JP2020184641A - 光電子部品の製造方法、および光電子部品 - Google Patents

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Abstract

【課題】温度安定性および/または青色光安定性を有する光電子部品とその製造方法を提供する。【解決手段】A)1次放射線の放出が可能な半導体3を提供するステップ、B)アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1を提供するステップ、およびC)アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1を架橋7して、3次元架橋ポリオルガノシロキサン4を形成するステップを含み、3次元架橋ポリオルガノシロキサン4における有機分が25質量%以下である、光電子部品100を製造する方法。【選択図】図1

Description

本発明は、光電子部品の製造方法に関する。さらに、本発明は、光電子部品に関する。
発光ダイオードまたは高性能発光ダイオード(LED)などの光電子部品は、一般に、ポリオルガノシロキサン(シリコーン)から作製された透明部品を有する。しかし、これらの透明部品は、十分な温度安定性および青色光安定性を示さない。透明部品としてのその他の材料も、十分な青色光安定性および温度安定性がないか、あるいは、ガラスなどのように、LEDチップの許容限界を超えた加工温度を必要とする。したがって、代替物がないため、従来のポリオルガノシロキサンのそれほど有利ではない性質が、光電子部品の制限となる。使用される従来のポリオルガノシロキサンの限られた温度安定性および青色光安定性は、より低い最高周囲温度、ヒートシンクに対するより低い熱抵抗、および低い公称電流という規格に繋がる。高い透過率も、光電子部品の使用が制限される理由となり得る。例えば、硫黄もしくは硫化物含量が高い、または揮発性有機化合物の存在する雰囲気では、これらが光電子部品内に拡散して損傷を与える可能性がある。さらに、従来のシリコーンの高い熱膨張(250〜300ppm)故に、例えば層間剥離を回避するために、特殊なハウジングの適用が必要となる。特に所望のハウジング形状で入手可能な従来のポリオルガノシロキサンは、貴金属を触媒とする付加反応によって架橋する。ポリマー鎖は、硬化プロセスで化合するが、ここでは重付加反応において、Si−H結合がC−C二重結合と反応して、Si−C結合を形成する。
本発明の課題の1つは、安定な光電子部品を提供する、光電子部品の製造方法を提供することである。特に、製造される光電子部品は、温度安定性および/または青色光安定性を有する。本発明の別の課題は、安定な、特に温度および/または青色光に安定な光電子部品を提供することである。
これらの課題は、独立請求項1に記載の光電子部品の製造方法によって解決される。本発明の有利な実施形態およびさらなる展開は、従属項の対象である。さらに、これらの課題は、請求項15に記載の光電子部品によって解決される。
少なくとも1つの実施形態は、
A) 1次放射線の放出が可能な半導体を提供するステップ、
B) アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂、特にメトキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂、を提供するステップ、および
C) アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂、特にメトキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を架橋して、3次元架橋ポリオルガノシロキサンを形成するステップを含み、3次元架橋ポリオルガノシロキサンの有機分が25質量%以下、即ち最大で25質量%である、方法である。
本発明者らは、本明細書に記載の方法が、従来のシリコーンを含む部品に比べて、温度安定性および/または青色光安定性が増大した部品を製造できることを認識した。架橋ポリオルガノシロキサンは、レンズ、ハウジング、キャスティング材料、および/または変換体素子に形成することができ、高出力LEDに理想的である。
少なくとも1つの実施形態によれば、光電子部品は半導体を含む。半導体は、半導体積層体を含む。半導体の半導体積層体は、好ましくは、III−V族化合物半導体材料に基づく。半導体材料は、好ましくは、AlIn1−n−mGaNなどの窒化物化合物半導体材料、またはAlIn1−n−mGaPなどのリン化物化合物半導体材料でもあり、それぞれの式において、0≦n≦1、0≦m≦1、およびn+m≦1である、化合物半導体材料である。半導体材料は、AlGa1−xAs(0≦x≦1)とすることもできる。半導体積層体は、ドーパントおよび追加の成分を含有することができる。しかし、簡略化のために、半導体積層体の結晶格子の必須成分、即ちAl、As、Ga、In、N、またはP、のみを示した。たとえこれらの成分について、少量のその他の物質による部分的な置換および/または補完が可能な場合も、上記の通りとする。
半導体積層体は、少なくとも1つのpn接合および/または1つもしくは複数の量子井戸構造を備えた活性層を含有する。半導体または半導体チップの動作中に、活性層内で電磁放射が発生する。このように、半導体は1次放射線を放出することができる。特に、1次放射線は、半導体の放射主面を介して放出される。特に、放射主面は、光電子部品の半導体積層体の成長方向に垂直の向きである。本記載および下記において、半導体チップの側面とは、光電子部品の半導体積層体の成長方向に平行に向いた側面を指す。1次放射線の波長または1次放射線の波長最大値は、好ましくは、紫外および/または可視および/またはIRスペクトルの範囲内であり、特に、420nm以上800nm以下であり、例えば440nm以上480nm以下の波長である。
