JP2818425B2 - 圧電アクチエータ励振方式 - Google Patents
圧電アクチエータ励振方式Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はドツトマトリクス式のインパクト印字装置に
係り、特に印字ヘツドの駆動源に用いられる圧電アクチ
エータの励振方式に関するものである。
係り、特に印字ヘツドの駆動源に用いられる圧電アクチ
エータの励振方式に関するものである。
従来、ドツトマトリクス・インパクト方式の印字ヘツ
ドに使用される圧電アクチエータの励振方式の一例を第
４図に示し説明する。
ドに使用される圧電アクチエータの励振方式の一例を第
４図に示し説明する。
図において、21は圧電体を用いた圧電アクチエータ
で、この圧電アクチエータ21の一方の電極は接地されて
おり、他方の電極はコイル22を介してスイツチ回路23に
接続されると共に放電用抵抗24を介してスイツチ回路25
に接続されている。
で、この圧電アクチエータ21の一方の電極は接地されて
おり、他方の電極はコイル22を介してスイツチ回路23に
接続されると共に放電用抵抗24を介してスイツチ回路25
に接続されている。
そして、スイツチ回路23は、例えば、駆動信号のパル
スの立上り時間内にだけ、コイル22を介して励振電圧を
圧電アクチエータ21に印加する。このコイル22と圧電ア
クチエータ21の直列回路に励振電圧が印加されると、充
電電流が徐々に流れはじめて、ピークに達した後は徐々
に下がりはじめゼロを通過すると、今度は逆方向に放電
電流が流れはじめる。
スの立上り時間内にだけ、コイル22を介して励振電圧を
圧電アクチエータ21に印加する。このコイル22と圧電ア
クチエータ21の直列回路に励振電圧が印加されると、充
電電流が徐々に流れはじめて、ピークに達した後は徐々
に下がりはじめゼロを通過すると、今度は逆方向に放電
電流が流れはじめる。
一方、圧電アクチエータ21の端子電圧は充電電流が流
れると共に徐々に上昇し、電流がゼロになつた時点でピ
ーク電圧となる。ピーク電圧以降は放電電流が流れるこ
とによつて圧電アクチエータ21の端子電圧は徐々に低下
する。そして、放電の過程においては、制動信号を操作
することによつてスイツチ回路25が導通状態となり、放
電用抵抗24とコイル22および圧電アクチエータ21の直列
回路となり放電電流がこの閉回路を流れ、圧電アクチエ
ータ21に蓄積されていたエネルギーは放電用抵抗24で熱
エネルギーに変換され消費される。
れると共に徐々に上昇し、電流がゼロになつた時点でピ
ーク電圧となる。ピーク電圧以降は放電電流が流れるこ
とによつて圧電アクチエータ21の端子電圧は徐々に低下
する。そして、放電の過程においては、制動信号を操作
することによつてスイツチ回路25が導通状態となり、放
電用抵抗24とコイル22および圧電アクチエータ21の直列
回路となり放電電流がこの閉回路を流れ、圧電アクチエ
ータ21に蓄積されていたエネルギーは放電用抵抗24で熱
エネルギーに変換され消費される。
このように、圧電アクチエータ21への充電と放電の１
周期によつて１ドツトが印字される。
周期によつて１ドツトが印字される。
上述した従来の圧電アクチエータ励振方式では、圧電
アクチエータとコイルおよび放電用抵抗で閉回路を構成
し、放電電流を流すことによつて、圧電アクチエータに
蓄積された静電エネルギーを放電用抵抗で消費して熱エ
ネルギーに変換していた。
アクチエータとコイルおよび放電用抵抗で閉回路を構成
し、放電電流を流すことによつて、圧電アクチエータに
蓄積された静電エネルギーを放電用抵抗で消費して熱エ
ネルギーに変換していた。
このため放電用の抵抗体には耐電力が大きく高い信頼
性のものが必要とされ、プリンタが小型化できずコスト
が高くなるという課題があつた。
性のものが必要とされ、プリンタが小型化できずコスト
が高くなるという課題があつた。
本発明の圧電アクチエータ励振方式は、励振電圧を供
給する励振電源と、入力側がこの励振電源に接続された
第１のスイッチ手段と、一方の端子がこの第１のスイッ
チ手段の出力側に接続されかつ電流変化に基づきエネル
ギーを蓄積するコイルと、往復動を行う機械機構に接続
されるとともに２つの電極がそれぞれコイルの他方の端
子と接地とに接続されかつ電極間に印加される励振電圧
