JP2021080131A - 単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法 - Google Patents
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Abstract
Description
CZ法により得られる単結晶は、種結晶側からみて順に肩部と直胴部とテイル部とで構成される。
対策しているように、還元されて残ったシリコン(Si)が付着した炉内部品を高温加熱し、シリコン(Si)を昇華させるなどの手間がかかっていた。
種結晶を取り付け可能で該種結晶をシリコン(ケイ素)の融液に浸して引き上げるためのシードチャックと、
熱線を放射するヒータを含み、前記融液を収容するルツボの設置と前記融液の加熱が可能な単結晶成長炉と、
前記単結晶成長炉内に設けられ、単結晶の外周を流れるガス流を整流し、かつ成長中の単結晶への熱の輻射を抑制するガスフロー管と、を備え、
前記ガスフロー管の少なくとも表面は、シリコン酸化物(SiO)との間で還元反応を生じない部材の層で覆われる、
単結晶成長装置が提供される。
また、本発明の第2の側面によれば、
上述した単結晶成長装置を用いて得られた低炭素濃度のシリコン単結晶が提供される。
また、本発明の第3の側面によれば、炭素濃度が1X1015atoms/CC以下であることを特徴とするシリコン単結晶が提供される。
また、フロー管の肉厚を薄くできるため、炉の大型化による製造コスト増を回避できる上、同一炉でより大口径の単結晶の成長が行える。
図1は、本発明の実施の一形態による単結晶成長装置の結晶成長を行う炉室の断面概略構成を示す模式図の一例である。
SiO + C → Si + CO
さらに、前述した通り、COガス自体がシリコン融液内に混入することによる不具合も低減することができた。
従って、本発明においては、単結晶成長装置として前述の単結晶成長に用いるルツボは、溌液性ルツボを用いることで一層の効果が得られる。
各実施形態による効果
本発明の実施の一形態による単結晶成長装置によれば、
本実施形態の単結晶成長装置により得られた単結晶において、炭素濃度は、実験結果によれば1X1015atoms/CC以下のものが報告されている。
また、還元反応による炉内部品の減耗を減少できるため、炉内部品の延命効果が得られ、部材コストの低減が図れる。
3 単結晶
4 観察窓
5 センサ窓
7 ガスフロー管
8 石英ルツボ
9 カーボンルツボ
10 ヒータ
11 保温筒
12 ハロゲンランプ
13 被測定物
14 赤外線画像装置
15 熱電対
16 温度表示器
17 モニターデータ
18 炭素C部材
19 炭化ケイ素SiC部材
20 熱遮蔽体
31 水冷管
42 チャンバ
Claims (13)
- 種結晶を取り付け可能で該種結晶をシリコン(ケイ素)の融液に浸して引き上げるためのシードチャックと、
熱線を放射するヒータを含み、前記融液を収容するルツボの設置と前記融液の加熱が可能な単結晶成長炉と、
前記単結晶成長炉内に設けられ、単結晶の外周を流れるガス流を整流し、かつ成長中の単結晶への熱の輻射を抑制するガスフロー管と、を備え、
前記ガスフロー管の少なくとも表面は、シリコン酸化物(SiO)との間で還元反応を生じない部材の層で覆われる、
単結晶成長装置。 - 前記部材は、赤外領域での熱線の透過率または反射率が炭素(C)よりも高く、赤外光の照射により発熱しない素材を含むことを特徴とする請求項1に記載の単結晶成長装置。
- 前記素材は、金属不純物が実質的に5ppm以下となる程度に高純度を維持できる素材であることを特徴とする請求項2に記載の単結晶成長装置。
- 前記層から前記単結晶へ向けて放射される波長0.4μm以上の輻射熱線を吸収する水冷管をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 前記ガスフロー管の厚さは、18mm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 設置されるルツボの内径の30%以上の大口径直径を有する単結晶が取得されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 前記融液は第1ルツボに収容され、
前記単結晶成長炉は、前記第1ルツボを保持する第2ルツボを含み、
前記第2ルツボは、少なくともその表面における層または膜の態様で前記部材を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。 - 前記第1ルツボは溌液性ルツボであることを特徴とする請求項7に記載の単結晶成長装置。
- 前記ヒータは、少なくともその表面における層または膜の態様で前記部材を含むことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 前記部材は、炭化ケイ素(SiC)、表面に高純度の炭化ケイ素(SiC)が蒸着された炭化ケイ素(SiC)、シリコン膜で覆われた炭化ケイ素(SiC)、シリコンが含浸された炭化ケイ素(SiC)、シリコンが含浸された炭化ケイ素(SiC)であってその表面に炭化ケイ素(SiC)の膜が成膜されたものの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の単結晶成長装置を用いて得られた低炭素濃度のシリコン単結晶。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の単結晶成長装置を用いて、単結晶成長を行った後、残液に原料結晶を補充し、同一のルツボ から複数の単結晶を成長させることを特徴とする単結晶成長装置の使用方法。
- 炭素濃度が1X1015atoms/CC以下であることを特徴とするシリコン単結晶。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019208719A JP6777908B1 (ja) | 2019-11-19 | 2019-11-19 | 単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法 |
CN202011304275.6A CN112899772B (zh) | 2019-11-19 | 2020-11-19 | 单晶生长装置、该单晶生长装置的使用方法及单晶 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019208719A JP6777908B1 (ja) | 2019-11-19 | 2019-11-19 | 単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6777908B1 JP6777908B1 (ja) | 2020-10-28 |
JP2021080131A true JP2021080131A (ja) | 2021-05-27 |
Family