少なくとも1つの実施形態によれば、半導体は、発光ダイオード、略してLEDである。その場合、半導体は、好ましくは、青色光、緑色光、赤色光を放出する性質を備えている。変換体素子が存在する場合、光電子部品は、白色混合光を放出するように特に構成される。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法は、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)、特にメトキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を提供する、方法ステップB)を含む。アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂のアルコキシ含量は、15質量%以上40質量%以下、特に17質量%以上35質量%以下であり、例えば17質量%以上35質量%以下とすることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、アルコキシ含量が17±4質量%のアルコキシ官能化メチルフェニルシリコーン樹脂である。特に、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、空気中の湿度が加わることによる触媒作用を使用する加水分解および縮合反応によって、室温で硬化する。適切な触媒は、例えば、強塩基と組み合わせたチタネートである。
少なくとも1つの実施形態によれば、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、アルコキシ含量が35±4質量%のアルコキシ官能化メチルシリコーン樹脂である。特に、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、ジメチルシリコーン樹脂である。
特に、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、その硬化プロセスおよび/または架橋プロセスに次のような好ましい性質がある。体積がほとんど失われないこと、またはその架橋生成物が小さな体積しか占めず、外に拡散できるということ。このような性質は、層の厚さ方向における亀裂および欠陥の形成を防止する。さらに、得られる3次元架橋ポリオルガノシロキサンは、厚さが例えば最大300μmの、亀裂のない素子の製造を可能にするのに十分に高い柔軟性を有している。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法ステップB)において、周囲湿度による縮合反応でポリオルガノシロキサンを形成する、フェニルおよび/またはメチル置換シロキサンを使用する。この場合も、亀裂または欠陥を形成することなく、厚さ数μmの層、特に20から80μmの厚みを有する層の形成が可能となる。3次元架橋ポリオルガノシロキサンは、光電子部品の包装に今日一般に使用される従来のシリコーンとは著しく異なる。3次元架橋ポリオルガノシロキサンは、IR分光法によって、またはそれらの硬度および/もしくは熱安定性を決定することによって、同定することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ステップB)は、キャスティング、ドロップキャスティング、スピンコーティング、スプレーコーティング、圧縮成型、および/またはドクターブレーディングによって実施される。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法は、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を架橋して、3次元架橋ポリオルガノシロキサンを形成する、方法ステップC)を含む。特に、3次元架橋ポリオルガノシロキサンは、細かいメッシュ状であり、細かいメッシュ状の3次元Si−O網目構造を形成する。本記載および下記において、細かいメッシュ状とは、硬化後の架橋されたポリオルガノシロキサンの有機分が25質量%以下であることを意味する。特に、3次元架橋ポリオルガノシロキサンの有機分は、13質量%以上18質量%以下、または14質量%以上16質量%以下、例えば15質量%である。有機分は、空気中での熱重量分析(TGA)によって決定することができる。特に、有機分は、500℃または1000℃の温度で決定される。焼却プロセスは、500℃以下または1000℃以下で、一定重量になるまで行うことができる。有機分は、例えばメチルラジカルおよび/またはフェニルラジカルとすることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ステップC)における架橋は、縮合架橋である。アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、付加反応によっては架橋されない。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンのショアA硬度は、70を超える。ショア硬度の決定法は、規格DIN−ISO 868およびDIN−ISO 7619−1に規定されている。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンは高温耐性を有する。特に、有機ラジカルとしてCH基を有するポリオルガノシロキサンは、最高250℃の熱耐性を有し、有機ラジカルとしてCH基およびフェニル基を有するポリオルガノシロキサンは、最高280℃の熱耐性を有する。
