JP2558470B2 - Ultrasonic deburring device - Google Patents
Ultrasonic deburring deviceInfo
- Publication number
- JP2558470B2 JP2558470B2 JP62185774A JP18577487A JP2558470B2 JP 2558470 B2 JP2558470 B2 JP 2558470B2 JP 62185774 A JP62185774 A JP 62185774A JP 18577487 A JP18577487 A JP 18577487A JP 2558470 B2 JP2558470 B2 JP 2558470B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning liquid
- cleaning
- ultrasonic
- tank
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸
漬し、上記洗浄液に超音波を放射して、上記被洗浄物の
バリ取りを行う超音波バリ取り装置に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of use] The present invention immerses an object to be cleaned in a cleaning liquid contained in a cleaning tank and radiates ultrasonic waves to the cleaning liquid to deburr the object to be cleaned. The present invention relates to an ultrasonic deburring device for performing.
周知のとおり、機械工作物の種々の機械加工において
は、加工された工作物にバリ等が残るので、そのバリ等
の除去作業を行わなければならない。上記バリ等の除去
を、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸漬し、上
記洗浄液に超音波を放射することにより行う装置が検討
されており、例えば、実公昭38−1496号公報に記載され
た装置等が知られているが、単に洗浄液に超音波を放射
するだけでは十分なバリ取りを行うことができない。As is well known, burrs and the like remain on the machined workpieces in various machining processes of machined workpieces, so that the burrs and the like must be removed. For removing the burr and the like, an apparatus for immersing an object to be cleaned in a cleaning liquid contained in a cleaning tank and irradiating ultrasonic waves to the cleaning liquid has been studied, for example, in Japanese Utility Model Publication No. 38-1496. Although the described apparatus and the like are known, sufficient deburring cannot be performed simply by irradiating the cleaning liquid with ultrasonic waves.
また、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸漬
し、上記洗浄液に超音波を放射することにより、キャビ
テーションを発生させ、このキャビテーションが崩壊す
るときの衝撃力により上記被洗浄物の表面に付着してい
るゴミ、油分等の異物を除去する超音波洗浄装置も公知
である。このような超音波洗浄装置において、上記キャ
ビテーションを発生し易くするために、該洗浄液から溶
存気体を除去することが有効であることも公知であり、
そのために使用できる脱気装置として例えば実願昭48−
120332号（実開昭50−66476号）のマイクロフィルムに
記載されたものがあり、脱気装置を備えた超音波洗浄装
置として例えば実開昭47−15478号公報等に記載された
ものがある。Further, the object to be cleaned is immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank, and ultrasonic waves are radiated to the cleaning liquid to generate cavitation, and the impact force when the cavitation collapses causes the surface of the object to be cleaned to be washed. An ultrasonic cleaning device for removing foreign matter such as dust and oil adhered thereto is also known. In such an ultrasonic cleaning device, it is also known that it is effective to remove dissolved gas from the cleaning liquid in order to easily cause the cavitation.
As a deaerator that can be used for that purpose, for example, Japanese Utility Model Application No. 48-
Some of them are described in the microfilm of No. 120332 (No. 50-66476 of Kaikai), and an ultrasonic cleaning device equipped with a deaerator is, for example, one described in No. 47-15478 of Shokai. .
上記のように洗浄液から溶存気体を除去して脱気する
ことにより、超音波を放射した際にキャビテーションが
発生し易くなり、従って該キャビテーションが崩壊する
ときの衝撃力も強力になるので、優れた洗浄効果が得ら
れる。しかしながら、上記のように強化された衝撃力で
あっても、被洗浄物表面に付着している異物は除去する
ことができるものの、被洗浄物と一体的に形成されてい
るバリは十分に除去できないことがある。By removing the dissolved gas from the cleaning liquid and degassing it as described above, cavitation easily occurs when ultrasonic waves are radiated, and therefore the impact force when the cavitation collapses is also strong, so excellent cleaning The effect is obtained. However, even if the impact force is strengthened as described above, foreign matter adhering to the surface of the object to be cleaned can be removed, but burrs formed integrally with the object to be cleaned are sufficiently removed. There are things you can't do.
