形弾性表面波装置を提供することにある。
した多電極形弾性表面波フィルタの種々の問題点を解消
し、構造的に無理なく入出力を平衡化し得る新規な多電
極形弾性表面波装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧電基板の表面に表面波伝搬方向に沿って少なくと
も３個のＩＤＴが形成されており、前記ＩＤＴが表面波
伝搬方向に沿って交互に入力用ＩＤＴまたは出力用ＩＤ
Ｔとされている多電極形弾性表面波フィルタにおいて、
前記入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴのうち、偶数個のＩ
ＤＴを有する側を、全ＩＤＴの配置されている領域の中
央を境にして二組に分けた時に、インターデジタルトラ
ンスデューサのアース電位側にダミー電極指を形成する
ことによって、一方の組に属するＩＤＴの位相が他方の
組のＩＤＴの位相に対して反転されており、かつ前記二
組が直列に接続されて入力または出力が平衡化されるこ
とを特徴とする、多電極形弾性表面波装置である。
は、圧電基板の表面に表面波伝搬方向に沿って少なくと
も３個のＩＤＴが形成されており、前記ＩＤＴが表面波
伝搬方向に沿って交互に入力用ＩＤＴまたは出力用ＩＤ
Ｔとされている多電極形弾性表面波フィルタにおいて、
前記入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴのうち、偶数個のＩ
ＤＴを有する側を、全ＩＤＴの配置されている領域の中
央を境にして二組に分けた時に、インターデジタルトラ
ンスデューサのアース電位側にダミー電極指を形成する
ことによって、一方の組に属するＩＤＴの位相が他方の
組のＩＤＴの位相に対して反転されており、かつ前記二
組が直列に接続されて入力または出力が平衡化されるこ
とを特徴とする、多電極形弾性表面波装置である。
【００１３】また、請求項２に記載の発明は、圧電基板
上に少なくとも２段の多電極形弾性表面波装置が構成さ
れており、かつ各段が順次接続されて多段形弾性表面波
装置において、入力段及び出力段のうち少なくとも一方
の段の多電極形弾性表面波装置が、請求項１に記載の多
電極形弾性表面波装置で構成されており、かつ偶数のＩ
ＤＴを有するＩＤＴ側が入力用および出力用とされてい
る、多電極形多段弾性表面波装置である。
上に少なくとも２段の多電極形弾性表面波装置が構成さ
れており、かつ各段が順次接続されて多段形弾性表面波
装置において、入力段及び出力段のうち少なくとも一方
の段の多電極形弾性表面波装置が、請求項１に記載の多
電極形弾性表面波装置で構成されており、かつ偶数のＩ
ＤＴを有するＩＤＴ側が入力用および出力用とされてい
る、多電極形多段弾性表面波装置である。
【００１４】
【作用】請求項１に記載の発明では、偶数個のＩＤＴが
存在する側において、中央を境にしてＩＤＴを二組に分
けた時に、一組のＩＤＴの位相が他の組のＩＤＴの位相
に対して反転されており、該二組が直列に接続されてい
る。従って、ＩＤＴが偶数個存在する側おいて入出力が
平衡化される。しかも、後述の実施例の電極パターンか
ら明らかなように、上記のように構成した場合、ボンデ
ィングワイヤがさほど長くならない。
存在する側において、中央を境にしてＩＤＴを二組に分
けた時に、一組のＩＤＴの位相が他の組のＩＤＴの位相
に対して反転されており、該二組が直列に接続されてい
る。従って、ＩＤＴが偶数個存在する側おいて入出力が
平衡化される。しかも、後述の実施例の電極パターンか
ら明らかなように、上記のように構成した場合、ボンデ
ィングワイヤがさほど長くならない。
【００１５】請求項２に記載の発明では、入力段及び出
力段のうち少なくとも一方の段の多電極形弾性表面波装
置が、上記請求項１の記載の発明のように構成されてお
り、かつ偶数のＩＤＴを有する側が入力用および出力用
とされているため、多段形多電極形弾性表面波装置にお
いて入力及び出力の少なくとも一方を平衡化することが
できる。しかも、入出力が平衡化されているＩＤＴにお
けるボンディングワイヤがさほど長くならない。
力段のうち少なくとも一方の段の多電極形弾性表面波装
置が、上記請求項１の記載の発明のように構成されてお
り、かつ偶数のＩＤＴを有する側が入力用および出力用
とされているため、多段形多電極形弾性表面波装置にお
いて入力及び出力の少なくとも一方を平衡化することが
