JP2754610B2 - 圧電アクチュエータ駆動装置 - Google Patents

圧電アクチュエータ駆動装置

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JP2754610B2
JP2754610B2 JP63283394A JP28339488A JP2754610B2 JP 2754610 B2 JP2754610 B2 JP 2754610B2 JP 63283394 A JP63283394 A JP 63283394A JP 28339488 A JP28339488 A JP 28339488A JP 2754610 B2 JP2754610 B2 JP 2754610B2
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    • F02D41/20Output circuits, e.g. for controlling currents in command coils
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    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電素子を電気・機械変換器として用いる場
合に圧電素子に対し、電荷の充放電を適切に行うことに
より所定の機械的変位量を得る圧電アクチュエータ駆動
装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、圧電素子を応用した各種のアクチュエータが提
案されている。これは、圧電素子が小形・低消費電力お
よび高速応答性等の優れた長所を有するためである。こ
れに応じ、圧電素子アクチュエータの駆動回路について
もいろいろな提案がなされている。例えば、特開昭62−
210241号公報には、圧電素子が大きな温度係数を持つこ
とに鑑みて、圧電素子に蓄えられる静電エネルギー量を
一定としたとき圧電素子の変位量を温度にかかわらず一
定値に制御可能であることが述べられている。そこで圧
電素子の変位量を目標値に制御するためにトランスに蓄
積されたエネルギーの量を制御し、このエネルギーによ
り圧電素子の変位量を制御することが示されている。ま
た、特開昭58−64077号公報には電歪素子(圧電素子)
にコイルを接続して共振回路を形成し、圧電素子に一旦
蓄積された電力をこの共振回路により電源側へ回生させ
ることで消費電力を低減することが示されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記特開昭62−210241号公報の例では
トランスに蓄積されたエネルギーにより直接圧電素子を
充電し変位量を制御する構成のため、圧電素子の変位量
の制御に高速応答,高エネルギーが要求される場合には
大きなエネルギーが蓄積可能な非常に大型のトランスが
必要となってしまう。
また、圧電素子アクチュエータが最大限の伸縮量を得
るためには、第5図に示す圧電素子のヒステリシスカー
ブのA−B点を電圧の動作点とすれば良い。
しかしながら、上記特開昭58−64077号公報の例のよ
うに共振回路を備える構成において一旦圧電素子に蓄積
された電荷を共振回路によって反転させるときに圧電素
子に負電圧が生じるが、この負電圧は圧電素子に印加さ
れていた正電圧と共振回路の定数により決定される。こ
のため、圧電素子に印加されている正電圧が変化する
と、圧電素子に生じる負電圧も大きく変化する。従っ
て、圧電素子は毎回異なるヒステリシスカーブを描いた
り、目標とする変位に制御できなかったり安定した変位
を得ることができない。また、圧電素子はB点における
印加電圧よりもさらに大きい負の電圧を印加されると素
子の劣化を早めるという問題もある。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、圧電素子
に対して電荷の充放電を適切に行うことにより、前述の
不具合を解消することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
