JP2558470B2 - 超音波バリ取り装置 - Google Patents

超音波バリ取り装置

Info

Publication number
JP2558470B2
JP2558470B2 JP62185774A JP18577487A JP2558470B2 JP 2558470 B2 JP2558470 B2 JP 2558470B2 JP 62185774 A JP62185774 A JP 62185774A JP 18577487 A JP18577487 A JP 18577487A JP 2558470 B2 JP2558470 B2 JP 2558470B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning liquid
cleaning
ultrasonic
tank
cleaned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62185774A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6434647A (en
Inventor
佳英 柴野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP62185774A priority Critical patent/JP2558470B2/ja
Publication of JPS6434647A publication Critical patent/JPS6434647A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2558470B2 publication Critical patent/JP2558470B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸
漬し、上記洗浄液に超音波を放射して、上記被洗浄物の
バリ取りを行う超音波バリ取り装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
周知のとおり、機械工作物の種々の機械加工において
は、加工された工作物にバリ等が残るので、そのバリ等
の除去作業を行わなければならない。上記バリ等の除去
を、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸漬し、上
記洗浄液に超音波を放射することにより行う装置が検討
されており、例えば、実公昭38−1496号公報に記載され
た装置等が知られているが、単に洗浄液に超音波を放射
するだけでは十分なバリ取りを行うことができない。
また、洗浄槽に収容された洗浄液に被洗浄物を浸漬
し、上記洗浄液に超音波を放射することにより、キャビ
テーションを発生させ、このキャビテーションが崩壊す
るときの衝撃力により上記被洗浄物の表面に付着してい
るゴミ、油分等の異物を除去する超音波洗浄装置も公知
である。このような超音波洗浄装置において、上記キャ
ビテーションを発生し易くするために、該洗浄液から溶
存気体を除去することが有効であることも公知であり、
そのために使用できる脱気装置として例えば実願昭48−
120332号(実開昭50−66476号)のマイクロフィルムに
記載されたものがあり、脱気装置を備えた超音波洗浄装
置として例えば実開昭47−15478号公報等に記載された
ものがある。
上記のように洗浄液から溶存気体を除去して脱気する
ことにより、超音波を放射した際にキャビテーションが
発生し易くなり、従って該キャビテーションが崩壊する
ときの衝撃力も強力になるので、優れた洗浄効果が得ら
れる。しかしながら、上記のように強化された衝撃力で
あっても、被洗浄物表面に付着している異物は除去する
ことができるものの、被洗浄物と一体的に形成されてい
るバリは十分に除去できないことがある。
一方、上記バリ取りのために、電解槽に収容された電
解液合に被洗浄物を浸漬し、該被洗浄物の表面を電解研
磨する技術が知られており、上記電解研磨の際に、上記
電解液に超音波を放射する技術が、特開昭50−75530号
公報及び実公昭37−22710号公報等に記載されている。
上記各公報に記載された技術は、上記電解液に超音波を
放射することにより電解反応を促進するものである。し
かしながら、電解液に超音波を放射しながら電解研磨を
行うと、被洗浄物表面の研磨状態にムラができるとの不
都合がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は、金属製被洗浄物表面に付着している異物及
び該金属製被洗浄物と一体的に形成されているバリを除
去することができる超音波バリ取り装置を提供すること
を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の超音波バリ取り装置は、酸又はアルカリの電
解質を含む洗浄液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽の底部
に設けた超音波振動子と、該超音波振動子を作動させる