できる。しかも、入出力が平衡化されているＩＤＴにお
けるボンディングワイヤがさほど長くならない。
【００１６】
【実施例の説明】以下、本発明の実施例につき説明す
る。第１の例 図１は、本発明の前提となった第１の例にかかる３電極
縦結合形２重モード弾性表面波フィルタの電極構造を示
す図である。弾性表面波フィルタ４１では、圧電基板
（図示せず）上において、リフレクタ４２，４３間に３
個のＩＤＴ４４〜４６が表面波伝搬方向に沿って並べら
れている。ＩＤＴ４５は、入力側又は出力側のＩＤＴを
構成している。他方、２個のＩＤＴ４４，４６は、出力
側（入力側）ＩＤＴとして用いられる。
る。第１の例 図１は、本発明の前提となった第１の例にかかる３電極
縦結合形２重モード弾性表面波フィルタの電極構造を示
す図である。弾性表面波フィルタ４１では、圧電基板
（図示せず）上において、リフレクタ４２，４３間に３
個のＩＤＴ４４〜４６が表面波伝搬方向に沿って並べら
れている。ＩＤＴ４５は、入力側又は出力側のＩＤＴを
構成している。他方、２個のＩＤＴ４４，４６は、出力
側（入力側）ＩＤＴとして用いられる。
【００１７】ＩＤＴ４４，４６では、一方のＩＤＴ４４
が、他方のＩＤＴ４６に対して位相が反転するように構
成されている。ＩＤＴ４４の櫛歯電極４４ａが、ボンデ
ィングワイヤ４７ａにより引き出されており、ＩＤＴ４
６の同じ側の櫛歯電極４６ａはボンディングワイヤ４７
ｂで引き出されている。他方、櫛歯電極４４ｂ，４６ｂ
はアース電位に接続される。
が、他方のＩＤＴ４６に対して位相が反転するように構
成されている。ＩＤＴ４４の櫛歯電極４４ａが、ボンデ
ィングワイヤ４７ａにより引き出されており、ＩＤＴ４
６の同じ側の櫛歯電極４６ａはボンディングワイヤ４７
ｂで引き出されている。他方、櫛歯電極４４ｂ，４６ｂ
はアース電位に接続される。
【００１８】図１から明らかなように櫛歯電極４４ａ
と、ＩＤＴ４５の櫛歯電極４５ａとの間の距離に対し、
櫛歯電極４５ａと櫛歯電極４６ａとの間の距離は、電極
指ピッチ分で１ピッチ分ずらされている。従って、ＩＤ
Ｔ４４とＩＤＴ４６では、位相が反転されている。ま
た、ＩＤＴ４４，４６は、アース電位を介して直列に接
続される。従って、ボンディングワイヤ４７ａ，４７ｂ
に接続される端子４８ａ，４８ｂ間において、平衡化さ
れた入力又は出力が取り出される。
と、ＩＤＴ４５の櫛歯電極４５ａとの間の距離に対し、
櫛歯電極４５ａと櫛歯電極４６ａとの間の距離は、電極
指ピッチ分で１ピッチ分ずらされている。従って、ＩＤ
Ｔ４４とＩＤＴ４６では、位相が反転されている。ま
た、ＩＤＴ４４，４６は、アース電位を介して直列に接
続される。従って、ボンディングワイヤ４７ａ，４７ｂ
に接続される端子４８ａ，４８ｂ間において、平衡化さ
れた入力又は出力が取り出される。
【００１９】しかも、ボンディングワイヤ４７ａ，４７
ｂが同じ側に配置されているため、ボンディングワイヤ
の長さを従来の入出力を平衡化した相当の弾性表面波フ
ィルタ（図１０参照）に比べてかなり短くし得る。ま
た、本実施例の弾性表面波フィルタ４１では、ＩＤＴ４
４，４６の他方の櫛歯電極４４ｂ，４６ｂはアース電位
に接続されているが、高周波用デバイスのパッケージで
は、アース面を豊富に取るのが通例であるため、上記櫛
歯電極４４ｂ，４６ｂとの接続は短いボンディングワイ
ヤで行い得る。
ｂが同じ側に配置されているため、ボンディングワイヤ
の長さを従来の入出力を平衡化した相当の弾性表面波フ
ィルタ（図１０参照）に比べてかなり短くし得る。ま
た、本実施例の弾性表面波フィルタ４１では、ＩＤＴ４
４，４６の他方の櫛歯電極４４ｂ，４６ｂはアース電位
に接続されているが、高周波用デバイスのパッケージで
は、アース面を豊富に取るのが通例であるため、上記櫛
歯電極４４ｂ，４６ｂとの接続は短いボンディングワイ
ヤで行い得る。
【００２０】よって、弾性表面波フィルタ４１では、Ｉ
ＤＴの接続に必要なボンディングワイヤがさほど長くな
らないので、充分な信頼性を確保し得る。なお、ＩＤＴ
４４，４６の櫛歯電極４４ｂ，４６ｂ間は、弾性表面波
フィルタチップ上に余裕がある場合には、導電パターン
を設けて電気的に接続してもよいが、その場合も、導電
パターンをさらにアース電位に接続することが望まし
い。
ＤＴの接続に必要なボンディングワイヤがさほど長くな
らないので、充分な信頼性を確保し得る。なお、ＩＤＴ