一方、上記バリ取りのために、電解槽に収容された電
解液合に被洗浄物を浸漬し、該被洗浄物の表面を電解研
磨する技術が知られており、上記電解研磨の際に、上記
電解液に超音波を放射する技術が、特開昭50−75530号
公報及び実公昭37−22710号公報等に記載されている。
上記各公報に記載された技術は、上記電解液に超音波を
放射することにより電解反応を促進するものである。し
かしながら、電解液に超音波を放射しながら電解研磨を
行うと、被洗浄物表面の研磨状態にムラができるとの不
都合がある。On the other hand, for deburring, a technique of immersing an object to be cleaned in an electrolytic solution contained in an electrolytic bath and electrolytically polishing the surface of the object to be cleaned is known, and at the time of the electrolytic polishing, Techniques for radiating ultrasonic waves to the electrolytic solution are described in JP-A-50-75530 and JP-B-37-22710.
The technique described in each of the above publications promotes an electrolytic reaction by irradiating the electrolytic solution with ultrasonic waves. However, when electrolytic polishing is performed while radiating ultrasonic waves to the electrolytic solution, there is a disadvantage that the polishing state of the surface of the object to be cleaned becomes uneven.
本発明は、金属製被洗浄物表面に付着している異物及
び該金属製被洗浄物と一体的に形成されているバリを除
去することができる超音波バリ取り装置を提供すること
を目的とする。It is an object of the present invention to provide an ultrasonic deburring device capable of removing foreign matter adhering to the surface of an object to be cleaned made of metal and burrs formed integrally with the object to be cleaned made of metal. To do.
本発明の超音波バリ取り装置は、酸又はアルカリの電
解質を含む洗浄液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽の底部
に設けた超音波振動子と、該超音波振動子を作動させる
発振器とからなり、該洗浄液に該超音波振動子から超音
波を放射してキャビテーションを発生させ、該キャビテ
ーションの作用により該洗浄液に浸漬された金属製被洗
浄物のバリ取りを行う超音波バリ取り装置であって、前
記洗浄液に超音波を放射したときに該洗浄液中に良好に
キャビテーションを発生できるように前記洗浄槽に供給
される洗浄液に溶存する気体を除去する脱気手段を設
け、前記バリ取りを行うときに前記金属製被洗浄物との
間に電界を印加する電極板を前記洗浄液に浸漬させて設
けてなることを特徴とする。The ultrasonic deburring device of the present invention comprises a cleaning tank containing a cleaning liquid containing an acid or alkaline electrolyte, an ultrasonic vibrator provided at the bottom of the cleaning tank, and an oscillator for operating the ultrasonic vibrator. An ultrasonic deburring device for irradiating ultrasonic waves from the ultrasonic transducer to the cleaning liquid to generate cavitation, and deburring the metal cleaning object immersed in the cleaning liquid by the action of the cavitation. And degassing means for removing gas dissolved in the cleaning liquid supplied to the cleaning tank so that cavitation can be favorably generated in the cleaning liquid when ultrasonic waves are radiated to the cleaning liquid, and the deburring is performed. It is characterized in that an electrode plate for applying an electric field between the object to be cleaned and the metallic object to be cleaned is immersed in the cleaning liquid.
本発明の超音波バリ取り装置によれば、金属製被洗浄
物を酸又はアルカリの電解質を含む洗浄液に浸漬し、該
洗浄液に超音波を放射して該金属製被洗浄物のバリ取り
を行うときに、該洗浄液は上記脱気手段により溶存気体
が除去されているので、キャビテーションが発生しやす
くなっており、該キャビテーションが崩壊するときの衝
撃力により上記金属製被洗浄物の表面に付着している異
物が除去される。According to the ultrasonic deburring apparatus of the present invention, a metal cleaning object is immersed in a cleaning liquid containing an acid or alkaline electrolyte, and ultrasonic waves are radiated to the cleaning liquid to deburr the metal cleaning object. At this time, since the dissolved gas is removed from the cleaning liquid by the degassing means, cavitation is likely to occur, and the impact force when the cavitation collapses causes the cleaning liquid to adhere to the surface of the object to be cleaned. Foreign matter is removed.