そこで本発明による圧電アクチュエータ駆動装置は、 圧電素子に選択的に電荷を供給し、前記圧電素子を伸
長させる充電系路と、前記圧電素子に供給された電荷を
選択的に放電させ、前記圧電素子を収縮させる放電系路
とを備える圧電アクチュエータ駆動装置において、 1次巻線が電源に接続され、前記1次巻線により励磁
される2次巻線が前記充電系路に接続されるとともに、
前記1次巻線と前記電源との接続が遮断されたとき、蓄
積された磁気エネルギーによって前記2次巻線に電圧が
生じる充電変圧器と、 前記1次巻線と前記電源との間に介在して、前記1次
巻線と前記電源との接続を断続するスイッチング素子
と、 前記2次巻線に整流素子を介して前記充電系路と並列
に接続され、前記2次巻線に生じた電圧により、電荷が
充電されるコンデンサと、 前記コンデンサに所定量のエネルギーの電荷を充電さ
せるべく、前記スイッチング素子を連続した複数個のパ
ルス信号にて断続駆動する駆動手段と、 前記コンデンサに所定量のエネルギーの電荷が充電さ
れた後、この電荷を前記圧電素子に供給する供給手段と を備えるように構成する。
また、 圧電素子に選択的に電荷を供給し、前記圧電素子を伸
長させる充電系路と、前記圧電素子に供給された電荷を
選択的に放電させ、前記圧電素子を収縮させる放電系路
とを備える圧電アクチュエータ駆動装置において、 前記放電系路中に接続された1次巻線と、前記1次巻
線により励磁させる2次巻線とを備え、前記1次巻線と
前記2次巻線との巻数比が予め定められた放電変圧器
と、 前記変圧器の2次巻線と接続されて、前記2次巻線に
生じる電圧を所定値に制限する2次電圧制御手段とを備
えるように構成する。
〔作用〕
上記構成によれば、圧電素子を伸長させる電荷のエネ
ルギーを複数個のパルス信号により制御している。この
複数のそれぞれのパルス信号は所定のエネルギーの電荷
をコンデンサに充電し、コンデンサの電荷はパルス信号
の個数に応じて増加していく。そして、コンデンサに充
電された電荷のエネルギーの総和が圧電素子を伸長する
ための所定のエネルギー量となった後、コンデンサに充
電された電荷が圧電素子に供給される。このため、圧電
素子の伸長量の制御に高速応答,高エネルギーが要求さ
れる場合にも容易に対応することができる。さらに、個
々のパルス信号に応じてコンデンサに充電される電荷の
エネルギーを複数回に分けて増加させているため、小型
のトランスを用いても高エネルギーの電荷を圧電素子に
供給することができる。同時にコンデンサに充電される
電荷のエネルギーはパルス信号の個数によって制御され
るため、エネルギー量の制御を容易に行うことができ
る。
また、圧電素子に充電されている電荷を放電する場
合、圧電素子と変圧器の1次巻線とが共振回路を形成す
る。このとき、1次巻線の両端に印加される電圧が変化
し、これに応じて2次巻線に生じる電圧も変化する。こ
の2次巻線に生じる電圧は2次電圧制限手段により所定
値に制限される。
このため、1次巻線に印加される電圧も予め設定され
た1次及び2次巻線の巻数比と2次巻線に生じる所定の
電圧値とによって所定値に保持される。ここで、圧電素
子には1次巻線の両端の電圧と同じ値の電圧が印加され
るので、圧電素子の電圧も所定値に保持される。従っ
て、圧電素子が描くヒステリシスカーブが安定するとと
もに、圧電素子の劣化を防止することもできる。
〔実施例〕
以下、本発明の1実施例を図面に基づいて説明する 第1図において、1は直流電源で、充電変圧器として
のトランス20の1次巻線L1の一端が電源1の+側に接続
され、トランス20の他の一端はスイッチング素子として
のトランジスタ22のコレクタに接続されている。又トラ
ンジスタ22のエミッタに電源1の−側に接続され、トラ
ンジスタ22のベースに接続された公知のベースドライブ
回路31の出力信号によりトランジスタ22が駆動される
と、電源1とトランス20の1次巻線とが接続される。な
お、トランジスタ22に並列に接続されたダイオード23は
トランジスタ22に印加される逆電圧を制限するものであ
る。トランス20の2次巻線L2の一端はダイオード21のア
