JPH11312726A

JPH11312726A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH11312726A
Application number: JP12034998A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Taniguchi; 芳久谷口; Tsutomu Ozawa; 津登務小沢
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-04-30
Filing date: 1998-04-30
Publication date: 1999-11-09

Abstract

(57)【要約】【課題】第１の場所での基板の位置ずれを補正して第
２の場所に置く構造を簡単とする。【解決手段】第１の場所４に置かれている多角形の基
板３を持ち上げて移動することにより基板３を第２の場
所１０に搬送する支持部材１と、第１の場所４から取り
出されて移動する基板３の移動路上に固定的に配置さ
れ、基板３の隣り合う２辺上の少なくとも３点が通過す
るときの支持部材１の位置を検出する２つの位置検出セ
ンサ２１，２２と、位置検出センサ２１，２２の検出値
に基づいて支持部材１に対する基板３の前後及び左右方
向の位置ずれと傾きとを算出し、算出値に基づいて支持
部材１を駆動して第２の場所１０への正規位置となるよ
うに基板３の位置補正を行う制御手段４０とを備える。
従来の構造に２つの位置検出センサ２１，２２と、演算
を行う制御手段４０を加えた簡単な構造で基板３を正確
におくことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体や液晶表示装
置等の製造に用いる基板を搬送する基板搬送装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図１２は特開平６−２９７３６３号公報
に記載された従来の基板搬送装置を示す。この装置は基
板１００を収容する第１の場所としてのカセット１０１
と、基板１００を支持する平面フォーク状の基板支持体
１０２とを備え、基板支持体１０２がカセット１０１に
進退及び上下動可能となっている。又、基板支持体１０
２には基板１００の辺縁の位置を検出する２つのセンサ
１０３，１０４が間隔を有して配置されている。

【０００３】この装置では、カセット１０１内に収容さ
れている基板１００の下側に入り込む際に基板１００の
前縁がセンサ１０３，１０４を横切るときの基板支持体
１０２の位置を検出し、この検出値から基板１００の前
後方向の位置ずれ及び傾きを算出する。その後、基板支
持体１０２が基板１００を持ち上げ、算出した算出値に
基づいて基板支持体１０２の位置及び傾きの補正を行
い、基板１００の位置補正をする。そして、基板支持体
１０２がカセット１００から退出して搬送先である第２
の位置に位置ずれなく基板１００をセットする。

【０００４】ところが、この装置では精度の高い検出が
可能であるが、基板１００の左右方向の位置ずれを検出
できない不便さがある。

【０００５】図１３は別の従来の基板搬送装置であり、
基板支持体１０２には１つのセンサ１０３が配置されて
いる。これに加えて、カセット１０１の外側には基板支
持体１０２と直交する側方位置にセンサ台１０５が配置
されている。このセンサ台１０５はカセット１０１内に
進退自在となっており、その先端には２つのセンサ１０
６，１０６が間隔を有して取り付けられている。

【０００６】図１４（ａ）〜（ｃ）は、図１３の装置の
作動を基板支持体１０２側（前方側）から示すものであ
る。これらの図で示すように、カセット１０１内の基板
１００はまちまちにずれた位置にある。このため、同図
（ｂ）及び（ｃ）に示すように、センサ台１０５を順
次、基板１００の側縁の下に入れ、センサ台１０５の２
つのセンサ１０６によって基板１００の左右方向のずれ
及び傾きを基板一枚ごとに算出する。そして、カセッ
ト１０１内のいずれかの基板１００を取り出すときに
は、図１３に示すように、基板支持体１０２に設けたセ
ンサ１０３によって、その基板１００の前縁の位置を検
出することにより基板１００の前後方向のずれ量を算出
する。その後、基板支持体１０２が基板１００を持ち上
げて搬送し、図示しない第２の場所に置くとき、上述し
た算出量により基板１００の位置補正をして、第２の場
所に位置ずれなく基板１００をセットする。

