JP2020526030A - 発光ダイオード(led)のマストランスファー装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a.ソース基板は、直径150mm、厚さ1mmのDSPサファイア基板であり、個々のLEDデバイスのアドレス指定が可能な355nm、532nm、または1064nmのレーザー源を用いて、0.5J/cm2のパルスプロセスでリリース可能なリリース層(RL)を有する。
b.15μmx15μmのLEDデバイスアレイ(デバイス幅10μm、縦型デバイス構造、デバイス間に5μmのギャップまたはストリート)。上部がアノード、下部がカソードである。
c.LEDデバイスアレイは、サイズが105mm×105mmの正方形アレイであり、70,000×70,000個のLEDデバイスまたは4900万個の個々のLEDを含む。
d.リリースされたLEDデバイスは、完成したデバイスとして完全にコンタクト可能である。
Ppixel=スキャン方向に沿った画素ピッチ(m)
Fl=レーザーパルス繰り返しレート(Hz)
スキャン速度=PLED×Fl
単なる例として、ターゲット基板のターゲット画素アレイ1100を図11Aに示す。この例の各画素1101は、Xが75μm、Yが120μmの画素ピッチを有する。リリースレーザーは、スキャンパス1102などのX軸方向にスキャンされる。正方形の15μmピッチを有する前述したソース基板アセンブリ、および500KHzのレーザーパルス周波数の場合、各レーザーパルスを、一軸に沿って各ソース基板LEDデバイスの位置と一致させるために必要なスキャン速度は7,500mm/秒である。この例では、レーザーパルス5つごとに1つを選択して、特定のLEDデバイスをX軸上のターゲットLED画素エリアにリリースしてもよい(75μm画素ピッチ/15μmLEDデバイスピッチ)。このPoDトリガー信号を、500KHzで動作するレーザーに対して有効にするための一致基準は、次の一組の条件である。レーザーがスキャンする各LED位置に対して:
a.ソースLEDの場所はKGDである
b.ターゲット画素の位置はフットプリントエリア内にある
フットプリントエリアは、LEDデバイスの中心位置がトランスファーされることが可能な画素エリア内のエリアである。フットプリントエリアの中心位置は、画素エリア内のXFP,YEPであり、範囲ΔXFP,ΔYFPを有する。図11Aの例では、および、XFP,YFPがターゲット基板画素の物理的中心であると想定すると、図11Bは、フットプリント1103が、30μmのΔXFP、および42.5μmのΔYFPの範囲(LEDデバイス画素ピッチはそれぞれ、2および2.5)を有する例を示す。もちろん、範囲ΔXFP、ΔYFPは画素位置1104のようにゼロである場合があり、それにより、スキャンヘッド/ソース基板とターゲット基板との間のX−Y移動を最小限に抑えるために、各方向のターゲット基板の画素ピッチをLEDデバイスピッチの整数倍にする必要性が生じる。これは、LEDデバイスの正確な配置が必要な場合に必要になり得る。横型LEDデバイスアーキテクチャは、ΔXFP=0,ΔYFP=0を有するフットプリントプロセスが必要となり得る場合の1つであり得る。
a.LEDリリースレート=500KHz×(15μmLEDデバイスピッチ/75μm画素ピッチ)=100k LED/秒
b.スキャン時間=105mm/7,500mm/秒=14m秒
c.リトレース時間(双方向スキャンを想定)=5m秒
d.画素/スキャン=105μm/75μm画素ピッチ=14,000画素
e.スループット=14,000画素/19m秒=74k画素/秒、または265M画素/時間
したがって、70MのLEDデバイスのソース基板は、そのLEDデバイスが大部分リリースされたら変更する必要がある。上記の1時間あたり265MのLEDデバイスのリリースレートでは、15〜16分ごとに新しいソース基板をロードする必要がある。利用不可のLEDデバイスの数が増加することに起因して、LEDデバイスが全てリリースされる前にリリースレートが低下し始めることになるので、スループットを最適化するためには、ソース基板の再配置頻度を増加させるための早期交換のための追加の時間およびコストを、LEDデバイスの利用可能性の低下と比較検討する最適化アルゴリズムに従って、ソース基板を早期に交換することが要求されることになる。ディスプレイに完全に配置するためには、ソース基板の交換時間、およびサイト間の移動時間などの他のパラメータがスループット計算の因子になる。
4k−UHD解像度(3840H×2160V 16:9)BARマストランスファー性能の見積もり