発振器とからなり、該洗浄液に該超音波振動子から超音
波を放射してキャビテーションを発生させ、該キャビテ
ーションの作用により該洗浄液に浸漬された金属製被洗
浄物のバリ取りを行う超音波バリ取り装置であって、前
記洗浄液に超音波を放射したときに該洗浄液中に良好に
キャビテーションを発生できるように前記洗浄槽に供給
される洗浄液に溶存する気体を除去する脱気手段を設
け、前記バリ取りを行うときに前記金属製被洗浄物との
間に電界を印加する電極板を前記洗浄液に浸漬させて設
けてなることを特徴とする。
本発明の超音波バリ取り装置によれば、金属製被洗浄
物を酸又はアルカリの電解質を含む洗浄液に浸漬し、該
洗浄液に超音波を放射して該金属製被洗浄物のバリ取り
を行うときに、該洗浄液は上記脱気手段により溶存気体
が除去されているので、キャビテーションが発生しやす
くなっており、該キャビテーションが崩壊するときの衝
撃力により上記金属製被洗浄物の表面に付着している異
物が除去される。
また、上記洗浄液は酸又はアルカリの電解質を含むの
で、上記電極板と上記金属製被洗浄物との間に電界を印
加することによって、上記金属製被洗浄物の表面で電解
反応が起き、該金属製被洗浄物と一体的に形成されてい
るバリが除去される。しかも、上記洗浄液は溶存気体が
除去されているので、上記キャビテーションが洗浄液中
で均一に発生し易く、上記電解反応が上記金属製被洗浄
物の表面の全体に亘ってムラなく行われる。
〔実施例〕
次に添付図面に従って本発明の好適な実施例を詳述す
る。第1図は本実施例の超音波バリ取り装置の概略を示
す説明的断面図であり、第2図は本実施例の超音波バリ
取り装置の洗浄槽の構成を示す説明的断面図である。
図中1は超音波バリ取り装置を示し、この装置1は洗
浄槽2、脱気装置3等より構成されている。上記洗浄槽
2は単一槽より成り、この洗浄槽2には図示せざる発振
器に連結した圧電型超音波振動子4が配設されている。
上記洗浄槽2の洗浄液5の供給側の上流側には上記脱
気装置である例えば沸騰槽3が配設され、この沸騰槽3
内の洗浄液5の沸点付近の温度で加温すると共に脱気し
ている。
本例に於いては、種々ある洗浄液5のうちのフロン11
3の例を示したものであり、このフロン113の沸点は47.6
℃であるので、上記沸騰槽3はヒーターによって加温さ
れ、略47℃前後に設定されている。従って上記洗浄液5
であるフロン113より沸点の低い溶解気体は沸点分離に
よって分離せしめられる。
洗浄槽2には、バリ取り対象物である例えばアルミニ
ウム及びその合金等から成る精密加工部品の金属製被洗
浄物21を浸漬した時にオーバーフローする洗浄液5を受
け入れる回収槽23が設けられており、回収槽23は回収管
24により、上記脱気装置3の洗浄液5の供給側の上流側
に配設された蒸気槽6に接続されている。この蒸気槽6
にはヒーター7が配管されており、ヒーター7によって
洗浄液5が沸点以上に加熱蒸発される。
上記した洗浄槽2、脱気装置3、蒸気槽6の上部8に
は蒸気凝縮管9が周囲に配設された蒸気凝縮部10が設け
られており、蒸気槽から蒸発した洗浄液5は、上記蒸気
凝縮部10によって凝縮され、連結管11を介した水分離器
12に送られる。そしてこの水分離器12で水分を分離され
る。この時の分離される水分は主に上記洗浄槽2に金属
製被洗浄物21を入れる時にすでに付着している付着水等
である。この水分離器12によって水分を分離された洗浄
液5は洗浄液導入管13を介して上記脱気装置である沸騰
槽3に送られる。そして沸点分離によって脱気された洗
浄液5のみが洗浄槽2に導入される。
次いで上記洗浄槽2に着目すると、洗浄槽2の底部14
の一方15側に濾過管16が配管され、この濾過管16にはポ
ンプ17、冷却器18に連結される冷凍機19、フィルター20
が配設され、濾過管16の他端が他方33側の側部34に配管
されている。
上記洗浄槽2の洗浄液5は濾過管16を介してポンプ17
により循環される過程でフィルター20により洗浄液5中
の異物(ゴミ、付着物、油)等を除去されている。
上記超音波バリ取り装置1では、第1図示のように金
属製被洗浄物21をカゴ22内に収容して洗浄液5に浸漬
し、超音波振動子4から洗浄液5に超音波を放射してバ
リ取りを行なうので、十分な効果は得られない。
そこで、本実施例では、上記洗浄槽2内に第2図示の
ように、洗浄槽2の底部14に配設されている超音波振動
子4の上方にローラーチェン付ステンレス鋼材より成る
メッシュベルト31を配設し、このメッシュベルト31にバ
リ取り対象物である金属製被洗浄物21を載せる。そして
このメッシュベルト31上の金属製被洗浄物21の上方に電
極板32を洗浄液5に浸漬させて配設している。即ち、本
実施例では、上記メッシュベルト31を介して上記アルミ
ニウム及びその合金等から成る金属製被洗浄物21に通電
され、該ワーク21と電極板32との間に電界をかけた状態
に於いて超音波を放射せしめることによってキャビテー
ションを生じさせて、金属製被洗浄物21のバリ等を除去
するものである。
この時上記洗浄液5にフロン113等の高抵抗溶剤を使
う場合、液体の抵抗値を下げるために、酸、アルカリ等