に応じて寸法歪を発生し機械機構の往復動を駆動する圧
電アクチエータと、アノードがコイルの一方の端子に接
続された第１のダイオードと、アノードがコイルの一方
の端子に接続されカソードが励振電源に接続された第２
のダイオードと、圧電アクチエータの寸法歪の制動タイ
ミングを示す制動信号を出力する制動信号発生手段と、
この制動信号発生手段に接続されるとともに第１のダイ
オードのカソードと接地との間に接続されかつ制動信号
に応答して導通状態および遮断状態となり圧電アクチエ
ータ、コイルおよび第１のダイオードによる閉回路を開
閉することにより圧電アクチエータの充電電荷を第２の
ダイオードを介して放電させる第２のスイッチ手段とを
備え、第１のスイッチ手段は励振電圧の印加タイミング
を示す駆動信号に応答してコイルを介し圧電アクチエー
タに励振電圧を印加する手段であり、制動信号の出力開
始から少なくとも圧電アクチエータの充電電荷の放電が
終了するまでの時間に第２のスイッチ手段による閉回路
の開閉が少なくとも１回行われるようにしたものであ
る。
給する励振電源と、入力側がこの励振電源に接続された
第１のスイッチ手段と、一方の端子がこの第１のスイッ
チ手段の出力側に接続されかつ電流変化に基づきエネル
ギーを蓄積するコイルと、往復動を行う機械機構に接続
されるとともに２つの電極がそれぞれコイルの他方の端
子と接地とに接続されかつ電極間に印加される励振電圧
に応じて寸法歪を発生し機械機構の往復動を駆動する圧
電アクチエータと、アノードがコイルの一方の端子に接
続された第１のダイオードと、アノードがコイルの一方
の端子に接続されカソードが励振電源に接続された第２
のダイオードと、圧電アクチエータの寸法歪の制動タイ
ミングを示す制動信号を出力する制動信号発生手段と、
この制動信号発生手段に接続されるとともに第１のダイ
オードのカソードと接地との間に接続されかつ制動信号
に応答して導通状態および遮断状態となり圧電アクチエ
ータ、コイルおよび第１のダイオードによる閉回路を開
閉することにより圧電アクチエータの充電電荷を第２の
ダイオードを介して放電させる第２のスイッチ手段とを
備え、第１のスイッチ手段は励振電圧の印加タイミング
を示す駆動信号に応答してコイルを介し圧電アクチエー
タに励振電圧を印加する手段であり、制動信号の出力開
始から少なくとも圧電アクチエータの充電電荷の放電が
終了するまでの時間に第２のスイッチ手段による閉回路
の開閉が少なくとも１回行われるようにしたものであ
る。
第２のスイッチ手段が導通状態になると、圧電アクチ
エータの充電電荷に基づき圧電アクチエータからコイル
を介して第１のダイオードに流れる電流ループが形成さ
れ、コイルにエネルギーが蓄積される。次に第２のスイ
ッチ手段が遮断状態になると、コイルに蓄積されたエネ
ルギーが第２のダイオードから放電される。
エータの充電電荷に基づき圧電アクチエータからコイル
を介して第１のダイオードに流れる電流ループが形成さ
れ、コイルにエネルギーが蓄積される。次に第２のスイ
ッチ手段が遮断状態になると、コイルに蓄積されたエネ
ルギーが第２のダイオードから放電される。
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明による圧電アクチエータ励振方式の一
実施例を示すブロック図である。
実施例を示すブロック図である。
第１図において、励振電圧は励振電源（図示せず）か
ら供給される。４はスイッチ回路で、入力側が励振電源
に接続されている。このスイッチ回路４は、励振電圧の
印加タイミングを示す駆動信号に応答して、後述するコ
イル３を介し圧電アクチエータ１に励振電圧を印加する
第１のスイッチ手段を構成している。３は電流変化に基
づきエネルギーを蓄積するコイルで、一方の端子がスイ
ッチ回路４の出力側に接続されている。
ら供給される。４はスイッチ回路で、入力側が励振電源
に接続されている。このスイッチ回路４は、励振電圧の
印加タイミングを示す駆動信号に応答して、後述するコ
イル３を介し圧電アクチエータ１に励振電圧を印加する
第１のスイッチ手段を構成している。３は電流変化に基
づきエネルギーを蓄積するコイルで、一方の端子がスイ
ッチ回路４の出力側に接続されている。
１は圧電体を用いた圧電アクチエータで、往復動を行
う機械機構２に接続されるとともに２つの電極がそれぞ
れコイル３の他方の端子と接地とに接続されている。こ