【０００７】この装置では、基板１００の左右方向の位
置ずれも検出できるが、装置の構造が複雑で作動が複雑
となると共に、製造原価が高くなるのに加え、左右方向
の位置ずれ及び傾きを検出するのに長時間を要する問題
を有している。

【０００８】図１５（ａ）〜（ｆ）は、さらに別の従来
の基板搬送装置を図１４と同様に前方側から示すもので
あり、カセット１０１の左右の側方には、一対のフレー
ム１０７，１０７が進退及び上下動自在に配置されてい
る。それぞれのフレーム１０７におけるカセット１００
側には、カセット１０１内に段状に収容されている基板
１００の段数に合わせた数の位置決め部材１０８が取り
付けられている。

【０００９】位置決め部材１０８は基板１００の側縁を
押して基板１００を位置決めする段部１０８ａと、段部
１０８ａの前方に設けられて基板１００を持ち上げるた
めの爪部１０８ｂとを備えている。又、爪部１０８ｂに
は、ローラ１０９が取り付けられている。ローラ１０９
は基板１００を位置決めするときに、基板１００を支え
て転がることにより、爪部１０８ｂが基板１００と直接
に摺動してマイクロダストが発生することを防止するも
のである。

【００１０】図１５（ａ）は一連の動作の開始以前の状
態であり、一対のフレーム１０７はカセット１０１の外
側に退避している。（ｂ）はフレーム１０７がカセット
１０１に接近した状態であり、位置決め部材１０８がそ
れぞれの基板１００の下に入っている。（ｃ）はフレー
ム１０７が上昇して位置決め部材１０８がそれぞれの基
板１００をローラ１０９を介して持ち上げた状態であ
る。

【００１１】（ｄ）は基板１００をずれのない位置に整
列させる状態であり、一対のフレーム１０７がカセット
に更に接近し、位置決め部材１０８の段部１０８ｂがそ
れぞれの基板１００の側縁を押すことにより、基板１０
０の左右方向の位置ずれと傾きとをなくしている。な
お、このとき基板１００はローラ１０９を介して位置決
め部材１０８の段部１０８ｂに載っているため、段部１
０８ｂは基板１００と摺動することがなく、マイクロダ
ストを生じるおそれはない。（ｅ）は基板１００を整列
した後、一対のフレームが同図（ｂ）の高さまで下降す
る途中を示している。（ｆ）は以上の一連の動作を終了
して、フレーム１０７が同図（ａ）の位置まで待避した
状態を示す。

【００１２】このような装置では、位置補正の計算など
の高度な制御が必要なく、設計が簡単となる特徴がある
が、基板１００の前後方向の位置ずれが補正できず、装
置も複雑で高価になるという問題点がある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように従
来の基板搬送装置においては、第１の場所にある基板の
位置ずれと傾きを補正するに当たって、基板の左右か前
後方向の位置ずれを補正できなかったり、補正ができる
装置でも検出に長時間を要し、装置も複雑となる問題点
を有している。

【００１４】本発明はこのような問題点を考慮してなさ
れたものであり、第１の場所で不正確な位置に置かれた
基板を持ち上げて搬送し、第２の場所で正確な位置にセ
ットする基板搬送装置において、簡単な構造で、第１の
場所における基板の位置ずれ量を検出して位置補正をす
ることができる基板搬送装置を提供することを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、第１の場所に置かれている多角
形の基板を持ち上げて移動することにより基板を第２の
場所に搬送する支持部材と、前記第１の場所から取り出
されて移動する基板の移動路上に固定的に配置され、基
板の隣り合う２辺上の少なくとも３点が通過するときの
前記支持部材の位置を検出する少なくとも２つの位置検
出センサと、この位置検出センサの検出値に基づいて前
記支持部材に対する基板の前後及び左右方向の位置ずれ
と傾きとを算出し、この算出値に基づいて前記支持部材
を駆動して前記第２の場所への正規位置となるように基
板の位置補正を行う制御手段と、を備えていることを特
徴とする。