４４，４６の櫛歯電極４４ｂ，４６ｂ間は、弾性表面波
フィルタチップ上に余裕がある場合には、導電パターン
を設けて電気的に接続してもよいが、その場合も、導電
パターンをさらにアース電位に接続することが望まし
い。
【００２１】第２の例 図２は、本発明の前提として考えられた第２の例の多電
極形弾性表面波フィルタ５１の電極構造を示す図であ
る。多電極形弾性表面波フィルタ５１は、２段接続形の
弾性表面波フィルタである。各段弾性表面波フィルタの
電極構造は、図１に示した多電極形の弾性表面波フィル
タとほぼ同様に構成されている。
極形弾性表面波フィルタ５１の電極構造を示す図であ
る。多電極形弾性表面波フィルタ５１は、２段接続形の
弾性表面波フィルタである。各段弾性表面波フィルタの
電極構造は、図１に示した多電極形の弾性表面波フィル
タとほぼ同様に構成されている。
【００２２】すなわち、入力段の弾性表面波フィルタで
は、リフレクタ５２，５３間に３個のＩＤＴ５４〜５６
が、出力段の弾性表面波フィルタでは、リフレクタ６
２，６３間にＩＤＴ６４〜６６が配置されている。そし
て、ＩＤＴ５５，６５の櫛歯電極５５ｂ，６５ａ間が導
電パターン６０で相互に電気的に接続されている。
は、リフレクタ５２，５３間に３個のＩＤＴ５４〜５６
が、出力段の弾性表面波フィルタでは、リフレクタ６
２，６３間にＩＤＴ６４〜６６が配置されている。そし
て、ＩＤＴ５５，６５の櫛歯電極５５ｂ，６５ａ間が導
電パターン６０で相互に電気的に接続されている。
【００２３】多電極形弾性表面波フィルタ５１において
も、入力段では、ＩＤＴ５４に対してＩＤＴ５６の位相
が反転されており、同様に出力段においてはＩＤＴ６４
に対してＩＤＴ６６の位相が反転されている。従って、
端子５８ａ，５８ｂ間で加えられる入力及び端子６８
ａ，６８ｂ間で取り出される出力が平衡化される。
も、入力段では、ＩＤＴ５４に対してＩＤＴ５６の位相
が反転されており、同様に出力段においてはＩＤＴ６４
に対してＩＤＴ６６の位相が反転されている。従って、
端子５８ａ，５８ｂ間で加えられる入力及び端子６８
ａ，６８ｂ間で取り出される出力が平衡化される。
【００２４】しかも、端子５８ａ，５８ｂ及び端子６８
ａ，６８ｂが、それぞれ、同じ側に形成されているた
め、第１の実施例と同様にボンディングワイヤをさほど
長くせずとも入出力を平衡化することができる。
ａ，６８ｂが、それぞれ、同じ側に形成されているた
め、第１の実施例と同様にボンディングワイヤをさほど
長くせずとも入出力を平衡化することができる。
【００２５】また、第１の例と同様に、高周波デバイス
の場合、アース面が豊富に取られるのが通例であるた
め、櫛歯電極５４ｂ，５５ａ，５６ｂ，６４ａ，６５
ｂ，６６ａと、アース電位との間の接続に必要なボンデ
ィングワイヤの長さも短くし得る。
の場合、アース面が豊富に取られるのが通例であるた
め、櫛歯電極５４ｂ，５５ａ，５６ｂ，６４ａ，６５
ｂ，６６ａと、アース電位との間の接続に必要なボンデ
ィングワイヤの長さも短くし得る。
【００２６】なお、３段以上の多電極形弾性表面波フィ
ルタを接続する場合には、入力段及び出力段を構成しな
い多電極形弾性表面波フィルタについては、平衡化する
必要はなく、両端の段すなわち入力段及び出力段につい
てのみ平衡化を考えればよい。もっとも、第２の実施例
は、入力段及び出力段の双方において入出力の平衡が図
られていたが、一方の段においてのみ平衡化が図られて
いてもよい。
ルタを接続する場合には、入力段及び出力段を構成しな
い多電極形弾性表面波フィルタについては、平衡化する
必要はなく、両端の段すなわち入力段及び出力段につい
てのみ平衡化を考えればよい。もっとも、第２の実施例
は、入力段及び出力段の双方において入出力の平衡が図
られていたが、一方の段においてのみ平衡化が図られて
いてもよい。
【００２７】位相反転の方法を説明するための実施例 図３及び図４は、それぞれ、位相反転方法が異なる第３
の例及び実施例の多電極形弾性表面波フィルタを示す各
電極構成図である。図３の弾性表面波フィルタ７１で
は、３個のＩＤＴ７２〜７４が表面波伝搬方向に沿って
並べられて形成されている。ここでは、両側のＩＤＴ７
２，７４の櫛歯電極７２ａ，７４ａ間が入力（出力）側
とされる。櫛歯電極７２ｂ，７４ｂはアース電位に接続
されている。従って、第１の実施例と同様にＩＤＴ７
