JP2021045721A - 塗布装置、高さ検出方法および塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Z2n=Z1n−ΔZn … (式1)
の関係が成立する。
3 浮上ステージ部(搬送部)
5 基板搬送部(搬送部)
31 入口浮上ステージ(入口ステージ)
32 塗布ステージ
33 出口浮上ステージ(出口ステージ)
62 センサ(高さ検出部)
71 ノズル
73 位置決め機構
92 演算手段(算出部)
P1 第1位置
P2 第2位置
Pa 検出位置
Pb 対向位置
S 基板
Sf 基板Sの上面
Claims (12)
- 基板に下方から浮力を与えつつ水平方向に搬送する搬送部と、
搬送される前記基板の上面に対向する塗布位置に位置決めされて前記基板に対し処理液を吐出するノズルと、
前記基板の搬送方向において前記ノズルの上流側または下流側の検出位置における前記基板の上面の高さを検出する高さ検出部と、
所定の換算特性に基づき、前記検出位置において検出された高さから、前記塗布位置にある前記ノズルと対向する対向位置における前記基板の上面の高さを算出する算出部と
を備え、
前記換算特性は、事前に前記基板を搬送して前記対向位置および前記検出位置のそれぞれで検出した前記基板の上面の高さの相関関係に基づいて予め求められる、塗布装置。 - 前記換算特性は、搬送される前記基板の前記搬送方向における位置に応じて設定される請求項1に記載の塗布装置。
- 前記高さ検出部を、前記検出位置における前記基板の高さを検出するための第1位置と、前記対向位置における前記基板の高さを検出するための第2位置とに移動位置決めする位置決め機構を備え、
前記換算特性は、前記高さ検出部が前記第1位置に位置決めされた状態で前記基板を搬送したときの検出結果と、前記高さ検出部が前記第2位置に位置決めされた状態で前記基板を搬送したときの検出結果とに基づき求められる請求項1または2に記載の塗布装置。 - 前記位置決め機構は、前記ノズルと前記高さ検出部とを一体的に移動位置決めする請求項3に記載の塗布装置。
- 前記算出部により求められる前記対向位置における前記基板の上面の高さに応じて、前記ノズルの上下方向の位置が設定される請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記ノズルは、前記搬送方向に直交する前記基板の幅方向に沿って延びるスリット状の開口から前記処理液を吐出する請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記搬送部は、前記塗布位置に位置決めされた前記ノズルの下方に配置される塗布ステージと、前記搬送方向において前記塗布ステージの上流側に配置される入口ステージと、前記搬送方向において前記塗布ステージの下流側に配置される出口ステージとを備え、
前記塗布ステージ、前記入口ステージおよび前記出口ステージの各々は、略平坦な上面から気体を吐出させて前記基板に浮力を与える請求項1ないし6のいずれかに記載の塗布装置。 - 処理液を吐出するノズルとの対向位置へ搬送される基板の上面の高さを検出する高さ検出方法であって、
前記基板の搬送方向において前記ノズルの上流側または下流側の検出位置で前記基板の上面の高さを検出する工程と、
所定の換算特性に基づき、前記検出位置において検出された高さから、前記ノズルと対向する対向位置における前記基板の上面の高さを算出する工程と
を備え、
前記換算特性は、事前に前記基板を搬送して前記対向位置および前記検出位置のそれぞれで検出した前記基板の上面の高さの相関関係に基づいて予め求められる高さ検出方法。 - 処理液を吐出するノズルとの対向位置へ搬送される基板の上面の高さを検出する高さ検出方法であって、
前記基板の搬送方向において前記ノズルの上流側または下流側の検出位置で前記基板の上面の高さを検出する工程と、
所定の換算特性に基づき、前記検出位置において検出された高さから、前記ノズルと対向する対向位置における前記基板の上面の高さを算出する工程と
を備え、
前記換算特性は、搬送中における前記基板の姿勢の変化態様に基づいて予め求められる高さ検出方法。 - 前記基板を搬送しながら、前記検出位置における前記基板の上面高さの検出を行う工程と、
前記基板を搬送しながら、前記対向位置における前記基板の上面高さの検出を行う工程と、
それぞれの検出で得られた検出結果から前記換算特性を求める工程と
を備える請求項8または9に記載の高さ検出方法。 - 搬送される前記基板の前記搬送方向における位置が同じであるときの前記検出位置および前記対向位置それぞれで検出された前記基板の高さの差を前記換算特性とする請求項10に記載の高さ検出方法。
- 基板に下方から浮力を与えつつ水平方向に搬送する工程と、
搬送される前記基板の上面に対向する塗布位置にノズルを位置決めし、前記基板に対し前記ノズルから処理液を吐出する工程と、
請求項8ないし11のいずれかに記載の高さ検出方法により、前記ノズルと対向する対向位置における前記基板の上面の高さを求める工程と
を備える塗布方法。
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