【００１６】この発明では、基板の移動路上に固定的に
配置された位置検出センサが基板の隣り合う２辺から合
計３点以上の位置検出を行うため、支持部材に対する基
板の前後及び左右のずれと傾きのすべての位置情報を得
ることができる。制御手段はこの検出値に基づいて支持
部材を駆動して基板の位置補正を行うため、基板の位置
補正及び第２の位置に対する正規位置への搬送を簡単な
構造でしかも短時間で行うことができる。

【００１７】請求項２の発明は、請求項１記載の発明で
あって、前記制御手段によって回転並びに並進運動が制
御される搬送ロボットが前記第１の場所と第２の場所と
の間に配置されると共に、この搬送ロボットに相互に回
転可能な第１のアーム及び第２のアームが順次連結され
ており、前記第２のアームが回転可能な状態で前記支持
部材に連結されていることを特徴とする。

【００１８】この発明では、制御手段によって制御され
た搬送ロボットの回転及び並進と、搬送ロボットに連結
された第１のアーム及び第２のアームの回転とを行うた
め、基板の位置補正を簡単に、しかも確実に行うことが
できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１〜図１１は本発明の一実施形
態の基板搬送装置を示す。基板搬送装置は図１及び図２
に示すように、基板３が複数段で収容される第１の場所
としてのカセット４と、カセット４から搬送された基板
３が正規位置に置かれることにより基板３の検査を行う
検査装置などが配置された第２の場所としての定位置１
０と、カセット４内から基板３を持ち上げて取り出す支
持部材１と、この支持部材１を駆動する搬送ロボット７
と、基板３の搬送路上に固定された２つの位置検出セン
サ２１，２２と、搬送ロボット７を制御する制御手段４
０とを備えている。

【００２０】基板３は半導体基板、液晶基板などからな
り、平面多角形に成形されている。図示する形態におい
て、平面矩形状の基板３が用いられている。

【００２１】２つの位置検出センサ２１，２２は支持部
材１によって持ち上げられてカセット４から取り出され
る基板３の辺縁が横切る状態を検出するものであり、こ
の検出によって支持部材１の位置が検出される。この検
出を行うため、位置検出センサ２１，２２は基板３を引
き出す方向に直交する方向に沿って並べられていると共
に、基板３の幅よりも小さくした状態で基板３の搬送路
上に固定されている。なお、これらの位置検出センサ２
１，２２はカセット４が載置される架台（図示省略）な
どに支持されることにより上述した検出を行う。

【００２２】２つの位置検出センサ２１，２２はそれぞ
れ一対の発光素子及び受光素子や磁気や電気によって位
置を検出するその他の検出素子から構成されている。図
１において、２１ａは位置検出センサ２１の発光素子、
２１ｂは同センサ２１の受光素子であり、基板３はこれ
らの間を通過する。図示を省略するが、位置検出センサ
２２も同様な構成となっている。

【００２３】搬送ロボット７はカセット４及び定位置１
０の間に配置されている。この搬送ロボット７は回転及
び並進運動するロボット本体１７と、このロボット本体
１７に基端部分が回転可能に取り付けられた第２のアー
ム６と、第２のアーム６の先端部分に基端部分が回転可
能に連結された第１のアーム５とを備えている。これら
の第１及び第２のアーム５，６は実効長さが同一となっ
ていると共に、内部に設けられている連動機構（図示省
略）によって連結されることによって駆動される。支持
部材１は搬送ロボット７の第１のアーム５の先端部分に
回転可能に連結されており、これにより支持部材５は常
に直線に沿って並進運動することができる。

【００２４】図５及び図６において、Ａは支持部材１が
第１のアーム５に回転可能に連結された回転中心、Ｃは
第２のアーム６がロボット本体１７に回転可能に連結さ
れた回転中心であり、図７〜図１１において、Ｂはロボ
ット本体１７が回転する回転中心である。この実施の形
態において、ロボット本体１７の回転中心Ｂに対して第
２のアーム６の回転中心Ｃが偏位した位置となってい
る。なお、カセット４内に段状で収容されている基板３
の高さに支持部材１を合わせると共に、支持部材１を上
方に移動して基板３を持ち上げるため、ロボット本体１
７内にはシリンダなどの上下動機構（図示省略）が設け
られている。