少なくとも1つの実施形態に係る架橋ポリオルガノシロキサン樹脂またはアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂に、少なくとも1種の充填剤を添加する。特に、充填剤は二酸化チタンである。二酸化チタンを含む架橋ポリオルガノシロキサンは、特に、最高380℃の熱耐性を有する。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンまたはアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を、少なくとも1種の蛍光体、特にガーネットと混合する。その結果、特に架橋ポリオルガノシロキサンは、最高400℃の熱耐性を有する。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋は、温度および/または湿度(特に空気湿度)、またはUV放射を用いて、方法ステップC)で実施される。架橋は、方法ステップC)において、特に、室温以上220℃以下の温度で行われる。架橋は、方法ステップC)において、特に、温度および湿度を用いて行われる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ステップC)で作製される架橋ポリオルガノシロキサンの質量は、200℃までの温度では一定である。本記載および下記において、一定とは、5%未満または2%または1%の最大質量差が存在することを意味する。質量差は、本明細書では、架橋前後のポリオルガノシロキサンの質量の差を意味する。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンは、下記の構造式で表される。
Figure 2020184641
式中、Rは、それぞれメチルラジカルおよび/またはフェニルラジカルである。この有機基は、良好な加工性、および充填剤との親和性を確実にする。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンが変換体素子として形成されるか、またはアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂が変換体素子として形成される。架橋ポリオルガノシロキサンは、半導体のビーム経路内にある、または半導体のビーム経路内に配置される。特に、変換体素子は、半導体と、機械的および/または電気的および/または熱的に直接接触している、または上記のような接触状態に配置される。特に、変換体素子は、半導体チップの放射主面の上にある、または放射主面の上に直接配置される。
方法の少なくとも1つの実施形態によれば、この方法は、次のステップD)をさらに含む: アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を、変換体素子として、少なくとも半導体の放射主面上に塗布するステップであって、変換体素子が、1次放射線を2次放射線に変換する少なくとも1種の蛍光体を含む。特に、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、変換体素子として、半導体チップの放射主面および側面の上に配置される。あるいは、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、変換体素子として、半導体チップの放射主面の上にのみ配置される。
ステップD)では、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂を、方法の少なくとも1つの実施形態により塗布し、架橋ポリオルガノシロキサンは、変換体素子として形成して、半導体チップの放射主面の上に直接配置する。特に、変換体素子は、半導体の1次放射線を2次放射線に変換する少なくとも1種の蛍光体をさらに含む。特に、2次放射線は、1次放射線とは異なる波長最大値、好ましくは1次放射線より大きい波長最大値を有する。
少なくとも1つの実施形態によれば、蛍光体は、YAG蛍光体、LuAG蛍光体、ガーネット、オルトシリケート、アルカリ土類窒化物、カルシン、およびこれらの組合せからなる群から選択される。特に、蛍光体は、アルミニウムガーネット、例えばYAG:CeまたはLuAGである。さらに、架橋ポリオルガノシロキサン中の蛍光体の含有量は、少なくとも50質量%を占めてもよい。言い換えれば、蛍光体、好ましくはアルミニウムガーネット、アルカリ土類窒化物、またはこれらの組合せは、その少なくとも50質量%が、方法ステップC)の後に、架橋ポリオルガノシロキサン中に分散される。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法は、さらなる方法ステップを含む:少なくとも1種の蛍光体を、架橋ポリオルガノシロキサンまたはアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂に導入するステップ。特に、蛍光体は、アルミニウムガーネットであり、架橋ポリオルガノシロキサン中に分散されるその含量は25質量%以下、15質量%以下、10質量%以下、8質量%以下、5質量%以下、3質量%以下、または2質量%以下である。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法は、以下の方法ステップE)をさらに含む:光電子部品のハウジングのリセス部内の少なくとも複数領域にボリュームキャストとして架橋ポリオルガノシロキサンを配置し、半導体が、架橋ポリオルガノシロキサンによって確実に取り囲まれ、且つその断面の厚さが少なくとも250μmであり、蛍光体がアルミニウムガーネット、アルカリ土類窒化物、またはこれらの組合せであり、架橋ポリオルガノシロキサン(4)中の蛍光体の含量は、最大で25質量%である。蛍光体が、アルミニウムガーネットとアルカリ土類窒化物との組合せである場合、「25質量%以下」は、両方の蛍光体の重量部の合計を意味する。
特に、断面の厚さは、少なくとも250μm、例えば300μmである。
少なくとも1つの実施形態によれば、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、前駆体の加水分解によって作製される。
架橋ポリオルガノシロキサンは、少なくとも1つの実施形態に係る半導体のビーム経路内に配置される。
少なくとも1つの実施形態によれば、架橋ポリオルガノシロキサンは、ハウジングおよび/またはレンズとして形成される。
少なくとも1つの実施形態によれば、変換体素子は、ボリュームキャストとして形成される。あるいは、変換体素子は、層厚が20μmを超え100μm未満である層として形成することができる。
光電子部品も提供される。光電子部品は、好ましくは、上述の方法を使用して製造される。このことは、方法に関して明らかにした全ての特徴が、光電子部品に関しても明らかにされたことを意味し、その逆も意味する。