の圧電アクチエータ１は、電極間に印加される励振電圧
に応じて寸法歪を発生し機械機構２の往復動を駆動する
ように構成されている。
う機械機構２に接続されるとともに２つの電極がそれぞ
れコイル３の他方の端子と接地とに接続されている。こ
の圧電アクチエータ１は、電極間に印加される励振電圧
に応じて寸法歪を発生し機械機構２の往復動を駆動する
ように構成されている。
６は逆流電流防止用の第１のダイオードで、アノード
がコイル２の一方の端子に接続されている。７は第２の
ダイオードで、アノードがコイル２の一方の端子に接続
され、カソードが励振電源に接続されている。
がコイル２の一方の端子に接続されている。７は第２の
ダイオードで、アノードがコイル２の一方の端子に接続
され、カソードが励振電源に接続されている。
また、圧電アクチエータ１の寸法歪の制動タイミング
を示す制動信号は制動信号発生回路（図示せず）から供
給される。５はスイッチ回路で、この制動信号発生回路
に接続されるとともに、ダイオード６のカソードと接地
との間に接続されている。このスイッチ回路５は、制動
信号に応答して導通状態および遮断状態となり、圧電ア
クチエータ１、コイル２およびダイオード６による閉回
路を開閉することにより、圧電アクチエータ１の充電電
荷をダイオード７を介して放電させる第２のスイッチ手
段を構成している。
を示す制動信号は制動信号発生回路（図示せず）から供
給される。５はスイッチ回路で、この制動信号発生回路
に接続されるとともに、ダイオード６のカソードと接地
との間に接続されている。このスイッチ回路５は、制動
信号に応答して導通状態および遮断状態となり、圧電ア
クチエータ１、コイル２およびダイオード６による閉回
路を開閉することにより、圧電アクチエータ１の充電電
荷をダイオード７を介して放電させる第２のスイッチ手
段を構成している。
そして、圧電アクチエータ１の充電の過程では、コイ
ル３と圧電アクチエータ１とで直列回路を形成し、駆動
信号によつて操作されるスイッチ回路４によつて励振電
圧を印加し、放電の過程においては、圧電アクチエータ
１とコイル３とで閉回路を構成し、この回路の開閉を制
動信号によつて操作するスイツチ回路５を有しており、
制動信号の出力開始から少なくとも圧電アクチエータ１
の充電電荷の放電が終了するまでの時間に、スイツチ回
路５の開閉を少なくとも１回以上繰り返すことによつ
て、圧電アクチエータ１の端子電圧を制御するように構
成されている。
ル３と圧電アクチエータ１とで直列回路を形成し、駆動
信号によつて操作されるスイッチ回路４によつて励振電
圧を印加し、放電の過程においては、圧電アクチエータ
１とコイル３とで閉回路を構成し、この回路の開閉を制
動信号によつて操作するスイツチ回路５を有しており、
制動信号の出力開始から少なくとも圧電アクチエータ１
の充電電荷の放電が終了するまでの時間に、スイツチ回
路５の開閉を少なくとも１回以上繰り返すことによつ
て、圧電アクチエータ１の端子電圧を制御するように構
成されている。
なお、スイツチ回路４あるいはスイツチ回路５には交
流電流が流れるので、これらのスイツチ回路4,5に対す
る逆方向電流をバイパス（側流）するためのダイオード
７あるいは８を接続して、交流電流を流し得るようスイ
ツチ回路４あるいはスイツチ回路５を構成している。ま
た、圧電アクチエータ１の充電電荷の放電を行う際に生
ずる逆バイアス電圧が圧電アクチエータ１に加わるのを
防止するためのダイオード９を第１図に示すように圧電
アクチエータ１に並列に接続している。
流電流が流れるので、これらのスイツチ回路4,5に対す
る逆方向電流をバイパス（側流）するためのダイオード
７あるいは８を接続して、交流電流を流し得るようスイ
ツチ回路４あるいはスイツチ回路５を構成している。ま
た、圧電アクチエータ１の充電電荷の放電を行う際に生
ずる逆バイアス電圧が圧電アクチエータ１に加わるのを
防止するためのダイオード９を第１図に示すように圧電
アクチエータ１に並列に接続している。
第２図は第１図の動作説明に供するタイムチヤート
で、（ａ）は駆動信号を示したものであり、（ｂ）は制
動信号、（ｃ）は電圧Vb、（ｄ）は電流Ｉ、（ｅ）は圧
電アクチエータ１の寸法歪を示したものである。
で、（ａ）は駆動信号を示したものであり、（ｂ）は制
動信号、（ｃ）は電圧Vb、（ｄ）は電流Ｉ、（ｅ）は圧