【００２５】支持部材１は平面フォーク状に成形されて
おり、図２の実線で示すように先端部分がカセット４内
に進入することにより、カセット４内に段状に収容され
ている基板３を持ち上げる。そして、搬送ロボット７が
駆動することにより、支持部材１は図２の鎖線で示すよ
うに、基板３をカセット４内から取り出す。この基板３
の取り出しの際には、位置検出センサ２１又は／及び２
２によって基板３の前縁が検出される。その後、破線で
示すように、ロボット本体１７が横移動し、次に横移動
しながら回転することにより、基板３を定位置１０に搬
送して定位置１０に置く。以上の作動過程で基板３のず
れ量の算出と、基板３の位置補正が行われる。

【００２６】制御手段４０は基板３を持ち上げている支
持部材１を駆動することにより、定位置１０への正規位
置となるように基板３の位置補正を行う。この位置補正
は位置検出センサ２１，２２が基板３の辺縁を検出した
検出値に基づいて行われるものであり、位置検出センサ
２１，２２から検出値が制御手段４０に出力される。こ
の検出値に基づいて、制御手段４０は基板３の前後及び
左右方向の位置ずれと、基板３の傾きとを算出し、この
算出値に基づいて支持部材１を駆動する。この実施の形
態では、支持部材１がロボット７に取り付けられている
ところから、制御手段４０はロボット７を駆動制御する
ことにより支持部材１を駆動する。かかる制御手段とし
ては、ロボット本体１７内に設けられたコンピュータ或
いはロボット本体１７に外付けされるコンピュータなど
を使用することができる。

【００２７】図３（ａ）〜（ｅ）は以上の基板搬送装置
の作動を示し、図３（ａ）は第１の場所であるカセット
４の中で傾いた状態の基板３を取り出すため、基板３の
下に支持部材１が入った状態である。次に、支持部材１
は傾いた状態の基板３を持ち上げてカセット４の外側に
移動することにより、基板３をカセット４から取り出
す。

【００２８】図３（ｂ）はこの基板３取り出しの途中の
状態を示し、基板３の前縁３１がカセット４の前方位置
の左側に配置されている位置検出センサ２１によって検
出される。このときの第２のアーム６の角度θ₁（図５
参照）を記録して、後述する算出を行うことにより、基
板３の前後方向のずれ量を算出することができる。この
ずれ量は、後述するようにｅ₁−ｅ₀である。

【００２９】図３（ｃ）は支持部材１がさらにカセット
４の外側に移動することにより、基板３の前縁３１が右
側の位置検出センサ２２によって検出された状態であ
る。このときの第２のアーム６の角度θ₂及び上述した
θ₁から、後述するように基板３の傾きθ₃を算出する
ことができる。

【００３０】図３（ｄ）は基板３をカセット４から完全
に引き出した状態である。位置センサ２１、２２はこの
（ｄ）の状態で基板３と重なる位置となるように、その
配置位置が予め設定されている。

【００３１】図３（ｅ）は第２の場所である定位置１０
に基板３を搬送するため、ロボット７が横（右）方向に
移動している状態である。この移動によって左側の位置
検出センサ２１が基板３の左側の側縁３２を検出する。
このときロボット７が横方向に移動した距離ｆ₁（図８
参照）を記録して、後述する算出を行うことにより、基
板３の左右方向のずれ量を算出することができる。この
ずれ量は、後述するように、ｆ₁−ｆ₀である。

