JP2000317670A - 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法 - Google Patents
集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法Info
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- JP2000317670A JP2000317670A JP11127847A JP12784799A JP2000317670A JP 2000317670 A JP2000317670 A JP 2000317670A JP 11127847 A JP11127847 A JP 11127847A JP 12784799 A JP12784799 A JP 12784799A JP 2000317670 A JP2000317670 A JP 2000317670A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工対象部位を囲んで配置される囲いの内部
で空気をスムーズに流すことができ、それによりワーク
への塵の残留を防止できるようにする。 【解決手段】 囲いとしての筒体９に形成する噴き出し
口１１を、吸い込み口１３の縮径部１３ａに対向する主
噴き出し口１１ａ，１１ｂと、これらの上方および下方
の副噴き出し口１１ｃ，１１ｄとで構成する。これによ
り、筒体９の内部で気体のスムーズな流れを形成するこ
とができ、その流れで煙や塵を確実に吸い込み口１３に
案内できる。
で空気をスムーズに流すことができ、それによりワーク
への塵の残留を防止できるようにする。 【解決手段】 囲いとしての筒体９に形成する噴き出し
口１１を、吸い込み口１３の縮径部１３ａに対向する主
噴き出し口１１ａ，１１ｂと、これらの上方および下方
の副噴き出し口１１ｃ，１１ｄとで構成する。これによ
り、筒体９の内部で気体のスムーズな流れを形成するこ
とができ、その流れで煙や塵を確実に吸い込み口１３に
案内できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は集塵装置、集塵方
法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法に関する。
法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工の際には、たとえば図４に示
すように、レーザ発振器４１とワーク４２との間に集塵
装置４３を配置している。この集塵装置４３は、レーザ
発振器４１側のワーク４２の一定領域を囲む囲い４４を
有していて、レーザ発振器４１からｆ−θレンズ４５を
経由してワーク４２にレーザ光が当てられワーク４２が
加工されるに伴って生じる煙や塵を、囲い４４の内部に
閉じ込め、噴き出し口４６，４７から噴き出す空気など
の気体とともに、吸い込み口４８，４９に吸い込むこと
で集塵するようになっている。
すように、レーザ発振器４１とワーク４２との間に集塵
装置４３を配置している。この集塵装置４３は、レーザ
発振器４１側のワーク４２の一定領域を囲む囲い４４を
有していて、レーザ発振器４１からｆ−θレンズ４５を
経由してワーク４２にレーザ光が当てられワーク４２が
加工されるに伴って生じる煙や塵を、囲い４４の内部に
閉じ込め、噴き出し口４６，４７から噴き出す空気など
の気体とともに、吸い込み口４８，４９に吸い込むこと
で集塵するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来の集塵装置４３では、集塵用の噴き出し口４６と吸い
込み口４８とが囲い４４の一側面と対向面とに開口し、
これらの上方にエアカーテン用の噴き出し口４７と吸い
込み口４９とが開口しているため、ワーク４２上に塵が
残留するという問題点を有していた。この問題点を解決
するために、囲い４４の内部で空気を乱すことなくスム
ーズに流すことが課題となっていた。
来の集塵装置４３では、集塵用の噴き出し口４６と吸い
込み口４８とが囲い４４の一側面と対向面とに開口し、
これらの上方にエアカーテン用の噴き出し口４７と吸い
込み口４９とが開口しているため、ワーク４２上に塵が
残留するという問題点を有していた。この問題点を解決
するために、囲い４４の内部で空気を乱すことなくスム
ーズに流すことが課題となっていた。
【０００４】本発明は上記課題を解決するもので、加工
対象部位を囲んで配置される囲いの内部で空気をスムー