２，７４側を入力側とした場合入力を平衡化することが
できる。
の例及び実施例の多電極形弾性表面波フィルタを示す各
電極構成図である。図３の弾性表面波フィルタ７１で
は、３個のＩＤＴ７２〜７４が表面波伝搬方向に沿って
並べられて形成されている。ここでは、両側のＩＤＴ７
２，７４の櫛歯電極７２ａ，７４ａ間が入力（出力）側
とされる。櫛歯電極７２ｂ，７４ｂはアース電位に接続
されている。従って、第１の実施例と同様にＩＤＴ７
２，７４側を入力側とした場合入力を平衡化することが
できる。
【００２８】本例では、第１及び第２の実施例と同様
に、一方のＩＤＴ７２に対して他方のＩＤＴ７４の位相
が、櫛歯電極７４ａと櫛歯電極７３ａとの間のピッチ
を、櫛歯電極７２ａと櫛歯電極７３ａとの間のピッチよ
りも１ピッチ大きくすることにより位相が反転されてい
る。
に、一方のＩＤＴ７２に対して他方のＩＤＴ７４の位相
が、櫛歯電極７４ａと櫛歯電極７３ａとの間のピッチ
を、櫛歯電極７２ａと櫛歯電極７３ａとの間のピッチよ
りも１ピッチ大きくすることにより位相が反転されてい
る。
【００２９】他方、図４に示す実施例の多電極形弾性表
面波フィルタ８１では、ＩＤＴ８２，８４の各一方の櫛
歯電極８２ａ，８４ａと対を成す他方の櫛歯電極８２
ｂ，８４ｂに、ダミー電極指８５，８６が設けられてい
る。ダミー電極指８５は、櫛歯電極８２ｂのＩＤＴ８３
側にもっとも近接した電極指Ａよりも、さらに１ピッチ
分ＩＤＴ８３側に寄せられて形成されている。そして、
ダミー電極指８５と、ＩＤＴ８３との間の間隔は、ＩＤ
Ｔ８３と櫛歯電極８４ｂとの間の間隔と等しくされてい
る。
面波フィルタ８１では、ＩＤＴ８２，８４の各一方の櫛
歯電極８２ａ，８４ａと対を成す他方の櫛歯電極８２
ｂ，８４ｂに、ダミー電極指８５，８６が設けられてい
る。ダミー電極指８５は、櫛歯電極８２ｂのＩＤＴ８３
側にもっとも近接した電極指Ａよりも、さらに１ピッチ
分ＩＤＴ８３側に寄せられて形成されている。そして、
ダミー電極指８５と、ＩＤＴ８３との間の間隔は、ＩＤ
Ｔ８３と櫛歯電極８４ｂとの間の間隔と等しくされてい
る。
【００３０】従って、ＩＤＴ８２の櫛歯電極８２ｂのＩ
ＤＴ８３側に最も近接した電極指Ａと、櫛歯電極８３ｂ
との間の間隔は、櫛歯電極８４ｂのＩＤＴ８３に最も近
接した電極指ＢとＩＤＴ８３との間の間隔よりも１ピッ
チ分だけ拡げられていることになる。従って、ＩＤＴ８
２の位相は、ＩＤＴ８４の位相に対して反転されてい
る。なお、ＩＤＴ８４の櫛歯電極８４ｂに設けられてい
るダミー電極指８６は特に形成されずともよい。
ＤＴ８３側に最も近接した電極指Ａと、櫛歯電極８３ｂ
との間の間隔は、櫛歯電極８４ｂのＩＤＴ８３に最も近
接した電極指ＢとＩＤＴ８３との間の間隔よりも１ピッ
チ分だけ拡げられていることになる。従って、ＩＤＴ８
２の位相は、ＩＤＴ８４の位相に対して反転されてい
る。なお、ＩＤＴ８４の櫛歯電極８４ｂに設けられてい
るダミー電極指８６は特に形成されずともよい。
【００３１】実施例のように、ダミー電極指８５を形成
することによって、両側のＩＤＴ８２，８４の位相を反
転させることができる。そして、ダミー電極指８５を用
いる方法では、アース電位に接続される電極指をＩＤＴ
の外側を囲むように配置することができるため、挿入損
失を低減するためにＩＤＴ８２，８３間を、図５に示す
ように電極８９，８９で埋めることができる。従って、
挿入損失をより一層低減することができる。
することによって、両側のＩＤＴ８２，８４の位相を反
転させることができる。そして、ダミー電極指８５を用
いる方法では、アース電位に接続される電極指をＩＤＴ
の外側を囲むように配置することができるため、挿入損
失を低減するためにＩＤＴ８２，８３間を、図５に示す
ように電極８９，８９で埋めることができる。従って、
挿入損失をより一層低減することができる。
【００３２】なお、ダミー電極指は、電極指のあるとこ
ろと、ないところとの弾性表面波の伝搬速度の違いによ
って、ＩＤＴ８２とＩＤＴ８４の位相が完全な反転から
わずかにずれることを防ぐ働きをする。よって、この速
度差をＩＤＴの位置の微調整で吸収させればダミー電極
指を省略することもできる。
ろと、ないところとの弾性表面波の伝搬速度の違いによ
って、ＩＤＴ８２とＩＤＴ８４の位相が完全な反転から
わずかにずれることを防ぐ働きをする。よって、この速
度差をＩＤＴの位置の微調整で吸収させればダミー電極