【００３２】次に、以上の基板３の左右及び前後のずれ
量と傾き量の算出及びそれらの補正量の算出を図４〜図
１１により説明する。この場合、まずカセット４から基
板３の全体を取り出し、ロボット７が横（右）方向に移
動している途中で、基板３の前後及び左右方向のずれ量
並びに傾きを求める。なお、これらの図において、Ｘ軸
及びＹ軸からなる直交座標を、その原点が第２のアーム
６の回転中心Ｃと一致するように設定するものである。

【００３３】図４は図３（ａ）に対応し、支持部材１が
カセット４内に入って基板３を持ち上げた状態であり、
図５は図３（ｂ）に対応し、基板３をカセット４から取
り出すときに、位置検出センサ２１が基板３の前縁３１
を検出した状態である。このとき図５における位置検出
センサ２１と、支持部材１が第１のアームに連結されて
いる回転中心Ａとの間のＸ軸方向成分の距離ａ₁は、ａ₁＝ｃ−２ｂｃｏｓ（θ₁）…（１）式で算出される。（１）式において、ｂは第１のアーム５
及び第２のアーム６の実効長さ、ｃは位置検出センサ２
１、２２とＹ軸とのＸ軸方向成分の距離、θ１はＸ軸に
対する第２のアーム６の角度である。

【００３４】図６は図３（ｃ）に対応し、基板３をカセ
ット４から取り出す途中で基板３の前縁３１が位置検出
センサ２２によって検出された状態である。このとき、
位置検出センサ２２と上述したＡ点とのＸ軸方向成分の
距離ａ₂は、Ｘ軸に対する第２のアーム６の角度をθ₂
とした場合、ａ₂＝ｃ−２ｂｃｏｓ（θ₂）…（２）式で算出される。

【００３５】これらにより、基板３の傾きθ₃は、 θ₃＝ｔａｎ^-1（（ａ₂−ａ₁）／ｄ）…（３）式によって算出される。（３）式において、ｄは位置検出
センサ２１及び位置検出センサ２２のＹ軸方向成分の距
離である。

【００３６】図７は図３（ｄ）に対応し、基板３をカセ
ット４から完全に引き出した状態を示す。基板３の前縁
３１とＹ軸との距離ｅ₁は、Ｘ軸に対する第２のアーム
６の角度をθ₄とした場合、ｅ₁＝ａ₁＋２ｂｃｏｓ（θ₄）…（４）式で算出される。この（４）式及び図７において、基板３
が第１のアーム５及び第２のアーム６によって直線的に
並進運動するため、ａ₁は図５におけるａ₁と変化がな
いものである。なお、図７において、ｅ₀は鎖線で示す
ように、基板３の位置ずれ及び角度ずれが全くない状態
での基板３の前縁３１とＹ軸との距離である。

【００３７】図８は図３（ｅ）に対応し、基板３の搬送
のためにロボット７がＹ軸に沿って横方向に移動してい
る状態であり、この状態では位置検出センサ２１が基板
３の側縁３２を検出する。同図において、ｆ₁は基板３
の側縁３２が位置検出センサ２１に検出されるまでロボ
ット７がＹ軸方向に動いた距離であり、ｆ₀は鎖線で示
すように、基板３の位置ずれ及び角度ずれが全くない場
合におけて基板３の前縁３１が位置検出センサ２１に検
出されるまでロボット７がＹ軸方向に動く距離である。
従って、基板３の左右方向のずれ量は、ｆ₁−ｆ₀…（５）式となる。

【００３８】この後、図９に示すように基板３の傾きθ
₃を補正する。図９は（３）式で算出された基板３の傾
きのみを補正した状態を示している。この図９において
は、理解を助けるために、図８でｆ₁を測定した後、図
７の位置にロボット７を戻して描いてある。しかし実機
の動作では、図９の位置までロボット７を戻さなくても
後述する式は同じとなる。

【００３９】ここで、基板３はロボット７の回転中心Ｂ
の周りに回転する。この回転の角度は、基板３の傾きθ
₃を補正する前の−θ₃である。また、ロボット７全体
が回転するため、支持部材１の並進運動の方向はＸ₁軸
に変化している。更に、図９における破線３３は基板３
を回転させる前の基板３の前縁の位置を示している。