ノードに接続されダイオード21のカソードはコンデンサ
3の+側と供給手段としてのサイリスタ4のアノードと
に接続されている。コンデンサ3の−側はトランス20の
2次巻線L2の他端に接続され、これによりトランス20で
昇圧された電圧がコンデンサ3の印加され、所定のエネ
ルギーの電荷がコンデンサ3に充電される。サイリスタ
4のカソードはリアクトル7の一端に、そしてそのリア
クトル7の他端は圧電素子からなるピエゾアクチュエー
タ6の+側に接続されている。ピエゾアクチュエータ6
の−側はコンデンサ3の−側と同様にトランス20の2次
巻線L2の他端に接続され、これによりサイリスタ4が点
弧されると、コンデンサ3に充電されている電荷がピエ
ゾアクチュエータ6に供給され、ピエゾアクチュエータ
6が伸長する。ここで、コンデンサ3の両端よりピエゾ
アクチュエータ6の両端までが充電系路に相当する。
また放電変圧器としてのトランス10の1次巻線l1の−
端が、リアクトル7とピエゾアクチュエータ6との間に
接続され、1次巻線l1の他端がサイリスタ5のアノード
に接続されている。サイリスタ5のカソードはピエゾア
クチュエータ6の−側及びコンデンサ3の−側とともに
トランス20の2次巻線L2の他端に接続されており、サイ
リスタ5が点弧されることによりピエゾアクチュエータ
6に充電されていた電荷が、トランス10,サイリスタ5
を介して放電される。トランス10の2次巻線l2の一端は
ダイオード9のアノードに接続され、ダイオード9のカ
ソードが電源1の+側に接続されている。そして2次巻
線l2の他端が電源1の−側に接続され、電源1とダイオ
ード9が2次電圧制限手段として機能する。ここでピエ
ゾアクチュエータ6の両端よりトランス10,サイリスタ
5によって形成される閉回路が放電系路に相当する。な
お、トランス10及びトランス20の巻き方は図示の通りで
ある。
一方、第1図,第2図(a)に示すピエゾアクチュエ
ータON信号は、ONパルス発生器35,OFFパルス発生器36,
単安定マルチバイブレータ34へ入力される。ONパルス発
生器35はピエゾアクチュエータON信号の立上りでトリガ
され、その出力はサイリスタ4を点弧するゲート信号と
なり、OFFパルス発生器36はピエゾアクチュエータON信
号の立下りでトリガされ、その出力はサイリスタ5を点
弧するゲート信号となる。
単安定マルチバルブレータ34はピエゾアクチュエータ
ON信号の立下りでトリガされ、所定時間Hiとなるパルス
出力をAND回路32へ入力する。またデューティ設定器33
は、トランジスタ22を駆動するデューティ比を設定する
もので、デューティ設定器33のデューティ出力もAND回
路32へ入力される。AND回路32は単安定マルチバイブレ
ータ34の出力とデューティ設定器33の出力とがともにHi
になったときベースドライブ回路31を駆動する。このベ
ースドライブ回路31の出力がトランジスタ22のベースに
与えられ、トランジスタ22がON−OFF駆動される。
第1図に示した実施例の各部の波形を第2図に示し、
作動を説明する。なお、第2図の動作波形は説明を簡単
にするためにトランス10を単にリアクトルとした場合を
示している。まず、第2図(a)に示すピエゾアクチュ
エータON信号が入力されると、ピエゾアクチュエータON
信号立上り時に第2図(b)に示すようにONパルス発生
器35の出力にサイリスタ4の点弧信号Aが現われ、この
点弧信号Aがサイリスタ4のゲートに入力され、サイリ
スタ4をONさせる。この時、コンデンサ3,サイリスタ4,
リアクトル7,ピエゾアクチュエータ6,コンデンサ3の閉
回路においてLC共振が生じ、ピエゾアクチュエータ6に
電圧が印加される。これによりピエゾアクチュエータ6
の端子電圧Vzは第2図(e)に示すようにVz1まで上昇
するとともに、コンデンサ3の端子電圧Vcは、V1からV0
まで下降した後、サイリスタ4はOFFし充電が終了す
る。次に、ピエゾアクチュエータON信号の立下り時に第
2図(c)に示すように、OFFパルス発生器36にサイリ
スタ5の点弧信号Bが現われ、この点弧信号Bがサイリ