の電解質をアルコール等に媒介させて微量添加する。
又、金属製被洗浄物21のバリ等の根元まで均一に除去す
るために、上記した例えばフロン113にアルコール数%
と水及び酸を加えて電気化学的反応を促進させることに
よってより良くバリ等の根元まで除去することができ
る。
次に、本実施例の使用例を説明する。
先ずバリ取り対象物である金属製被洗浄物21を上記洗
浄槽2に浸漬し、そこで超音波振動子4を作動させてバ
リ取りを行う。
即ち、上記バリ取り対象物である金属製被洗浄物21を
洗浄槽2に浸漬することによってこの洗浄槽2内の洗浄
液5がオーバーフローした洗浄液5は回収槽23に入り、
回収管24を介して蒸気槽6に導入される。この蒸気槽6
に導入された洗浄液5はヒーター7によって加熱され蒸
気となって上部8に位置する蒸気凝縮器10の凝縮管9に
よって再び液体に戻される。そして連結管11を介して水
分離器12に導入され水分を分離される。
水分を分離された洗浄液5は洗浄液導入管13を介して
沸騰槽に導入される。この時洗浄液5はヒーターによっ
て加温されることによる沸点分離によって、この洗浄液
5より沸点の低い溶解気体が脱気され、脱気された洗浄
液5のみが洗浄槽2に導入される。
本実施例では、バリ取り対象物である金属製被洗浄物
21を洗浄槽2内のメッシュベルト31上に配置し、上方に
配設されている電極板32とメッシュベルト31に電流を流
した状態において超音波を発生させ、キャビテーション
作用と上記電流による電気化学的反応が協働して金属製
被洗浄物21のバリを根元から除去することができるもの
である。
尚、上記した洗浄液5はフロン113の例を示したが、
フロン113以外の洗浄液を用いることが可能である。即
ち、フロン112、イソプロピルアルコール(IPA)、エタ
ノール、塩化メチレン、トリクレン、パークロルエチレ
ン、1,1,1−トリクロルエタン、及びそれらの共沸物そ
して水等を用いることもできる。
本例に於いては洗浄槽2を単一槽のものの例を示した
が、複数槽用いることも可能である。
更に上記洗浄槽2の材料としてはステンレス鋼材が用
いられている。
更に本例に於いては洗浄液5の脱気装置に沸騰槽3を
用いる例を示したが他のものを用いることも可能であ
る。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く本発明によれば、上記脱気手段によ
り脱気された洗浄液を用いて超音波洗浄することによ
り、上記金属製被洗浄物の表面に付着している異物を除
去することができる。また、上記洗浄液は酸又はアルカ
リの電解質を含むので、上記超音波洗浄と同時に、上記
上記電極板と上記金属製被洗浄物との間に電界を印加す
ることにより、上記金属製被洗浄物の表面で電解反応が
起き、該金属製被洗浄物と一体的に形成されているバリ
を除去することができる。
しかも、上記洗浄液は上記のように脱気されているの
で、超音波の放射によりキャビテーションが上記洗浄液
中で均一に発生し、該キャビテーション及び上記電解反
応の相乗効果により、上記バリを上記金属製被洗浄物の
表面の全体に亘ってムラなく除去することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本実施例の超音波バリ取り装置の概略を示す説
明的断面図であり、第2図は本実施例の超音波バリ取り
装置の洗浄槽の構成を示す説明的断面図である。 1……超音波バリ取り装置、2……洗浄槽、3……脱気
手段、 4……超音波振動子、5……洗浄液、21……金属製被洗
浄物、32……電極板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−75530(JP,A) 実開 昭47−15478(JP,U) 実開 昭50−66476(JP,U) 実開 昭47−15478(JP,U) 実開 昭56−143033(JP,U) 実開 昭56−139531(JP,U) 特公 昭35−1373(JP,B1) 特公 平4−38471(JP,B2) 実公 昭38−1496(JP,Y1) 実公 昭37−22710(JP,Y1)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】酸又はアルカリの電解質を含む洗浄液を収
    容する洗浄槽と、該洗浄槽の底部に設けた超音波振動子
    と、該超音波振動子を作動させる発振器とからなり、該
    洗浄液に該超音波振動子から超音波を放射してキャビテ
    ーションを発生させ、該キャビテーションの作用により
    該洗浄液に浸漬された金属製被洗浄物のバリ取りを行う
    超音波バリ取り装置であって、 前記洗浄液に超音波を放射したときに該洗浄液中に良好
    にキャビテーションを発生できるように前記洗浄槽に供
    給される洗浄液に溶存する気体を除去する脱気手段を設
    け、前記バリ取りを行うときに前記金属製被洗浄物との
    間に電界を印加する電極板を前記洗浄液に浸漬させて設
    けてなることを特徴とする超音波バリ取り装置。