指を省略することもできる。
【００３３】ＩＤＴの数を増加させた多電極形弾性表面
波フィルタについての例 図６及び図７は、本発明の参考例としての多電極形弾性
表面波フィルタの電極構造を示す図である。第６及び第
７の例は、ＩＤＴの数を前述してきた例に比べてさらに
増加させた例に相当する。
波フィルタについての例 図６及び図７は、本発明の参考例としての多電極形弾性
表面波フィルタの電極構造を示す図である。第６及び第
７の例は、ＩＤＴの数を前述してきた例に比べてさらに
増加させた例に相当する。
【００３４】図６に示した多電極形弾性表面波フィルタ
９１では、リフレクタ９２，９３間に、７個のＩＤＴ９
４〜１００が弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されて
いる。そして、ＩＤＴ９４〜１００は、表面波伝搬方向
に沿って交互に入力側又は出力側ＩＤＴとして用いられ
る。
９１では、リフレクタ９２，９３間に、７個のＩＤＴ９
４〜１００が弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されて
いる。そして、ＩＤＴ９４〜１００は、表面波伝搬方向
に沿って交互に入力側又は出力側ＩＤＴとして用いられ
る。
【００３５】いま、ＩＤＴ９４，９６，９８，１００を
入力側、ＩＤＴ９５，９７，９９を出力側ＩＤＴとす
る。その場合、偶数個のＩＤＴを含む側すなわち入力側
ＩＤＴ９４，９６，９８，１００からなるＩＤＴ群にお
いては、表面波伝搬方向に沿って全ＩＤＴが形成されて
いる領域の中央を境にして、左側のＩＤＴ９４，９６の
位相が右側のＩＤＴ９８，１００の位相に対して反転さ
れている。
入力側、ＩＤＴ９５，９７，９９を出力側ＩＤＴとす
る。その場合、偶数個のＩＤＴを含む側すなわち入力側
ＩＤＴ９４，９６，９８，１００からなるＩＤＴ群にお
いては、表面波伝搬方向に沿って全ＩＤＴが形成されて
いる領域の中央を境にして、左側のＩＤＴ９４，９６の
位相が右側のＩＤＴ９８，１００の位相に対して反転さ
れている。
【００３６】位相反転の方法は、第１の例と同様であ
る。すなわち、ＩＤＴ９６の位相は、ＩＤＴ９８の位相
に対して、第１の例と同様に同じ側の櫛歯電極９６ａ，
９８ａのＩＤＴ９５に対する間隔をずらせることにより
位相が反転されている。また、ＩＤＴ９４，９６は、櫛
歯電極９４ａ，９６ａが共通接続されており、他方の櫛
歯電極９４ｂ，９６ｂはアース電位に接続されている。
同様に右側のＩＤＴでは、櫛歯電極９８ａ，１００ａが
共通接続されており、櫛歯電極９８ｂ，１００ｂがアー
ス電位に接続されている。よって、ＩＤＴ９４，９６
と、ＩＤＴ９８，１００とは、アース電位を介して直列
接続されており、入力が平衡化されている。
る。すなわち、ＩＤＴ９６の位相は、ＩＤＴ９８の位相
に対して、第１の例と同様に同じ側の櫛歯電極９６ａ，
９８ａのＩＤＴ９５に対する間隔をずらせることにより
位相が反転されている。また、ＩＤＴ９４，９６は、櫛
歯電極９４ａ，９６ａが共通接続されており、他方の櫛
歯電極９４ｂ，９６ｂはアース電位に接続されている。
同様に右側のＩＤＴでは、櫛歯電極９８ａ，１００ａが
共通接続されており、櫛歯電極９８ｂ，１００ｂがアー
ス電位に接続されている。よって、ＩＤＴ９４，９６
と、ＩＤＴ９８，１００とは、アース電位を介して直列
接続されており、入力が平衡化されている。
【００３７】図７に示す多電極形弾性表面波フィルタ１
０１では、リフレクタ９２，９３間に第６の実施例と同
様に７個のＩＤＴ９４〜１００が表面波伝搬方向に沿っ
て配置されている。このうち、例えば入力側として使用
されるＩＤＴ９４，９６，９８，１００は、第６の実施
例と同様に構成されている。異なる所は、例えば出力側
として使用されるＩＤＴのうち、中央に位置するＩＤＴ
９７が表面波伝搬方向に２分割されていることにある。
０１では、リフレクタ９２，９３間に第６の実施例と同
様に７個のＩＤＴ９４〜１００が表面波伝搬方向に沿っ
て配置されている。このうち、例えば入力側として使用
されるＩＤＴ９４，９６，９８，１００は、第６の実施
例と同様に構成されている。異なる所は、例えば出力側
として使用されるＩＤＴのうち、中央に位置するＩＤＴ
９７が表面波伝搬方向に２分割されていることにある。
【００３８】すなわち、ＩＤＴ９７は、櫛歯電極９７ａ