また、上記洗浄液は酸又はアルカリの電解質を含むの
で、上記電極板と上記金属製被洗浄物との間に電界を印
加することによって、上記金属製被洗浄物の表面で電解
反応が起き、該金属製被洗浄物と一体的に形成されてい
るバリが除去される。しかも、上記洗浄液は溶存気体が
除去されているので、上記キャビテーションが洗浄液中
で均一に発生し易く、上記電解反応が上記金属製被洗浄
物の表面の全体に亘ってムラなく行われる。Further, since the cleaning liquid contains an acid or alkaline electrolyte, by applying an electric field between the electrode plate and the metal object to be cleaned, an electrolytic reaction occurs on the surface of the metal object to be cleaned, The burr formed integrally with the object to be cleaned made of metal is removed. Moreover, since the dissolved gas is removed from the cleaning liquid, the cavitation is likely to occur uniformly in the cleaning liquid, and the electrolytic reaction is evenly performed over the entire surface of the metallic object to be cleaned.
次に添付図面に従って本発明の好適な実施例を詳述す
る。第１図は本実施例の超音波バリ取り装置の概略を示
す説明的断面図であり、第２図は本実施例の超音波バリ
取り装置の洗浄槽の構成を示す説明的断面図である。Next, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an outline of an ultrasonic deburring apparatus of this embodiment, and FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a configuration of a cleaning tank of the ultrasonic deburring apparatus of this embodiment. .
図中１は超音波バリ取り装置を示し、この装置１は洗
浄槽２、脱気装置３等より構成されている。上記洗浄槽
２は単一槽より成り、この洗浄槽２には図示せざる発振
器に連結した圧電型超音波振動子４が配設されている。In the figure, reference numeral 1 denotes an ultrasonic deburring apparatus, which is composed of a cleaning tank 2, a deaeration apparatus 3 and the like. The cleaning tank 2 is composed of a single tank, and the cleaning tank 2 is provided with a piezoelectric ultrasonic vibrator 4 connected to an oscillator (not shown).
上記洗浄槽２の洗浄液５の供給側の上流側には上記脱
気装置である例えば沸騰槽３が配設され、この沸騰槽３
内の洗浄液５の沸点付近の温度で加温すると共に脱気し
ている。The deaerator, for example, a boiling tank 3 is disposed upstream of the cleaning tank 2 on the supply side of the cleaning liquid 5.
The cleaning liquid 5 therein is heated at a temperature near the boiling point and deaerated.
本例に於いては、種々ある洗浄液５のうちのフロン11
3の例を示したものであり、このフロン113の沸点は47.6
℃であるので、上記沸騰槽３はヒーターによって加温さ
れ、略47℃前後に設定されている。従って上記洗浄液５
であるフロン113より沸点の低い溶解気体は沸点分離に
よって分離せしめられる。In this example, CFC 11 of various cleaning liquids 5 is used.
3 shows an example, and the boiling point of CFC 113 is 47.6.
Since the temperature is 0 ° C, the boiling tank 3 is heated by a heater and set to about 47 ° C. Therefore, the cleaning liquid 5
The dissolved gas having a boiling point lower than that of CFC 113 is separated by boiling point separation.
洗浄槽２には、バリ取り対象物である例えばアルミニ
ウム及びその合金等から成る精密加工部品の金属製被洗
浄物21を浸漬した時にオーバーフローする洗浄液５を受
け入れる回収槽23が設けられており、回収槽23は回収管
24により、上記脱気装置３の洗浄液５の供給側の上流側
に配設された蒸気槽６に接続されている。この蒸気槽６
にはヒーター７が配管されており、ヒーター７によって
洗浄液５が沸点以上に加熱蒸発される。The cleaning tank 2 is provided with a recovery tank 23 for receiving the cleaning liquid 5 which overflows when the metal cleaning object 21, which is a precision machined part made of, for example, aluminum and its alloy, which is a deburring target, is immersed. Tank 23 is a collection pipe
By 24, it is connected to the steam tank 6 disposed on the upstream side of the supply side of the cleaning liquid 5 of the deaerator 3. This steam tank 6
A heater 7 is connected to the heater 7, and the heater 7 heats and evaporates the cleaning liquid 5 to a boiling point or higher.