電アクチエータ１の寸法歪を示したものである。
つぎに第１図に示す実施例の動作を第２図を参照して
説明する。
説明する。
まず、励振電源からは一定電圧V0の励振電圧が供給さ
れる。スイッチ回路４は、駆動信号（第２図（ａ）参
照）の立上り時間内にだけ導通状態となり、立下り時間
内は遮断状態になるとすると、スイツチ回路が４が導通
状態のときにはコイル３を介して励振電圧が圧電アクチ
エータ１に印加され、スイツチ回路４が遮断状態のとき
にはスイツチ回路４の出力端の電圧Vaはゼロとなる。な
お、スイツチ回路５もスイツチ回路４と同様に立上り時
間内に導通状態で立下り時間内は遮断状態になるとす
る。
れる。スイッチ回路４は、駆動信号（第２図（ａ）参
照）の立上り時間内にだけ導通状態となり、立下り時間
内は遮断状態になるとすると、スイツチ回路が４が導通
状態のときにはコイル３を介して励振電圧が圧電アクチ
エータ１に印加され、スイツチ回路４が遮断状態のとき
にはスイツチ回路４の出力端の電圧Vaはゼロとなる。な
お、スイツチ回路５もスイツチ回路４と同様に立上り時
間内に導通状態で立下り時間内は遮断状態になるとす
る。
そして、スイツチ回路５が遮断状態で、スイツチ回路
４が高レベル（Ｈ）電圧の駆動信号によつて導通状態に
なると、これに応じてスイツチ回路４の出力端には励振
電圧とほぼ等しい高さの電圧があらわれる。
４が高レベル（Ｈ）電圧の駆動信号によつて導通状態に
なると、これに応じてスイツチ回路４の出力端には励振
電圧とほぼ等しい高さの電圧があらわれる。
ここで、圧電アクチエータ１には直列にコイル３が接
続されているので、このコイル３を介して圧電アクチエ
ータ１に流れる電流は正弦波状の電流となる。また、励
振電源とコイル３と圧電アクチエータ１とからなる直列
閉回路が形成されるので、圧電アクチエータ１の端子電
圧Vbは、理想的には０から2V0まで上昇し、コイル３の
インダクタンスと圧電アクチエータ１の容量とで決まる
周波数で振動する。ただし、駆動信号のパルス幅は圧電
アクチエータ１の寸法歪（第２図（ｅ）参照）の往復動
の一周期の約半分に選定されており、これは圧電アクチ
エータ１の端子電圧Vb（第２図（ｃ）参照）がピークに
達する時間とほぼ一致している。
続されているので、このコイル３を介して圧電アクチエ
ータ１に流れる電流は正弦波状の電流となる。また、励
振電源とコイル３と圧電アクチエータ１とからなる直列
閉回路が形成されるので、圧電アクチエータ１の端子電
圧Vbは、理想的には０から2V0まで上昇し、コイル３の
インダクタンスと圧電アクチエータ１の容量とで決まる
周波数で振動する。ただし、駆動信号のパルス幅は圧電
アクチエータ１の寸法歪（第２図（ｅ）参照）の往復動
の一周期の約半分に選定されており、これは圧電アクチ
エータ１の端子電圧Vb（第２図（ｃ）参照）がピークに
達する時間とほぼ一致している。
以上のように、圧電アクチエータ１の端子電圧Vbがピ
ークに達するまでが充電過程である。
ークに達するまでが充電過程である。
一方、放電の過程においては、圧電アクチエータ１の
端子電圧Vbが励振電圧と等しくなるまで電流はダイオー
ド７を通じて励振電源へともどる。このときスイツチ回
路４とスイツチ回路５は遮断状態である。
端子電圧Vbが励振電圧と等しくなるまで電流はダイオー
ド７を通じて励振電源へともどる。このときスイツチ回
路４とスイツチ回路５は遮断状態である。
つぎに、制動信号によつてスイツチ回路５が導通状態
となることによつて逆流電流防止用ダイオード６の一端
が接地される。これによって圧電アクチエータ１、コイ
ル３および逆流電流防止用ダイオード６からなる直列閉
路が形成され、圧電アクチエータ１からコイル３を通っ
てダイオード６の方向に放電電流が流れる。このとき、
コイル３には電流変化に基づくエネルギーが蓄積され
る。ここでスイッチ回路５が遮断状態となると、コイル
３に蓄積されたエネルギーはダイオード７を通って励振
電源に流れ、励振電源によって回収される。このスイッ
チ回路５の導通と遮断とを繰り返すことによって、圧電
アクチエータ１の充電電荷は完全に放電される。この制
動信号を操作してスイツチ回路５が導通状態となる時間
と導通状態になる繰り返し周期を調節することによつて
放電する電流量を変化させて、圧電体アクチエータ１の
端子電圧Vbを制御することができる。