と、該櫛歯電極９７ａに電極指が互いに間挿し合うよう
に配置された櫛歯電極９７ｂ，９７ｃとを有する。櫛歯
電極９７ｂ，９７ｃは、それぞれ、ＩＤＴ９５，９９の
櫛歯電極９５ｂ，９９ｂに共通接続されている。この場
合、ＩＤＴ９７は２分割されているため、２個のＩＤＴ
として機能し、従って、出力側も端子１１２，１１３間
において取り出される出力についても平衡化される。
と、該櫛歯電極９７ａに電極指が互いに間挿し合うよう
に配置された櫛歯電極９７ｂ，９７ｃとを有する。櫛歯
電極９７ｂ，９７ｃは、それぞれ、ＩＤＴ９５，９９の
櫛歯電極９５ｂ，９９ｂに共通接続されている。この場
合、ＩＤＴ９７は２分割されているため、２個のＩＤＴ
として機能し、従って、出力側も端子１１２，１１３間
において取り出される出力についても平衡化される。
【００３９】図６及び図７から明らかなようにＩＤＴの
数を増大させた場合においても、本発明によれば、ボン
ディングワイヤをさほど長くすることなく入力及び出力
の少なくとも一方を平衡化することができる。
数を増大させた場合においても、本発明によれば、ボン
ディングワイヤをさほど長くすることなく入力及び出力
の少なくとも一方を平衡化することができる。
【００４０】さらに、高周波領域においては、ＩＤＴの
インピーダンスが低くなりがちであり、良好なインピー
ダンスマッチングを取り難い傾向があったが、本発明に
よれば、平衡化される側において複数のＩＤＴが、アー
ス電位を介して直列接続される。従って、直列接続され
る側のＩＤＴのインピーダンスが高められるので、イン
ピーダンスマッチングを容易にとることができる。な
お、本発明の多電極形弾性表面波装置は、上述した多電
極形弾性表面波フィルタだけでなく、遅延線等に適用す
ることも可能である。
インピーダンスが低くなりがちであり、良好なインピー
ダンスマッチングを取り難い傾向があったが、本発明に
よれば、平衡化される側において複数のＩＤＴが、アー
ス電位を介して直列接続される。従って、直列接続され
る側のＩＤＴのインピーダンスが高められるので、イン
ピーダンスマッチングを容易にとることができる。な
お、本発明の多電極形弾性表面波装置は、上述した多電
極形弾性表面波フィルタだけでなく、遅延線等に適用す
ることも可能である。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、偶数の
ＩＤＴを有するＩＤＴ側が、全ＩＤＴの配置されている
領域の中央を境にして二組に分けた時に、一方の組に属
するＩＤＴの位相が他方の組のＩＤＴの位相に対して反
転されており、かつ前記二組が直列に接続されているた
め、ボンディングワイヤをさほど長くすることなく、入
力及び出力の少なくとも一方を充分に平衡化することが
できる。従って、信頼性に優れ、充分な平衡度を有する
多電極形弾性表面波装置を提供することが可能となる。
ＩＤＴを有するＩＤＴ側が、全ＩＤＴの配置されている
領域の中央を境にして二組に分けた時に、一方の組に属
するＩＤＴの位相が他方の組のＩＤＴの位相に対して反
転されており、かつ前記二組が直列に接続されているた
め、ボンディングワイヤをさほど長くすることなく、入
力及び出力の少なくとも一方を充分に平衡化することが
できる。従って、信頼性に優れ、充分な平衡度を有する
多電極形弾性表面波装置を提供することが可能となる。
【００４２】また、請求項２に記載の発明では、多電極
形多段弾性表面波装置において、入力段及び出力段のう
ち少なくとも一方の段の多電極形弾性表面波装置が請求
項１に記載の発明のように構成されているため、同様に
ボンディングワイヤをさほど長くすることなく平衡度の
充分な弾性表面波装置を構成することができる。特に、
多段接続形の表面波フィルタでは、従来技術では入出力
を平衡化することが実際には非常に困難であったが、本
発明によればボンディングワイヤをさほど長くせずとも
よいため、多段接続形の弾性表面波フィルタにおいて、
入出力を充分に平衡化することが可能となる。
形多段弾性表面波装置において、入力段及び出力段のう
ち少なくとも一方の段の多電極形弾性表面波装置が請求
項１に記載の発明のように構成されているため、同様に
ボンディングワイヤをさほど長くすることなく平衡度の
充分な弾性表面波装置を構成することができる。特に、
多段接続形の表面波フィルタでは、従来技術では入出力