上記した洗浄槽２、脱気装置３、蒸気槽６の上部８に
は蒸気凝縮管９が周囲に配設された蒸気凝縮部10が設け
られており、蒸気槽から蒸発した洗浄液５は、上記蒸気
凝縮部10によって凝縮され、連結管11を介した水分離器
12に送られる。そしてこの水分離器12で水分を分離され
る。この時の分離される水分は主に上記洗浄槽２に金属
製被洗浄物21を入れる時にすでに付着している付着水等
である。この水分離器12によって水分を分離された洗浄
液５は洗浄液導入管13を介して上記脱気装置である沸騰
槽３に送られる。そして沸点分離によって脱気された洗
浄液５のみが洗浄槽２に導入される。The above-mentioned cleaning tank 2, deaerator 3, and steam tank 6 are provided at the upper part 8 with a steam condensing section 10 around which a steam condensing pipe 9 is arranged, and the cleaning liquid 5 evaporated from the steam tank is Water separator condensed by the steam condensing unit 10 and connected via a connecting pipe 11.
Sent to 12. Then, the water separator 12 separates water. The separated water at this time is mainly the adhering water or the like that has already adhered when the metal cleaning object 21 is put into the cleaning tank 2. The cleaning liquid 5 whose water has been separated by the water separator 12 is sent to the boiling tank 3 which is the degassing device, through the cleaning liquid introducing pipe 13. Then, only the cleaning liquid 5 deaerated by the boiling point separation is introduced into the cleaning tank 2.
次いで上記洗浄槽２に着目すると、洗浄槽２の底部14
の一方15側に濾過管16が配管され、この濾過管16にはポ
ンプ17、冷却器18に連結される冷凍機19、フィルター20
が配設され、濾過管16の他端が他方33側の側部34に配管
されている。Next, focusing on the cleaning tank 2, the bottom portion 14 of the cleaning tank 2
A filter pipe 16 is installed on one side 15 of the filter pipe 16, and a pump 17, a refrigerator 19 connected to a cooler 18, and a filter 20 are connected to the filter pipe 16.
Is disposed, and the other end of the filtration pipe 16 is piped to the side portion 34 on the other side 33.
上記洗浄槽２の洗浄液５は濾過管16を介してポンプ17
により循環される過程でフィルター20により洗浄液５中
の異物（ゴミ、付着物、油）等を除去されている。The cleaning liquid 5 in the cleaning tank 2 is pumped 17 through a filter pipe 16.
In the process of being circulated by, the filter 20 removes foreign matters (dust, attached matter, oil) and the like in the cleaning liquid 5.
上記超音波バリ取り装置１では、第１図示のように金
属製被洗浄物21をカゴ22内に収容して洗浄液５に浸漬
し、超音波振動子４から洗浄液５に超音波を放射してバ
リ取りを行なうので、十分な効果は得られない。In the ultrasonic deburring apparatus 1, as shown in the first illustration, the metal cleaning object 21 is housed in the basket 22 and immersed in the cleaning liquid 5, and ultrasonic waves are radiated from the ultrasonic vibrator 4 to the cleaning liquid 5. Since deburring is performed, sufficient effect cannot be obtained.
そこで、本実施例では、上記洗浄槽２内に第２図示の
ように、洗浄槽２の底部14に配設されている超音波振動
子４の上方にローラーチェン付ステンレス鋼材より成る
メッシュベルト31を配設し、このメッシュベルト31にバ
リ取り対象物である金属製被洗浄物21を載せる。そして
このメッシュベルト31上の金属製被洗浄物21の上方に電
極板32を洗浄液５に浸漬させて配設している。即ち、本
実施例では、上記メッシュベルト31を介して上記アルミ
ニウム及びその合金等から成る金属製被洗浄物21に通電
され、該ワーク21と電極板32との間に電界をかけた状態
に於いて超音波を放射せしめることによってキャビテー
ションを生じさせて、金属製被洗浄物21のバリ等を除去
するものである。In view of this, in the present embodiment, as shown in FIG. 2 in the cleaning tank 2, a mesh belt 31 made of stainless steel with a roller chain is provided above the ultrasonic vibrator 4 arranged at the bottom portion 14 of the cleaning tank 2. And the metal cleaning object 21, which is a deburring target, is placed on the mesh belt 31. Then, the electrode plate 32 is disposed above the metal belt 21 to be cleaned on the mesh belt 31 by being immersed in the cleaning liquid 5. That is, in the present embodiment, the metal cleaning object 21 made of aluminum or its alloy is energized through the mesh belt 31 and an electric field is applied between the work 21 and the electrode plate 32. By irradiating ultrasonic waves, cavitation is generated to remove burrs and the like on the metal object to be cleaned 21.