以下は、15μmピッチの105mm×105mmのLEDデバイスアレイを備えるソース基板を使用した上記のレーザー条件で予想される最適なスループットである。ソース基板の交換時間とサイト間の移動時間は考慮していないので、スループットはやや低下することになる。
a.サブ画素ピッチ:125μm(H)x375μm(V)
b.サイト数:11,650cm2ディスプレイ/110.25cm2=106サイト/ディスプレイ
c.スキャンラインあたりの画素(H):105mm/125μm=スキャンあたり840画素
d.サイトあたりのスキャンライン数:105mm/375μm=280ライン
e.サイトのスループット:280スキャンライン×19ミリ秒=5.32秒/サイト
f.サイトあたりの合計画素数:280スキャン/サイト×スキャンあたり840画素=235,200画素/サイト
g.ディスプレイあたりの合計時間:5.32秒/サイト×106サイト/ディスプレイ=564秒/ディスプレイ
h.画素スループット=160M画素/時間
上記の例のBARマストランスファー手法のディスプレイあたり約10分のスループットを、同様のディスプレイについてのピックアンドプレース手法の約25時間と比較すると、約125倍速いことから、この方法のスループットの顕著な改善の可能性が評価できる。
5.5インチHDTV携帯電話ディスプレイ(1920H×1080V 16:9)BARマストランスファー性能の見積もり
以下は、15μmピッチの105mm×105mmのLEDデバイスアレイを備えるソース基板を使用した上記のレーザー条件で予想される最適なスループットである。ソース基板の交換時間とサイト間の移動時間は考慮していないので、スループットはやや低下することになる。
a.スキャン時間:68.5mm/7500mm/秒=9.13m秒(ディスプレイの垂直方向にスキャン)
b.サブ画素ピッチ:21.1μm(H)×63.4μm(V)
c.サイト数:1.16サイト/ディスプレイ
d.スキャンラインあたりの画素(V):68.5mm/63.4μm=スキャンあたり1080画素
e.サイトあたりのスキャンライン数:105mm/21.1μm=4975ライン
f.サイトのスループット:4975スキャンライン×13.13ミリ秒=65.3秒/サイト
g.サイトあたりの合計画素数:4975スキャン/サイト×スキャンあたり1080画素=5.37M画素/サイト
h.ディスプレイあたりの合計時間:65.3秒/サイト×1.16サイト/ディスプレイ=75.7秒/ディスプレイ
i.画素スループット=296M画素/時間
Claims (21)
- ソース基板上に配置された複数の発光デバイス構造をターゲット基板にトランスファーする装置であって、前記発光デバイス構造は、表面からアクセス可能な第1のコンタクト層、および前記発光デバイス構造上に含まれる第2のコンタクト層を有し、前記発光デバイス構造は、リリースプロセスを用いてリリースされ、縦型発光デバイス構造、または横型発光デバイス構造のいずれかから選択されることが可能であり、前記装置は、
リリースされることが可能な利用可能な前記発光デバイスに関する情報を含む性能確認済みダイ(KGD)コンピュータファイルの読み取りおよび更新が可能であり、かつ、スキャンデバイス、ソース基板とターゲット基板との相対運動、およびレーザー源制御を制御できる、コンピュータデバイスと、
リリースプロセスを通して、前記ソース基板から前記発光デバイスを分離するのに十分な光のパルスを放出ができるレーザー源と、
前記ソース基板の少なくとも一部に位置するスキャンエリア内の内部にレーザー光を向けることができるスキャンデバイスと、
前記発光デバイス構造を含む前記ソース基板の少なくとも一部を、界面領域を介在させて前記ターゲット基板の少なくとも一部に近接させて配置する、垂直運動および制御デバイスと、
前記ソース基板を前記ターゲット基板に相対的に移動させることができる支持および運動システムと、を備え、
ビームアドレス指定可能なリリースプロセスが、複数の発光デバイスをリリースさせ、前記ターゲット基板上の所定位置に固定される、装置。 - 前記発光デバイス構造は、リリース層と呼ばれる中間層を用いて前記ソース基板上に取り付けられる、請求項1に記載の装置。
- 前記リリース層はITOであり、前記レーザー源は、355nm、532nm、または1064nmの受動モードロックレーザーである、請求項2に記載の装置。
- 前記界面領域は、ギャップ媒体である、請求項1に記載の装置。
- 前記ギャップ媒体は、気体または真空を含む、請求項4に記載の装置。
- 前記ギャップ媒体は液体を含む、請求項4に記載の装置。
- 前記KGDコンピュータファイルは、以前にリリースされた前記発光デバイスの各々の位置を用いて更新される、請求項1に記載の装置。