ズに流すことができ、それによりワークへの塵の残留を
防止できるようにすることを目的とするものである。
対象部位を囲んで配置される囲いの内部で空気をスムー
ズに流すことができ、それによりワークへの塵の残留を
防止できるようにすることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、気体の噴き出し口を、吸い込み口内におけ
る排気系との連通部位に対向する少なくとも１つの主噴
き出し口と、主噴き出し口の上方と下方とに位置する副
噴き出し口とで構成するとともに、副噴き出し口で主噴
き出し口よりも弱く噴き出すようにしたものである。
に本発明は、気体の噴き出し口を、吸い込み口内におけ
る排気系との連通部位に対向する少なくとも１つの主噴
き出し口と、主噴き出し口の上方と下方とに位置する副
噴き出し口とで構成するとともに、副噴き出し口で主噴
き出し口よりも弱く噴き出すようにしたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】すなわち、本発明の請求項１記載
の集塵装置は、シート状ワークの表面の一定領域を囲ん
で配置する筒体に、給気系に連通する噴き出し口と、排
気系に連通する吸い込み口とを対向して形成してなる集
塵装置において、前記噴き出し口は、吸い込み口内にお
ける排気系との連通部位に対向して設けられ、所定流量
の気体を噴き出す少なくとも１つの主噴き出し口と、前
記主噴き出し口の上方および下方にそれぞれ少なくとも
１つ設けられ、主噴き出し口より低流量の気体を噴き出
す副噴き出し口とからなる構成としたものであり、これ
により、筒体の内部で気体のスムーズな流れを形成して
煙や塵をともに吸い込むことが可能であり、ワークの表
面などへの塵の残留を防止できる。
の集塵装置は、シート状ワークの表面の一定領域を囲ん
で配置する筒体に、給気系に連通する噴き出し口と、排
気系に連通する吸い込み口とを対向して形成してなる集
塵装置において、前記噴き出し口は、吸い込み口内にお
ける排気系との連通部位に対向して設けられ、所定流量
の気体を噴き出す少なくとも１つの主噴き出し口と、前
記主噴き出し口の上方および下方にそれぞれ少なくとも
１つ設けられ、主噴き出し口より低流量の気体を噴き出
す副噴き出し口とからなる構成としたものであり、これ
により、筒体の内部で気体のスムーズな流れを形成して
煙や塵をともに吸い込むことが可能であり、ワークの表
面などへの塵の残留を防止できる。
【０００７】請求項２記載の集塵方法は、給気系に連通
する複数の噴き出し口と排気系に連通する吸い込み口と
を相対向する側面に有した筒体を、シート状ワークの表
面の一定領域を囲んで配置し、前記吸い込み口内におけ
る排気系との連通部位に対向して形成した主噴き出し口
を通じて所定流量の気体を噴き出し、主噴き出し口の上
方および下方にそれぞれ少なくとも１つ形成した副噴き
出し口を通じて主噴き出し口より低流量の気体を噴き出
すとともに、噴き出し量に相応する一定流量の気体を吸
い込み口を通じて吸い込み、その気体流により、ワーク
の加工に伴ってワーク表面で発生した塵を吸い込み口に
案内するようにしたものであり、これにより、主噴き出
し口から吸い込み口へ向かう真っ直ぐな流れによって、
その上方および下方の流れを巻き込んで吸い込み口へ案
内することができ、筒体内の上部および下部の塵、煙を
確実に吸い込むことができる。
する複数の噴き出し口と排気系に連通する吸い込み口と
を相対向する側面に有した筒体を、シート状ワークの表
面の一定領域を囲んで配置し、前記吸い込み口内におけ
る排気系との連通部位に対向して形成した主噴き出し口
を通じて所定流量の気体を噴き出し、主噴き出し口の上
方および下方にそれぞれ少なくとも１つ形成した副噴き
出し口を通じて主噴き出し口より低流量の気体を噴き出
すとともに、噴き出し量に相応する一定流量の気体を吸
い込み口を通じて吸い込み、その気体流により、ワーク
の加工に伴ってワーク表面で発生した塵を吸い込み口に
案内するようにしたものであり、これにより、主噴き出
し口から吸い込み口へ向かう真っ直ぐな流れによって、
その上方および下方の流れを巻き込んで吸い込み口へ案
内することができ、筒体内の上部および下部の塵、煙を
確実に吸い込むことができる。
【０００８】請求項３記載のレーザ加工装置は、レーザ
発振器とワーク支持位置との間に、請求項１記載の集塵
装置を配置した構成としたものである。請求項４記載の
レーザ加工方法は、ワーク支持位置にシート状ワークを
支持し、請求項１記載の集塵装置を、筒体がワーク表面