この時上記洗浄液５にフロン113等の高抵抗溶剤を使
う場合、液体の抵抗値を下げるために、酸、アルカリ等
の電解質をアルコール等に媒介させて微量添加する。
又、金属製被洗浄物21のバリ等の根元まで均一に除去す
るために、上記した例えばフロン113にアルコール数％
と水及び酸を加えて電気化学的反応を促進させることに
よってより良くバリ等の根元まで除去することができ
る。At this time, when a high resistance solvent such as Freon 113 is used as the cleaning liquid 5, a small amount of an electrolyte such as an acid or alkali is added to the liquid such as alcohol in order to reduce the resistance value of the liquid.
Further, in order to uniformly remove even the roots of burrs and the like of the metal-to-be-cleaned 21, the above-mentioned CFC 113, for example, contains a few percent of alcohol
By adding water and acid to accelerate the electrochemical reaction, the roots such as burrs can be removed better.
次に、本実施例の使用例を説明する。 Next, a usage example of this embodiment will be described.
先ずバリ取り対象物である金属製被洗浄物21を上記洗
浄槽２に浸漬し、そこで超音波振動子４を作動させてバ
リ取りを行う。First, the object to be cleaned 21 made of metal, which is an object to be deburred, is immersed in the cleaning tank 2 and the ultrasonic transducer 4 is operated there to deburr.
即ち、上記バリ取り対象物である金属製被洗浄物21を
洗浄槽２に浸漬することによってこの洗浄槽２内の洗浄
液５がオーバーフローした洗浄液５は回収槽23に入り、
回収管24を介して蒸気槽６に導入される。この蒸気槽６
に導入された洗浄液５はヒーター７によって加熱され蒸
気となって上部８に位置する蒸気凝縮器10の凝縮管９に
よって再び液体に戻される。そして連結管11を介して水
分離器12に導入され水分を分離される。That is, the cleaning liquid 5 overflowing the cleaning liquid 5 in the cleaning tank 2 by immersing the metal cleaning object 21 to be deburred in the cleaning tank 2 enters the recovery tank 23,
It is introduced into the steam tank 6 via the recovery pipe 24. This steam tank 6
The cleaning liquid 5 introduced into the chamber is heated by the heater 7 to become vapor, and is returned to the liquid again by the condensing pipe 9 of the vapor condenser 10 located in the upper portion 8. Then, it is introduced into the water separator 12 through the connecting pipe 11 to separate the water.
水分を分離された洗浄液５は洗浄液導入管13を介して
沸騰槽に導入される。この時洗浄液５はヒーターによっ
て加温されることによる沸点分離によって、この洗浄液
５より沸点の低い溶解気体が脱気され、脱気された洗浄
液５のみが洗浄槽２に導入される。The cleaning liquid 5 from which water has been separated is introduced into the boiling tank through the cleaning liquid introducing pipe 13. At this time, the cleaning liquid 5 is heated by a heater to separate the boiling points thereof, so that the dissolved gas having a lower boiling point than the cleaning liquid 5 is degassed, and only the degassed cleaning liquid 5 is introduced into the cleaning tank 2.
本実施例では、バリ取り対象物である金属製被洗浄物
21を洗浄槽２内のメッシュベルト31上に配置し、上方に
配設されている電極板32とメッシュベルト31に電流を流
した状態において超音波を発生させ、キャビテーション
作用と上記電流による電気化学的反応が協働して金属製
被洗浄物21のバリを根元から除去することができるもの
である。In the present embodiment, a metal cleaning object that is a deburring target
21 is placed on the mesh belt 31 in the cleaning tank 2, and ultrasonic waves are generated in a state where an electric current is applied to the electrode plate 32 and the mesh belt 31 arranged above, and the cavitation action and the electrochemical due to the electric current are generated. The blisters of the metal-to-be-cleaned 21 can be removed from the roots in cooperation with each other.
尚、上記した洗浄液５はフロン113の例を示したが、
フロン113以外の洗浄液を用いることが可能である。即
ち、フロン112、イソプロピルアルコール（IPA）、エタ
ノール、塩化メチレン、トリクレン、パークロルエチレ
ン、1,1,1−トリクロルエタン、及びそれらの共沸物そ
して水等を用いることもできる。The cleaning liquid 5 described above is an example of CFC 113.
A cleaning liquid other than Freon 113 can be used. That is, CFC 112, isopropyl alcohol (IPA), ethanol, methylene chloride, trichlene, perchlorethylene, 1,1,1-trichloroethane, azeotrope thereof and water can be used.