【００４０】図９から明らかなように、基板３をカセッ
ト４から完全に引き出したときの距離ｅ₁を算出するた
め、基板３の前縁３１を検出した位置Ｃ₁は、回転によ
ってＣ₂に移動している。従って、基板３を第２の位置
である定位置１０に置くときにＸ軸方向に移動すべき距
離はｇだけ変動する。以下、この量ｇを算出する。

【００４１】図９における矢印Ｄ₁の長さｈは、ｈ＝（（ｊ−ｋ）²＋ｅ₁ ²）^1/2…（６）式で算出される。（６）式において、矢印Ｄ₁は点Ｂから
点Ｃ₁に向かう矢印であり、ｊは点Ｃ₁とＸ軸との距
離、ｋは点ＢとＸ軸との距離である。

【００４２】図９における矢印Ｄ₁とＹ軸のなす角θ₅
は、時計方向回りを正とした場合、 θ₅＝ｔａｎ^-1（−ｅ₁／（ｊ−ｋ））…（７）式から算出することができる。

【００４３】ロボット７の回転によって、基板３のＸ軸
方向の移動量に生じる補正量ｇは、図９の点Ｂから点Ｃ
₂に向かう矢印Ｄ₂から、ｇ＝−ｅ₁−ｈｓｉｎ（θ₅−θ₃）…（８）式により算出することができる。

【００４４】図１０は（３）式で算出された基板３の傾
きのみを補正した状態であり、図９と同じ配置を示して
いる。但し、ｆ₁を算出するため、基板３の側縁３２を
検出した位置Ｅ₁が基板３の回転によってＥ₂に移動し
ている。図１０から明らかなように、基板３を第２の位
置である定位置１０に置くときに、Ｙ軸方向にｍだけ移
動させる必要がある。以下、この量ｍを求める。

【００４５】図１０の矢印Ｆ₁の長さｎは、ｎ＝（ｐ²＋（ｆ₁＋ｑ−ｋ）²）^1/2…（９）式で算出される。（９）式において、矢印Ｆ₁は点Ｂから
点Ｅ₁に向かう矢印であり、ｐは点Ｅ₁とＹ軸との距
離、ｑは位置検出センサ２１とＸ軸との距離である。

【００４６】図１０において、矢印Ｆ₁とＹ軸とのなす
角度θ₆は、時計方向回りを正とした場合、 θ₆＝ｔａｎ^-1（ｐ／（ｆ₁＋ｑ−ｋ））…（１０）式により算出することができる。

【００４７】さらに、ロボット７の回転によって基板３
のＹ軸方向に生じる補正量ｍは、図中点Ｂから点Ｅ₂に
向かう矢印Ｆ２から、ｍ＝（ｆ₁＋ｑ−ｋ）−ｎｃｏｓ（θ₆＋θ₃）…（１１）式から算出することができる。

【００４８】以上から、第２の位置である定位置１０に
基板３を置くときの基板３の移動量を算出すると、図１
１は基板３を第２の位置である定位置１０に置く状態を
示している。図１１において、ロボット７が実際に基板
３を送り出す量ｒ₁は、ｒ₁＝（ｒ₀＋ｅ₀−ｅ₁−ｇ）／ｃｏｓ（−θ₃）…（１２）式から算出される。（１２）式において、ｒ₀は基板３に
ずれも傾きも全くなかったときの送り出し量である。

【００４９】ロボット７が実際に基板３を送出すとき、
図１１における横方向にロボット７を変位させるべき量
ｓは、ｓ＝（ｆ₀−ｆ₁）−ｍ＋ｒ₁ｓｉｎ（−θ₃）…（１３）式から算出される。

【００５０】なお、一般に基板３の送出し量ｒは、ｒ（θ）＝２ｂ（ｃｏｓ（θ）−ｃｏｓ（−θ₇）…（１４）式として求められる。但し、θ₇は図１０の状態における
第２のアーム６とＸ₁軸との角度である。