スタ5のゲートに入力され、サイリスタ5をONさせる。
この時ピエゾアクチュエータ6,リアクトル10,サイリス
タ5,ピエゾアクチュエータ6の閉回路が形成され、この
閉回路においてピエゾアクチュエータ6とリアクトル10
とに共振が生じ、ピエゾアクチュエータ6の端子電圧Vz
は正から負へと変化する。この端子電圧VzがVz1からVz2
まで低下した後、サイリスタ5はOFFし放電が終了す
る。
一方、単安定マルチバイブレータ34はピエゾアクチュ
エータON信号の立下りでトリガされ第2図(g)に示す
ように所定期間τだけHi信号を出力する。またデューテ
ィ設定器33はあらかじめ定めたデューティ比の信号を出
力し、これら2つの出力信号がAND回路32に入力され
る。AND回路32は、第2図(h)に示すように所定期間
τだけデューティ信号を出力し、ベースドライブ回路31
を通してトランジスタ22をON−OFF駆動させる。その
時、トランス20の1次巻線L1及びトランジスタ22に流れ
る電流iは第2図(f)の様になり、コンデンサ3に蓄
積される電荷の総和のエネルギーは、 となる。
ここでインダクタンスL1,効率ηを一定とすれば、エ
ネルギーEは電流ip,チョッピング周波数f,充電時間τ
の関数となる。一般に電流ipと周波数fは一定で用いる
場合が多く、この場合充電時間τを制御することによ
り、すなわちデューティ信号のパルス数によりエネルギ
ーEを制御することができる。
従って、充電時間τを一定に制御することにより、コ
ンデンサ3に毎回一定のエネルギーの電荷を供給するこ
とができる。このコンデンサ3に蓄積された電荷のエネ
ルギーをピエゾアクチュエータ6に投入することによ
り、温度変化にかかわらずピエゾアクチュエータ6の伸
長量を一定に制御することができる。
ここで上記のようにコンデンサ3に一定のエネルギー
の電荷が供給されることにより、ピエゾアクチュエータ
6への投入エネルギーを一定にすることができることを
以下に説明する。
第3図(a)に示すようにピエゾアクチュエータ6の
静電容量Czが、例えば常温(20℃)でCz1であり、この
状態でピエゾアクチュエータ6にエネルギーが投入され
る場合、コンデンサ3に蓄積された電荷をq、そのとき
の電圧をV1,コンデンサ3の静電容量をC1,リアクトル
7のインダクタンスをLとすると、次の微分方程式が成
立する。
(1)式を解き、ピエゾアクチュエータ6にかかる電圧
Vz1を求めると、 となる。またこのときコンデンサ3の電圧V0に変化する。
同様に、例えば第3図(b)に示すようにピエゾアク
チュエータ6の温度が100℃まで上昇したときの静電容
量をCz2とすると、ピエゾアクチュエータにかかる電圧V
z2となり、コンデンサ3の電圧V2に変化する。
ここで、コンデンサ3へ供給される電荷のエネルギー
は一定であるから、コンデンサ3の電圧変化によるエネ
ルギー変化は20℃の場合でも、100℃の場合でも同じで
ある。つまり が成り立つ。(6)式に(3)式と(5)式を代入する
と、 となり、(7)式に(2)式と(4)式を代入すると、 となる。つまり(8)式は、ピエゾアクチュエータ6の
20℃でのエネルギー(左辺)と100℃におけるエネルギ
ー(右辺)とが等しい事を表わしている。
以上の様に、コンデンサ3へ供給する電荷のエネルギ
ーを一定にすればピエゾアクチュエータ6への投入エネ
ルギーを一定にする事ができる。
上記の例に於いて回路定数としてインダクタンスL,静
電容量Cのみを考え、抵抗分を無視したが現実には幾分
かの抵抗分もあり、厳密には投入エネルギーが一定には
ならないが動作上影響を及ぼす程ではない。又、ピエゾ
アクチュエータ6も抵抗分を持っており上式がそのまま
当てはまる訳ではないが、その影響は小さいため基本的
には定エネルギー駆動となる。また、本実施例において
はトランス10にフライバック式DC−DCコンバータを用い
ているために、コンデンサ3へ供給する電荷のエネルギ
ーの制御を容易に行うことができる。これはフライバッ
ク式コンバータの場合トランスに蓄積される電磁エネル
ギーは2次側からの影響を全く受けることなく、1次側
だけで制御することができるためであり、他のコンバー