本例に於いては洗浄槽２を単一槽のものの例を示した
が、複数槽用いることも可能である。In this example, the cleaning tank 2 is a single tank, but a plurality of tanks may be used.
更に上記洗浄槽２の材料としてはステンレス鋼材が用
いられている。Further, as the material of the cleaning tank 2, stainless steel material is used.
更に本例に於いては洗浄液５の脱気装置に沸騰槽３を
用いる例を示したが他のものを用いることも可能であ
る。Further, in this example, the example in which the boiling tank 3 is used as the degassing device for the cleaning liquid 5 is shown, but other devices can be used.
以上詳述した如く本発明によれば、上記脱気手段によ
り脱気された洗浄液を用いて超音波洗浄することによ
り、上記金属製被洗浄物の表面に付着している異物を除
去することができる。また、上記洗浄液は酸又はアルカ
リの電解質を含むので、上記超音波洗浄と同時に、上記
上記電極板と上記金属製被洗浄物との間に電界を印加す
ることにより、上記金属製被洗浄物の表面で電解反応が
起き、該金属製被洗浄物と一体的に形成されているバリ
を除去することができる。As described above in detail, according to the present invention, it is possible to remove foreign matters adhering to the surface of the object to be cleaned by ultrasonic cleaning using the cleaning liquid degassed by the degassing means. it can. Further, since the cleaning liquid contains an acid or alkaline electrolyte, by applying an electric field between the electrode plate and the metal-made cleaning object at the same time as the ultrasonic cleaning, the metal-cleaning material is An electrolytic reaction occurs on the surface, so that the burr formed integrally with the metallic object to be cleaned can be removed.
しかも、上記洗浄液は上記のように脱気されているの
で、超音波の放射によりキャビテーションが上記洗浄液
中で均一に発生し、該キャビテーション及び上記電解反
応の相乗効果により、上記バリを上記金属製被洗浄物の
表面の全体に亘ってムラなく除去することができる。Moreover, since the cleaning liquid has been degassed as described above, cavitation is uniformly generated in the cleaning liquid by the irradiation of ultrasonic waves, and the burr is made of the metal coating by the synergistic effect of the cavitation and the electrolytic reaction. It can be removed evenly over the entire surface of the washed product.
第１図は本実施例の超音波バリ取り装置の概略を示す説
明的断面図であり、第２図は本実施例の超音波バリ取り
装置の洗浄槽の構成を示す説明的断面図である。 １……超音波バリ取り装置、２……洗浄槽、３……脱気
手段、 ４……超音波振動子、５……洗浄液、21……金属製被洗
浄物、32……電極板。FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an outline of an ultrasonic deburring apparatus of this embodiment, and FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a configuration of a cleaning tank of the ultrasonic deburring apparatus of this embodiment. . 1 ... Ultrasonic deburring device, 2 ... Washing tank, 3 ... Deaerating means, 4 ... Ultrasonic vibrator, 5 ... Washing liquid, 21 ... Metal-cleaned object, 32 ... Electrode plate.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−75530（ＪＰ，Ａ) 実開 昭47−15478（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−66476（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭47−15478（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−143033（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−139531（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭35−1373（ＪＰ，Ｂ１) 特公 平４−38471（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭38−1496（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭37−22710（ＪＰ，Ｙ１) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-50-75530 (JP, A) real-open Sho-47-15478 (JP, U) real-open Sho-50-66476 (JP, U) real-open Sho-47- 15478 (JP, U) Actually open 56-143033 (JP, U) Actually open 56-139531 (JP, U) Japanese public Sho-35-1373 (JP, B1) Japanese public 4-38471 (JP, B2) Actual Public Sho-38-1496 (JP, Y1) Actual Public Sho-37-22710 (JP, Y1)
Claims (1)
容する洗浄槽と、該洗浄槽の底部に設けた超音波振動子
と、該超音波振動子を作動させる発振器とからなり、該
洗浄液に該超音波振動子から超音波を放射してキャビテ
ーションを発生させ、該キャビテーションの作用により
該洗浄液に浸漬された金属製被洗浄物のバリ取りを行う
超音波バリ取り装置であって、 前記洗浄液に超音波を放射したときに該洗浄液中に良好
にキャビテーションを発生できるように前記洗浄槽に供
給される洗浄液に溶存する気体を除去する脱気手段を設
け、前記バリ取りを行うときに前記金属製被洗浄物との
間に電界を印加する電極板を前記洗浄液に浸漬させて設