の加工対象領域を囲むように配置した状態において、レ
ーザ発振器によりワークにレーザ光を照射してワークを
レーザ加工しつつ、集塵装置の主噴き出し口を通じて所
定流量の気体を噴き出し、それより低流量の気体を副噴
き出し口を通じて噴き出すとともに、噴き出し量に相応
する一定流量の気体を吸い込み口を通じて吸い込み、そ
の気体流により、ワークのレーザ加工に伴ってワーク表
面で発生した塵を吸い込み口に案内するようにしたもの
である。
発振器とワーク支持位置との間に、請求項１記載の集塵
装置を配置した構成としたものである。請求項４記載の
レーザ加工方法は、ワーク支持位置にシート状ワークを
支持し、請求項１記載の集塵装置を、筒体がワーク表面
の加工対象領域を囲むように配置した状態において、レ
ーザ発振器によりワークにレーザ光を照射してワークを
レーザ加工しつつ、集塵装置の主噴き出し口を通じて所
定流量の気体を噴き出し、それより低流量の気体を副噴
き出し口を通じて噴き出すとともに、噴き出し量に相応
する一定流量の気体を吸い込み口を通じて吸い込み、そ
の気体流により、ワークのレーザ加工に伴ってワーク表
面で発生した塵を吸い込み口に案内するようにしたもの
である。
【０００９】請求項３のレーザ加工装置および請求項４
のレーザ加工方法では、集塵装置によって、ワーク表面
や光学部品への塵などの付着を確実に防止できる。以
下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら具体的に
説明する。図１〜図３において、シート状に形成された
ワークをレーザ加工するレーザ加工装置１には、ワーク
供給部２と加工部３とワーク収納部４とが設けられてお
り、加工部３の内部（図３ではＡで示した部分）に、レ
ーザ発振器５とｆ−θレンズ６と集塵装置７とが装備さ
れている。加工部３では、レーザ光が当たる適当なワー
ク支持位置にシート状ワーク８が供給されるようになっ
ており、上記集塵装置７は、ｆ−θレンズ６の下方であ
ってワーク８の上方に位置するように設置される。
のレーザ加工方法では、集塵装置によって、ワーク表面
や光学部品への塵などの付着を確実に防止できる。以
下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら具体的に
説明する。図１〜図３において、シート状に形成された
ワークをレーザ加工するレーザ加工装置１には、ワーク
供給部２と加工部３とワーク収納部４とが設けられてお
り、加工部３の内部（図３ではＡで示した部分）に、レ
ーザ発振器５とｆ−θレンズ６と集塵装置７とが装備さ
れている。加工部３では、レーザ光が当たる適当なワー
ク支持位置にシート状ワーク８が供給されるようになっ
ており、上記集塵装置７は、ｆ−θレンズ６の下方であ
ってワーク８の上方に位置するように設置される。
【００１０】集塵装置７は、ワーク表面の加工対象領域
を囲んで配置される角筒体９の対向する側面９ａ，９ｂ
に、給気系１０に連通する噴き出し口１１と、排気系１
２に連通する吸い込み口１３とを形成したものである。
吸い込み口１３は、角筒体９の側面９ｂほぼ全体にわた
って開口し外方へ向かって縮径していて、その縮径部１
３ａにおいて上記排気系１２に連通している。
を囲んで配置される角筒体９の対向する側面９ａ，９ｂ
に、給気系１０に連通する噴き出し口１１と、排気系１
２に連通する吸い込み口１３とを形成したものである。
吸い込み口１３は、角筒体９の側面９ｂほぼ全体にわた
って開口し外方へ向かって縮径していて、その縮径部１
３ａにおいて上記排気系１２に連通している。
【００１１】噴き出し口１１は、吸い込み口１３の縮径
部１３ａに対向する２つの主噴き出し口１１ａ，１１ｂ
と、これらの上方と下方にそれぞれ１つずつ形成された
副噴き出し口１１ｃ，１１ｄとからなる。以下、上記し
た構成における作用を説明する。ワーク供給部２から加
工部３へワーク８が供給されるとともに、このワーク８
の表面の加工対象領域を囲んで角筒体９が配置される。
そして、レーザ発振器５のレーザ出射口５ａからｆ−θ
レンズ６を経由してワーク８にレーザ光が当てられて穴
が開けられ、加工が終了したワーク８はワーク収納部４
に収納される。
部１３ａに対向する２つの主噴き出し口１１ａ，１１ｂ
と、これらの上方と下方にそれぞれ１つずつ形成された
副噴き出し口１１ｃ，１１ｄとからなる。以下、上記し
た構成における作用を説明する。ワーク供給部２から加
工部３へワーク８が供給されるとともに、このワーク８
の表面の加工対象領域を囲んで角筒体９が配置される。
そして、レーザ発振器５のレーザ出射口５ａからｆ−θ