となることによつて逆流電流防止用ダイオード６の一端
が接地される。これによって圧電アクチエータ１、コイ
ル３および逆流電流防止用ダイオード６からなる直列閉
路が形成され、圧電アクチエータ１からコイル３を通っ
てダイオード６の方向に放電電流が流れる。このとき、
コイル３には電流変化に基づくエネルギーが蓄積され
る。ここでスイッチ回路５が遮断状態となると、コイル
３に蓄積されたエネルギーはダイオード７を通って励振
電源に流れ、励振電源によって回収される。このスイッ
チ回路５の導通と遮断とを繰り返すことによって、圧電
アクチエータ１の充電電荷は完全に放電される。この制
動信号を操作してスイツチ回路５が導通状態となる時間
と導通状態になる繰り返し周期を調節することによつて
放電する電流量を変化させて、圧電体アクチエータ１の
端子電圧Vbを制御することができる。
第３図は第１図におけるスイツチ回路５の開閉制御信
号によつて行う実施例を示すブロツク図である。
号によつて行う実施例を示すブロツク図である。
この第３図において第１図と同一符号のものは相当部
分を示し、10はプログラマブルタイマ、11は発振器、12
はプログラマブルマルチバイブレータである。そして、
このプログラマブルタイマ10、発振器11およびプログラ
マブルマルチバイブレータ12によって制動信号発生回路
が構成され、これによって制動信号の出力開始から少な
くとも圧電アクチエータ１の充電電荷の放電が終了する
までの時間のスイッチ回路５の開閉の繰り返し周期、開
閉の繰り返しの数および開閉の時間比をプログラマブル
に設定することができる。
分を示し、10はプログラマブルタイマ、11は発振器、12
はプログラマブルマルチバイブレータである。そして、
このプログラマブルタイマ10、発振器11およびプログラ
マブルマルチバイブレータ12によって制動信号発生回路
が構成され、これによって制動信号の出力開始から少な
くとも圧電アクチエータ１の充電電荷の放電が終了する
までの時間のスイッチ回路５の開閉の繰り返し周期、開
閉の繰り返しの数および開閉の時間比をプログラマブル
に設定することができる。
以上説明したように本発明は、圧電アクチエータへ充
電された充電電荷を放電する際に、圧電アクチエータと
コイルおよび逆流電流防止用ダイオードによる閉回路を
用いて放電電流の導通と遮断を制御するため、従来用い
ていた高耐電力，高信頼性の放電用抵抗を使用すること
なく、圧電アクチエータ励振回路を構成できるようにな
る。したがつて、プリンタ装置の小型化，低コスト化が
実現できる効果がある。
電された充電電荷を放電する際に、圧電アクチエータと
コイルおよび逆流電流防止用ダイオードによる閉回路を
用いて放電電流の導通と遮断を制御するため、従来用い
ていた高耐電力，高信頼性の放電用抵抗を使用すること
なく、圧電アクチエータ励振回路を構成できるようにな
る。したがつて、プリンタ装置の小型化，低コスト化が
実現できる効果がある。
さらに、充電電荷の一部が放電時に励振電源側に帰還
するため励振電源の供給効率の向上が実現できるという
効果がある。
するため励振電源の供給効率の向上が実現できるという
効果がある。
第１図は本発明による圧電アクチエータ励振方式の一実
施例を示すブロツク図、第２図は第１図の動作説明に供
するタイムチヤート、第３図は第１図における第２のス
イツチ回路の開閉を制御信号によつて行う実施例を示す
ブロツク図、第４図は従来の圧電アクチエータ励振方式
の一例を示すブロツク図である。 １……圧電アクチエータ、２……機械機構、３……コイ
ル、4,5……スイツチ回路、６……逆流電流防止用ダイ
オード。
施例を示すブロツク図、第２図は第１図の動作説明に供
するタイムチヤート、第３図は第１図における第２のス
イツチ回路の開閉を制御信号によつて行う実施例を示す
ブロツク図、第４図は従来の圧電アクチエータ励振方式
の一例を示すブロツク図である。 １……圧電アクチエータ、２……機械機構、３……コイ
ル、4,5……スイツチ回路、６……逆流電流防止用ダイ
