JP2018164033A - プローバおよびプリアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
プローバ10は、プローバ本体12と、プローバ本体12に隣接されたローダ部14とから構成される。プローバ本体12は、基板Wが載置される保持面18を有する基板用チャック20を有する。基板Wは四角形状すなわち正方形または長方形であってもよい。
図2に示すように、基板用チャック20の保持面18には、基板用チャック20の中心軸を中心とした吸着溝19が設けられる。吸着溝19は、真空経路21を介して真空源23に接続される。真空源23によって真空経路21の空気を吸引することにより、基板用チャック20の保持面18に載置された基板Wが吸着溝19によって真空吸着されて基板用チャック20の保持面18に吸着保持される。また、真空経路21には、真空経路21を大気開放する電磁バルブ24が設けられ、電磁バルブ24の開閉は制御部25によって制御されている。
図6はプリアライメントセンサユニット60の構成を示した要部拡大斜視図である。
Claims (5)
- 四角形状の基板が格納された格納部から前記基板をプリアライメント部に搬送し、前記プリアライメント部によってプリアライメントされた前記基板を検査部に搬送し、前記検査部によって前記基板を検査するプローバにおいて、
前記基板が前記格納部から前記プリアライメント部に搬送されるときに、前記基板の搬送方向に沿った長さを検出する長さ検出センサと、
前記基板が前記格納部から前記プリアライメント部に搬送されるときに、前記基板の搬送方向に直交する方向に沿った幅を連続的に検出する幅検出センサと、
を備えるプローバ。 - 前記長さ検出センサの検出した前記基板の長さと、前記幅検出センサの連続的に検出した前記基板の幅とから、所定の基準座標に対する前記基板の偏芯量および前記基板の搬送方向に対する前記基板の傾き角度を算出する算出部を備え、
前記プリアライメント部は、前記算出部の算出した前記所定の基準座標に対する前記基板の偏芯量および傾き角度に基づいて、前記基板のプリアライメントを行う請求項1に記載のプローバ。 - 前記長さ検出センサはファイバアンプで構成される請求項1または2に記載のプローバ。
- 前記幅検出センサは測距センサで構成される請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローバ。
- 四角形状の基板が格納された格納部から前記基板をプリアライメント部に搬送し、前記プリアライメント部によってプリアライメントされた前記基板を検査部に搬送し、前記検査部によって前記基板を検査するプローバであって、前記基板が前記格納部から前記プリアライメント部に搬送されるときに、前記基板の搬送方向に沿った長さを検出する長さ検出センサと、前記基板が前記格納部から前記プリアライメント部に搬送されるときに、前記基板の搬送方向に直交する方向に沿った幅を連続的に検出する幅検出センサと、を備えるプローバが、
前記長さ検出センサの検出した前記ウェーハの長さと、前記幅検出センサの連続的に検出した前記基板の幅とから、所定の基準座標に対する前記基板の偏芯量および前記基板の搬送方向に対する前記基板の傾き角度を算出するステップと、
前記所定の基準座標に対する前記基板の偏芯量および傾き角度に基づいて、前記基板のプリアライメントを行うステップと、
を実行するプリアライメント方法。
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