図面に関連して以下に記述される例示的な実施形態から、さらなる利点、有利な実施形態、およびさらなる展開は明らかとなる。
図1のA〜Cは、実施形態に係る光電子部品の製造方法を示す図である。 図2のAおよびBは、比較例に係るシリコーンおよびガラスの構造を示す図である。 図3は、実施形態に係る熱重量分析を示す図である。 図4のAおよびBは、それぞれ、実施形態に係る光電子部品を表す図である。
例示的な実施形態および図面において、同一、類似、または同じように動作する要素は、それぞれ同じ参照符号で表すことができる。ここに示した要素、およびそれら要素間の比率は、正しい縮尺に合っていると見なしてはいけない。むしろ、層、部品、要素、および面積などの個々の要素は、より良い表示性および/またはより良い理解のために、誇張されたサイズで表示する場合がある。
図1のA〜Cは、一実施形態に係る光電子部品100の製造方法を示す。図1のAは、半導体3を基板またはキャリア2上に設けることを示す。例えば、キャリア2は、プリント回路基板とするか、またはガラスで作製することができる。半導体3は、リセス部14に、ハウジング21内に配置することができる。図1のBは、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1を提供することを示す。ここで、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂は、ハウジング21のリセス部14に配置される。特に、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1は、キャストを形成する。次いで、図1のCに示されるように、このアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1を架橋7に付すことができる。例えば、架橋7は、熱的におよび/またはUV放射を用いて、必要な場合には空気湿度下で行うことができる。このように、アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1から3次元架橋ポリオルガノシロキサン4が形成される。3次元架橋ポリオルガノシロキサン4は、細かいメッシュ状の3次元SiO網目構造を有し、特に優れた高温安定性および/または青色光安定性を有する。特に、架橋ポリオルガノシロキサン4は、従来のシリコーン(図2のA、従来のシリコーンを参照)と比較して、より少ない有機基を含む。有機分は、架橋ポリオルガノシロキサン4の全含量に対して25質量%以下である。架橋ポリオルガノシロキサン4の透過率は、従来のシリコーンより低い。さらに、架橋ポリオルガノシロキサン4は、柔軟な従来のシリコーンより硬い。架橋ポリオルガノシロキサン4は、温度安定性が約150℃である従来のシリコーンと比べて、200℃超の温度安定性を有する。一方、架橋ポリオルガノシロキサン4は温度安定性がより高いため、このような架橋ポリオルガノシロキサン4の使用によって、従来のシリコーンに比べてより高いプロセス温度を選択することができる。
架橋ポリオルガノシロキサン4は、架橋の程度または密度に関し、従来のシリコーンの構造と、ガラスまたは溶融シリケートの構造との中間に位置する(図2のAおよびBを参照)。
アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1は、キャスティングすることができる。キャスティングの際には、数ミリリットルのアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1を、例えば厚さ2mm未満となるように容器に充填し、架橋することで、架橋ポリオルガノシロキサン4を作製することができる。
例えば、いわゆるドロップキャスティングプロセスでは、1滴のアルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂1をキャリアに塗布することができ、特に厚み約0.5mmまたは約0.3mmの厚い層が作製される。
膜厚が10μm未満または25μm未満の薄い膜は、スピンコーティングによって作製することができる。
図3は、例示的な実施形態に係る熱重量分析(TGA)を示す。グラフは、200℃未満の温度では、観察される質量損失がごく小量であることを示す。600℃以上では、約15質量%〜約85質量%の重量損失を観察することができる。加熱速度に応じて、500℃または1000℃で、最大重量損失として25%を観察することもできる(ここには図示していない)。
図4のAおよびBは、様々な実施形態における光電子部品100の概略側面図を示す。特に、光電子部品100は発光ダイオード(LED)である。
例示的な実施形態では、図4のAに示されるように、架橋ポリオルガノシロキサン4は半導体3の全面を覆う。特に、架橋ポリオルガノシロキサン4は、半導体3の周りの厚さが一定である。
図4のBによれば、半導体3はリセス部14内に配置される。リセス部14は、マトリックス材料とする架橋ポリオルガノシロキサン4のキャスト9で満たすことができる。架橋ポリオルガノシロキサン4は、1次放射線を2次放射線に変換するよう設計された、少なくとも1種の蛍光体13を含んでいてもよい。言い換えれば、架橋ポリオルガノシロキサン4は、半導体3の周りに直接配置される。
図面に関連して記述された例示的な実施形態とそれらの特徴は、その組合せが図に明示されていなくても、さらなる例示的な実施形態に従って、互いに組み合わせることもできる。さらに、図に関連して記述される例示的な実施形態は、概略部分の記述に係る追加のまたは代替の特徴を有していてもよい。
本発明は、例示的な実施形態に基づく記述によって、これら実施形態に限定されるものではない。むしろ、本発明は、特に特許請求の範囲に記載の特徴の組合せのそれぞれを含む、新しい特徴のそれぞれおよび特徴の組合せのそれぞれを含む。これらの特徴または組合せは、それら自体が特許請求の範囲または例示的な実施形態に明示されなくとも、上記の通り含まれるものである。
本特許出願は、米国特許出願第62/324,028号明細書の優先権を主張するものであり、その開示の内容は参照により本明細書に含まれる。
100 光電子部品