ID=72938141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019208719A Active JP6777908B1 (ja) | 2019-11-19 | 2019-11-19 | 単結晶成長装置、該単結晶成長装置の使用方法および単結晶成長方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6777908B1 (ja) |
CN (1) | CN112899772B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115679449B (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-07 | 浙江晶越半导体有限公司 | 一种用于升华法生长碳化硅晶体的复合型坩埚 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5004519A (en) * | 1986-12-12 | 1991-04-02 | Texas Instruments Incorporated | Radiation heat shield for silicon melt-in manufacturing of single crystal silicon |
WO1991005891A1 (en) * | 1989-10-16 | 1991-05-02 | Nkk Corporation | Apparatus for manufacturing silicon single crystals |
JPH07277864A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-24 | Nippon Steel Corp | 高温耐熱性部材 |
EP0933450B1 (en) * | 1998-01-19 | 2002-04-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of making SiC single crystal and apparatus for making SiC single crystal |
JP3640940B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2005-04-20 | コマツ電子金属株式会社 | 半導体単結晶製造装置 |
JP2004256322A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶およびシリコン単結晶の引上げ装置 |
US7635414B2 (en) * | 2003-11-03 | 2009-12-22 | Solaicx, Inc. | System for continuous growing of monocrystalline silicon |
EP2330236B1 (en) * | 2008-08-29 | 2014-04-09 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SiC SINGLE CRYSTAL FILM |
KR101150848B1 (ko) * | 2009-12-03 | 2012-06-13 | 주식회사 엘지실트론 | 원통형 열반사 수단을 구비한 단결정 성장 장치 |
KR101111681B1 (ko) * | 2010-10-05 | 2012-02-14 | (주)기술과가치 | 단결정 실리콘 잉곳 제조장치 |
CN202595341U (zh) * | 2012-04-11 | 2012-12-12 | 常州天合光能有限公司 | 用于降低铸锭多晶碳含量的坩埚热屏 |
KR101425933B1 (ko) * | 2012-04-16 | 2014-08-05 | 주식회사 실리콘밸류 | 단결정 실리콘 잉곳 제조장치 |
CN202755095U (zh) * | 2012-06-30 | 2013-02-27 | 上海合晶硅材料有限公司 | 新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 |
JP5904079B2 (ja) * | 2012-10-03 | 2016-04-13 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶育成装置及びシリコン単結晶育成方法 |
WO2014115935A1 (en) * | 2013-01-23 | 2014-07-31 | Lg Siltron Incorporated | Single-crystal ingot, apparatus and method for manufacturing the same |
JP6029492B2 (ja) * | 2013-02-26 | 2016-11-24 | 信越半導体株式会社 | 炭化珪素の製造方法 |
JP5921498B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2016-05-24 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
JP6287991B2 (ja) * | 2015-07-29 | 2018-03-07 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶育成装置 |
JP6090391B2 (ja) * | 2015-08-21 | 2017-03-08 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
CN108350603B (zh) * | 2015-11-13 | 2020-11-13 | 胜高股份有限公司 | 单晶硅的制造方法 |
CN105603520B (zh) * | 2016-01-20 | 2018-10-30 | 西安交通大学 | 一种高速单晶生长装置及方法 |
JP6202119B2 (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-27 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
CN107779946A (zh) * | 2016-08-25 | 2018-03-09 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 热屏组件及单晶提拉炉热场结构 |
-
2019
- 2019-11-19 JP JP2019208719A patent/JP6777908B1/ja active Active
-
2020
- 2020-11-19 CN CN202011304275.6A patent/CN112899772B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112899772A (zh) | 2021-06-04 |
CN112899772B (zh) | 2024-04-05 |
JP6777908B1 (ja) | 2020-10-28 |
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