JP62185774A 1987-07-24 1987-07-24 超音波バリ取り装置 Expired - Lifetime JP2558470B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62185774A JP2558470B2 (ja) 1987-07-24 1987-07-24 超音波バリ取り装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62185774A JP2558470B2 (ja) 1987-07-24 1987-07-24 超音波バリ取り装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6434647A JPS6434647A (en) 1989-02-06
JP2558470B2 true JP2558470B2 (ja) 1996-11-27

Family

ID=16176657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62185774A Expired - Lifetime JP2558470B2 (ja) 1987-07-24 1987-07-24 超音波バリ取り装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2558470B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6463944B2 (en) * 2001-03-02 2002-10-15 Coltene/Whaledent, Inc. Gun rack for ultrasonic cleaning
JP3977040B2 (ja) * 2001-09-07 2007-09-19 株式会社ケーヒン 燃料ポンプ用インペラーの製造方法
CN110560407B (zh) * 2019-09-19 2021-07-30 上海奇佳电子有限公司 一种清洗机***

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4715478U (ja) * 1971-03-22 1972-10-23
JPS5066476U (ja) * 1973-10-18 1975-06-14
JPS5075530A (ja) * 1973-11-09 1975-06-20
JPS5731061Y2 (ja) * 1980-03-18 1982-07-08
JPS586682Y2 (ja) * 1981-03-05 1983-02-04 大阪酸素工業株式会社 ゴム成形品の不用部除去装置
JP3007382B2 (ja) * 1990-06-01 2000-02-07 三菱電機株式会社 センサ出力処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6434647A (en) 1989-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW546725B (en) Ultrasonic cleaning method for semiconductor manufacturing equipment
JP2558470B2 (ja) 超音波バリ取り装置
US20050199263A1 (en) Washing method and washing device
US5402806A (en) Cleaning apparatus having a partitioned boil sump
US5085238A (en) Vapor degreasing apparatus
JP3093767B2 (ja) 洗浄装置
US5520204A (en) Vapor degreasing apparatus
JP4439771B2 (ja) 使用済み梅漬調味液の脱塩・脱酸処理方法
JPS62286583A (ja) アルミデイスク洗浄装置
JPH07214014A (ja) 洗浄装置
JP2937467B2 (ja) 電解研磨、電解バリ取り方法及びその装置
JP2785923B2 (ja) ワーク洗浄装置
JPH09109004A (ja) 超音波研磨方法
GB2104104A (en) Cleaning of chemically treated articles
JPH0349636B2 (ja)
JP2919201B2 (ja) 溶融塩浴液中のスラッジ除去方法および装置
JP3109871B2 (ja) 物品の水切り・乾燥方法及び装置
JPH07238391A (ja) 金属材料の脱脂洗浄装置
SU1675388A1 (ru) Способ очистки деталей
JPS5866334A (ja) 半導体基板の処理装置
JP2000107708A (ja) 電解液の除去方法
JPH0639375A (ja) 排水処理装置
KR200365733Y1 (ko) 초음파 불산 세정 장치
JP2512342Y2 (ja) 超音波洗浄、バリ取り装置
JPH0785775B2 (ja) 固体と液体との化学反応時の脱気方法