タを用いた場合にはコンデンサに流れ込むエネルギーを
測定して制御しなければならないためエネルギーの制御
は困難になる。
次に、ピエゾアクチュエータ6の放電時について第4
図の動作波形を参照しながら説明する。
まず、サイリスタ4のゲートに第4図(a)に示す点
弧信号Aが与えられるとサイリスタ4がONする。この
時、コンデンサ3,サイリスタ4,リアクトル7,ピエゾアク
チュエータ6の閉回路においてLC共振が生じこの閉回路
に第4図(c)に示す電流izが流れる。この電流izが負
になった時点でサイリスタ4がオフするとともに、ピエ
ゾアクチュエータ6の電圧VzがVz2からVz1迄上昇する。
次に、サイリスタ5のゲートに第4図(b)に示す点弧
信号Bが与えられるとサイリスタ5がONし、ピエゾアク
チュエータ6の電荷がトランス10の1次巻線サイリスタ
5を通して放電され、電流izが流れはじめる。
ここで、トランス10が単なるリアクトルである場合を
考えると、ピエゾアクチュエータ6の電荷はリアクトル
10,サイリスタ5を通して放電され、第4図(c)の破
線の様に電流izが流れ、また第4図(d)に破線で示す
ようにピエゾアクチュエータ6の電圧はVz3になる。と
ころで、ピエゾアクチュエータ6の電圧変位特性は第5
図に示すとおりであり、変位を多くとるためには印加電
圧VをA−B点にすれば良い。A点はピエゾアクチュエ
ータ6に印加される最大正電圧、B点はピエゾアクチュ
エータ6が劣化することなく印加できる最大負電圧であ
る。
そこで、ピエゾアクチュエータ6に生じる負電圧を上
記最大負電圧に制限するため、抵抗をピエゾアクチュエ
ータ6とサイリスタ5との間に介在させる方法もある。
しかしながら、抵抗を用いた場合でも、ピエゾアクチュ
エータ6に生じる負電圧は、サイリスタ5が点弧する前
にピエゾアクチュエータ6に印加されていた正電圧及び
抵抗等の回路定数によって左右され、一定に決まらない
ためピエゾアクチュエータ6の変位が安定しない。
しかる本実施例に於いては、リアクトルのかわりにト
ランス10を用いることによって以上の問題を解決してい
る。
つまり、第4図(c)に示す電流izが負のピークに達
すると第4図(e)に実線で示すようにトランス10の1
次巻線電圧VLは正から負に移り変わり、さらにその後も
負に上昇していく。そして、この1次巻線電圧VLが次式
により決定される電圧Vz2に達すると、 トランス10の2次巻線に発生する電圧が電源電圧Eを越
えようとするため、ダイオード9がONし、第4図(f)
に示すように回生電流iBが流れ始める。従って、トラン
ス10の1次巻線電圧VLは、 される事になり、電流izは急激に減衰し、2次側の電流
iBを増大させる。こうしてピエゾアクチュエータ6に蓄
えられていたエネルギーの一部が電源に回生され、ピエ
ゾアクチュエータ6の電圧VzもVz2に制限される。
この結果として、ピエゾアクチュエータ6に印加され
ていた正電圧Vz1が変動してもピエゾアクチュエータ6
に生じる負電圧は に制限されるため、Vz2を第4図のB点の電圧になる様
に電圧E,1次及び2次巻線の巻数N1,N2を決定すれば、
常に一定の電圧の動作点Bを得る事ができる。従って、
素子の劣化を招く事もなく、最大の変位を得る事ができ
る。
本実施例に於いては、充電時間τ、すなわちデューテ
ィ信号のパルス数によりコンデンサ3へ供給する電荷の
エネルギーEを制御したが、パルス数が一定の場合は前
記電流ipまたはチョッピング周波数fによってエネルギ
ーEを制御しても良い。また、エネルギーEを一定に制
御する場合には が一定になる様な方法ならば、どのパラメータを制御し
ても同一の効果が得られる。
又、充電時間τを一定にする場合、OFFパルスが出力
された直後に充電を開始しているがサイリスタ4がOFF
してから後、つぎにONされるまでの間ならどこで充電を
行なってもよい。
また本実施例の放電系路だけを単独で実施する場合に
はトランス20は常に定電圧を発生するものでも良く、
又、コンデンサ3が一定の電圧に達すると停止するもの
であっても良い。
また、トランス20がコンデンサ3に対し常に充電を行