- 前記スキャンデバイスは、追加の発光デバイスリリースプロセスのために新しいターゲットエリアにインデックス付けされる、請求項1に記載の装置。
- 前記ソース基板と前記ターゲット基板との間の前記近接は実際の接触である、請求項1に記載の装置。
- 光学デバイスを製造する方法であって、前記方法は、
発光ダイオード構造、すなわち、ターゲット基板へのトランスファーのためにソース基板上に配置された複数の発光デバイス構造とを準備することであって、前記発光デバイス構造は、表面からアクセス可能な第1のコンタクト層、および前記発光デバイス構造上に含まれる第2のコンタクト層を有し、前記発光デバイス構造は、リリースプロセスを用いてリリースされ、縦型発光デバイス構造、または横型発光デバイス構造のいずれかから選択されることが可能である、ことと、
コンピュータデバイスを使用して、性能確認済みダイ(KGD)コンピュータファイルを読み取って更新して、リリースされることが可能な利用可能な前記発光デバイスに関する情報を含む前記リリースプロセスを指示することと、
レーザー源を使用して、リリースプロセスを通して、前記ソース基板から前記発光デバイスを分離するのに十分な光のパルスを放出することと、
前記ソース基板の少なくとも一部の上に配置されたスキャンエリアの少なくとも一部の上の内部にレーザー光を導き、リリース用の個々の発光デバイスをアドレス指定することと、
前記発光デバイス構造を含む前記ソース基板の少なくとも一部を、界面領域を介在させて前記ターゲット基板の少なくとも一部に近接させて配置することと、
前記ソース基板を前記ターゲット基板に対して移動させることと、
複数の発光デバイスをリリースして、前記ターゲット基板上の所定位置に前記複数の発光デバイスを固定することと、を含む方法。 - 前記複数の発光デバイスの各々が、10ミクロン×10ミクロンのサイズを有する、請求項10に記載の方法。
- レーザー光が、前記複数の発光デバイスの各々のサイズよりも大きいスポットサイズを有し、レーザーデバイスは、前記複数の発光デバイスの各々を選択的にリリースするプロファイルを有する、請求項10に記載の方法。
- レーザーパルスの繰り返しレートは、100キロヘルツから8メガヘルツの間である、請求項10に記載の方法。
- 前記レーザー光は、前記ソース基板の裏側を通って、前記複数の発光デバイスの各々の中央領域に向かって導かれる、請求項10に記載の方法。
- リリースされた前記複数の発光デバイスの各々は、前記ターゲット基板にトランスファーされる、請求項10に記載の方法。
- 前記ターゲット基板は、前記発光デバイスの各々について許容可能な空間位置の所定パターンを有する、請求項10に記載の方法。
- 前記所定パターンは、アレイまたは他の空間構成のためである、請求項16に記載の方法。
- 前記空間位置の各々がフットプリントである、請求項16に記載の方法。
- 前記ターゲット基板は、KGDである複数の発光デバイスを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記発光デバイスの各々が、ガリウム含有材料を含む、請求項10に記載の方法。
- 電子デバイスを製造する方法であって、前記方法は、
ターゲット基板へのトランスファーのためにソース基板上に配置された複数のセンサデバイス構造を準備することであって、前記センサデバイス構造は、表面からアクセス可能な第1のコンタクト層、および、少なくとも、前記センサデバイス構造上に含まれる第2のコンタクト層を有し、前記センサデバイス構造はリリースプロセスを用いてリリースされることが可能である、ことと、
コンピュータデバイスを使用して、性能確認済みダイ(KGD)コンピュータファイルを読み取って更新して、リリースされることが可能な利用可能な前記センサデバイスに関する情報を含む前記リリースプロセスを指示することと、
レーザー源を使用して、リリースプロセスを通して、前記ソース基板から前記センサデバイスを分離するのに十分な光のパルスを放出することと、
前記ソース基板の少なくとも一部に配置されたスキャンエリアの内部にレーザー光を導いて、リリース用の個々のセンサデバイスをアドレス指定することと、
前記センサデバイス構造を含む前記ソース基板の少なくとも一部を、界面領域を介在させて前記ターゲット基板の少なくとも一部に近接させて配置することと、
前記ソース基板を前記ターゲット基板に対して移動させることと、
複数のセンサデバイスをリリースして、前記ターゲット基板上の所定位置に前記複数のセンサデバイスを固定することと、を含む方法。
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