レンズ６を経由してワーク８にレーザ光が当てられて穴
が開けられ、加工が終了したワーク８はワーク収納部４
に収納される。
【００１２】このとき、レーザ加工に伴ってワーク８表
面で煙および微細な塵が発生するので、主噴き出し口１
１ａ，１１ｂを通じて所定流量の空気が噴き出され、そ
れより低流量の空気が副噴き出し口１１ｃ，１１ｄを通
じて噴き出されるとともに、吸い込み口１３より一定流
量で空気が吸い込まれる。その結果、主噴き出し口１１
ａ，１１ｂから吸い込み口１３へ向かう真っ直ぐな流れ
が生じ、この流れに副噴き出し口１１ｃ，１１ｃからの
弱い流れが巻き込まれて吸い込み口１３へ案内されるた
め、角筒体９の内部の煙や塵は確実に吸い込み口１３へ
吸い込まれる。したがって、ワーク８の表面やｆ−θレ
ンズ６に塵が付着することは防止される。
面で煙および微細な塵が発生するので、主噴き出し口１
１ａ，１１ｂを通じて所定流量の空気が噴き出され、そ
れより低流量の空気が副噴き出し口１１ｃ，１１ｄを通
じて噴き出されるとともに、吸い込み口１３より一定流
量で空気が吸い込まれる。その結果、主噴き出し口１１
ａ，１１ｂから吸い込み口１３へ向かう真っ直ぐな流れ
が生じ、この流れに副噴き出し口１１ｃ，１１ｃからの
弱い流れが巻き込まれて吸い込み口１３へ案内されるた
め、角筒体９の内部の煙や塵は確実に吸い込み口１３へ
吸い込まれる。したがって、ワーク８の表面やｆ−θレ
ンズ６に塵が付着することは防止される。
【００１３】なお、この集塵装置７では、吸い込み口１
３の縮径部１３ａに対向して２つの主噴き出し口１１
ａ，１１ｂを設けているが、縮径部１３ａに対向して１
つの主噴き出し口を設けても、同様の効果が得られる。
３の縮径部１３ａに対向して２つの主噴き出し口１１
ａ，１１ｂを設けているが、縮径部１３ａに対向して１
つの主噴き出し口を設けても、同様の効果が得られる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、集塵装置
の筒体に形成する噴き出し口を、吸い込み口内における
排気系との連通部位に対向する少なくとも１つの主噴き
出し口と、前記主噴き出し口の上方と下方とに位置する
副噴き出し口とで構成したため、主噴き出し口を通じて
所定流量の気体を噴き出し、それより低流量の気体を副
噴き出し口を通じて噴き出すことで、筒体の内部で気体
のスムーズな流れを形成して煙や塵を確実に吸い込むこ
とができる。
の筒体に形成する噴き出し口を、吸い込み口内における
排気系との連通部位に対向する少なくとも１つの主噴き
出し口と、前記主噴き出し口の上方と下方とに位置する
副噴き出し口とで構成したため、主噴き出し口を通じて
所定流量の気体を噴き出し、それより低流量の気体を副
噴き出し口を通じて噴き出すことで、筒体の内部で気体
のスムーズな流れを形成して煙や塵を確実に吸い込むこ
とができる。
【００１５】また、上記したような集塵装置をレーザ加
工装置、およびレーザ加工方法に組み込んだため、ワー
ク表面や光学部品への塵の付着残留を防止できる。よっ
て、製品歩留まりの向上、設備メンテナンス回数の削減
等を実現できる。
工装置、およびレーザ加工方法に組み込んだため、ワー
ク表面や光学部品への塵の付着残留を防止できる。よっ
て、製品歩留まりの向上、設備メンテナンス回数の削減
等を実現できる。
【図１】本発明の一実施形態における集塵装置の概略構
成を示す斜視図
成を示す斜視図
【図２】図１の集塵装置における集塵方法を模式的に示
した平面図
した平面図
【図３】図１の集塵装置を装備したレーザ加工装置の全
体構成を示す斜視図
体構成を示す斜視図
【図４】従来の集塵装置を示す斜視図
５ レーザ発振器 ７ 集塵装置 ８ ワーク ９ 筒体 10 給気系 11 噴き出し口 11a,11b 主噴き出し口 11c,11d 副噴き出し口 12 排気系 13 吸い込み口 13a 縮径部
Claims (4)
- 【請求項１】 シート状ワークの表面の一定領域を囲ん
で配置する筒体に、給気系に連通する噴き出し口と、排
気系に連通する吸い込み口とを対向して形成してなる集
塵装置において、前記噴き出し口は、吸い込み口内にお
ける排気系との連通部位に対向して設けられ、所定流量
の気体を噴き出す少なくとも１つの主噴き出し口と、前
記主噴き出し口の上方および下方にそれぞれ少なくとも
１つ設けられ、主噴き出し口より低流量の気体を噴き出
す副噴き出し口とからなることを特徴とする集塵装置。 - 【請求項２】 給気系に連通する複数の噴き出し口と排
気系に連通する吸い込み口とを相対向する側面に有した