けてなることを特徴とする超音波バリ取り装置。1. A cleaning tank containing a cleaning liquid containing an acid or alkaline electrolyte, an ultrasonic vibrator provided at the bottom of the cleaning tank, and an oscillator for operating the ultrasonic vibrator. An ultrasonic deburring device for deburring an object to be cleaned made of metal immersed in the cleaning liquid by the action of the cavitation by radiating ultrasonic waves from the ultrasonic transducer to generate cavitation. A degassing unit for removing gas dissolved in the cleaning liquid supplied to the cleaning tank is provided so that cavitation can be favorably generated in the cleaning liquid when ultrasonic waves are radiated, and the metal-made metal is used when deburring. An ultrasonic deburring device, characterized in that an electrode plate for applying an electric field to the object to be cleaned is provided by being immersed in the cleaning liquid.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62185774A JP2558470B2 (en) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | Ultrasonic deburring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62185774A JP2558470B2 (en) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | Ultrasonic deburring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6434647A JPS6434647A (en) | 1989-02-06 |
| JP2558470B2 true JP2558470B2 (en) | 1996-11-27 |
Family
ID=16176657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62185774A Expired - Lifetime JP2558470B2 (en) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | Ultrasonic deburring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558470B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6463944B2 (en) * | 2001-03-02 | 2002-10-15 | Coltene/Whaledent, Inc. | Gun rack for ultrasonic cleaning |
| JP3977040B2 (en) * | 2001-09-07 | 2007-09-19 | 株式会社ケーヒン | Manufacturing method of impeller for fuel pump |
| CN110560407B (en) * | 2019-09-19 | 2021-07-30 | 上海奇佳电子有限公司 | Cleaning machine system |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4715478U (en) * | 1971-03-22 | 1972-10-23 | ||
| JPS5066476U (en) * | 1973-10-18 | 1975-06-14 | ||
| JPS5075530A (en) * | 1973-11-09 | 1975-06-20 | ||
| JPS5731061Y2 (en) * | 1980-03-18 | 1982-07-08 | ||
| JPS586682Y2 (en) * | 1981-03-05 | 1983-02-04 | 大阪酸素工業株式会社 | Equipment for removing unnecessary parts of rubber molded products |
| JP3007382B2 (en) * | 1990-06-01 | 2000-02-07 | 三菱電機株式会社 | Sensor output processing device |
-
1987
- 1987-07-24 JP JP62185774A patent/JP2558470B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6434647A (en) | 1989-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100431775B1 (en) | Semiconductor Wafer Cleaning Device and Method | |
| TW546725B (en) | Ultrasonic cleaning method for semiconductor manufacturing equipment | |
| JP2558470B2 (en) | Ultrasonic deburring device | |
| US20050199263A1 (en) | Washing method and washing device | |
| US5402806A (en) | Cleaning apparatus having a partitioned boil sump | |
| US5085238A (en) | Vapor degreasing apparatus | |
| JP3093767B2 (en) | Cleaning equipment | |
| US5520204A (en) | Vapor degreasing apparatus | |
| JP4439771B2 (en) | Desalination / deoxidation treatment of used umezuke seasoning | |
| JPS62286583A (en) | Aluminum disk washer | |
| JPH0688265A (en) | Ultrasonic washing device | |
| JP2002153827A (en) | Cleaning method | |
| JPH07214014A (en) | Washing device | |
| JP2937467B2 (en) | Electropolishing, electrolytic deburring method and apparatus | |
| JP2785923B2 (en) | Work cleaning device | |
| JPH09109004A (en) | Ultrasonic polishing method | |
| GB2104104A (en) | Cleaning of chemically treated articles | |
| JPH0349636B2 (en) | ||
| JP2919201B2 (en) | Method and apparatus for removing sludge from molten salt bath liquid | |
| JP3109871B2 (en) | Method and apparatus for draining and drying articles | |
| US5269904A (en) | Single tank de-oxidation and anodization process | |
| SU1675388A1 (en) | Method of cleaning products | |
| JP2000107708A (en) | Method for removing electrolyte | |
| JPH0639375A (en) | Wastewater treatment apparatus | |
| JPS63221878A (en) | Ultrasonic washer |