【００５１】そこで第２の位置である定位置１０に基板
３を置いたときの第２のアーム６とＸ₁軸の角度θ
₈は、（１２）式と（１４）式を等号で結び、（１４）
式でのθをθ₈とおくと、（ｒ₀＋ｅ₀−ｅ₁−ｇ）／ｃｏｓ（−θ₃）＝２ｂ
（ｃｏｓ（θ₈）−ｃｏｓ（−θ₇）となるので、 θ₈＝ｃｏｓ^-1（（ｒ₀＋ｅ₀−ｅ₁−ｇ）／２ｂｃｏｓ（−θ₃）＋ｃｏｓ（ −θ₇））…（１５）式から算出することができる。

【００５２】このような実施の形態の基板搬送装置によ
れば、既存の基板搬送装置に対して、２個の位置検出セ
ンサと演算を行う制御手段とを追加するだけで、基板３
を厳密に位置補正することができる効果がある。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、最低２個の位置検出センサと、演算を行う制御
手段とを付加するだけで良く、簡単で安価な構成で、基
板の前後及び左右方向の位置ずれと傾きとを幾何学的に
厳密に補正して第２の場所に置くことができる。

【００５４】請求項２の発明によれば、搬送ロボットの
回転及び並進と、第１のアーム及び第２のアームの回転
とを行うため、基板の位置補正を簡単にしかも確実に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の基板搬送装置の側面図
である。

【図２】基板搬送装置の作動を示す平面図である。

【図３】（ａ）〜（ｅ）は基板の搬送手順を示す平面図
である。

【図４】図３（ａ）の作動を説明する要部の拡大平面図
である。

【図５】図３（ｂ）の作動を説明する要部の拡大平面図
である。

【図６】図３（ｃ）の作動を説明する要部の拡大平面図
である。

【図７】図３（ｄ）の作動を説明する要部の拡大平面図
である。

【図８】図３（ｅ）の作動を説明する要部の拡大平面図
である。

【図９】基板の傾きを補正する状態を示す要部の拡大平
面図である。

【図１０】基板の傾きを補正する状態をさらに詳細に示
す要部の拡大平面図である。

【図１１】基板を第２の場所に置く場合の基板の移動量
を説明する要部の拡大平面図である。

【図１２】従来の基板搬送装置の平面図である。

【図１３】図１２を改良した従来の基板搬送装置の平面
図である。

【図１４】（ａ）〜（ｃ）は図１３の基板搬送装置の作
動を示す側面図である。

【図１５】（ａ）〜（ｆ）はさらに別の従来の基板搬送
装置を作動順にを示す側面図である。

【符号の説明】

１支持部材３基板４カセット（第１の場所）５第１のアーム６第２のアーム７搬送ロボット１０定位置（第２の場所）２１２２位置検出センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の場所に置かれている多角形の基板
を持ち上げて移動することにより基板を第２の場所に搬
送する支持部材と、前記第１の場所から取り出されて移動する基板の移動路
上に固定的に配置され、基板の隣り合う２辺上の少なく
とも３点が通過するときの前記支持部材の位置を検出す
る少なくとも２つの位置検出センサと、この位置検出センサの検出値に基づいて前記支持部材に
対する基板の前後及び左右方向の位置ずれと傾きとを算
出し、この算出値に基づいて前記支持部材を駆動して前
記第２の場所への正規位置となるように基板の位置補正
を行う制御手段と、を備えていることを特徴とする基板
搬送装置。
【請求項２】前記制御手段によって回転並びに並進運
動が制御される搬送ロボットが前記第１の場所と第２の
場所との間に配置されると共に、この搬送ロボットに相
互に回転可能な第１のアーム及び第２のアームが順次連
結されており、前記第２のアームが回転可能な状態で前
記支持部材に連結されていることを特徴とする請求項１
記載の基板搬送装置。