筒体を、シート状ワークの表面の一定領域を囲んで配置
し、前記吸い込み口内における排気系との連通部位に対
向して形成した主噴き出し口を通じて所定流量の気体を
噴き出し、主噴き出し口の上方および下方にそれぞれ少
なくとも１つ形成した副噴き出し口を通じて主噴き出し
口より低流量の気体を噴き出すとともに、噴き出し量に
相応する一定流量の気体を吸い込み口を通じて吸い込
み、その気体流により、ワークの加工に伴ってワーク表
面で発生した塵を吸い込み口に案内することを特徴とす
る集塵方法。 - 【請求項３】 レーザ発振器とワーク支持位置との間
に、請求項１記載の集塵装置を配置したことを特徴とす
るレーザ加工装置。 - 【請求項４】 ワーク支持位置にシート状ワークを支持
し、請求項１記載の集塵装置を、筒体がワーク表面の加
工対象領域を囲むように配置した状態において、レーザ
発振器によりワークにレーザ光を照射してワークをレー
ザ加工しつつ、集塵装置の主噴き出し口を通じて所定流
量の気体を噴き出し、それより低流量の気体を副噴き出
し口を通じて噴き出すとともに、噴き出し量に相応する
一定流量の気体を吸い込み口を通じて吸い込み、その気
体流により、ワークのレーザ加工に伴ってワーク表面で
発生した塵を吸い込み口に案内することを特徴とするレ
ーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11127847A JP2000317670A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11127847A JP2000317670A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000317670A true JP2000317670A (ja) | 2000-11-21 |
Family
ID=14970150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11127847A Pending JP2000317670A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000317670A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936922B1 (ko) | 2007-09-21 | 2010-01-18 | 한미반도체 주식회사 | 레이저 컷팅 장비의 석션후드 |
| US8288681B2 (en) | 2005-09-08 | 2012-10-16 | Sony Corporation | Laser processing apparatus and laser processing method as well as debris extraction mechanism and debris extraction method |
| JP2014024117A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Electro Scientific Industries Inc | 物質捕集方法及び物質捕集装置 |
| JP2017100170A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | キヤノン株式会社 | デブリ回収機構及びレーザ加工装置 |
| KR101861392B1 (ko) * | 2013-11-29 | 2018-05-28 | 주식회사 엘지화학 | 레이저 노칭 배기 후드 및 레이저 노칭 시 이물 제거 방법 |
| CN112404811A (zh) * | 2020-11-07 | 2021-02-26 | 王静静 | 一种自动焊接防止误伤的铝合金板材用焊接机 |
| US20210362270A1 (en) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | G.C. Laser Systems, Inc. | Laser Ablation and Laser Processing Fume and Contaminant Capture System |
-
1999
- 1999-05-10 JP JP11127847A patent/JP2000317670A/ja active Pending
Cited By (7)
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