を平衡化することが実際には非常に困難であったが、本
発明によればボンディングワイヤをさほど長くせずとも
よいため、多段接続形の弾性表面波フィルタにおいて、
入出力を充分に平衡化することが可能となる。
【００４３】さらに、請求項１，２に記載の発明では、
ＩＤＴの設計に際し、端部に位置する電極指をアース電
位に接続するように構成し得るため、ＩＤＴ間を電極で
埋めることにより挿入損失を低減することができる。
ＩＤＴの設計に際し、端部に位置する電極指をアース電
位に接続するように構成し得るため、ＩＤＴ間を電極で
埋めることにより挿入損失を低減することができる。
【図１】第１の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図２】第２の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図３】第３の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図４】実施例の多電極形弾性表面波フィルタの電極構
造を示す模式的平面図。
造を示す模式的平面図。
【図５】第５の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図６】第６の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図７】第７の例の多電極形弾性表面波フィルタの電極
構造を示す模式的平面図。
構造を示す模式的平面図。
【図８】従来の多電極形弾性表面波フィルタの一例の電
極構造を示す模式的平面図。
極構造を示す模式的平面図。
【図９】従来の多電極形弾性表面波フィルタの他の例の
電極構造を示す模式的平面図。
電極構造を示す模式的平面図。
【図１０】図９に示した従来例において入出力を平衡化
する方法の一例を示す模式的平面図。
する方法の一例を示す模式的平面図。
【図１１】従来の多電極形弾性表面波フィルタのさらに
他の例を説明するための模式的平面図。
他の例を説明するための模式的平面図。
【図１２】従来の多電極形弾性表面波フィルタのさらに
他の例を示す模式的平面図。
他の例を示す模式的平面図。
４１…多電極形弾性表面波フィルタ ４４〜４６…ＩＤＴ ４４ａ，４５ａ，４６ａ，４４ｂ，４５ｂ，４６ｂ…櫛
歯電極
歯電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−74260（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/145
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板の表面に表面波伝搬方向に沿っ
て少なくとも３個のインターデジタルトランスデューサ
が形成されており、前記インターデジタルトランスデュ
ーサが表面波伝搬方向に沿って交互に入力用インターデ
ジタルトランスデューサまたは出力用インターデジタル
トランスデューサとされている多電極形弾性表面波装置
において、 前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力
用インターデジタルトランスデューサのうち、偶数個の
インターデジタルトランスデューサを有するインターデ
ジタルトランスデューサ側を、全インターデジタルトラ
ンスデューサの配置されている領域の中央を境にして二
組に分けたときに、インターデジタルトランスデューサ
のアース電位側にダミー電極指を形成することによっ
て、一方の組に属するインターデジタルトランスデュー
サの位相が他方の組のインターデジタルトランスデュー
サの位相に対して反転されており、かつ前記二組が直列
に接続されて入力または出力が平衡化されることを特徴
とする、多電極形弾性表面波装置。 - 【請求項２】 圧電基板上に少なくとも２段の多電極形
弾性表面波フィルタが構成されており、かつ各段が順次
接続された多段形弾性表面波装置において、 入力段及び出力段のうち少なくとも一方の段の多電極形
弾性表面波装置が、請求項１に記載の多電極形弾性表面
波装置で構成されており、かつ前記偶数のインターデジ
タルトランスデューサを有する側のインターデジタルト
ランスデューサが入力用および／又は出力用とされてい
