JP2023090977A - 傾き角度検出装置及び傾き角度検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
プローバ10は、プローバ本体12と、プローバ本体12に隣接されたローダ部14とから構成される。プローバ本体12は、基板Wが載置される保持面18を有する基板用チャック20を有する。基板Wは四角形状すなわち正方形または長方形であってもよい。
図2に示すように、基板用チャック20の保持面18には、基板用チャック20の中心軸を中心とした吸着溝19が設けられる。吸着溝19は、真空経路21を介して真空源23に接続される。真空源23によって真空経路21の空気を吸引することにより、基板用チャック20の保持面18に載置された基板Wが吸着溝19によって真空吸着されて基板用チャック20の保持面18に吸着保持される。また、真空経路21には、真空経路21を大気開放する電磁バルブ24が設けられ、電磁バルブ24の開閉は制御部25によって制御されている。
図6はプリアライメントセンサユニット60の構成を示した要部拡大斜視図である。
Claims (2)
- 搬送部により搬送方向に沿って搬送される四角形状の基板の傾き角度を検出する傾き角度検出装置において、
前記基板が前記搬送方向に沿って搬送されるときに、前記搬送方向とは異なる方向に離れた前記基板の両縁のみを連続的に検出する幅・角度検出センサと、
前記幅・角度検出センサにより検出した前記基板の両縁から前記基板の傾き角度を検出する検出部と、
を備える傾き角度検出装置。 - 搬送部により搬送方向に沿って搬送される四角形状の基板の傾き角度を検出する傾き角度検出方法において、
前記基板が前記搬送方向に沿って搬送されるときに、幅・角度検出センサにより、前記搬送方向とは異なる方向に離れた前記基板の両縁のみを連続的に検出するステップと、
前記幅・角度検出センサにより検出した前記基板の両縁から前記基板の傾き角度を検出するステップと、
を有する傾き角度検出方法。
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