1 アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂
2 基板またはキャリア
3 半導体
4 架橋ポリオルガノシロキサン
5 レンズ
6 リフレクタ
7 架橋
8 1次放射線の放出
9 ボリュームキャスト
10 2次放射線の放出
11 変換体素子
12 放射主面
13 蛍光体
14 リセス部
21 ハウジング

Claims (16)

  1. A) 1次放射線(8)の放出が可能な半導体(3)を提供するステップ、
    B) アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)を提供するステップ、および
    C) 前記アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)を架橋して、3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)を形成するステップ
    を含み、前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)の有機分が25質量%以下であり、且つ前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)が細かいメッシュ状である、光電子部品(100)を製造する方法。
  2. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)が、下記の構造式で表される、請求項1に記載の方法。
    Figure 2020184641
    (式中、Rは、それぞれメチルラジカルおよび/またはフェニルラジカルである。)
  3. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)が、細かいメッシュ状の3次元SiO網目構造を形成する、請求項1または2に記載の方法。
  4. ステップC)での前記架橋が縮合架橋である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)における前記有機分が、13質量%以上18質量%以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)のショアA硬度が70を超える、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)が、アルコキシ含量が17±4質量%のアルコキシ官能化メチルフェニルシリコーン樹脂である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)が、アルコキシ含量が35±4質量%のアルコキシ官能化メチルシリコーン樹脂である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  9. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)が、前記半導体(3)のビーム経路内に配置される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
  10. 下記ステップD)をさらに含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
    D) 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)を、変換体素子(11)として、前記半導体(3)の放射主面(12)上に塗布するステップであって、前記変換体素子(11)が、前記1次放射線(8)を2次放射線(10)に変換する少なくとも1種の蛍光体(13)を含むステップ。
  11. 前記蛍光体が、アルミニウムガーネット、アルカリ土類窒化物、またはこれらの組合せであり、前記蛍光体の含量が、前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)の少なくとも50質量%を占める、請求項10に記載の方法。
  12. 下記ステップE)をさらに含む、請求項10に記載の方法。
    E) 前記光電子部品(100)のハウジングのリセス部(14)内の少なくとも複数領域にボリュームキャスト(9)として前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)を配置し、前記半導体(3)が、前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)によって確実に取り囲まれかつその断面の厚さが少なくとも250μmであり、前記蛍光体(13)がアルミニウムガーネット、アルカリ土類窒化物、またはこれらの組合せであり、前記蛍光体(13)の含量が、前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)の25質量%以下を占める、ステップ。
  13. 前記3次元架橋ポリオルガノシロキサン(4)が、ハウジング(21)またはレンズ(5)として形成される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
  14. ステップB)が、キャスティング、ドロップキャスティング、スピンコーティング、ドクターブレーディング、スプレーコーティング、または圧縮成型によって実施される、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
  15. ステップC)において、前記架橋(7)を温度および/または湿度またはUV放射を用いて実施する、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。
  16. 前記アルコキシ官能化ポリオルガノシロキサン樹脂(1)が、前駆体の加水分解によって作製される、請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
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