る、多電極形多段弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00035093A JP3254779B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 多電極形弾性表面波装置 |
| EP93121017A EP0605884A1 (en) | 1993-01-05 | 1993-12-28 | IIDT type surface acoustic wave device |
| FI940014A FI113920B (fi) | 1993-01-05 | 1994-01-03 | IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite |
| US08/541,935 US5568002A (en) | 1993-01-05 | 1995-10-10 | IIDT type surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00035093A JP3254779B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 多電極形弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204781A JPH06204781A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3254779B2 true JP3254779B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=11471393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00035093A Expired - Lifetime JP3254779B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 多電極形弾性表面波装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5568002A (ja) |
| EP (1) | EP0605884A1 (ja) |
| JP (1) | JP3254779B2 (ja) |
| FI (1) | FI113920B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| DE69319977T3 (de) * | 1992-08-24 | 2006-06-14 | Nihon Dempa Kogyo Co | Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter |
| JP3237387B2 (ja) * | 1994-04-12 | 2001-12-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子フィルタ |
| JP3244386B2 (ja) * | 1994-08-23 | 2002-01-07 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波装置 |
| CA2178438C (en) * | 1995-06-16 | 2001-11-20 | Ji-Dong Dai | Cascaded surface wave device filters |
| GB2306821B (en) * | 1995-11-03 | 2000-05-31 | Advanced Saw Prod Sa | Electro-acoustic device |
| JPH09205342A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| EP0800270B1 (en) * | 1996-04-02 | 2003-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
| JP3239064B2 (ja) * | 1996-05-28 | 2001-12-17 | 富士通株式会社 | 弾性表面波装置 |
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