オード。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 雪野 正樹 東京都港区西新橋３丁目20番４号 日本 電気エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−198885（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−130358（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−58280（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−62249（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−131953（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−145346（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−124264（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/30
Claims (2)
- 【請求項１】励振電圧を供給する励振電源と、 入力側が前記励振電源に接続された第１のスイッチ手段
と、 一方の端子が前記第１のスイッチ手段の出力側に接続さ
れかつ電流変化に基づきエネルギーを蓄積するコイル
と、 往復動を行う機械機構に接続されるとともに２つの電極
がそれぞれ前記コイルの他方端子と接地とに接続されか
つ前記電極間に印加される前記励振電圧に応じて寸法歪
を発生し前記機械機構の往復動を駆動する圧電アクチエ
ータと、 アノードが前記コイルの一方の端子に接続された第１の
ダイオードと、 アノードが前記コイルの一方の端子に接続されたカソー
ドが前記励振電源に接続された第２のダイオードと、 前記圧電アクチエータの寸法歪の制動タイミングを示す
制動信号を出力する制動信号発生手段と、 前記制動信号発生手段に接続されるとともに前記第１の
ダイオードのカソードと接地との間に接続されかつ前記
制動信号に応答して前記圧電アクチエータ、前記コイル
および前記第１のダイオードによる閉回路を開閉し前記
圧電アクチエータの充電電荷を前記第２のダイオードを
介して放電させる第２のスイッチ手段とを備え、 前記第１のスイッチ手段は、前記励振電圧の印加タイミ
ングを示す駆動信号に応答して前記コイルを介して前記
圧電アクチエータに前記励振電圧を印加する手段であ
り、 前記制動信号の出力開始から少なくとも前記圧電アクチ
エータの充電電荷の放電が終了するまでの時間に、前記
第２のスイッチ手段による前記閉回路の開閉が少なくと
も１回行われることを特徴とする圧電アクチエータ励振
方式。 - 【請求項２】請求項１において、 前記制御信号発生手段は、前記制動信号の出力開始から
少なくとも前記圧電アクチエータの充電電荷の放電が終
了するまでの時間の前記第２のスイッチ手段の前記閉回
路の開閉の繰り返し周期、前記開閉の繰り返しの数およ
び前記開閉の時間比がプログラマブルに設定される手段
を含むことを特徴とする圧電アクチエータ励振方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29837088A JP2818425B2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 圧電アクチエータ励振方式 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP29837088A JP2818425B2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 圧電アクチエータ励振方式 |
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| JPH02145344A JPH02145344A (ja) | 1990-06-04 |
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- 1988-11-28 JP JP29837088A patent/JP2818425B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH02145344A (ja) | 1990-06-04 |
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