なっており、コンデンサ3が常に定電圧に保たれていれ
ば第6図に示すようにトランス10の2次巻線とダイオー
ド9による回生電流をコンデンサ3に回生し、2次巻線
電圧を所定値に制限することができる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、圧電素子の充放電
を適切に制御しているために、温度変化にかわらず圧電
素子の伸長量を所定値に制御することができ、また小型
の変圧器を用いた場合にも高速応答,高エネルギーによ
って圧電素子を制御することができる。さらに、圧電素
子を劣化させることなく最大の変位量を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の構成図、第2図(a)〜
(h)は第1図に示した構成図の各部の動作波形図、第
3図は第1図の実施例の作用を説明する説明図、第4図
(a)〜(f)は第1図に示した構成図の各部の動作波
形図、第5図はピエゾアクチュエータの電圧変位特性
図、第6図は本発明の他の実施例の構成図である。 1…電源,3…コンデンサ,4,5…サイリスタ,6…ピエゾア
クチュエータ,7…リアクトル,9…ダイオード,10,20…ト
ランス,21,23…ダイオード,22…トランジスタ,31…ベー
スドライブ回路,32…AND回路,33…デューティ設定器,34
…単安定マルチバイブレータ,35…ONパルス発生器,36…
OFFパルス発生器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 夏目 慶三 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本 電装株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−210241(JP,A) 特開 昭63−107077(JP,A) 実開 昭59−113943(JP,U)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電素子に選択的に電荷を供給し、前記圧
    電素子を伸長させる充電系路と、前記圧電素子に供給さ
    れた電荷を選択的に放電させ、前記圧電素子を収縮させ
    る放電系路とを備える圧電アクチュエータ駆動装置にお
    いて、 1次巻線が電源に接続され、前記1次巻線により励磁さ
    れる2次巻線が前記充電系路に接続されるとともに、前
    記1次巻線と前記電源との接続が遮断されたとき、蓄積
    された磁気エネルギーによって前記2次巻線に電圧が生
    じる充電変圧器と、 前記1次巻線と前記電源との間に介在して、前記1次巻
    線と前記電源との接続を断続するスイッチング素子と、 前記2次巻線に整流素子を介して前記充電系路と並列に
    接続され、前記2次巻線に生じた電圧により、電荷が充
    電されるコンデンサと、 前記コンデンサに所定量のエネルギーの電荷を充電させ
    るべく、前記スイッチング素子を連続した複数個のパル
    ス信号にて断続駆動する駆動手段と、 前記コンデンサに所定量のエネルギーの電荷が充電され
    た後、この電荷を前記圧電素子に供給する供給手段と を備えることを特徴とする電圧アクチュエータ駆動装
    置。
  2. 【請求項2】圧電素子に選択的に電荷を供給し、前記圧
    電素子を伸長させる充電系路と、前記圧電素子に供給さ
    れた電荷を選択的に放電させ、前記圧電素子を収縮させ
    る放電系路とを備える圧電アクチュエータ駆動装置にお
    いて、 前記放電系路中に接続された1次巻線と、前記1次巻線
    により励磁させる2次巻線とを備え、前記1次巻線と前
    記2次巻線との巻数比が予め定められた放電変圧器と、 前記変圧器の2次巻線と接続されて、前記2次巻線に生
    じる電圧を所定値に制限する2次電圧制御手段とを備え
    ることを特徴とする圧電アクチュエータ駆動装置。
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